JP2009266964A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板面積に比較して、ある程度大きなインダクタを有する場合であっても、バンプとインダクタを一つの基板上に共存させることができ、更なる小型化に寄与する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置1A(1)は、少なくとも一面に電極3を備えた半導体基板10と、該半導体基板の一面を覆うように配された第一絶縁樹脂層11と、第一絶縁樹脂層上に配され、電極と電気的に接続された第一導電層12と、第一導電層上に順に配された第二絶縁樹脂層13、第二導電層14、第三絶縁樹脂層15、第三導電層16と、第三導電層と電気的に接続されたバンプ17と、を備え、第二導電層の一部はインダクタとして機能する部位14aを構成し、第二導電層の残部であって一端部は前記第一導電層と、他端部は前記第三導電層とそれぞれ電気的に接続され、前記バンプと前記部位とは、平面視した際に少なくとも一部が重なり合う位置にある。
【選択図】図1
【解決手段】半導体装置1A(1)は、少なくとも一面に電極3を備えた半導体基板10と、該半導体基板の一面を覆うように配された第一絶縁樹脂層11と、第一絶縁樹脂層上に配され、電極と電気的に接続された第一導電層12と、第一導電層上に順に配された第二絶縁樹脂層13、第二導電層14、第三絶縁樹脂層15、第三導電層16と、第三導電層と電気的に接続されたバンプ17と、を備え、第二導電層の一部はインダクタとして機能する部位14aを構成し、第二導電層の残部であって一端部は前記第一導電層と、他端部は前記第三導電層とそれぞれ電気的に接続され、前記バンプと前記部位とは、平面視した際に少なくとも一部が重なり合う位置にある。
【選択図】図1
Description
本発明は、誘導素子(インダクタ)を備えた半導体装置に関する。
近年、コスト削減やチップ部品の低減を目的として、インダクタ(誘導素子)等の受動素子を半導体基板上に集積化した半導体装置が用いられている。インダクタ等の受動素子をCuめっき等の再配線で形成するウェハレベルパッケージ技術という形態が存在する。図7は、従来の半導体装置の一例を示す断面図(上段)と上方から見た平面図(下段)である(例えば、特許文献1参照)。この半導体装置100では、受動素子(キャパシタ)を含む素子構造部RAの隣に、バンプを含む電極構造部ELが配されていることが分かる(図7上段)。これらの受動素子は、下地基板が高周波(無線)信号処理用ICであるとき、多くの場合、ICと導通がとられており、実装部もまたICと電気的に接続され、装置全体を実装部を介して基板に実装することで、高周波ICとして使用することができる。
高周波ICに用いる受動素子として、インダクタ、キャパシタ、バラクタ、伝送線路、抵抗等が存在するが、この中で最も大きな面積を占有するのがインダクタである。即ち、半導体装置を構成する半導体基板上の限られたスペースに、面積の大きい素子構造部RA[図7下段では、インダクタ部と表記]と電極構造部EL[図7下段では、実装部(バンプ)と表記]とを共存させる必要がある。
高周波ICに用いられる従来のインダクタ103としては、例えば図8(a)に示すような八角形状のもの、図8(b)に示すように四角形状のもの、図8(c)に示すような円形状のもの、図8(d)に示すような略線対称形状のものなどが挙げられる。
高周波ICに用いられる従来のインダクタ103としては、例えば図8(a)に示すような八角形状のもの、図8(b)に示すように四角形状のもの、図8(c)に示すような円形状のもの、図8(d)に示すような略線対称形状のものなどが挙げられる。
インダクタのサイズが基板サイズに比して比較的小さければ、インダクタとバンプを同居させることが可能である。図9は、インダクタのサイズが基板サイズに比して比較的小さく、バンプ102とインダクタ103を一つの基板101上に共存可能である場合の半導体装置を示す図であり、(a)は平面図、(b)は断面図である。バンプ102はチップを囲むように配置される。
しかしながら、図10に示すように、ある程度大きなインダクタになると、バンプ102とインダクタ103を一つの基板101上に共存させるのは難しくなってくる。
特開2005−108929号公報
