JP2009275736A - 軸受装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】ブラシやスリップリング等の電気接点を用いず、軸受温度や主軸の回転速度の影響を受けずに、軸受にかかる予圧を精度良く求めることができる軸受装置を提供する。
【解決手段】軸方向に並ぶ転がり軸受3A,3Bの軌道輪間に間座が介在し、転がり軸受は予圧を受ける。転がり軸受の固定輪3gには、第1の電極11が電気的に接続される。固定輪3gに対して固定状態の部材8には、第2の電極12が電気的に絶縁されて設けられる。第2の電極12と転がり軸受の回転輪3iとの間に静電容量発生部18が構成される。両電極11,12間の静電容量を静電容量測定手段19で測定し、その測定値に基づき、軸受予圧を予圧検出手段20で検出する。固定輪3gの間座5には、軸受温度を測定する温度センサ22,23が設けられ、測定される軸受温度に基づき、予圧検出手段20の検出した予圧を補正手段で補正する。
【選択図】図1

Description

この発明は、工作機械の主軸スピンドルなどに使用される軸受装置に関する。
工作機械のスピンドル装置では、加工精度および効率の向上のため、軸受の予圧管理が求められており、そのため軸受予圧検出の要求がある。軸受の予圧荷重を検出するセンサの従来例として、例えば、軸受の内外輪と転動体の間の潤滑油膜厚さが予圧により変化することを利用して、内外輪間の抵抗値から予圧を検出するものが提案されている(例えば特許文献1)。
特開2003−206925号公報
しかし、特許文献1に開示の技術では、内外輪間の抵抗を測定するために、電極を測定対象物に接触させる必要がある。その際、測定対象物の一方は回転体であるため、回転中に予圧を測定するには、ブラシやスリップリング等の電気接点が必要である。そのため、特許文献1に開示の技術を高速回転のものに適用するには、コストがかかる。また、ブラシやスリップリングが短寿命になる等の問題がある。
そこで、転がり軸受の内外輪間の静電容量を測定し、その測定値から転がり軸受の予圧を検出する方式が考えられる。
この方式の場合、転がり軸受の内外輪間の抵抗を測定する特許文献1に開示の技術のようなブラシやスリップリング等の電気接点が不要で、コストや寿命などの点で有利である。
しかし、転がり軸受の内外輪間の静電容量は、荷重による転動体と軌道面の接触面積や、転動体と軌道面間に介在する潤滑油膜厚さと潤滑油膜の誘電率により変化する。潤滑油膜厚さは、転動体にかかる荷重だけでなく、転動体の回転速度、および潤滑油膜の粘度の影響を受ける。その粘度は油膜温度により変化し、さらに誘電率も温度により変化する。このため、内外輪間の静電容量から転がり軸受の予圧を検出する場合、検出値が主軸の回転速度や軸受温度に左右されて精度の良い検出を行なえないという問題がある。
この発明の目的は、ブラシやスリップリング等の電気接点を用いることなく、かつ軸受温度や主軸の回転速度の影響を受けることなく、軸受にかかる予圧を精度良く求めることができる軸受装置を提供することである。
この発明の軸受装置は、軸方向に並ぶ複数の転がり軸受における内輪間および外輪間にそれぞれ間座が介在し前記転がり軸受が予圧を受け、前記内輪および外輪のいずれか一方が固定輪、他方が回転輪となる軸受装置において、前記転がり軸受の前記固定輪に電気的に接続された第1の電極と、前記固定輪に対して固定状態の部材に電気的に絶縁された状態で設けられ前記回転輪との間に転がり軸受とは別の静電容量発生部を構成する第2の電極と、これら一対の電極間の静電容量を測定する静電容量測定手段と、この静電容量測定手段の測定する静電容量に基づき転がり軸受にかかる予圧を検出する予圧検出手段と、前記固定輪の間座に設けられ軸受温度を測定する温度センサと、この温度センサの測定する軸受温度に基づき前記予圧検出手段の検出した予圧を補正する補正手段とを備えたことを特徴とする。
回転により転がり軸受の温度が上昇して回転輪が膨張すると、回転輪と転動体の接触面および固定輪と転動体の接触面における潤滑膜厚さが減少し、軸受全体の静電容量が増加する。この状態において、各転がり軸受にかかる予圧は、初期設定値よりも大きくなっている。予圧検出手段は、この初期設定値よりも大きくなった予圧量を、静電容量測定手段で測定した静電容量から算出する。このように、静電容量測定手段で測定した静電容量に基づき、予圧検出手段で転がり軸受の予圧を検出するようにしているので、ブラシやスリップリング等の電気接点を用いることなく転がり軸受にかかる予圧を求めることができる。
