JP2009274210A

JP2009274210A - ポリッシング装置

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Publication number: JP2009274210A
Application number: JP2009196605A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Kurosawa; 洋黒澤
Original assignee: Topcon Corp
Current assignee: Topcon Corp
Priority date: 2009-08-27
Filing date: 2009-08-27
Publication date: 2009-11-26
Anticipated expiration: 2019-04-30
Also published as: JP4886012B2

Abstract

【課題】修正ツールの加工や検査をポリッシング盤の近くで容易に行うことのできるポリッシング装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るポリッシング装置２０は、被加工物をポリッシングするポリッシング盤２２と、ポリッシング盤２２の表面形状を修正する円盤状の修正ツール２６と、修正ツール２６の外周面に回転力を与えて修正ツール２６を回転させる駆動ローラー６０とを有するポリッシング装置において、修正ツール２６を上下反転させる反転手段が設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、被加工物、例えばガラス部材の研磨加工に用いられるポリッシング装置に関する。

図７に示すように、ポリッシング装置におけるポリッシング盤１は、ｚ軸（鉛直軸）を中心に回転するターンテーブル２と、ターンテーブル２の上面にピッチにより形成されたポリシャ３とから概略なり、回転するポリシャ３の表面３ａに被加工物が摺接することにより研磨加工が行われる（特許文献１参照）。

ポリッシング盤１上には、円盤状の修正ツール４が一般に設けられているが、この修正ツール４は、被加工物との摩擦によるポリシャ３の表面形状の局部的損壊をピッチ表層を塑性流動させてインプロセスで（研磨加工中に）連続的に修復するとともに、ポリシャ３との接触圧によってその表面３ａの曲率調整を行う。この曲率調整は、ポリッシング盤１と修正ツール４との中心間距離Ｃを調整し、ポリシャ３と修正ツール４との接触面の図心Ａを修正ツール４の重心Ｇからずらし、この心ずらしによりラジアル方向に転がりモーメント（曲率偏向モーメント）Ｍｙ’を生じさせて修正ツール４がポリシャ３に及ぼす圧力ｐｘｙ’を図のような分布とし、ポリシャ３の外周側により大きな圧力を作用させて行われる。曲率偏向モーメントＭｙ’は、圧力ｐｘｙ’を接触面全面について積分して得られる合力Ｐに、心ずらしの距離ｓを乗じて求めることができる。

Ｍｙ’＝Ｐ・ｓＰ＝∬ｐｘｙ’ｄｘｄｙこのようなポリッシング盤１、修正ツール４を備えるポリッシング装置としては、従来以下のようなものが知られている。

図８に示す装置では、スライド板５に設けられた複数のガイドローラー６が修正ツール４の外周面に転動可能に接して、修正ツール４を回転自在に保持する。スライド板５はポリッシング盤１のラジアル方向に沿って移動可能であり、このスライド板５の位置を調整することにより修正ツール４はポリッシング盤１に対して位置決めされる。修正ツール４はポリシャ３との摩擦力によりつれ回りで回転（自転）するが、ポリシャ３の表面３ａの形状誤差により回転誤差が生じやすい。

図９に示す装置では、図８に示す装置のガイドローラー６の一つに電動機７による回転力が与えられ、それが駆動ローラーとして機能する。この駆動ローラー８は、修正ツール４を自転させるための回転力を修正ツール４の外周面に与え、修正ツール４を積極的に回転させるので、ポリシャ３の表面３ａに形状誤差があったとしても回転誤差が生じにくい。

図１０に示す装置では、図９に示す装置の修正ツール４の上面に中ぐり加工が施され、ここにジャッキ装置９に取り付けられる金属インサート１０が埋め込まれて修正ツール４が昇降可能となっている。すなわち、ジャッキ装置９においては、ハンドル１１が操作されるとネジスピンドル１２が回転し、Ｙ形部材１３が昇降する。これに伴い、金属インサート１０が固着され且つＹ形部材１３に固定ピン１４で固定されたＩ形部材１５も昇降するので、Ｉ形部材１５と一体となった修正ツール４も昇降する。これにより、メインテナンス作業時等に修正ツール４を上方に引き上げることができる。

