JPH0410372A - 気密端子の製造方法 - Google Patents

気密端子の製造方法

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Publication number
JPH0410372A
JPH0410372A JP11194590A JP11194590A JPH0410372A JP H0410372 A JPH0410372 A JP H0410372A JP 11194590 A JP11194590 A JP 11194590A JP 11194590 A JP11194590 A JP 11194590A JP H0410372 A JPH0410372 A JP H0410372A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
sealing
height
metal outer
inner diameter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11194590A
Other languages
English (en)
Inventor
Tsutomu Okuda
奥田 勉
Koichi Komoda
薦田 孝一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd, Kansai Nippon Electric Co Ltd filed Critical Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Priority to JP11194590A priority Critical patent/JPH0410372A/ja
Publication of JPH0410372A publication Critical patent/JPH0410372A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産l上二五且分此 この発明は金属外環の内径に比較してガラス封止高さが
2.5倍以上大きい気密端子の製造方法に関する。
従】匡1月1 気密端子は、一般に、第5図および第6図に示すように
、金属外環1内にガラス2を介してリード線3を気密絶
縁的に封着した構造を有する。
ところが、用途によっては、ガラス2の外径りに比較し
て、その封止高さHが大きいものが要求される場合があ
ったが、ガラスタブレットのプレス成型の都合上、H/
D=2.5が製造限度であった。
そのため、H/D>2.5の気密端子を製造する場合に
、第7図に示すように、プレス成型の可能な高さの低い
複数個のガラスタブレッ)2a。
2bを積み重ねて封着することも考えられるが(特公昭
5[i −8498号公報)、ガラス2の封着高さHが
大きい場合は、封着後のガラス2に、第8図に示すよう
に径方向の気泡4がパックされやすく、耐電圧不良が発
生しやすいという問題点があった。
また、第9図ないし第12図に示すように、封着工程を
複数化した場合においても(特開昭61−245482
号公報)、第10図に示すように一次封着工程において
封着されたガラス14bが金属外環13内面へ這い上が
るため、その上に乗せる第2のガラスタブレット14c
との間に隙間を生じ、二次封着工程において気泡16が
パックされるという上記と同様の問題点があった。
−−の この発明は、段部を介して複数個のシール内径(D2 
>Dt >を有する金属外環内の高さHlと内径D1部
に高さhiと外径d、の比が2.5未満の第1のガラス
タブレットを配置して加熱することにより、第1のガラ
スタブレットを溶融させて段部まで封着し、第1のガラ
ス面を平坦とする一次封着工程と、金属外環内の前記第
1のガラス上の高さH2と内径D2部に、高さh2と外
径d2の比hz/dzが2.5未滴の第2のガラスタブ
レットを溶融させて封着する二次封着工程とを有するこ
とを特徴とするものである。
上記の構成によれば、−次封着工程で、第1のガラスタ
ブレットが溶融する際に段部によって金属外環内面への
這い上がりが抑制されるので、封着後のガラス面がフラ
ットとなり、第2のガラスタブレットを隙間を生ずるこ
となく組立てられるため、二次封着工程で第2のガラス
タブレットを溶融する際、気泡がパックされることなく
、ガラス封着高さHと外径りの比H/Dが2.5以上の
気密端子を製造することができる。
尖五医 以下、この発明の一実施例について第1図ないし第4図
を参照して説明する。
第1図において、1oはグラファイト製の封着治具で、
金属外環の嵌挿用の凹部11とリード線挿入用の孔12
とを有する。23は金属外環で、第2図に示すように、
その高さHと内径D□およびD2との比H/D、および
H/ D 2は2.5以上に設定されている。23aは
その内径の差(D2  Dt)により形成される段部で
ある。
24aは金属外環23内の内径D1部分に挿入配置され
た第1のガラスタブレットで、その高さhlと外径d1
の比り、/dユは2.5未満である。この状態で、全体
を中性または弱還元性雰囲気中において、約1000℃
に加熱すると、第1のガラスタブレッ)24aが溶融し
て、第2図に示すように、第1のガラス24bを介して
、リード線25が封着される。この時第1のガラス24
bは段部23aより金属外環23の内面を上部へ這い上
がることなく、上面はフラットとなる。
次に、第3図に示すように、前記第1のガラス24bの
上に第2のガラスタブレット24cを載置する。この第
2のガラスタブレット24cの高さh2と外径d2 (
>dt)の比h2/d2 は2.5未満である。この第
2のガラスタブレット24cと第1のガラス24bの間
には隙間ができないので、この状態で全体を中性または
弱還元性雰囲気中において約1000″Cで加熱すると
、第4図に示すようにガラス24の封着高さHと外径り
の比H/Dが2.5以上の気密端子が、気泡のパックな
しに製造できる。
なお、第2図ないし第4図においては、封着治具10の
図示を省略している。
また、上記実施例は、第1.第2のガラスタブレット2
4 as 24 cを用いる場合について説明したが、
ガラス24の封着高さHと外径りの比がさらに大きい場
合には、3個以上の内径の金属外環および3個以上のガ
ラスタブレットを用いてもよい。
光匪盆熱果 この発明によれば、金属外環の内径差により形成される
段部を利用して、−次封着工程でガラス上面を平坦にで
きることにより、ガラス封着高さHと外径りの比H/D
が2.5以上の気密端子を気泡がパックされることなく
製造できる。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第4図はこの発明の一実施例の気密端子の
製造方法について説明するための断面図で、第1図は一
次封着工程前の組立状態の断面図、第2図は一次封着工
程後の断面図、第3図は二次封着工程前の組立状態の断
面図、第4図は二次封着工程後の断面図である。 第5図は、気密端子の平面図で、第6図は第5図のVI
−VI線に沿う断面図である。 第7図は従来の製造方法について説明するための封着工
程前の組立状態の断面図で、第8図は封着後の断面図で
ある。 第9図は従来の他の製造方法について説明するための一
次封着前の組立状態の断面図、第10図は一次封着後の
断面図、第11図は二次封着前の組立状態の断面図、第
12図は二次封着後の断面図である。 23・・・金属外環、 23a・・・段部、 24・・・ガラス、 24a・・・第1のガラスタブレット、24b・・・第
1のガラス、

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  金属外環内に、ガラス封着高さHと外径Dの比が2.
    5以上のガラスを介してリード線を気密絶縁的に封着し
    てなる気密端子を製造する際に、金属外環内に高さHi
    と外径Diとの比Hi/Diが2.5未満となるガラス
    シール部を段部を介して複数個形成し、内径Diの小さ
    な部分から前記段部まで順次封着を行うことを特徴とす
    る気密端子の製造方法。
JP11194590A 1990-04-26 1990-04-26 気密端子の製造方法 Pending JPH0410372A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6655540B2 (en) 1998-12-16 2003-12-02 Fujitsu Limited Strap attaching structure and electronic apparatus
JP2009272142A (ja) * 2008-05-07 2009-11-19 Yamatake Corp ハーメチックシール部品の製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6655540B2 (en) 1998-12-16 2003-12-02 Fujitsu Limited Strap attaching structure and electronic apparatus
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