とくに、予圧検出手段で検出された予圧を、温度センサの測定する軸受温度に基づき、補正手段で補正するようにしているので、軸受温度の影響を受けることなく、転がり軸受にかかる予圧を精度良く求めることができる。
この発明において、前記固定輪の間座に設けられた温度センサが、固定輪間座の温度を測定する熱電対、測温抵抗体またはサーミスタであっても良い。
この発明において、前記固定輪の間座に設けられた温度センサが、回転輪間座の温度を測定する非接触温度センサであっても良い。
この発明において、前記固定輪の間座には前記温度センサのほかに、前記回転輪の回転速度を検出する回転センサが設けられ、前記補正手段は、前記温度センサの測定する軸受温度と前記回転センサの検出する回転速度とに基づき前記予圧検出手段の検出した予圧を補正するものとしても良い。この構成の場合、ブラシやスリップリング等の電気接点を用いることなく、かつ軸受温度や軸受回転輪の回転速度の影響を受けることなく、軸受にかかる予圧を精度良く求めることができる。
この発明において、前記複数の転がり軸受がハウジング内で軸方向に並べられて主軸を回転自在に支持する軸受であり、前記静電容量発生部が、前記ハウジングの一端部に固定された押さえ蓋における転がり軸受配置位置に対する外側に電気的に絶縁されて設けられた前記第2の電極と、前記主軸との間に構成されたものであっても良い。この構成の場合、静電容量発生部の構成のために高い加工精度が不要で、コスト低減が可能である。
この発明の軸受装置は、軸方向に並ぶ複数の転がり軸受における内輪間および外輪間にそれぞれ間座が介在し前記転がり軸受が予圧を受け、前記内輪および外輪のいずれか一方が固定輪、他方が回転輪となる軸受装置において、前記転がり軸受の前記固定輪に電気的に接続された第1の電極と、前記固定輪に対して固定状態の部材に電気的に絶縁された状態で設けられ前記回転輪との間に転がり軸受とは別の静電容量発生部を構成する第2の電極と、これら一対の電極間の静電容量を測定する静電容量測定手段と、この静電容量測定手段の測定する静電容量に基づき転がり軸受にかかる予圧を検出する予圧検出手段と、前記固定輪の間座に設けられ軸受温度を測定する温度センサと、この温度センサの測定する軸受温度に基づき前記予圧検出手段の検出した予圧を補正する補正手段とを備えるものとしたため、ブラシやスリップリング等の電気接点を用いることなく、かつ軸受温度の影響を受けることなく、軸受にかかる予圧を精度良く求めることができる。
この発明の一実施形態を図1ないし図6と共に説明する。この実施形態の軸受装置は、ハウジング1内で軸方向に並べられた複数の転がり軸受3A,3Bにより、主軸2を回転自在に支持したものである。この軸受装置は、例えば、工作機械のスピンドル装置に応用される。
主軸2には、軸方向に離間した複数の転がり軸受3A,3Bを締まり嵌め状態で嵌合し、回転輪となる内輪3i,3i間には内輪間座4を、固定輪となる外輪3g,3g間には外輪間座5をそれぞれ介在させている。転がり軸受3A,3Bは、内輪3iと外輪3gの間に複数の転動体Tを介在させ、これら転動体Tを保持器Rtで保持したものである。これらの転がり軸受3A,3Bは、軸方向の予圧を付与することが可能な軸受であり、アンギュラ玉軸受、深溝玉軸受、またはテーパころ軸受等が用いられる。図示の例ではアンギュラ玉軸受が用いられ、2個の転がり軸受3A,3Bが背面合わせで設置されている。
一方の転がり軸受3Aの内輪3iの一端面を主軸2の外周に突出する肩部2aに係合させ、他方の転がり軸受3Bの内輪3iの一端面を、円筒部材であるスペーサ6を介してナット7で締め付けることで、両転がり軸受3A,3Bの内輪3iが主軸2に固定されている。前記ナット7は、主軸2の雄ねじ部2bに螺合したものである。両転がり軸受3A,3Bの外輪3gは、ハウジング1の内径面に嵌合させ、ハウジング1の一端部(図1における右側)にねじ止めされた押さえ蓋8と、ハウジング1の他端部(図1における左側)において内径側に突出して形成された肩部1aとに挟まれて軸方向に固定されている。外輪3gは、ハウジング1の内径面に対して緩み嵌めとし、両外輪3g間に1つの外輪間座5を介在させてある。