しかしながら、図10に示すように、ある程度大きなインダクタになると、バンプ102とインダクタ103を一つの基板101上に共存させるのは難しくなってくる。
本発明はこのような従来の実情に鑑みて考案されたものであり、基板面積に比較して、ある程度大きなインダクタを有する場合であっても、バンプとインダクタを一つの基板上に共存させることができ、更なる小型化に寄与する半導体装置を提供することを目的とする。
本発明の請求項1に記載の半導体装置は、少なくとも一面に電極を備えた半導体基板と、該半導体基板の一面を覆うように配された第一絶縁樹脂層と、前記第一絶縁樹脂層上に配され、前記電極と電気的に接続された第一導電層と、前記第一導電層上に順に配された第二絶縁樹脂層、第二導電層、第三絶縁樹脂層、第三導電層と、第三導電層と電気的に接続されたバンプと、を備えた半導体装置であって、前記第二導電層の一部はインダクタとして機能する部位を構成し、前記第二導電層の残部であって一端部は前記第一導電層と、他端部は前記第三導電層とそれぞれ電気的に接続され、前記バンプと前記部位とは、平面視した際に少なくとも一部が重なり合う位置にあることを特徴とする。
本発明の請求項1に記載の半導体装置は、前記請求項1において、前記第三絶縁樹脂層上に配され、面状をなす頂部を有する突起状の樹脂ポストを備え、前記バンプは、前記第三導電層を介して該樹脂ポスト上に載置されていることを特徴とする。
本発明の請求項2に記載の半導体装置は、請求項2において、前記第三絶縁樹脂層及び前記樹脂ポストを被覆する封止樹脂層を備えたことを特徴とする。
本発明の請求項1に記載の半導体装置は、前記請求項1において、前記第三絶縁樹脂層上に配され、面状をなす頂部を有する突起状の樹脂ポストを備え、前記バンプは、前記第三導電層を介して該樹脂ポスト上に載置されていることを特徴とする。
本発明の請求項2に記載の半導体装置は、請求項2において、前記第三絶縁樹脂層及び前記樹脂ポストを被覆する封止樹脂層を備えたことを特徴とする。
本発明では、バンプとインダクタとを、第三絶縁樹脂層を介して、平面視した際に少なくとも一部が重なり合う位置に配することで、ある程度基板面積に比較して大きなインダクタを有する場合であっても、バンプとインダクタを一つの基板上に共存させることができる。これにより本発明では更なる小型化に寄与する半導体装置を提供することが可能となる。
以下、本発明に係る半導体装置の一実施形態を図面に基づいて説明する。
<第一実施形態>
図1は、本発明の半導体装置の一例を示す断面図である。
この半導体装置1A(1)は、少なくとも一面に電極3を備えた半導体基板10と、該半導体基板10の一面を覆うように配された第一絶縁樹脂層11と、前記第一絶縁樹脂層11上に配され、前記電極と電気的に接続された第一導電層12と、前記第一導電層12上に順に配された第二絶縁樹脂層13、第二導電層14、第三絶縁樹脂層15、第三導電層16と、第三導電層16と電気的に接続されたバンプ17と、を備える。
図1は、本発明の半導体装置の一例を示す断面図である。
この半導体装置1A(1)は、少なくとも一面に電極3を備えた半導体基板10と、該半導体基板10の一面を覆うように配された第一絶縁樹脂層11と、前記第一絶縁樹脂層11上に配され、前記電極と電気的に接続された第一導電層12と、前記第一導電層12上に順に配された第二絶縁樹脂層13、第二導電層14、第三絶縁樹脂層15、第三導電層16と、第三導電層16と電気的に接続されたバンプ17と、を備える。
そして本発明の半導体装置1は、前記第二導電層14の一部はインダクタとして機能する部位[以下、「インダクタ(部)、あるいは誘導素子」とも呼ぶ]14aを構成し、前記第二導電層14の残部であって一端部は前記第一導電層12と、他端部は前記第三導電層16とそれぞれ電気的に接続され、前記バンプ17と前記部位14aとは、平面視した際に少なくとも一部が重なり合う位置にあることを特徴とする。
本発明では、バンプ17とインダクタ14aとを、第三絶縁樹脂層15を介して、平面視した際に少なくとも一部が重なり合う位置に配することで、ある程度基板面積に比較して大きなインダクタ14aを有する場合であっても、バンプ17とインダクタ14aを一つの基板上に共存させることができる。これにより、本発明の半導体装置1は、更なる小型化に寄与するものとなる。
