JPH0226335B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ 産業上の利用分野 本発明は、金属円筒の両端を無機絶縁物からな
る絶縁円板により閉塞して真空容器を形成した真
空しや断器とその製造方法に関する。

Ｂ 従来の技術 従来、真空しや断器における真空容器は、硬質
ガラスあるいはセラミツクからなる絶縁筒の両端
を、熱膨張係数が絶縁筒のそれと近似したコバー
ル等からなる金属端板により、直接に又はコバー
ル等の封着金属を介在させて気密に接合して構成
されている。

Ｃ 発明が解決しようとする課題 しかし、絶縁筒は外径が大きくなると高価にな
り、真空しや断器が高価になる。

また、絶縁筒と気密に接合できる金属は、上述
したセラミツク等と熱膨張係数が近似するFe−
Ni−Co合金（コバール）やFe−Ni合金とされて
いたが、これらの金属は価格が非常に高い欠点を
有するとともに、温度Ｔに対する熱膨張係数α
［α−Ｔ特性］がセラミツク等と必ずしも一致せ
ず、そのためろう付けにより発生する熱応力を緩
和する構成にしなければならない。

Ｄ 課題を解決するための手段 本発明は上述した問題に鑑みてなされたもの
で、真空しや断器の構成は、金属円筒とその両端
を閉塞するセラミツク等の無機絶縁物からなる絶
縁円板により真空容器を形成することによつて、
その大径化を安価にし、金属円筒と各絶縁円板と
の間にリング状であつて熱応力により塑性変形自
在の金属材料からなる補助部材を介在させること
により、無機絶縁物からなる絶縁円板の熱膨張係
数と無関係に金属円筒の材料を選択可能としたこ
とを特徴とする。

真空しや断器の製造方法の構成は、仮組立した
真空しや断器を真空炉中でろう付け後、真空炉中
で徐冷するようにしたことを特徴とする。

Ｅ 実施例 熱応力により塑性変形自在の金属材料からなる
補助部材（CuやFe等）を用いることは従来から
考えられていたが、CuやFe等の熱膨張率はセラ
ミツクや硬質ガラスのそれとの差が大きく、その
ためろう付け後の徐冷によつて補助部材と絶縁円
板との間にろう付け不良が生じると考えられてお
り実施されなかつた。つまり従来の絶縁円板と金
属円筒とのろう付けは大気中で局部的に加熱する
ことでろう付けするため、加熱されたろう付け部
から加熱されていない部分へ熱が逃げ易く、しか
も温度の低い大気中へも熱が逃げるため、Cuや
Fe等とセラミツク等との間に大きな熱応力が生
じてろう付け不良になると考えられていた。

しかし、金属円筒と絶縁円板とを、補助部材を
介在させて真空炉中でろう付けするとともに真空
炉中で徐冷してみたところ、ろう付け不良は生じ
ず問題は生じないことが判明した。これは、従来
では大気中でろう付けするためにろう付け後のろ
う付け部の温度低下が早いのに対し、真空炉中で
のろう付けは真空容器全体の加熱であつてしかも
真空炉の内部の冷却速度が小さいことから、ろう
付け部の温度低下速度も小さく、クリープ現象に
よつてCuやFeが長い時間をかけて塑性変形する
ためと考えられる。

(a) 第一実施例 まず、この発明の第一実施例を説明する。

第１図は本発明に係る真空しや断器であり、
金属円筒１の両端に無機絶縁物からなる絶縁円
板２，２をリング状の補助部材３，３を介在さ
せて気密に接合して真空容器４を形成し、各絶
縁円板２から真空容器４内に相対的に接近離反
自在に導入した対をなす固定電極棒５、可動電
極棒６に一対の固定電極７、可動電極８を固着
して構成されている。

