JPS61294737A - 真空容器の封止方法 - Google Patents
真空容器の封止方法Info
- Publication number
- JPS61294737A JPS61294737A JP13596285A JP13596285A JPS61294737A JP S61294737 A JPS61294737 A JP S61294737A JP 13596285 A JP13596285 A JP 13596285A JP 13596285 A JP13596285 A JP 13596285A JP S61294737 A JPS61294737 A JP S61294737A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brazing
- brazing material
- vacuum
- endboard
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
- H01J9/385—Exhausting vessels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、真空管あるいは放電管などの真空容器の封
止方法に関するものである。
止方法に関するものである。
第７図は封止前のまた第８図は封止後の従来の真空容器
の封止方法の一例を示す断面図である◇第７図において
、（１）は銅合金などの電気導体で形成され軸芯および
この軸芯に直交してドリルなどで穿設された孔（１ａ）
、 （１ｂ）を有したロッドＡ１（２）は銅合金など
の電気導体で形成されたロッドＢ１（３）および（４）
は薄板を成形加工したそれぞれ端板Ａおよび端板Ｂ、（
５）は例えばセラミックスのような絶縁材で形成された
絶縁筒、（６）は薄板を７レアー状に成形した内一端板
、（７）はこの内部端板（６）と端板Ｂ（４）との間に
介装されたベローズ管、（８）はロッドＡ（１）に穿設
された孔（１ａ）に嵌合した排気管、Ｑｌ）〜αηは図
示の各部分をロウ付するためのリング状のロウ材である
。また、（２１）は容器内部を真空排気する際の気体分
子の流れる方向を示しているＯ 上記のようにロウ付前に構成された真空容器の部材を、
８００〜１１００℃の温度で加熱してロウ材α１）〜０
ηを設けた各部分のロウ材を行なってから常温まで冷却
し、次いで、排気管（８）に図示のない排気装置を接続
して５００〜６００℃の温度で再加熱を行ない、上記排
気装置を作動して所定の圧力に達したら排気管（８）を
圧接して封止する。この封止後に第８図に示すように１
０ツドＡ （１）の上端に保護キャップ（９）を固着し
て封止部を覆うように々っている。
の封止方法の一例を示す断面図である◇第７図において
、（１）は銅合金などの電気導体で形成され軸芯および
この軸芯に直交してドリルなどで穿設された孔（１ａ）
、 （１ｂ）を有したロッドＡ１（２）は銅合金など
の電気導体で形成されたロッドＢ１（３）および（４）
は薄板を成形加工したそれぞれ端板Ａおよび端板Ｂ、（
５）は例えばセラミックスのような絶縁材で形成された
絶縁筒、（６）は薄板を７レアー状に成形した内一端板
、（７）はこの内部端板（６）と端板Ｂ（４）との間に
介装されたベローズ管、（８）はロッドＡ（１）に穿設
された孔（１ａ）に嵌合した排気管、Ｑｌ）〜αηは図
示の各部分をロウ付するためのリング状のロウ材である
。また、（２１）は容器内部を真空排気する際の気体分
子の流れる方向を示しているＯ 上記のようにロウ付前に構成された真空容器の部材を、
８００〜１１００℃の温度で加熱してロウ材α１）〜０
ηを設けた各部分のロウ材を行なってから常温まで冷却
し、次いで、排気管（８）に図示のない排気装置を接続
して５００〜６００℃の温度で再加熱を行ない、上記排
気装置を作動して所定の圧力に達したら排気管（８）を
圧接して封止する。この封止後に第８図に示すように１
０ツドＡ （１）の上端に保護キャップ（９）を固着し
て封止部を覆うように々っている。
なお、他の従来例として例えば特願昭５９−２０２０３
７号明細書に示すような真空容器の封止方法がある。こ
の方法は、ロッドＡの段部の上方に溝を設け、この溝お
よび段部にロウ材をそれぞれ嵌入して端板Ａを係止し、
また、絶縁筒の上端部にロウ材を載置して、真空加熱排
気装置内で加熱しながら排気すると、ロウ材の溶融とと
もにウェイトの作用によシ端板Ａが下降して、その下端
面がロッドＡの段部および絶縁筒の上端部に到達し、ロ
ウ材と真空排気とが同時に行なわれるようＫなっている
。
７号明細書に示すような真空容器の封止方法がある。こ
の方法は、ロッドＡの段部の上方に溝を設け、この溝お
よび段部にロウ材をそれぞれ嵌入して端板Ａを係止し、
また、絶縁筒の上端部にロウ材を載置して、真空加熱排
気装置内で加熱しながら排気すると、ロウ材の溶融とと