図１１に示す装置では、図１０に示す装置と同様に修正ツール４が昇降可能となっているが、その昇降にはジャッキ装置９の代わりにエアシリンダ装置１６が用いられ、ロッド１７を下方に駆動することによって修正ツール４のポリシャ３に及ぼす圧力を高めることができる。

特開平１０−３２９０１０号公報

ところで、図８〜図１１に示す各装置では、修正ツール４の外周面にガイドローラー６又は駆動ローラー８が直接当接することにより、修正ツール４がポリッシング盤１上の定位置に保持されている。したがって、図１２に示すように、ガイドローラー６のスピンドルには、ポリシャ３と修正ツール４との間に生じる摩擦力によりせん断力Ｆが常に作用する。また、図示のようにガイドローラー６が片持ちである場合には、せん断力Ｆの作用点からのアーム長Ｌ１に従って増大する曲げモーメントＭ＝Ｆ・Ｌ１がそのスピンドルに作用する。

一方、駆動ローラー８のスピンドルは、図１３に示すように、せん断力Ｆ及び曲げモーメントＭ＝Ｆ・Ｌ２が駆動ローラー８の回転により周期的に変動する交番負荷条件下にある。駆動ローラー８のスピンドルには、さらに、修正ツール４に回転力を与えるためにねじりモーメントＴが作用し、回転する修正ツール４が上下に微動する場合には、それに伴いスラスト方向の負荷も作用する。

このように駆動ローラー８が修正ツール４の外周面に直接回転力を与える構成では、そのスピンドルは過酷な負荷条件下に晒され疲労破壊を起こす危険性が高く、例えばローラーのスピンドルが破断若しくは大きく変形した場合には、修正ツール４はポリッシング盤１上の定位置での回転状態から解放され、装置の他の部分や被加工物等に衝突してポリッシング盤１上から落下する。このような事故では被加工物の巻込みによりポリシャ３の表面構造の損壊を招く場合が多く、精密工具である修正ツール４自身が落下で破壊されれば被害は甚大である。

また、メインテナンス作業時等に修正ツール４を持ち上げる場合には、小型のポリッシング装置では手で持ち上げることも可能であるが、中型乃至大型の装置では修正ツール４の重量は３０ｋｇ〜１００ｋｇ超となるため、図１０、図１１のように修正ツール４の上面に金属インサート１０を埋め込み、アイボルト又はユニバーサルジョイント等のアンカー材にチェーン、ワイヤ、棒材等を締結させ、ウィンチ、ネジ、エアシリンダ等で持ち上げる方法が採られている。修正ツール４の上面中央部には、金属インサート１０を埋め込むために中ぐり加工が施されるので、修正ツール４の中央部分は他の部分に比して肉薄となる。このため、修正ツール４がポリシャ３に与える圧力分布は中ぐり加工が施されない場合に対して微妙に異なることとなり、設計上意図した圧力分布が得られなくなってしまう。さらに、金属インサート１０は温度外乱に対して敏感であるため、これが埋め込まれた修正ツール４の修正面全体の曲率は一般に不安定となる。

ポリッシング装置は、従来、事前に別途の工作機械により平面研削又はラッピング等の加工がなされて平面度及び表面粗さが要求仕様程度に満たされた修正ツール４が、ポリッシング盤１の盤上に組み込まれて構成されていた。このような装置では、修正ツール４の形状が大きく損なわれた場合、又は減耗により修正ツール４の修正面側の面取りが失われた場合等には、修正ツール４をポリシッング盤１上から取り除いて専門の工場まで移送し、上記工作機械に設置して再加工しなければならない。修正ツール４はグラナイト、ガラス等の高脆性材によるものがほとんどであるため、このように工場等他の場所へ移送する際に相当の手間と注意とを要するという問題がある。

さらに、従来のポリッシング装置では、修正ツール４がポリシャ３に及ぼす圧力は調整不可能であるか、あるいは複数のエアシリンダや複動型エアシリンダを用いることにより調整可能となっていた（図１１参照）。修正ツール４の作用は既述のように、ポリシャ３の表面形状の局部的損壊を修復することと、その表面３ａの曲率調整を行うことであるが、前者については修正ツール４がポリシャ３に及ぼす圧力が、後者についてはその圧力に加えて修正ツール４の外径とポリシャ３の幅（リング幅）との寸法比が性能を支配する。このため、修正ツール４の及ぼす圧力は大きいほどよいようにも思われるが、その圧力の増大は一方でポリシャ３の塑性変形速度増大による工具寿命の短縮を招き、ポリシャ３と修正ツール４との摩擦力の増大に見合う装置剛性及び動力系に対する過大な冗長設計を要求する。修正ツール４は効果を奏すれば可能な限り軽量であることが望ましく、上記エアシリンダによる圧力調整機構は、軽量な修正ツール４によって適切な圧力を得られるという点で有益である。