真空容器４の一部を構成する金属円筒１は、
非磁性材料であつて、機械的強度の高いオース
テナイト系ステンレス鋼からなるもので、その
両端内周部には、第２図に示すように、その内
径寸法より大きい段付嵌合部９が設けられてい
る。なお、金属円筒１は、機械的強度を高める
べく肉厚を大きくした銅あるいは小電流の真空
しや断器用として安価な鉄を用いてもよい。金
属円筒１の各段付嵌合部９には、筒状の補助シ
ールド１０，１０が、そのフランジ部１０ａの
外周部をろう付け接合することにより固着され
ている。各補助シールド１０は、オーステナイ
ト系ステンレス鋼で形成される。なお、真空し
や断器が小電流用である場合には、補助シール
ド１０に安価な鉄を用いてもよい。金属円筒１
の各段付嵌合部９には、軸方向（第２図におい
て上下方向）の筒部３ａとこれと直交する径方
向（第２図において左右方向）のフランジ部３
ｂとからなる断面Ｌ字形のリング状に形成され
た補助部材３の筒部３ａが、嵌合されるととも
にろう付けにより気密接合されている。補助部
材３は、熱膨張係数の異なる金属円筒１と絶縁
円板２との気密接合の信頼性を高めるために設
けられるものであり、セラミツク等の無機絶縁
物からなる絶縁円板２とのろう付け後の徐冷過
程において熱応力により塑性変形自在な非磁性
材料の銅で形成される。なお、補助部材３は、
塑性変形自在な非磁性材料からなる鉄を用いた
り、あるいは金属円筒１が銅あるいは鉄である
場合には、セラミツク等の無機絶縁物からなる
絶縁円板２と熱膨張係数が近似したFe−Ni−
Co合金、Fe−Ni合金からなるものを用いても
よい。

補助部材３には、絶縁円板２が嵌合されると
ともに気密にろう付け接合されている。各絶縁
円板２はアルミナセラミツクあるいは結晶化ガ
ラス等の無機絶縁物からなるもので、第２図に
示すように孔１１の内周面と一方の面における
外周縁部付近には、この絶縁円板２と同等の熱
膨張係数のMn−Ti合金あるいはMo−Mn−Ti
合金等からなるメタライズ層１２，１３がそれ
ぞれ形成されている。なお、メタライズ層１
２，１３が形成される面には研削加工が施され
るものであり、一方の面における外周縁付近に
は、研削加工を容易にするために0.1〜0.5mm程
度突出した環状突出部１４が形成されている。
そして、各絶縁円板２の一方の面のメタライズ
層１３は補助部材３のフランジ部３ｂに気密に
ろう付け接合されている。

上部の絶縁円板２の孔１１には、軸方向へ伸
びる筒部１５ａと径方向へ伸びる係止部１５ｂ
とにより断面Ｌ字形に形成されたリング状の補
助部材１５の筒部１５ａが嵌合されるとともに
メタライズ層１２に気密にろう付けされてい
る。この補助部材１５は、金属円筒１と絶縁円
板２との間に介在された前記補助部材３と同様
に、絶縁円板２と固定電極棒５との熱膨張係数
の差異によつて生ずる気密接合の信頼性の低下
を防止するためのもので、ろう付け後の徐冷過
程において塑性変形自在な銅からなる。なお、
この補助部材１５は、前記補助部材３と同様に
鉄あるいは、Fe−Ni−Co合金あるいはFe−Ni
合金からなるものを用いてもよい。真空容器４
内には、銅あるいは銅合金からなる固定電極棒
５が、補助部材１５を挿通して導入される。固
定電極棒５の外径は補助部材１５の内径とほぼ
同寸法であり、周溝５ａに嵌合した止め輪１６
を補助部材１５の係止部１５ｂに当接させた状
態で固定電極棒５と筒部１５ａとが気密にろう
付けされている。