これら内輪間座4および外輪間座5は、いずれもリング状の部材である。外輪間座5の幅寸法H1は、内輪間座4の幅寸法H2と異なっており、軸受隙間により変わるので必ずしもH1>H2ではない。図1の右側の転がり軸受3Bの内輪3i端面に、スペーサ6を介して当接するナット7を締め付けることにより、これら内輪間座4および外輪間座5の幅寸法差に応じて転がり軸受3A,3Bに予圧が付与される。
両転がり軸受3A,3Bの内輪3i同士は、主軸2および内輪間座4により電気的に導通している。両転がり軸受3A,3Bの外輪3g同士も、金属製つまり導電部材であるハウジング1および外輪間座5により電気的に導通している。
図1における右側に配置される転がり軸受3Bに近い前記押さえ蓋8の外面側には、第1の電極11が電気的に接続されている。具体的には、押さえ蓋8の端面に第1の電極11が固定されている。また、同じ押さえ蓋8における前記転がり軸受3Bの配置位置に対する外側に、第2の電極12が電気的に絶縁されて設けられている。具体的には、押さえ蓋8の端面に、第2の電極12が絶縁体17を介して固定されている。この場合、第2の電極12と押さえ蓋8を交流的に絶縁するために、第2の電極12と押さえ蓋8の間に形成される静電容量が小さくなるように、前記絶縁体17の厚み寸法はできるだけ大きくするのが望ましい。また、第2の電極12をねじで固定する場合は、樹脂ねじや樹脂ワッシャなどを用いて、押さえ蓋8との絶縁を確保する。
第2の電極12と主軸2との間には、転がり軸受3A,3Bとは別に静電容量を発生する静電容量発生部18が構成されている。具体的には、主軸2の雄ねじ部2bに螺合したナット7の外径面と径方向に僅かな隙間δを介して第2の電極12を対向させることで、前記静電容量発生部18が構成されている。
前記両電極11,12の間は、上記構成により直流的に絶縁されているが、第2の電極12とナット7の間に構成される静電容量発生部18での静電容量による交流カップリングで、交流的には接続された状態にある。このため、静電容量発生部18での交流カップリングによる抵抗はできるだけ小さくする必要があり、そのために静電容量発生部18での静電容量は大きいほうが望ましい。そこで、ここでは、第2の電極12を、ナット7と同心のリング状の導体とし、全周にわたってナット7と対向させることで対向面積を大きくして、前記静電容量を大きくしている。
前記一対の電極11,12には、これら電極間の静電容量を測定する静電容量測定手段19が接続され、その次段には静電容量測定手段19の測定値から転がり軸受3A,3Bの予圧を検出する予圧検出手段20が接続されている。
図2(A)は前記各転がり軸受3A,3Bの半部断面図を示し、図2(B)は図2(A)の軸受構造を電気回路として表現したときの模式図を示す。図2(A)において、外輪3gと転動体Tの接触面には1μm以下の厚さの潤滑膜13つまり油膜が形成され、外輪3gと転動体Tは直接接触することなく潤滑膜13を介して荷重を伝えることが知られている。内輪3iと転動体Tの接触面にも同様の潤滑膜14が形成される。この潤滑膜厚さは、転がり軸受3A,3Bにかかる荷重により変化するので、後述する前記電極11,12間の静電容量は転がり軸受3A,3Bにかかる荷重により変化する。
外輪3gと転動体Tの関係において、潤滑膜13を誘電体と考え、外輪3gと転動体Tを電極と考えると、ここに1つのコンデンサ相当部、すなわちコンデンサ15が形成される。同様に内輪3iと転動体Tの関係においても、もう1つ別のコンデンサ16が形成される。
これを模式的に表現すると、図2(B)のように2つのコンデンサ15,16が直列に接続された回路構成となる。ここで、両コンデンサ15,16の静電容量Ca,Cbが等しいとすると、2つのコンデンサ15,16の合計の静電容量はCa/2となる。また、軸受1個あたりの転動体Tの個数をnとして、それぞれの転動体Tでのコンデンサの静電容量が等しいとすると、それらの等しい静電容量のコンデンサが並列に接続された回路構成とみなすことができるので、軸受1個での全体の静電容量はnCa/2となる。