しかしながら、このようなエアシリンダによる圧力調整機構では、ロッドとの連結に供するユニバーサルジョイント等を埋め込むために、修正ツール４の上面に中ぐり加工を施す必要があり、設計上意図した圧力分布が得られない等の上述した弊害が生じるおそれがある。

本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、修正ツールの加工や検査をポリッシング盤の近くで容易に行うことのできるポリッシング装置を提供することにある。

上記課題を解決するため、請求項１の発明は、被加工物をポリッシングするポリッシング盤と、該ポリッシング盤の表面形状を修正する円盤状の修正ツールと、該修正ツールの外周面に回転力を与えて該修正ツールを回転させる駆動ローラーとを有するポリッシング装置において、前記修正ツールを上下反転させる反転手段が設けられていることを特徴とする。

請求項１の発明によれば、一般に脆性が高く寸法・重量の大きい修正ツールを反転手段により上下反転させることができるので、修正ツールを反転させて行う必要のある修正面の加工や検査、測定等を、ポリッシング盤の近くで容易に実施することができる。

本発明に係るポリッシング装置を示す説明図である。図１のポリッシング装置の修正ツール保持部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は背面図、（ｃ）は側面図である。図２の修正ツール保持部の駆動リング及び摩擦駆動ローラーを拡大して示し、駆動リングが修正ツールを係止した状態を示す説明図である。図２の修正ツール保持部の駆動リング及び摩擦駆動ローラーを拡大して示し、修正ツールがリングポリシャ盤上にある状態を示す説明図である。修正ツール保持部が補助装置において上下反転した状態を示す説明図である。修正ツールの上面に液槽が設けられた状態を示す説明図である。ポリッシング盤上における修正ツールの作用を示す説明図である。従来のポリッシング装置であって、修正ツールをガイドローラーで保持するものを示す説明図である。従来のポリッシング装置であって、修正ツールを駆動ローラー及びガイドローラーで保持するものを示す説明図である。従来のポリッシング装置であって、修正ツールを駆動ローラー及びガイドローラーで保持し、その修正ツールがジャッキ装置により昇降可能なものを示す説明図である。従来のポリッシング装置であって、修正ツールを駆動ローラー及びガイドローラーで保持し、その修正ツールがエアシリンダ装置により昇降可能なものを示す説明図である。図８〜図１１のポリッシング装置においてガイドローラーに作用する負荷を示す説明図である。図９〜図１１のポリッシング装置において駆動ローラーに作用する負荷を示す説明図である。

本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

〔実施例１〕
図１は本発明に係るポリッシング装置の全体構成を示す。このポリッシング装置２０は、回転装置２１と、ポリッシング盤としてのリングポリシャ盤２２と、ダム２３と、ツルーイング装置２４と、補助装置２５とを備える。

リングポリシャ盤２２は回転装置２１により軸線Ｏ1まわりに回転し、被加工物であるガラス部材を研磨加工する。ダム２３は研磨加工中にリングポリシャ盤２２に供給される研磨液を保持する。ツルーイング装置２４はリングポリシャ盤２２のツルーイングに用いられ、修正ツール２６を保持する修正ツール保持部２７を備える。この修正ツール保持部２７については後に詳述する。

ツルーイング装置２４の筐体２８は正面視で門形を呈している。筐体２８の天井部２９には固定板３０が設けられ、固定板３０にはジャッキ装置３１が固定されている。筐体２８の側壁部３２ａ，３２ｂのそれぞれの内面側には、鉛直方向に延びる案内棒３３ａ，３３ｂが４本ずつ設けられている。側壁部３２ａ，３２ｂの対向空間には、ジャッキ装置３１により案内棒３３ａ，３３ｂに沿って上下動可能な昇降部３４が、リングポリシャ盤２２の一部に上方から臨むように設けられている。