固定電極棒５の内端部には、補助シールド１
０より大径のカツプ状のアークシールド１７
が、その開口部の上部の補助シールド１０に対
向せしめた状態で孔１８を介して取り付けられ
る。アークシールド１７は、周溝５ｂに嵌合し
た止め輪１９により固定電極７への移動を規制
された状態で固定電極棒５にろう付けされる。
アークシールド１７はオーステナイト系ステン
レス鋼からなり、前述した補助シールド１０と
協働して上部の絶縁円板２への金属蒸気の付着
を防止するため、その開口端部付近が補助シー
ルド１０の開口端部付近とは同心状に重畳され
ている。なお、このアークシールド１７は、真
空しや断器が小電流用である場合には、安価な
鉄からなるものを用いてもよい。

固定電極棒５の内端部には、ほぼ円板状に形
成された固定電極７が凹部７ａを介して嵌合さ
れるとともにろう付けされている。

下部の絶縁円板２の中央の孔１１には、オー
ステナイト系ステンレス鋼からなるベローズ２
０の下端に形成した筒部２０ａが嵌合されると
ともにメタライズ層１２に気密にろう付けされ
ている。第３図に示すように、ベローズ２０の
上端には軸心方向へ向かつて延伸するとともに
下方へ屈曲する載置部２０ｂが形成されてお
り、ベローズ２０の内部に挿通した可動電極棒
６の内端部が載置部２０ｂから上方へ突出して
いる。可動電極棒６は銅あるいは銅合金からな
り、周溝６ａに嵌合した止め輪２１をベローズ
２０の載置部２０ｂに載せることによりベロー
ズ２０に対する可動電極棒６の移動が規制さ
れ、ろう付けにより載置部２０ｂと可動電極棒
６とが気密に接合される。

可動電極棒６側には、前記固定電極棒５側の
アークシールド１７、補助シールド１０と同様
に、アークシールド２２と補助シールド１０と
が設けられている。可動電極棒６の内端部に
は、ほぼ円板状に形成された可動電極８が凹部
８ａを介して嵌合されるとともにろう付けされ
ている。そして、可動電極８の上面に穿設され
た溝８ｂにリング状の接触子２４が上方へ突出
して嵌合されろう付けされている。

斯かる真空しや断器を製造するには、真空し
や断器の各構成部材間にろう材を介装せしめて
仮組立し、そのまま真空炉中へ入れてろう付け
する。

真空しや断器を仮組立するには、まず下部の
絶縁円板２をメタライズ層１３が上面となるよ
うに水平に支持し、ベローズ２０の筒部２０ａ
を孔１１に嵌合するとともに、第１図に示すよ
うにろう材２５を孔１１の周辺に載置する。つ
いで、フランジ部３ｂとメタライズ層１３との
間にろう材２５を介在せしめた状態で、絶縁円
板２の外周に補助部材３を嵌合させる。そし
て、この補助部材３の筒部３ａに金属円筒１の
下端の段付嵌合部９を嵌合させ、金属円筒１と
フランジ部３ｂとの間にろう材２５を介して補
助シールド１０のフランジ部１０ａを嵌合す
る。次にベローズ２０に可動電極棒６を挿入す
るとともに、第３図に示すように止め輪２１を
載置部２０ｂに載置し、載置部２０ｂと可動電
極棒６との間にろう材２５を介在させる。止め
輪２１にはアークシールド２２をろう材２５を
介在せしめて係止し、可動電極棒６の上端には
可動電極８の凹部８ｂをろう材を介在せしめて
嵌合し、可動電極８の上面に形成した溝８ｂに
はろう材を介して接触子２４を嵌入する。

なお、載置部２０ｂ上への可動電極棒６の載
置は、補助部材３上に補助シールド１０を載置
した後に行ない、しかる後に補助部材３に金属
円筒１の下端を嵌合するようにしてもよいので
ある。

