JP2009272142A - ハーメチックシール部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】貫通孔1dが形成された金属材料からなる保持部材1を焼成治具に5に載置して立設保持し、貫通孔に接続ピン12を挿通し貫通孔の内周面と接続ピンとの間をガラス15で封止するハーメチックシール部品の製造方法において、接続ピン12の中間部分の外周面にガラス15を固定して形成した中間組立体16を保持部材の貫通孔に挿通し、かつ焼成治具の保持部材を載置する面と中間組立体のガラスの対向する端面15aとの間に隙間Sを設けた状態で保持部材を加熱してガラスを軟化させて貫通孔の内周面との間を封止する。
【選択図】図3
Description
貫通孔が形成された金属材料からなる保持部材を焼成治具に載置して立設保持し、前記貫通孔に接続ピンを挿通し前記貫通孔の内周面と接続ピンとの間をガラスで封止するハーメチックシール部品の製造方法において、
前記接続ピンの中間部分の外周面にガラスを固定して形成した中間組立体を前記保持部材の貫通孔に挿通し、かつ前記焼成治具の前記保持部材を載置する面と前記中間組立体のガラスの対向する端面との間に隙間を設けた状態で前記保持部材を加熱して前記ガラスを軟化させて前記貫通孔の内周面との間を封止することを特徴としている。
前記中間組立体は、所定の長さのガラス管に前記接続ピンを挿通させて両端部分を露出させ、加熱して前記ガラス管を軟化させて当該ガラス管の内周面を前記接続ピンの外周面に密着固定したことを特徴としている。
前記中間組立体は、中心に貫通孔を有する円板状の厚板ガラスを複数重ねて所定の長さに形成して前記接続ピンを挿通させて両端部分を露出させ、加熱して前記ガラスを軟化させて当該ガラスの貫通孔の内周面を前記接続ピンの外周面に密着固定したことを特徴としている。
前記保持部材を、前記中間組立体のガラスを軟化させる温度よりも高い温度で加熱して前記貫通孔内に挿入された前記中間組立体のガラスを軟化させることを特徴としている。
前記保持部材を、不活性ガスと水素ガスとの混合ガスの雰囲気中で加熱して前記水素ガスによる還元作用により前記保持部材の表面に酸化スケールが付着することを抑制するようにしたことを特徴としている。
金属材料からなる保持部材の貫通孔に接続ピンを挿通し前記貫通孔の内周面と接続ピンとの間をガラスで封止した構造のハーメチックシール部品に用いる中間組立体であって、
前記中間組立体は、前記接続ピンと、前記接続ピンの両端部を突出させた状態で当該接続ピンの外周面に接合されかつ前記貫通孔に挿通可能なガラスとからなることを特徴としている。
1a 上面
1b 凹部
1c 底面
1d 貫通孔
1e 下面
2 ガラス管
2a 下端面
3 接続ピン
3a 下端面
5 (ハーメチックシール用)焼成治具
5a 上面
5b 凹部
5c 底面
5d 突起部
5e ピン穴
5f 突起部の上面
5h 突起部の底面
6 (ハーメチックシール用)焼成治具
6a 下面
6b,6c 凹部
6d 底面(天井)
6e ピン孔
11 プレート(焼成治具)
11a 上面
11b 下面
11c ピン穴
11d 底面
12 接続ピン
12a 下端部分
12b 上端部分
12c 中間部分
12d 下端面
13 封止ガラス(タブレットガラス)
13a 下端面
13b 上端面
14 ガラス管
14a 下端面
14b 上端面
15 ガラス
15a 下端面(表面)
16 中間組立体
d プレートのピン穴の深さ
h タブレットガラスの高さ
H ガラス管の高さ
La 接続ピンの下端部分の長さ
Lb 接続ピンの上端部分の長さ
Lc 接続ピンの中間部分の長さ
S 隙間
Claims (6)
- 貫通孔が形成された金属材料からなる保持部材を焼成治具に載置して立設保持し、前記貫通孔に接続ピンを挿通し前記貫通孔の内周面と接続ピンとの間をガラスで封止するハーメチックシール部品の製造方法において、
前記接続ピンの中間部分の外周面にガラスを固定して形成した中間組立体を前記保持部材の貫通孔に挿通し、かつ前記焼成治具の前記保持部材を載置する面と前記中間組立体のガラスの対向する端面との間に隙間を設けた状態で前記保持部材を加熱して前記ガラスを軟化させて前記貫通孔の内周面との間を封止することを特徴とするハーメチックシール部品の製造方法。 - 前記中間組立体は、所定の長さのガラス管に前記接続ピンを挿通させて両端部分を露出させ、加熱して前記ガラス管を軟化させて当該ガラス管の内周面を前記接続ピンの外周面に密着固定したことを特徴とする、請求項1に記載のハーメチックシール部品の製造方法。
- 前記中間組立体は、中心に貫通孔を有する円板状の厚板ガラスを複数重ねて所定の長さに形成して前記接続ピンを挿通させて両端部分を露出させ、加熱して前記ガラスを軟化させて当該ガラスの貫通孔の内周面を前記接続ピンの外周面に密着固定したことを特徴とする、請求項1に記載のハーメチックシール部品の製造方法。
- 前記保持部材を、前記中間組立体のガラスを軟化させる温度よりも高い温度で加熱して前記貫通孔内に挿入された前記中間組立体のガラスを軟化させることを特徴とする、請求項1乃至請求項3の何れかに記載のハーメチックシール部品の製造方法。
- 前記保持部材を、不活性ガスと水素ガスとの混合ガスの雰囲気中で加熱して前記水素ガスによる還元作用により前記保持部材の表面に酸化スケールが付着することを抑制するようにしたことを特徴とする、請求項1又は請求項4に記載のハーメチックシール部品の製造方法。
- 金属材料からなる保持部材の貫通孔に接続ピンを挿通し前記貫通孔の内周面と接続ピンとの間をガラスで封止した構造のハーメチックシール部品に用いる中間組立体であって、
前記中間組立体は、前記接続ピンと、当該接続ピンの両端部を突出させた状態で当該接続ピンの外周面に接合されかつ前記貫通孔に挿通可能なガラスとからなることを特徴とする中間組立体。
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JP2008121591A JP5121015B2 (ja) | 2008-05-07 | 2008-05-07 | ハーメチックシール部品の製造方法 |
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JP2008121591A Active JP5121015B2 (ja) | 2008-05-07 | 2008-05-07 | ハーメチックシール部品の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016219658A (ja) * | 2015-05-22 | 2016-12-22 | アズビル株式会社 | ハーメチックシール部品 |
KR102530167B1 (ko) * | 2022-11-24 | 2023-05-08 | 양성희 | Sus 튜브 내 유리막 브레이징 방법 |
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-
2008
- 2008-05-07 JP JP2008121591A patent/JP5121015B2/ja active Active
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JP5121015B2 (ja) | 2013-01-16 |
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