筐体２８の底部にはレベル調整用のネジ脚３５が設けられている。このネジ脚３５により筐体２８の姿勢及びリングポリシャ盤２２に対する高さは適切に調整される。

昇降部３４は、略水平に直線状に延びる一対の案内軌道部材３６ａ，３６ｂと、案内軌道部材３６ａ，３６ｂに跨って両者を接続する接続板３７とを備える。案内軌道部材３６ａには案内棒３３ａが挿通され、案内軌道部材３６ｂには案内棒３３ｂが挿通され、接続板３７の中央部にはフランジ３８を介してジャッキ装置３１のネジ部３９が接続されている。このジャッキ装置３１では、ハンドル４０の回転操作による入力があると、その回転が図示を略すウォーム機構により減速することによってネジ部３９に大きな推力が与えられ、ネジ部３９が筐体２８に対して昇降する。昇降部３４はそのネジ部３９の昇降に伴い昇降し、鉛直方向の所定位置にセルフロックされる。

補助装置２５は修正ツール保持部２７を一時的に担持し、修正ツール２６の修正面の再加工に供する。図１では便宜上、修正ツール保持部２７がツルーイング装置２４側の通常位置にある場合に加えて、これが補助装置２５に担持されている様子も併せて示すが、実際には修正ツール保持部２７はツルーイング装置２４又は補助装置２５のいずれかの側にあればよい。また、同図では補助装置２５をツルーイング装置２４と離間させて示すが、両者は連結されていてもよい。

補助装置２５は、修正ツール保持部２７を担持しこれを上下反転させる反転部４１と、反転部４１を支持する架台４２とを備える。架台４２の底部にはキャスター４３が設けられ、不要なときには補助装置２５をツルーイング装置２４の側から他の場所へ容易に移動させることができるようになっている。架台４２の底部には、レベル調整用のネジ脚４４がさらに設けられている。このネジ脚４４は、補助装置２５の使用時にキャスター４３を床面から浮かせて架台４２の移動を不可とするとともに、架台４２の高さをツルーイング装置２４に合わせて調整するために用いられる。

反転部４１は、側板４５ａ，４５ｂ及びこれらを連結する連結板４６，４７により箱形に形成され、架台４２に軸支されている。この反転部４１は、ハンドル４８と、ハンドル４８からの回転入力を減速して出力するウォーム減速装置４９と、ウォーム減速装置４９の出力に基づき軸線Ｏ2まわりに回転する小径歯車と、小径歯車と噛合し且つ側板４５ａに直結された大径歯車とからなる回転機構により、軸線Ｏ3まわりに回転して反転する。その小径歯車及び大径歯車は安全カバー５０に覆われているので図示を省略する。

連結板４６には、後述する円盤形工具５１の径よりも大きな径をもつ円形開口５２が中央部に形成されている。連結板４６の箱形内側には、その円盤形工具５１をガイドするためのガイドローラー５３が円形開口５２の周方向に沿って複数取り付けられている。

側板４５ａ，４５ｂの箱形内側には、補助装置２５がツルーイング装置２４に連結された際に、昇降部３４の案内軌道部材３６ａ，３６ｂに連結されて一対の案内軌道５４ａ，５４ｂを形成する案内軌道部材５５ａ，５５ｂが設けられている。修正ツール保持部２７は、その案内軌道５４ａ，５４ｂに保持されて、ツルーイング装置２４と補助装置２５との間で移動することができるようになっている。

修正ツール保持部２７は、図２に示すように、基盤５６と、基盤５６の両側に左右対になるように設けられた計６個のガイドローラー５７と、ガイドローラー５７と同一形状を有するリング部材保持手段としてのガイドローラー５８と、リング部材としての駆動リング５９と、駆動ローラーとしての摩擦駆動ローラー６０とを有する。

ガイドローラー５７は上下対称形状であって２つの円錐面６１を有し、この円錐面６１で案内軌道５４ａ，５４ｂに形成された傾斜面６２（図１参照）と接するようになっている。すなわち、その円錐面６１に傾斜面６２が上下から当接することにより、ガイドローラー５７は案内軌道５４ａ又は５４ｂに保持され、これにより修正ツール保持部２７が案内軌道５４ａ，５４ｂに保持される。また、ガイドローラー５７が案内軌道５４ａ，５４ｂに対して転動することにより、修正ツール保持部２７は案内軌道５４ａ，５４ｂに沿って移動することができる。