したがって、1つの転がり軸受3A(3B)において、外輪3gから内輪3iまでの経路の静電容量を測定すれば、1箇所の潤滑膜13(14)での静電容量Caを推定することができる。ただし、軸受1個に対して、上記した経路の静電容量を測定するのでは、内外輪3i,3gのいずれかが回転している(図1の場合は内輪3iが回転している)ため、上記特許文献1に開示の方式の場合と同様に、被測定箇所以外の部分でスリップリング等の電気接点が必要となり、測定誤差が生じたり測定結果が不安定になる要因となる。
そこで、この実施形態の軸受装置では、静電容量測定手段19の1つの入力端子である第1の電極11が2つの転がり軸受3A,3Bの固定輪である各外輪3gに導通する押さえ蓋1Aに接続され、他の1つの入力端子である第2の電極12が、第1の電極11と絶縁状態となるように、絶縁体17を介して押さえ蓋1Aの外側面である端面に固定されている。第2の電極12は、主軸2の雄ねじ部2bに螺合する導体部材であるナット7の外径面と径方向に僅かな隙間δを介して対向するように設けられて、第2の電極12とナット7とで静電容量発生部18が構成されている。ナット7は、主軸2、スペーサ6を介して両転がり軸受3A,3Bの内輪3iに導通しているので、これら内輪3iと第2の電極12との間に静電容量発生部18が介在することになる。
前記両電極11,12により、両転がり軸受3A,3Bの外輪3gと転動体Tとの間の静電容量、転動体Tと内輪3iとの間の静電容量、およびナット7と第2の電極12の間に構成される静電容量発生部18での静電容量を合成した静電容量を測定することができる。したがって、転がり軸受3A,3Bにかかる荷重により、外輪3gと転動体T、転動体Tと内輪3iの間の静電容量が変化することから、転がり軸受3A,3Bにかかる予圧荷重を求めることができる。
この場合の軸受装置の電気的な等価回路は図3のようになる。すなわち、転がり軸受3Aと転がり軸受3Bとは並列接続され、さらに、これら両転がり軸受3A,3Bに対して静電容量発生部18が直列接続されている。これによって、両転がり軸受3A,3Bの平均化された予圧を求めることができる。
前記静電容量測定手段19において、前記両転がり軸受3A,3Bの静電容量および前記静電容量発生部18での静電容量を合成した全体の静電容量の測定には、電気容量計などの計測器を用いることができる。
前記予圧検出手段20は、前記静電容量測定手段19で測定した全体の静電容量から、この静電容量に対応する予圧量を算出する電子回路等からなる。この予圧検出手段20は、全体の静電容量と予圧量の関係を演算式またはテーブル等で設定した図示しない関係設定手段を有し、求めた全体の静電容量を前記関係設定手段に照らし予圧量を算出する。予圧検出手段20は、独立して設けられた電子回路であっても、またスピンドル装置を制御する制御装置の一部であっても良い。
転がり軸受3A,3Bの外輪間座5には、2つの温度センサ22,23と1つの回転センサ24が設けられる。1つの温度センサ22は前記外輪間座5の一端(図1における左側)に設けられ、外輪間座5の温度を測定する。この温度センサ22として、例えば熱電気や測温抵抗体、サーミスタが用いられる。他の1つの温度センサ23は前記外輪間座5の他端(図1における右側)に設けられ、内輪間座4の温度を測定する。この温度センサ23として、例えば非接触温度センサが用いられる。回転センサ24は外輪間座5の軸方向中間位置に設けられ、主軸2の回転速度つまり軸受内輪3iの回転速度を検出する。
温度センサ22,23と回転センサ24は、ハウジング1の内径面に軸方向に延びて設けられた配線用溝9、および押さえ蓋8に軸方向に貫通して設けられた配線用孔10を介して外部の補正手段21に電気接続される。これにより、補正手段21には、温度センサ22,23の測定する軸受温度と、回転センサ24の検出する主軸2の回転速度のデータが入力される。補正手段21は、これらの入力データに基づき、予圧検出手段20で検出された予圧を補正する手段である。補正手段21は、入力データである軸受温度および主軸回転速度と、予圧の補正値との関係をテーブルまたは演算式等で設定した関係設定手段(図示せず)を有し、この関係設定手段を用いて補正量を生成する。先述したように、転がり軸受3A,3Bの内外輪3i,3g間の静電容量から予圧を検出する場合、検出値が主軸2の回転速度や軸受温度に左右されて精度の良い検出を行なえないが、このように測定された軸受温度と検出された主軸2の回転速度とに基づき、予圧検出手段21で検出された予圧を補正することにより、軸受温度や主軸の回転速度の影響を受けることなく、軸受にかかる予圧を精度良く求めることができる。
