JP2009256150A - スピネル焼結体 - Google Patents
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Abstract
【課題】波長193nmの真空紫外光の透過性に優れた新たなスピネル焼結体を提供する。
【解決手段】マグネシアアルミナスピネルを主成分とし、リチウム(Li)の含有量が1000重量ppm以上であって、且つ、フッ素(F)の含有量が1重量ppm未満であることを特徴とする、波長193nmでの吸収係数(k10)が0.3/cm以下であるスピネル焼結体を提案する。
【選択図】なし
【解決手段】マグネシアアルミナスピネルを主成分とし、リチウム(Li)の含有量が1000重量ppm以上であって、且つ、フッ素(F)の含有量が1重量ppm未満であることを特徴とする、波長193nmでの吸収係数(k10)が0.3/cm以下であるスピネル焼結体を提案する。
【選択図】なし
Description
本発明は、真空紫外光用の光学レンズ材料として好適に用いることができるスピネル焼結体、中でも波長193nmの真空紫外光の透過性に優れた透明なスピネル焼結体に関する。
紫外光は、半導体デバイスの露光装置やLCDのレーザアニール装置などに広く利用されている。近年、これらの装置の精密化(微細化)が急速に進み、これらに用いる光源の短波長化が進められている。具体的な例を挙げれば、半導体リソグラフィー装置において微細化加工を担うステッパー(;縮小投影型露光装置)等において、解像力を高めるために光源の短波長化が進められ、例えばエキシマレーザ(波長:193nm)やF2エキシマレーザ(波長157nm)などのように、波長200nm以下の真空紫外領域の光を光源に用いたステッパー、並びに、これに用いる真空紫外光用の光学レンズ材料の開発が進められている。
真空紫外光用の光学レンズ材料には、光源の光の波長における屈折率が高く、且つ透過率が高いことが求められ、CaF2、MgF2などの弗化物結晶材料や、スピネル(MgAl2O4)焼結体などが検討されている。中でも、スピネル(MgAl2O4)焼結体は、立方晶で無色透明であるばかりか、アルカリに対して安定であるなど化学的安定性にも優れているため、注目すべき材料であり、従来、スピネル焼結体(MgAl2O4)及びその製造方法に関する発明が開示されている。
例えば特許文献1には、Al2O3とMgOの組成比が0.53:0.47〜0.58:0.42の範囲内であり、かつ波長0.6μmの光線による1mm厚さの直線透過率が75%以上であることを特徴とする多結晶スピネル焼結体が開示されている。
また、特許文献2には、高純度MgAl2O4原料にアルコキシド法により得られた超微粒子Al2O3を混合して焼結する方法が開示されている。
さらにまた、特許文献3には、マグネシア・アルミナ・スピネルを含む粉末から気孔閉鎖物体を生成させ、これを約1400℃で少なくとも約20000psiまで上昇させた圧力の下で加熱して残留気孔を減少させることにより、1.8mmの厚さについて、約0.2μm〜0.4μmの全ての波長で、所定値以上の直線透過率を有する焼結多結晶体が開示されている。
また、特許文献2には、高純度MgAl2O4原料にアルコキシド法により得られた超微粒子Al2O3を混合して焼結する方法が開示されている。
さらにまた、特許文献3には、マグネシア・アルミナ・スピネルを含む粉末から気孔閉鎖物体を生成させ、これを約1400℃で少なくとも約20000psiまで上昇させた圧力の下で加熱して残留気孔を減少させることにより、1.8mmの厚さについて、約0.2μm〜0.4μmの全ての波長で、所定値以上の直線透過率を有する焼結多結晶体が開示されている。
本発明は、真空紫外光の中でも特に波長193nmの真空紫外光に着目し、波長193nmの真空紫外光の透過性に優れた新たなスピネル焼結体を提供せんとするものである。
本発明は、マグネシアアルミナスピネルを主成分とし、リチウム(Li)の含有量が1000重量ppm以上であって、且つ、フッ素(F)の含有量が1重量ppm未満であることを特徴とする、波長193nmでの吸収係数(k10)が0.3/cm以下であるスピネル焼結体を提案するものである。
透明なスピネル焼結体を作製するには、焼結助剤としてLiFを添加することが効果的であることが知られていた(例えば特許文献1の第3頁左上欄参照)が、LiFを多く添加すると、LiFが第2相として残留するために透過率が低下すると言われていた(例えば、特許文献1の第2頁左上欄参照)。