基盤５６の中央部には円形状の開口６３が形成され、ガイドローラー５８はその開口６３の周方向に沿って９０°ごとに計４個設けられている。ガイドローラー５８もガイドローラー５７と同様に、上下に円錐面６４を有する。

駆動リング５９は基盤５６の開口６３に設けられ、駆動リング５９の外周面の上下には傾斜面６５が形成されている。ガイドローラー５８はその傾斜面６５に円錐面６４で当接することによって、駆動リング５９の上下動を規制するようにその外周面に係合し、駆動リング５９を基盤５６上の定位置に保持する。但し、ガイドローラー５８は駆動リング５９に対して転動可能であるので、駆動リング５９はその定位置において回転することができる。

駆動リング５９の内周面には、保持部としての駆動棒６６が周方向に沿って等間隔に複数個（ここでは１８個）設けられている。駆動棒６６は上下方向に延び、その下端部には駆動リング５９の中心に向けて突出する突起部６７が形成されている。修正ツール２６は、その突起部６７により保持されている。

摩擦駆動ローラー６０は電動機６８により回転し、自らの回転を駆動リング５９の外周面に伝えて駆動リング５９を回転させ、これを介して修正ツール２６を回転させる。電動機６８は基盤５６に対して位置調整可能な電動機固定板６９に固定され、電動機６８の回転力は駆動側プーリー７０、タイミングベルト７１、従動側プーリー７２を介して摩擦駆動ローラー６０に伝達される。この実施例では、その電動機固定板６９の基盤５６に対する位置を調整することにより、タイミングベルト７１の張りが調整されるようになっている。なお、図２において、７３は基盤５６の補強用リブを、７４は安全カバーを、１１０はツルーイング装置２４及び補助装置２５にそれぞれ設けられた送りネジ１１１に固定するためのブラケットを示す。

図３及び図４は、駆動リング５９及び摩擦駆動ローラー６０の詳細構造を示す。駆動リング５９は、リング本体７５にネジ７６により駆動棒６６が固定されてなる。駆動棒６６の下部は開口６３を通じて基盤５６の下方に突出している。駆動棒６６の下端部には、調整用座金７７を介してゴム部材７８がネジ７９により取り付けられ、これにより突起部６７が形成されている。一方、修正ツール２６は、修正面８０を有する円盤状のツール本体部８１と、ツール本体部８１よりも大径に形成されたフランジ部８２とからなり、本体部８１の外周面と駆動棒６６との間の距離が調整用座金７７により１〜２ｍｍとなるように調整されている。

摩擦駆動ローラー６０は、基盤５６上に固定された固定軸８３にボールベアリング８４を介して回転部８５が取り付けられ、この回転部８５に回転軸部８６を介して従動側プーリー７２が締結されることにより構成されている。詳細には、固定軸８３はネジ８７により取付フランジ８８に取り付けられ、この取付フランジ８８がネジ８９により基盤５６上に固定されている。ボールベアリング８４は固定軸８３の外周の上下にそれぞれ設けられ、２つのボールベアリング８４の間にはスペースカラー９０，９１が介装されている。回転部８５はボールベアリング８４及びスペースカラー９１の外周に設けられ、その外周面には断面Ｖ字状の溝９２が全周に及ぶように複数形成されている。各溝９２にはＯリング９３が取り付けられ、このＯリング９３が駆動リング５９の外周面の傾斜面６５でない部分、すなわち、リング本体７５の外周面の円柱面状の部分と接して摩擦により回転力を伝達する。回転軸部８６はその軸９４が固定軸８３と同軸となるように、回転部８５の上部にネジ９５により固定されている。従動側プーリー７２には回転軸部８６の軸９４が同軸となるように嵌挿され、平行キー９６及び固定ネジ９７により従動側プーリー７２と回転軸部８６とが締結されている。