上記構成の作用、効果を説明する。スピンドル装置の図示しない駆動源により主軸2が回転し、転がり軸受3A,3Bの温度が上昇して内輪3iが膨張すると、内輪3iと転動体Tの接触面における潤滑膜厚さが減少する。これと共に、外輪3gと転動体Tの接触面における潤滑膜厚さも減少する。したがって、軸受全体の静電容量が増加する。この状態において、各転がり軸受3A,3Bにかかる予圧は、初期設定値よりも大きくなっている。予圧検出手段20は、静電容量測定手段19で測定した静電容量を前記関係設定手段に照らし、この初期設定値よりも大きくなった予圧量を算出する。
このように、この軸受装置では、並列に接続された転がり軸受3A,3Bの静電容量と、これらの静電容量に対して直列接続となる前記静電容量発生部18での静電容量とを合成した静電容量を、前記両電極11,12を入力端子とする静電容量測定手段19で測定し、その測定値から予圧検出手段20で転がり軸受3A,3Bの予圧を検出するようにしているので、ブラシやスリップリング等の電気接点を用いることなく転がり軸受3A,3Bにかかる予圧を求めることができる。
また、第2の電極12は、押さえ蓋8における転がり軸受3Bの配置位置の外側である端面に電気的に絶縁されれて設けられているので、高い加工精度が不要でコスト低減が可能である。
とくに、予圧検出手段20で検出された予圧を、温度センサ22,23の測定する軸受温度と、回転センサ24の検出する主軸2の回転速度に基づき、補正手段21で補正するようにしているので、軸受温度や主軸2の回転速度の影響を受けることなく、軸受にかかる予圧を精度良く求めることができる。
なお、回転センサ24を省略して、温度センサ22,23の測定する軸受温度だけから、予圧検出手段20で検出された予圧を補正するようにしても良く、この場合にも十分精度の良い予圧を求めることができる。
図4は、例えば図1に示した実施形態において、静電容量測定手段19が、直列接続した発振器29と電流測定手段30とでなり、軸受装置31に交流電流を流すことによって、軸受装置31における両転がり軸受3A,3Bの静電容量と静電容量発生部18の静電容量とを合成した全体の静電容量Cをインピーダンスに換算して測定するようにした例を示す。
この場合、油膜で形成される静電容量が一般に数十pFと小さいことから、発振器29による発振周波数を100kHzから10MHz程度とすると、高い検出精度が得られる。また、油膜厚さは極めて小さいことから、軸受装置31に印加する印加電圧は概ね1V以下にする必要がある。
図5は、上記静電容量測定手段19が、OPアンプ32で構成された発振器33と、この発振器33の周波数から静電容量を推定する周波数対応容量推定手段34とでなり、測定した発振器33の周波数から軸受装置における全体の静電容量Cを推定するようにした例を示す。この場合の発振器33は、リラクゼーションオシレータ(relaxation oscillator)と呼ばれ、OPアンプ32に抵抗35Ra,35Rb,35Rt,およびコンデンサ35Ctを接続して構成される。抵抗35Ra,35Rb,35Rtの抵抗値をRa,Rb,Rt、コンデンサ35Ctの静電容量をCtとすると、発振周波数fは、およそ、
f=1/(2RtCt)
となることが知られている。
ここでは、前記発振器33のコンデンサ35Ctが軸受装置における全体の静電容量Cに置き換えられることで、その静電容量Cが推定される。
図6は、軸受装置の静電容量測定手段19が、充放電手段36と、その充電および放電の繰り返しにおける過度現象によって生じる充放電時間より静電容量を推定する充放電時間対応静電容量推定手段37とでなる例を示す。充放電手段36は、充電抵抗38と充電スイッチ39の直列回路部を被測定静電容量Ctに直列接続すると共に、放電スイッチ40と放電抵抗41の直列回路部を被測定静電容量Ctに並列接続した回路である。充放電時間対応静電容量推定手段37は、充放電手段36での充放電電圧を監視する電圧測定手段42と、この電圧測定手段42が監視する電圧が規定電圧になるまでの時間を測定することにより、被測定静電容量Ctを推定する判断手段43とでなる。