もにウェイトの作用によシ端板Ａが下降して、その下端
面がロッドＡの段部および絶縁筒の上端部に到達し、ロ
ウ材と真空排気とが同時に行なわれるようＫなっている
。
〔発明が解決しようとする間頌点〕
上記のような第１の従来の真空容器の封止方法では、ロ
ウ付後の真空排気の際に真空容器を５００〜６００℃の
温度で加熱しているので、真空容器を構成している金属
部材、例えばロッドＡ（１）、ロッドＢ（２）、端板Ａ
（３） 、端板Ｂ（４）などの表面に酸化皮膜が形成
されて、これの除去が必要となるとともに１排気管（８
）を封止してからこの封止部に保護牛ヤツプ（９）をロ
ッドＡ （１） Ｋ固着して覆うために、真空容器の外
部に不必要な突出部が生じるなどの問題があった。また
、第２の従来の封止方法のように加熱中に真空排気を行
なう場合は、真空加熱 −排気装置の作動による振動の
影響で、ロウ付前に各部材が位置ずれを生じ、特にロウ
材が所定の位置から外れて端板囚と絶縁筒とのロウ材が
できなくなるような問題があった。
ウ付後の真空排気の際に真空容器を５００〜６００℃の
温度で加熱しているので、真空容器を構成している金属
部材、例えばロッドＡ（１）、ロッドＢ（２）、端板Ａ
（３） 、端板Ｂ（４）などの表面に酸化皮膜が形成
されて、これの除去が必要となるとともに１排気管（８
）を封止してからこの封止部に保護牛ヤツプ（９）をロ
ッドＡ （１） Ｋ固着して覆うために、真空容器の外
部に不必要な突出部が生じるなどの問題があった。また
、第２の従来の封止方法のように加熱中に真空排気を行
なう場合は、真空加熱 −排気装置の作動による振動の
影響で、ロウ付前に各部材が位置ずれを生じ、特にロウ
材が所定の位置から外れて端板囚と絶縁筒とのロウ材が
できなくなるような問題があった。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、再加熱による金属表面の酸化皮膜の形成が
なく、かつ真空容器の外部に不必要な突出部が残ること
のない封止方法を得ることを目的とする。
れたもので、再加熱による金属表面の酸化皮膜の形成が
なく、かつ真空容器の外部に不必要な突出部が残ること
のない封止方法を得ることを目的とする。
この発明に係る真空容器の封止方法は、容器の中央部の
ロッドおよび容器の外層部の絶縁筒と、これらの空間部
を閉塞する端板とのロウ材のために、円周上の３〜４ケ
所で上・方、下方へ折夛曲げた突起を設け、この下方の
突起が絶縁筒の上端部に係合するように形成された環状
のロウ材板を絶縁筒上に載置し、上方の突起によって端
板と絶縁筒上端間に空隙が形成された状態で、真空力■
熱排気装置内において加熱しなからロウ材と容器内の排
気とを同時に行うものである。
ロッドおよび容器の外層部の絶縁筒と、これらの空間部
を閉塞する端板とのロウ材のために、円周上の３〜４ケ
所で上・方、下方へ折夛曲げた突起を設け、この下方の
突起が絶縁筒の上端部に係合するように形成された環状
のロウ材板を絶縁筒上に載置し、上方の突起によって端
板と絶縁筒上端間に空隙が形成された状態で、真空力■
熱排気装置内において加熱しなからロウ材と容器内の排
気とを同時に行うものである。
絶縁筒上に載置した環状ロウ材板に設けた上方の突起に
よって形成される絶縁筒上端面と、端板との空隙のため
に容易に容器内が所定の真空度に達する。また、下方に
折り曲げて設けた突起によって振動などの影響を受けず
に環状ロウ材板が確実に拘束されて、排気工程とロウ付
工程とが同時に行なわれる◇ 〔実施例〕 第１図および第２図はこの発明の一実施例を示す図であ
シ、第１図は排気およびロウ付工程前の構成を示す断面
図、第２図は上記工程終了後の構成を示す断面図である
。第１図において、（１）〜（５）。
よって形成される絶縁筒上端面と、端板との空隙のため
に容易に容器内が所定の真空度に達する。また、下方に
折り曲げて設けた突起によって振動などの影響を受けず
に環状ロウ材板が確実に拘束されて、排気工程とロウ付
工程とが同時に行なわれる◇ 〔実施例〕 第１図および第２図はこの発明の一実施例を示す図であ
シ、第１図は排気およびロウ付工程前の構成を示す断面
図、第２図は上記工程終了後の構成を示す断面図である
。第１図において、（１）〜（５）。
（ｌＥ９〜（２１）は従来例を示した第７図の同符号と
同一または相当部分を示す。αηは端板Ａ（３）と絶縁
筒（５）とをロウ付するロウ材Ｂで、第３図および第４
図に示すように円環上の３〜４ケ所に半円状の打ち抜き
部と突部とを形成させ、これらをそれぞれ第４図に示す
ように上方および下方へ折シ曲げて突起Ａ （１７ａ）
、突起Ｂ （１７ｂ）を形成している。このロウ材Ｂ
（ｌηば、第１図に示すように突起Ｂ（１７ｂ）を絶縁
筒（５）の上端面に係合させ、一方端板Ａ（３）の下端
面が突起Ａ （１７ａ）に当接して保持されるようにな
っている。また、（１Ｇは端板Ａ（３）上に載置したウ