この修正ツール保持部２７では、研磨加工時においては、摩擦駆動ローラー６０による駆動リング５９の回転駆動に伴い修正ツール２６が回転するように、突起部６７のゴム部材７８がツール本体部８１の外周面に弾接してこれに回転力を与える（図４）。また、研磨加工時には、突起部６７とフランジ部８２との間隔ｈは３ｍｍ以上となっている。一方、ジャッキ装置３１により昇降部３４が上昇し、これに伴い修正ツール保持部２７が上昇する場合には、突起部６７がフランジ部８２に係止して修正ツール２６が持ち上げられる（図３）。

リングポリシャ盤２２上にある修正ツール保持部２７を補助装置２５に移送して、修正ツール２６の修正面８０を加工する場合には、昇降部３４を所定の高さまで上昇させた後、その案内軌道部材３６ａ，３６ｂと反転部４１の案内軌道部材５５ａ，５５ｂとのアライメントを行って一対の案内軌道５４ａ，５４ｂを形成し、この案内軌道５４ａ，５４ｂに沿って修正ツール保持部２７を補助装置２５側に移動させる。

具体的には、まずキャスター４３によりツルーイング装置２４に対する補助装置２５の位置決めをして、そのレベル調整をネジ脚４４により行う。つぎに、ジャッキ装置３１により昇降部３４を所定の高さまで上昇させるとともに、修正ツール保持部２７の受け入れ態勢を整えるべく回転機構により反転部４１の角度調整を行う。この際、円形開口５２が形成された連結板４６が下方に、連結板４７が上方にくるように反転部４１の上下の向きを合わせる。

このようにして案内軌道５４ａ，５４ｂを形成した後、これに沿って修正ツール保持部２７を補助装置２５の側に移動させるが、このとき、基盤５６のブラケット１１０をツルーイング装置２４側の送りネジ１１１のナットから外し、修正ツール保持部２７を補助装置２５の任意の位置まで滑り込ませ、そのブラケット１１０を補助装置２５側の送りネジ１１１のナットと接続する。

また、補助装置２５において修正ツール保持部２７は反転部４１により上下反転させられるが、この反転時の修正ツール２６の落下を防止するため、駆動棒６６には図５に示すようにゴム板９８が貼着された支持片９９があらかじめネジ止めされている。支持片９９はすべての駆動棒６６について設ける必要はないが、これを複数の駆動棒６６に設けることにより、反転時の修正ツール２６は下方から支持されて落下が防止される。

修正ツール２６の修正面８０の再加工は、反転部４１により修正ツール保持部２７を反転させた状態で、ラッピング及びポリッシング用の円盤形工具５１を円形開口５２を通じて修正面８０上に載置し、電動機６８により修正ツール２６を回転させて行われる。修正ツール２６が回転すると、円盤形工具５１はガイドローラー５３により一定位置に保持されているので、修正面８０上でつれ回りしてこれを加工する。修正ツール２６と円盤形工具５１との相対的な位置関係は、前述の送りネジ１１１により自由に規定することができるので、両者の接触面の図心と円盤形工具５１の重心との心ずらしを調整することができ、円盤形工具５１の運動軌跡に変化を与えることもできる。なお、この加工時に使用した研磨液は、着脱容易で簡易な構成の円環型容器１００（図１参照）に保持されて、修正ツール２６からこぼれ落ちないようになっている。

この実施例に係るポリッシング装置２０では、摩擦駆動ローラー６０は駆動リング５９を介して修正ツール２６を回転させるが、ガイドローラー５８が駆動リング５９の外周面に接して駆動リング５９の横方向（ラジアル方向）の移動を規制するので、修正ツール２６からのラジアル荷重、モーメント荷重はガイドローラー５８に吸収される。このため、摩擦駆動ローラー６０は専ら駆動リング５９に回転力を与えるだけでよく、駆動リング５９を保持する役割を果たす必要がないため、摩擦駆動ローラー６０には回転力の伝達に必要な予圧だけがラジアル方向に定常的に作用する。さらに、この予圧に基づくせん断力は２つのボールベアリング８４により上下に分割されて固定軸８３に伝達されるので、固定軸８３や取付フランジ８８に作用する曲げモーメントは微小に抑制される。