この半導体装置1においては、集積回路(IC)2が形成された半導体基板10の表面に集積回路2の電極3およびパッシベーション膜4が形成されている。
この半導体装置1においては、集積回路(IC)2が形成された半導体基板10の表面に集積回路2の電極3およびパッシベーション膜4が形成されている。
半導体基板10は、少なくとも表層が絶縁部(図示略)をなす基材10aの一面上に、例えば電極3としてAlパッドを設け、さらにその上にSiNまたはSiO2 等のパッシベーション膜4(不動態化による絶縁膜)を形成してなるものである。このパッシベーション膜4には、電極3と整合する位置に開口部4aが設けられており、この開口部4aを通して電極3が露出されている。パッシベーション膜4は、例えばLP−CVD法等により形成することができ、その膜厚は例えば0.1〜0.5μmである。
ここでは、インダクタ14aを有する第二導電層14と、集積回路2とを電気的に接続するための電極3が、半導体基板10の表面の2箇所に設けられている。
ここでは、インダクタ14aを有する第二導電層14と、集積回路2とを電気的に接続するための電極3が、半導体基板10の表面の2箇所に設けられている。
第一絶縁樹脂層11は、前記半導体基板10の一面を覆うように配され、各電極3と整合する位置に形成された開口部11aを有する。第一絶縁樹脂層11は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等からなり、その厚さは例えば1〜30μmである。
第一絶縁樹脂層11は、例えば回転塗布法、印刷法、ラミネート法などにより形成することができる。また開口部11aは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。
第一絶縁樹脂層11は、例えば回転塗布法、印刷法、ラミネート法などにより形成することができる。また開口部11aは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。
第一導電層12は、前記第一絶縁樹脂層11上に配され、電極3とスパイラルインダクタ14aとを電気的に接続する再配線層(アンダーパス)である。第一導電層12の一端部は、開口部11aを介して第一絶縁樹脂層11を貫通し、電極3と電気的に接続されている。また、第一導電層12の一端部は、第二絶縁樹脂層13の開口部13aと整合する位置まで延びている。
第一導電層12の材料としては、例えばCu等が用いられ、その厚さは例えば1〜20μmである。これにより十分な導電性が得られる。第一導電層12は、例えば、電解銅めっき法等のめっき法、スパッタリング法、蒸着法、または2つ以上の方法の組み合わせにより形成することができる。
第一導電層12の材料としては、例えばCu等が用いられ、その厚さは例えば1〜20μmである。これにより十分な導電性が得られる。第一導電層12は、例えば、電解銅めっき法等のめっき法、スパッタリング法、蒸着法、または2つ以上の方法の組み合わせにより形成することができる。
第二絶縁樹脂層13は、前記第一導電層12上に配され、半導体基板10の表面に沿う位置が開口部12aとは異なる位置に開口した開口部13aを有する。この開口部13aは、第二導電層14の一端部に整合する位置に形成されている。
第二絶縁樹脂層13は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等からなり、その厚さは例えば1〜30μmである。第二絶縁樹脂層13は、例えば回転塗布法、印刷法、ラミネート法などにより形成することができる。また開口部13aは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。
第二絶縁樹脂層13は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等からなり、その厚さは例えば1〜30μmである。第二絶縁樹脂層13は、例えば回転塗布法、印刷法、ラミネート法などにより形成することができる。また開口部13aは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。