ェイトである。
同一または相当部分を示す。αηは端板Ａ（３）と絶縁
筒（５）とをロウ付するロウ材Ｂで、第３図および第４
図に示すように円環上の３〜４ケ所に半円状の打ち抜き
部と突部とを形成させ、これらをそれぞれ第４図に示す
ように上方および下方へ折シ曲げて突起Ａ （１７ａ）
、突起Ｂ （１７ｂ）を形成している。このロウ材Ｂ
（ｌηば、第１図に示すように突起Ｂ（１７ｂ）を絶縁
筒（５）の上端面に係合させ、一方端板Ａ（３）の下端
面が突起Ａ （１７ａ）に当接して保持されるようにな
っている。また、（１Ｇは端板Ａ（３）上に載置したウ
ェイトである。
上記のような各部材の構成状態のものを真空加熱排気装
置内へ収容し、真空排気を行ないながら８００〜１１０
０℃まで加熱すると、容器内の気体が端板Ａ（３）と絶
縁筒（５）との空隙間を通って所定の真空度に達すると
ともに、ロウ材Ａαｅおよびロウ材Ｂ１１７）の溶融に
従ってウェイ） （ＩＧの重量の作用で端板Ａ（３）が
下降し、第２図に示すようにロッドＡ（１）と絶縁筒（
５）Ｋロウ材されて真空封止が完了する〇なお、上記実
施例では、第３図、第４図に示すように１環状の板面を
半円形に打抜いて突起部（１７ａ）を、円環の内外周に
突部を形成して突起Ｂ（１７ｂ）を設けたロウ材Ｂ（１
７）を使用した例について説明したが、第５図および第
６図に示すように鍵形の打抜きを施し、内周側にのみ突
部を形成して第６図のようＫこれらの部分を折シ曲げて
突起Ａ（１７ａ） 、突起Ｂ （１７ｂ）としたもので
もよい。
置内へ収容し、真空排気を行ないながら８００〜１１０
０℃まで加熱すると、容器内の気体が端板Ａ（３）と絶
縁筒（５）との空隙間を通って所定の真空度に達すると
ともに、ロウ材Ａαｅおよびロウ材Ｂ１１７）の溶融に
従ってウェイ） （ＩＧの重量の作用で端板Ａ（３）が
下降し、第２図に示すようにロッドＡ（１）と絶縁筒（
５）Ｋロウ材されて真空封止が完了する〇なお、上記実
施例では、第３図、第４図に示すように１環状の板面を
半円形に打抜いて突起部（１７ａ）を、円環の内外周に
突部を形成して突起Ｂ（１７ｂ）を設けたロウ材Ｂ（１
７）を使用した例について説明したが、第５図および第
６図に示すように鍵形の打抜きを施し、内周側にのみ突
部を形成して第６図のようＫこれらの部分を折シ曲げて
突起Ａ（１７ａ） 、突起Ｂ （１７ｂ）としたもので
もよい。
この発明は以上説明したとおシ、真空容器の絶縁筒と端
板とのロウ材を上方および下方に突起部を設けたロウ材
を使用し、排気工程とロウ付工程とを同時に行うように
したので、製造工程が簡略化し、容器の金属部分の酸化
の防止ができるとともに、排気管や封止後の保護キャッ
プが不要となるなどの効果がある。
板とのロウ材を上方および下方に突起部を設けたロウ材
を使用し、排気工程とロウ付工程とを同時に行うように
したので、製造工程が簡略化し、容器の金属部分の酸化
の防止ができるとともに、排気管や封止後の保護キャッ
プが不要となるなどの効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による真空容器の封止前の
構成を示す断面図、第２図は第１図の状態よシ加熱排気
を同時に行なって封止が終了した状態を示す断面図、第
６図および第４図は第１図におけるロウ材Ｂの詳細を示
す平面図および斜視図、第５図および第６図は第１図に
おけるロウ材Ｂ（ｌηの他の実施例を示す平面図および
斜視図、第′７図および第８図は従来の真空容器の封止
方法の一例における対土工程の前後をそれぞれ示す断面
図、第９図および第１０図は従来の真空容器の封 。 正方法の他の例における対土工程の前後をそれぞれ示す
断面図である・ 図において、（３）は端板Ａ、（５）は絶縁筒、αηは
ロウ材Ｂ 、 （１７ａ）は突起部Ａ、 （１７ｂ
）は突起部Ｂ０なお図中同一符号は同一または相当部分
を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第 ２ 図 ″折返し第３
図 第４図 第５図 第６図 第７図 側 第８図 第９図 第１０図 ■
構成を示す断面図、第２図は第１図の状態よシ加熱排気
を同時に行なって封止が終了した状態を示す断面図、第
６図および第４図は第１図におけるロウ材Ｂの詳細を示
す平面図および斜視図、第５図および第６図は第１図に
おけるロウ材Ｂ（ｌηの他の実施例を示す平面図および
斜視図、第′７図および第８図は従来の真空容器の封止
方法の一例における対土工程の前後をそれぞれ示す断面
図、第９図および第１０図は従来の真空容器の封 。 正方法の他の例における対土工程の前後をそれぞれ示す
断面図である・ 図において、（３）は端板Ａ、（５）は絶縁筒、αηは
ロウ材Ｂ 、 （１７ａ）は突起部Ａ、 （１７ｂ
）は突起部Ｂ０なお図中同一符号は同一または相当部分
を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第 ２ 図 ″折返し第３