この場合、例えば、充電スイッチ39をオンにして充電を開始し、被測定静電容量Ctの充電電圧を電圧測定手段42で監視して、その充電電圧が規定電圧になるまでの充電時間を判断手段43で測定することにより、被測定静電容量Ctを推定できる。または、予め所定電圧まで充電させた被測定静電容量Ctに対して、放電スイッチ40をオンにして放電を開始し、被測定静電容量Ctの放電電圧を電圧測定手段42で監視して、その放電電圧が規定電圧になるまでの放電時間を判断手段43で測定することにより、被測定静電容量Ctを推定できる。
ここでは、前記被測定静電容量Ctが軸受装置における全体の静電容量Cに置き換えられることで、その静電容量Cが推定される。
以上説明した軸受装置を、スピンドル装置以外の装置、ロボット等に適用することも可能である。上記した各実施形態では、2個の転がり軸受3A,3Bを背面合わせで設置したが、正面組み合わせで設置する場合もあり得る。また、転がり軸受の個数は2個に必ずしも限定されるものではない。
この発明の一実施形態にかかる軸受装置の断面図と予圧測定系のブロック図とを組み合わせて示す図である。 (A)は転がり軸受の半部断面図、(B)は軸受構造を電気回路として表現した場合の模式図である。 軸受装置の電気的な等価回路である。 軸受装置における静電容量測定手段の一例を示すブロック図である。 軸受装置における静電容量測定手段の他の例を示す回路図である。 軸受装置における静電容量測定手段のさらに他の例を示す回路図である。
符号の説明
1…ハウジング
2…主軸
3A,3B…転がり軸受
3i…内輪(回転輪)
3g…外輪(固定輪)
4…内輪間座
5…外輪間座
8…押さえ蓋
11…第1の電極
12…第2の電極
17…絶縁体
18…静電容量発生部
19…静電容量測定手段
20…予圧検出手段
21…補正手段
22,23…温度センサ
24…回転センサ

Claims (5)

  1. 軸方向に並ぶ複数の転がり軸受における内輪間および外輪間にそれぞれ間座が介在し前記転がり軸受が予圧を受け、前記内輪および外輪のいずれか一方が固定輪、他方が回転輪となる軸受装置において、
    前記転がり軸受の前記固定輪に電気的に接続された第1の電極と、前記固定輪に対して固定状態の部材に電気的に絶縁された状態で設けられ前記回転輪との間に転がり軸受とは別の静電容量発生部を構成する第2の電極と、これら一対の電極間の静電容量を測定する静電容量測定手段と、この静電容量測定手段の測定する静電容量に基づき転がり軸受にかかる予圧を検出する予圧検出手段と、前記固定輪の間座に設けられ軸受温度を測定する温度センサと、この温度センサの測定する軸受温度に基づき前記予圧検出手段の検出した予圧を補正する補正手段とを備えたことを特徴とする軸受装置。
  2. 請求項1において、前記固定輪の間座に設けられた温度センサが、固定輪の間座の温度を測定する熱電対、測温抵抗体またはサーミスタである軸受装置。
  3. 請求項1において、前記固定輪の間座に設けられた温度センサが、回転輪の間座の温度を測定する非接触温度センサである軸受装置。
  4. 請求項1ないし請求項3のいずれか1項において、前記固定輪の間座には前記温度センサのほかに、前記回転輪の回転速度を検出する回転センサが設けられ、前記補正手段は、前記温度センサの測定する軸受温度と前記回転センサの検出する回転速度とに基づき前記予圧検出手段の検出した予圧を補正するものとした軸受装置。
  5. 請求項1ないし請求項4のいずれか1項において、前記複数の転がり軸受がハウジング内で軸方向に並べられて主軸を回転自在に支持する軸受であり、前記静電容量発生部が、前記ハウジングの一端部に固定された押さえ蓋における転がり軸受配置位置に対する外側に電気的に絶縁されて設けられた前記第2の電極と、前記主軸との間に構成されたものである軸受装置。
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