第二導電層14は、第二絶縁樹脂層13上に配され、その一部に誘導素子としてのインダクタ14aを有する。第二導電層14の一端部は、開口部13aを介して第二絶縁樹脂層13を貫通しており、第一導電層12の端部と接続されている。一方、第二導電層14の他端部は、開口部15aを介して第三絶縁樹脂層15を貫通しており、第三導電層16の端部と接続されている。
第二導電層14の材料としては、例えばCu等が用いられ、その厚さは例えば1〜20μmである。これにより十分な導電性が得られる。第二導電層14は、例えば、電解銅めっき法等のめっき法、スパッタリング法、蒸着法、または2つ以上の方法の組み合わせにより形成することができる。
第二導電層14の材料としては、例えばCu等が用いられ、その厚さは例えば1〜20μmである。これにより十分な導電性が得られる。第二導電層14は、例えば、電解銅めっき法等のめっき法、スパッタリング法、蒸着法、または2つ以上の方法の組み合わせにより形成することができる。
特に、本発明の半導体装置1では、前記インダクタ14aと、後述するバンプ17とは、平面視した際に少なくとも一部が重なり合う位置にある。バンプ17とインダクタ14aとを、第三絶縁樹脂層15を介して、平面視した際に少なくとも一部が重なり合う位置に配することで、ある程度基板面積に比較して大きなインダクタ14aを有する場合であっても、バンプ17とインダクタ14aを一つの基板上に共存させることができる。
第三絶縁樹脂層15は、第二導電層14上に配され、半導体基板10の表面に沿う位置が開口部11aおよび開口部13aとは異なる位置に開口した開口部15aを有する。この開口部15aは、第二導電層14の他端部に整合する位置に形成されている。
第三絶縁樹脂層15は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等からなり、その厚さは例えば1〜30μmである。第三絶縁樹脂層15は、例えば回転塗布法、印刷法、ラミネート法などにより形成することができる。また開口部15aは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。
第三絶縁樹脂層15は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等からなり、その厚さは例えば1〜30μmである。第三絶縁樹脂層15は、例えば回転塗布法、印刷法、ラミネート法などにより形成することができる。また開口部15aは、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したパターニングなどにより形成することができる。
第三導電層16は、第三絶縁樹脂層15上に配され、その一端部は、開口部15aを介して第三絶縁樹脂層15を貫通し、第二導電層14と電気的に接続されている。また、第三導電層16の他端部は、封止樹脂層18の開口部18aと整合する位置まで延びており、バンプ17と電気的に接続されている。
第三導電層16の材料としては、例えばCu等が用いられ、その厚さは例えば1〜20μmである。これにより十分な導電性が得られる。第三導電層16は、例えば、電解銅めっき法等のめっき法、スパッタリング法、蒸着法、または2つ以上の方法の組み合わせにより形成することができる。
第三導電層16の材料としては、例えばCu等が用いられ、その厚さは例えば1〜20μmである。これにより十分な導電性が得られる。第三導電層16は、例えば、電解銅めっき法等のめっき法、スパッタリング法、蒸着法、または2つ以上の方法の組み合わせにより形成することができる。
バンプ17は、共晶はんだ、鉛を含まない高温はんだ等を用いることができる。バンプ17は、例えば、はんだボール搭載法、電解はんだめっき法、はんだペースト印刷法、はんだペーストディスペンス法、はんだ蒸着法等により形成することができる。
上述したように、本発明では、バンプ17とインダクタ14aとを、第三絶縁樹脂層15を介して、平面視した際に少なくとも一部が重なり合う位置に配することで、ある程度基板面積に比較して大きなインダクタ14aを有する場合であっても、バンプ17とインダクタ14aを一つの基板上に共存させることができる。これにより、本発明の半導体装置1は、更なる小型化に寄与するものとなる。
前記第三絶縁樹脂層15は、封止樹脂層18により被覆される構成としてもよい。