このあとは、固定電極７等の固定側を仮組立
する。すなわち、接触子２４上に固定電極７を
載置し、固定電極７の上部に形成した凹部７ａ
にろう材を介在せしめて固定電極棒５の下端部
を嵌入させる。そして、固定電極棒５にアーク
シールド１７を嵌装するとともに、止め輪１８
にろう材２５を介在せしめて係止する。つい
で、第２図に示すように金属円筒１の上端の段
付嵌合部９に、ろう材２５を介在せしめて補助
シールド１０のフランジ部１０ａを嵌合したあ
と、同様にろう材２５を介装せしめて補助部材
３の筒部３ａを嵌合する。そして、上部の絶縁
円板２の孔１１を固定電極棒５に挿通させたあ
と、絶縁円板２のメタライズ層１３と補助部材
３のフランジ部３ｂとの間にろう材を介在せし
めて補助部材３の筒部３ａに絶縁円板３を嵌合
する。このあと、固定電極棒５に補助部材１５
を挿通させて補助部材１５の筒部１５ａを固定
電極棒５と孔１１のメタライズ層１２との間に
挿入し、補助部材１５の係止部１５ｂと絶縁円
板２との間及び補助部材１５の係止部１５ｂと
固定電極棒５との間にそれぞれろう材を介装さ
せる。そして、周溝５ａが補助部材１５の係止
部１５ｂより上方に位置するように固定電極棒
５を持ち上げ、この周溝５ａに止め輪１６を嵌
合すると真空しや断器の仮組立が完了する。

上述した如く仮組立した真空しや断器を
10^-5Torr以下の圧力に排気しうる真空炉中に
収容して加熱する。加熱は排気と脱ガスおよび
ろう付け部の酸化膜除去をかねるので、ろう材
がとけない温度なら加熱温度が高い方が好まし
く、真空度も10^-5Torr以下が望ましい。次に、
真空炉中を、オーステナイト系ステンレス鋼の
表面の活性化のため900℃以上1050℃未満の温
度に上昇させるとともに、10^-5Torr以下の圧
力に排気しながらろう材２５を溶かし各構成部
材間を気密に接合する。そして、真空炉内を徐
冷（炉冷）により所定温度まで下降させ、この
温度で所定時間保持した後再び徐冷により室温
まで低下させた後、あるいは真空炉内が徐冷に
よつて室温となつた後に真空しや断器を真空炉
から取出すと所望のものが得られる。

なお、上述した製造方法において、金属円筒
１あるいはベローズ２０等がオーステナイト系
ステンレス鋼からなる場合は、これらのろう付
け部分にあらかじめニツケルメツキ処理を施し
ておくことにより、加熱温度の上限を900℃以
下とすることができる。

ここで、アルミナセラミツク等の無機絶縁物
からなる絶縁円板２と、銅、鉄あるいはオース
テナイト系ステンレス鋼からなる金属円筒１と
の熱膨張係数が大きく異なるにもかかわらず、
銅、鉄あるいはFe−Ni−Co合金、Fe−Ni合金
からなる補助部材３を介在せしめることによ
り、真空容器における接合部の気密性及び機械
的強度を高いものとすることができるのは、以
下の理由によるものと考えられる。

温度に対する銅の抗張力と伸び及び鉄の抗張
力と伸びは、横軸に温度［℃］、縦軸に抗張力
［Kg／mm²］と伸び［％］をとつた第４図におい
て曲線A₁，A₂及び曲線B₁，B₂で示すように、
抗張力は温度の下降に従つて増大し、伸びは温
度の下降に従つてほぼ減少することが知られて
いる。従つて、銅、鉄からなる補助部材３が
900℃以上1050℃未満の高温でアルミナセラミ
ツク等の無機絶縁物からなる絶縁円板２あるい
は金属円筒１にろう付けされると、銅、鉄はそ
の抗張力がアルミナセラミツク等の無機絶縁物
の機械的強度に比して非常に小さいので、真空
炉中における徐冷過程において冷却による熱応
力で少しずつ塑性変形する。熱膨張係数の差に
よる補助部材３と金属円筒１又は絶縁円板２と
のろう付け後のはがれが、補助部材３の塑性変
形によつて吸収されることから、ろう付け不良
が生じない。絶縁円板と補助部材との接合につ
いては、絶縁円板にこれと略等しい熱膨張係数
を有する合金からなるメタライズ層を設けてメ
タライズ層と補助部材とをろう付けすることに
より絶縁円板と補助部材とを間接的に接合する
ので、補助部材の塑性変形によるろう付け部の
はがれ防止だけでなく絶縁物との間の接合不良
の発生も防止される。このようなことから、室
温まで冷却した際における真空容器の接合部の
気密性が損なわれることがないとともに、塑性
変形によりその接合部の残留熱応力が極めて小
さくなる。