図 第４図 第５図 第６図 第７図 側 第８図 第９図 第１０図 ■
Claims (1)
- ロウ付工程前の構成の真空容器部材を真空加熱装置内に
収容し、加熱と排気とを同時に行なつて上記部材間をロ
ウ付するとともに所定の真空度に封止する方法において
、ロウ付する上記部材間の少なくとも一ケ所に、環状板
の一部を折り曲げて上面側と下面側とにそれぞれ少なく
とも３ケ所の突起部が形成されたロウ材を配設し、上記
突起部によつて上記加熱・排気中における上記ロウ材の
所定位置への拘束および上記部材間に空隙の形成が行な
われることを特徴とする真空容器の封止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13596285A JPS61294737A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | 真空容器の封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13596285A JPS61294737A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | 真空容器の封止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61294737A true JPS61294737A (ja) | 1986-12-25 |
Family
ID=15163917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13596285A Pending JPS61294737A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | 真空容器の封止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61294737A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999028941A1 (fr) * | 1997-12-04 | 1999-06-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Procede de fabrication de tube a rayons x |
| JP2011096627A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-05-12 | Hitachi Ltd | 開閉器用の電極及び真空開閉器と、開閉器用の電極または真空開閉器の製造方法 |
| CN110977107A (zh) * | 2019-11-18 | 2020-04-10 | 浙江飞剑工贸有限公司 | 一种真空保温杯的制造工艺 |
-
1985
- 1985-06-24 JP JP13596285A patent/JPS61294737A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999028941A1 (fr) * | 1997-12-04 | 1999-06-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Procede de fabrication de tube a rayons x |
| EP1037247A1 (en) * | 1997-12-04 | 2000-09-20 | Hamamatsu Photonics K. K. | X-ray tube manufacturing method |
| US6572426B1 (en) | 1997-12-04 | 2003-06-03 | Hamamatsu Photonics K.K. | Method for producing x-ray tube |
| EP1037247A4 (en) * | 1997-12-04 | 2006-04-12 | Hamamatsu Photonics Kk | METHOD FOR PRODUCING AN X-RAY TUBE |
| JP2011096627A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-05-12 | Hitachi Ltd | 開閉器用の電極及び真空開閉器と、開閉器用の電極または真空開閉器の製造方法 |
| CN110977107A (zh) * | 2019-11-18 | 2020-04-10 | 浙江飞剑工贸有限公司 | 一种真空保温杯的制造工艺 |
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