封止樹脂層18は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等からなり、その厚さは例えば10〜15μmである。封止樹脂層18には、外部への端子(バンプ17)を出力するための開口部18aが設けられる。
このような封止樹脂層18は、例えば、感光性ポリイミド樹脂等の感光性樹脂をフォトリソグラフィ技術によりパターニングすることによって、所望の位置に開口部18aを有する封止樹脂層18を形成することができる。なお、封止樹脂層18の形成方法は、この方法に限定されるものではない。
封止樹脂層18は、例えばポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等からなり、その厚さは例えば10〜15μmである。封止樹脂層18には、外部への端子(バンプ17)を出力するための開口部18aが設けられる。
このような封止樹脂層18は、例えば、感光性ポリイミド樹脂等の感光性樹脂をフォトリソグラフィ技術によりパターニングすることによって、所望の位置に開口部18aを有する封止樹脂層18を形成することができる。なお、封止樹脂層18の形成方法は、この方法に限定されるものではない。
図2は、本発明の半導体装置の他の一例を示す断面図である。
この半導体装置1B(1)は、前記第三絶縁樹脂層15上に配され、面状をなす頂部を有する突起状の樹脂ポスト19を備え、前記バンプ17は、前記第三導電層16を介して該樹脂ポスト19上に載置されている。
樹脂ポスト19は、第三絶縁樹脂層15上であって第三導電層16の一部に少なくとも重なるように形成された略円錐台状の絶縁性の樹脂で、例えば、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコン系樹脂(シリコーン)、ノボラック樹脂等の絶縁性樹脂により構成され、特に、ポジ型感光性樹脂からなるのが好ましい。
この半導体装置1B(1)は、前記第三絶縁樹脂層15上に配され、面状をなす頂部を有する突起状の樹脂ポスト19を備え、前記バンプ17は、前記第三導電層16を介して該樹脂ポスト19上に載置されている。
樹脂ポスト19は、第三絶縁樹脂層15上であって第三導電層16の一部に少なくとも重なるように形成された略円錐台状の絶縁性の樹脂で、例えば、ポリイミド系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコン系樹脂(シリコーン)、ノボラック樹脂等の絶縁性樹脂により構成され、特に、ポジ型感光性樹脂からなるのが好ましい。
また、図3は、本発明の半導体装置の他の一例を示す断面図である。
この半導体装置1C(1)は、前記第三絶縁樹脂層15及び前記樹脂ポスト19を被覆する封止樹脂層18を備えている。
この半導体装置1C(1)は、前記第三絶縁樹脂層15及び前記樹脂ポスト19を被覆する封止樹脂層18を備えている。
<第二実施形態>
図4は、本発明の半導体装置の第二実施形態を示す断面図である。
上述した第一実施形態では、ランド部となる第三導電層16と、第一導電層12及び第二導電層14とは、絶縁樹脂層に設けられた開口部(コンタクトホール)を介して電気的に接続されていたが、本実施形態では、第三導電層16と、第一導電層12及び第二導電層14とを、ワイヤボンド20,21によって電気的に接続している。
図4は、本発明の半導体装置の第二実施形態を示す断面図である。
上述した第一実施形態では、ランド部となる第三導電層16と、第一導電層12及び第二導電層14とは、絶縁樹脂層に設けられた開口部(コンタクトホール)を介して電気的に接続されていたが、本実施形態では、第三導電層16と、第一導電層12及び第二導電層14とを、ワイヤボンド20,21によって電気的に接続している。
図4に示す半導体装置1D(1)では、図中左側において、第三導電層16と第一導電層12とがワイヤボンド20によって接続されている。第二絶縁樹脂層13及び第三絶縁樹脂層15において、第一導電層12の接続部位に整合する位置には開口部13b,開口部15bがそれぞれ配されており、該開口部13b,開口部15bから前記接合部位が露出している。
一方、図4中右側において、第三導電層16と第二導電層14とがワイヤボンド21によって接続されている。第三絶縁樹脂層15において、第二導電層14の接続部位に整合する位置には開口部15cが配されており、該開口部15cから前記接合部位が露出している。