また、ガイドローラー５８は円錐面６４により駆動リング５９の傾斜面６５に係合し、駆動リング５９の上下動を規制するとともに、摩擦駆動ローラー６０はその傾斜面６５と接触しないように構成されているので、修正ツール２６からのスラスト荷重はすべてガイドローラー５８に吸収され、摩擦駆動ローラー６０への伝達が防止される。

このように摩擦駆動ローラー６０に作用する負荷が最小限に抑えられていることにより、ポリッシング装置２０の耐久性は向上し、且つ、その疲労破壊の発生も効果的に抑制される。

修正ツール２６の昇降は、そのフランジ部８２に駆動棒６６の突起部６７が係止して行われるので、修正ツール２６に対する中ぐり加工や金属インサートの埋込み等は不要となる。このため、修正ツール２６がリングポリシャ盤２２に及ぼす圧力分布や修正ツール２６の修正面８０の曲率を設計上意図したものとすることができ、ひいてはリングポリシャ盤２２の表面形状を安定的に保つことができる。

修正ツール保持部２７は、案内軌道５４ａ，５４ｂ及びガイドローラー５７により補助装置２５に容易に移送することができ、この補助装置２５では、反転部４１によりそれを容易に上下反転させ再加工することができるので、修正ツールを工場等に移送していた従来に比して、著しく効率的に修正ツールの再加工を行うことができる。この際、修正ツール２６及び摩擦駆動ローラー６０等は修正ツール保持部２７として一体に移送されるので、補助装置２５の側に別途駆動装置を設けることなく修正ツール２６を回転させることができる。なお、このように修正ツール２６の移動、反転が容易であるということは、修正面８０の再加工に限らず検査、測定等においても非常に有利である。

〔実施例２〕
本実施例に係るポリッシング装置は、実施例１に係るポリッシング装置２０の修正ツール２６の上面に薄肉円筒１０１を設けることにより構成されるが（図１枠内参照）、全体構成等については同様であるので説明を省略する。

図６に示すように、修正ツール２６の上面には、薄肉円筒１０１が水密となるようにシリコンゴム１０２により接着され、これによりその上面を底面とする液槽１０３が構成されている。この液槽１０３には、液面保持手段としての液面保持装置１０４が設けられている。

液面保持装置１０４は、図示を略すポンプの加圧送液した液体を導入する液体導入管１０５に接続され、液体導入管１０５からの液体を液槽１０３内に吐出する吐出管１０６と、液槽１０３内の液体１０７の液面高さに反応し、内蔵電磁弁を動作制御するフロートスイッチ１０８とを備える。

この実施例に係るポリッシング装置では、液槽１０３に入れられる液体１０７の重さにより上面を加圧される修正ツール２６が、その液体１０７の量に応じた強さでリングポリシャ盤２２を加圧するので、修正ツール２６に中ぐり加工を施すことなく、それがリングポリシャ盤２２に及ぼす圧力を調整することができる。

また、その修正ツール２６の上面形状がいびつであったとしても、液体１０７により上面に作用する圧力ｐはパスカルの原理に従い一様となるため、修正ツール２６の上面形状はリングポリシャ盤２２に及ぼす圧力には影響せず、リングポリシャ盤２２をムラなく加圧することができる。

さらに、液体１０７の量が減少してその液面高さが低下すると、液面保持装置１０４が電磁弁を解放してフロートスイッチ１０８が液面を検知するまで吐出管１０６から液体を吐出する。これにより、液体１０７の液面高さはあらかじめ設定された一定値に保持され、液体１０７の修正ツール２６の上面に対する加圧力、修正ツール２６のリングポリシャ盤２２に対する加圧力を安定させることができる。

なお、液面保持装置１０４には図示するように、液体１０７を吸い込む吸込管１０９が付加されていてもよく、これにより温度制御された液体を循環させつつ液体１０７の液面高さを一定に保持することができる。

２０ポリッシング装置
２２リングポリシャ盤（ポリッシング盤）
２６修正ツール
４１反転部（反転手段）
６０摩擦駆動ローラー（駆動ローラー）

Claims

被加工物をポリッシングするポリッシング盤と、該ポリッシング盤の表面形状を修正する円盤状の修正ツールと、該修正ツールの外周面に回転力を与えて該修正ツールを回転させる駆動ローラーとを有するポリッシング装置において、前記修正ツールを上下反転させる反転手段が設けられていることを特徴とするポリッシング装置。