JP2009274158A - 微細可動デバイス及びその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基体上に、可動部(可動子42)と、その可動部に連結されて双安定動作をする変形部材(ヒンジ41)と、可動部を駆動する主アクチュエータとを備え、その主アクチュエータによって可動部が2つの安定状態間を変位する微細可動デバイスにおいて、変形部材にその2つの安定状態の間に存在するエネルギー障壁を一時的に下げるエネルギー障壁低下手段を設ける。
【選択図】図1
Description
各ヒンジ41の長さを1mmとし、また図4中に示した各部の寸法を下記とする。
ばね部51の長さ:L2=302μm
ばね部51の幅 :W2=4μm
連結部53の幅 :W3=5μm
可動平板電極54・固定平板電極55の対向幅:W4=300μm
可動平板電極54・固定平板電極55間の間隙: G =1.5μm
なお、これらヒンジ41、ばね部51、連結部53及び可動平板電極54の厚さ(高さ)はSOI基板のデバイス層厚=100μmとなっている。
例えば、光スイッチを図1に示した第1の安定状態を初期状態として作製した場合、第1の安定状態ではヒンジ41にストレスはほとんど存在していないが、双安定となる第2の安定状態ではヒンジ41が初期状態(第1の安定状態)から変形しているため、ストレスを内包している。即ち、第1の安定状態より第2の安定状態の方が高いエネルギーを内包している。従って、双安定な2つの安定状態の間に存在するエネルギー障壁を取り除いてやれば、可動子42はより低いエネルギー状態である第1の安定状態に自発的に変位することになる。
Claims (4)
- 基体上に、可動部と、その可動部に連結されて双安定動作をする変形部材と、可動部を駆動する主アクチュエータとを備え、その主アクチュエータによって可動部が2つの安定状態間を変位する微細可動デバイスにおいて、
前記変形部材に、その2つの安定状態の間に存在するエネルギー障壁を一時的に下げるエネルギー障壁低下手段が設けられていることを特徴とする微細可動デバイス。 - 請求項1記載の微細可動デバイスにおいて、
前記エネルギー障壁低下手段は、前記変形部材の前記可動部に連結されていない側の端部を一時的に変位させる第2のアクチュエータよりなることを特徴とする微細可動デバイス。 - 請求項2記載の微細可動デバイスにおいて、
前記変形部材は座屈型のヒンジとされ、
そのヒンジの前記可動部に連結されていない側の端部は両端を固定された板ばね状のばね部の腹に連結されており、
そのばね部の腹の前記ヒンジが連結されている側とは反対側に可動平板電極が連結され、
その可動平板電極と対向して固定平板電極が設けられ、
前記第2のアクチュエータは前記可動平板電極と前記固定平板電極とで構成される並行平板型の静電アクチュエータとされていることを特徴とする微細可動デバイス。 - 前記変形部材の2つの安定状態の一方が他方よりも相対的に高いエネルギーをもつような請求項1記載の微細可動デバイスを駆動する方法であって、
前記変形部材のエネルギーの高い安定状態から低い安定状態に前記可動部を変位させる際には、前記主アクチュエータを動作させず、前記エネルギー障壁低下手段によるエネルギー障壁の一時的な低下だけで変位させることを特徴とする微細可動デバイスの駆動方法。
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