なお、温度に対する鉄の抗張力が、第４図に
示す如く銅のそれより大きいために、一定温度
条件下における荷重時間に対する鉄のクリープ
伸びが銅のそれより小さいにもかかわらず、ア
ルミナセラミツク等の無機絶縁物からなる絶縁
円板２等と気密に接合できるのは、熱膨張係数
が銅のそれより小さいためであると考えられ
る。

また、アルミナセラミツク等の無機絶縁物か
らなる絶縁円板２とオーステナイト系ステンレ
ス鋼からなるベローズ２０との接合を、気密性
及び機械的強度の高いものとすることができる
のは、ベローズ２０が通常0.1〜0.2mm程度と極
めて薄く形成されるためにベローズ自身が塑性
変形し、両者のろう付けによつて生ずる熱応力
が極めて小さくなるからであると考えられる。

(b) 第二実施例 第５図は本発明に係る真空しや断器の第２実
施例の半截断面である。なお、この実施例は第
１実施例の一部を改良したものであるから、第
１実施例の真空しや断器と同一機能を奏する構
成部材には同一符号を附してその説明を省略す
る。

真空容器４の一部を構成する金属円筒１にお
ける上端の段付嵌合部９には、有底円筒状の補
助シールド２６の開口部側に成形したフランジ
部２６ａが嵌合されている。補助シールド２６
の底部２６の中央には、固定電極棒５を挿通す
るための孔２７が設けられている。なお、補助
シールド２６は、真空しや断器が小電流用であ
る場合には、安価な鉄からなるものを用いても
よい。

補助シールド２６のフランジ部２６ａの上に
は、メタライズ層１３を上面にした状態で上部
の絶縁円板２の外周縁部付近が載置されてい
る。

絶縁円板２は、段付嵌合部９の内径より少し
小径に形成されるとともに、その上面に0.1〜
0.5mm程度の深さの円形溝２９が形成されてい
る。そして、円形溝２９の内側と外側にメタラ
イズ層１３，２８が形成される。上部の絶縁円
板２の外周面と段付嵌合部９の内周面との間に
は、補助部材３の筒部３ａが嵌合されるととも
にろう付けされている。補助部材３のフランジ
部３ｂは、絶縁円板２の上面のメタライズ層１
３とろう付けされている。

上部の絶縁円板２の孔１１には、固定電極棒
５が挿入されるとともに大径部５ｃにより固定
電極棒５の下方への移動が規制されている。

そして、固定電極棒５における大径部５ｃの
径違い段部が孔１１の周辺のメタライズ層２８
にろう付けされている。真空容器４内に導入さ
れた固定電極棒５の内端部には、固定電極７の
凹部７ａが嵌合されろう付けされる。そして、
皿状のアークシールド３０が筒部３０ａを介し
て固定電極棒５に嵌装されろう付けされる。ア
ークシールド３０は、オーステナイト系ステン
レス鋼からなるもので、固定電極７の外径寸法
とほぼ同径に設けられる。なお、アークシール
ド３０は、真空しや断器が小電流用である場合
には鉄からなるものを用いてもよい。