一方、図4中右側において、第三導電層16と第二導電層14とがワイヤボンド21によって接続されている。第三絶縁樹脂層15において、第二導電層14の接続部位に整合する位置には開口部15cが配されており、該開口部15cから前記接合部位が露出している。
図5及び図6は、本実施形態において、半導体装置の他の一例を示す断面図である。
この場合もまた、図5に示す半導体装置1E(1)のように、前記第三絶縁樹脂層15上に配され、面状をなす頂部を有する突起状の樹脂ポスト19を備え、前記バンプ17は、前記第三導電層16を介して該樹脂ポスト19上に載置されていてもよい。
さらに、図6に示す半導体装置1F(1)のように、前記第三絶縁樹脂層15及び前記樹脂ポスト19を被覆する封止樹脂層18を備えていてもよい。
この場合もまた、図5に示す半導体装置1E(1)のように、前記第三絶縁樹脂層15上に配され、面状をなす頂部を有する突起状の樹脂ポスト19を備え、前記バンプ17は、前記第三導電層16を介して該樹脂ポスト19上に載置されていてもよい。
さらに、図6に示す半導体装置1F(1)のように、前記第三絶縁樹脂層15及び前記樹脂ポスト19を被覆する封止樹脂層18を備えていてもよい。
以上、本発明の半導体装置について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜変更が可能である。
例えば、上述した実施形態では、インダクタとして、螺旋形状のインダクタを例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、ソレノイド形状、メアンダ形状やつづら折形状のインダクタでもよい。
また、上述した説明では、半導体基板上のインダクタ1つに対応する部分のみを図示したが、本発明は、複数の誘導素子を備えた半導体装置に適用することもできる。
例えば、上述した実施形態では、インダクタとして、螺旋形状のインダクタを例に挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、ソレノイド形状、メアンダ形状やつづら折形状のインダクタでもよい。
また、上述した説明では、半導体基板上のインダクタ1つに対応する部分のみを図示したが、本発明は、複数の誘導素子を備えた半導体装置に適用することもできる。
本発明は、例えば誘導素子がアンテナコイルとして機能する非接触ICタグ用半導体装置など、誘導素子を有する各種の半導体装置に適用できる。
1(1A〜1F) 半導体装置、2 集積回路、3 電極、10 半導体基板、11 第一絶縁樹脂層、12 第一導電層、13 第二絶縁樹脂層、14 第二導電層、14a インダクタとして機能する部位[インダクタ(部)、誘導素子]、15 第三絶縁樹脂層、16 第三導電層、17 バンプ、18 封止樹脂層、19 樹脂ポスト、20,21 ワイヤボンド。
Claims (3)
- 少なくとも一面に電極を備えた半導体基板と、該半導体基板の一面を覆うように配された第一絶縁樹脂層と、
前記第一絶縁樹脂層上に配され、前記電極と電気的に接続された第一導電層と、
前記第一導電層上に順に配された第二絶縁樹脂層、第二導電層、第三絶縁樹脂層、第三導電層と、
第三導電層と電気的に接続されたバンプと、を備えた半導体装置であって、
前記第二導電層の一部はインダクタとして機能する部位を構成し、
前記第二導電層の残部であって一端部は前記第一導電層と、他端部は前記第三導電層とそれぞれ電気的に接続され、
前記バンプと前記部位とは、平面視した際に少なくとも一部が重なり合う位置にあることを特徴とする半導体装置。 - 前記第三絶縁樹脂層上に配され、面状をなす頂部を有する突起状の樹脂ポストを備え、
前記バンプは、前記第三導電層を介して該樹脂ポスト上に載置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第三絶縁樹脂層及び前記樹脂ポストを被覆する封止樹脂層を備えたことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2008-04-23 JP JP2008112936A patent/JP2009266964A/ja active Pending
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