金属円筒１の下端には、第１実施例の真空し
や断器と同様に、補助部材３を介して絶縁円板
２がろう付けされている。絶縁円板２における
孔１１の周辺の上面にはメタライズ層２８が形
成され、このメタライズ層２８の上には、ベロ
ーズ２０の筒部２０ａが載置されるとともにろ
う付けされている。ベローズ２０の上部には、
軸心へ向かつて延伸するリング状の載置部２０
ｃが成形されている。そして、可動電極棒６の
内端部に設けた大径部６ｂが載置部２０ｃから
上方へ突出せしめて設けられるとともに、大径
部６ｂの径違い段部が載置部２０ｃにろう付け
されている。可動電極棒６の大径部６ｂには、
固定電極棒５側のアークシールド３０と同様の
形状にして、かつ同様の材料からなるアークシ
ールド３１の筒部３１ａが嵌装されてろう付け
されている。

真空容器４内における下部の絶縁円板２のメ
タライズ層１３には、オーステナイト系ステン
レス鋼からなる有底円筒状の補助シールド３２
の開口端部がろう付けされている。なお、補助
シールド３２は、真空しや断器が小電流用であ
る場合には、鉄からなるものを用いてもよい。
補助シールド３２は、絶縁円板２のメタライズ
層１３にエツジろう付けされているので、その
肉厚が薄い場合には、両者の熱膨張係数の差に
より生ずる熱応力によつてろう付け部分の機械
的強度が低下するおそれがないが、肉厚が厚い
場合には、例えば第６図に示すように補助シー
ルド３２における開口部の外周面をテーパ状に
切削して断面を楔状とすることによりメタライ
ズ層１３との接合面積を減少せしめ、もつて両
者の熱膨張係数の差異による弊害の緩和を図つ
たり、または第７図に示すように、補助シール
ド３２における開口部付近の外周面に断面円弧
状の周溝３４を形成し、この周溝３４によりろ
う付けで生ずる熱応力を緩和するようにした
り、あるいは第８図に示すように補助シールド
３２の開口部に軸方向へ伸びる複数のスリツト
３５を形成し、このスリツト３５によつてろう
付けにより生ずる熱応力の緩和を行なうように
してもよいものである。補助シールド３２の真
空容器４への取り付けは、上述した如く下部の
絶縁円板２への固着に限らず、例えば第９図に
示すように、その開口部に金属円筒１の内径寸
法と同径のフランジ部３２ｂを成形し、このフ
ランジ部３２ｂを補助部材３のフランジ３ｂに
ろう付けしてもよい。

第２実施例の真空しや断器を製造するには、
第１実施例の真空しや断器の場合と略同様に行
う。

Ｆ 発明の効果 以上の説明したように本発明は、金属円筒の両
端に熱応力により塑性変形自在の金属材料からな
るリング状の補助部材を介在させて無機絶縁物か
らなる絶縁円板を気密に接合して真空容器を形成
したので、補助部材を例えば銅あるいは鉄からな
るものとすることにより、絶縁円板の熱膨張係数
とは無関係に金属円筒を非磁性材料であつて機械
的強度の高い、例えばオーステナイト系ステンレ
ス鋼とすることができる。従つて、製造コストが
安いだけでなく温度が上昇しにくくて磁歪振動に
よる騒音が無く、かつ投入、しや断時の衝撃に耐
え得る真空しや断器を提供することができる。

また、各構成部材間にろう材を介装せしめて仮
組立した真空しや断器を真空炉中に収容し、900
℃以上1050℃未満の温度で加熱するとともに
10^-5Torr以下の圧力となるように排気しながら
各構成部材の脱ガスと気密接合とを同時に行なう
ようにし、炉冷によつて徐々に温室まで冷却する
ので、ろう付けにより生じた熱応力によつて銅あ
るいは鉄からなる補助部材が塑性変形する。従つ
て、熱膨張係数の異なる絶縁円板と金属円筒との
メタライズ層を介したろう付けを、ろう付け不良
を生じさせることなく行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る真空しや断器の第１実施
例の縦断面図、第２図、第３図はそれぞれ第１実
施例の真空しや断器における要部の拡大断面図、
第４図は銅及び鉄の温度に対する抗張力と伸びの
関係を表した説明図、第５図は本発明に係る真空
しや断器の第２実施例の半裁断面図、第６図、第
７図及び第８図はそれぞれ第２実施例の真空しや
断器における要部の各実施例の拡大断面図、第９
図は第２実施例の真空しや断器における要部の他
の実施例を一部破断して示した正面図である。 １……金属円筒、２……絶縁円板、３……補助
部材、３ａ……筒部、３ｂ……フランジ部、４…
…真空容器、５……固定電極棒、６……可動電極
棒、７……固定電極、８……可動電極、１１……
孔、１２，１３……メタライズ層、２０……ベロ
ーズ、２０ａ……筒部、２０ｂ……載置部、２５
……ろう材。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 筒状の容器の両端を端板で気密に閉塞して真
   空容器を形成し、一対の電極棒を夫々の端板から
   真空容器内へ気密に導入するとともに電極棒の一
   方をステンレス鋼からなるベローズにより他方に
   対して接近・離反自在にし、夫々の電極棒の内端
   部に電極を固着した真空しや断器において、 前記容器として金属円筒を用いる一方、前記端
   板として無機絶縁物からなる絶縁円板を用いると
   ともに絶縁円板の外周縁部に熱膨張係数が絶縁円
   板と略等しいメタライズ層を形成し、筒部とフラ
   ンジ部とからなる略リング状であつて熱応力によ
   り塑性変形自在の金属材料からなる補助部材を設
   けて補助部材の筒部を金属円筒の内周面と絶縁円
   板の外周面との間に嵌合するとともにフランジ部
   をメタライズ層に当接させ、これらの接合部を真
   空炉中でろう付け徐冷して気密接合したことを特
   徴とする真空しや断器。 ２ 無機絶縁物からなる一方の絶縁円板を平面上
   に置き、絶縁円板の中央の孔のまわりに形成され
   るとともに熱膨張係数が絶縁円板と略等しいメタ
   ライズ層に対してステンレス鋼からなるベローズ
   の下端の筒部をろう材を介して当接させ、筒部と
   フランジ部とからなる略リング状であつて熱応力
   により塑性変形自在の金属材料からなる補助部材
   の筒部を金属円筒の内周面と一方の絶縁円板の外
   周面との間に嵌合させるとともに一方の絶縁円板
   の一方の面の外周縁部付近に形成した前記と同等
   のメタライズ層を補助部材のフランジ部に当接さ
   せた状態で金属円筒を一方の絶縁円板上に載置し
   てこれらの部材間にろう材を介在させ、ベローズ
   の内部に可動電極棒を挿通してベローズの上端の
   載置部と可動電極棒との間にろう材を介在させる
   とともに可動電極棒の上面にろう材を介して可動
   電極を載置し、 可動電極の上に固定電極を載置するとともに固
   定電極の上にろう材を介して固定電極棒を載置
   し、無機絶縁物からなり中央に孔を有する他方の
   絶縁円板の孔に固定電極棒を挿通させて筒部とフ
   ランジ部とからなる略リング状であつて熱応力に
   より塑性変形自在の金属材料からなる補助部材の
   筒部を金属円筒の内周面と他方の絶縁円板の外周
   面との間に嵌合させるとともに他方の絶縁円板の
   一方の面の外周縁部付近に形成した前記と同等の
   メタライズ層を補助部材のフランジ部に当接させ
   てこれらの部材間にろう材を介在させ、他方の絶
   縁円板の中央の孔の周囲に前記と同等のメタライ
   ズ層を形成し、該メタライズ層と固定電極棒との
   間にろう材を介在させることで真空しや断器を仮
   組立し、 仮組立した真空しや断器を真空炉中に納置した
   あとに、900℃以上1050℃未満の温度で加熱し、
   かつ10^-5Torr以下の圧力となるように排気しな
   がら各構成部材の脱ガスと気密接合とを同時に行
   うようにした真空しや断器の製造方法。