本発明者は、LiFを添加した場合に波長193nmの透過率の低下に影響するのは、主にFであり、Fを1重量ppm未満に減らし、且つ、Liを1000重量ppm以上残存させることで、波長193nmでの吸収係数を0.3/cm以下にすることができることを見出し、かかる知見に基づいて本発明を想到したものである。
本発明者は、LiFを添加した場合に波長193nmの透過率の低下に影響するのは、主にFであり、Fを1重量ppm未満に減らし、且つ、Liを1000重量ppm以上残存させることで、波長193nmでの吸収係数を0.3/cm以下にすることができることを見出し、かかる知見に基づいて本発明を想到したものである。
本発明のスピネル焼結体は、波長193nmの真空紫外光用の光学レンズ材料として好適に使用することができ、例えば半導体リソグラフィー装置において微細化加工を担うステッパー(;縮小投影型露光装置)などに用いる光学レンズ材料として好適に使用することができる。
以下、本発明の実施形態の一例に係るスピネル焼結体(以下、「本スピネル焼結体」という。)について説明するが、本発明の範囲が以下の本スピネル焼結体に限定されるものではない。
本スピネル焼結体は、マグネシアアルミナスピネルを主成分とするものであり、好ましくはMgAl2O4の多結晶体である。
本スピネル焼結体の主成分であるマグネシアアルミナスピネルの組成をMgO・nAl2O3で示した場合、nは0.97〜1.10であるのが好ましく、特に0.98〜1.06、中でも特にほぼ1(0.99〜1.02程度)であるのがより好ましい。
以上の数値範囲内において、nが1を超える場合、すなわちアルミニウムリッチの組成では、結晶中の本来のMgイオン格子位置にAlイオンが置換して入るアンチサイト欠陥が増えることになる。アンチサイト欠陥は吸収端を長波長側にシフトさせて透過率を低下すると考えられる。また、アンチサイト欠陥に伴う正電荷過剰が光の吸収を生じて透過率を低下するとも考えられる。
他方、nが1未満、すなわちマグネシアリッチの組成では、MgOが第2相として現れるために透過率が下がるようになると考えられる。また、nがほぼ1(0.99〜1.02程度)の場合には、アンチサイト欠陥などが少ないために光学特性をより一層改善できるものと考えられる。
以上の数値範囲内において、nが1を超える場合、すなわちアルミニウムリッチの組成では、結晶中の本来のMgイオン格子位置にAlイオンが置換して入るアンチサイト欠陥が増えることになる。アンチサイト欠陥は吸収端を長波長側にシフトさせて透過率を低下すると考えられる。また、アンチサイト欠陥に伴う正電荷過剰が光の吸収を生じて透過率を低下するとも考えられる。
他方、nが1未満、すなわちマグネシアリッチの組成では、MgOが第2相として現れるために透過率が下がるようになると考えられる。また、nがほぼ1(0.99〜1.02程度)の場合には、アンチサイト欠陥などが少ないために光学特性をより一層改善できるものと考えられる。
本スピネル焼結体は、F含有量が1重量ppm未満であり、且つ、Li含有量が1000重量ppm以上(好ましくは1000重量ppm〜10000重量ppm)であることが重要である。
LiFを焼結助剤として比較的多量に添加してスピネル焼結体の焼結性を高めた場合、通常であればLi、Fともに残留して波長193nmでの光透過率が低下する。しかし、Fの含有量を1重量ppm未満に制御し、且つLiの含有量を1000重量ppm以上に制御すると、透過率が低下せず、波長193nmでの光の吸収係数を0.3/cm以下に低下させられることが判明した。
なお、Liの含有量を1000重量ppm以上にすることで、Liイオンはイオン半径の近いMgイオンの格子位置に優先的に置換して占有し、AlイオンがMgイオン格子位置に入るアンチサイト欠陥を抑止する効果が期待できる。また、マグネシアとアルミナの組成を制御しても排除しきれないアンチサイト欠陥が存在しても、AlイオンがMgイオン格子位置に置換して入るアンチサイト欠陥の正電荷過剰をLiイオンが補償する効果も期待できる。
LiFを焼結助剤として比較的多量に添加してスピネル焼結体の焼結性を高めた場合、通常であればLi、Fともに残留して波長193nmでの光透過率が低下する。しかし、Fの含有量を1重量ppm未満に制御し、且つLiの含有量を1000重量ppm以上に制御すると、透過率が低下せず、波長193nmでの光の吸収係数を0.3/cm以下に低下させられることが判明した。
なお、Liの含有量を1000重量ppm以上にすることで、Liイオンはイオン半径の近いMgイオンの格子位置に優先的に置換して占有し、AlイオンがMgイオン格子位置に入るアンチサイト欠陥を抑止する効果が期待できる。また、マグネシアとアルミナの組成を制御しても排除しきれないアンチサイト欠陥が存在しても、AlイオンがMgイオン格子位置に置換して入るアンチサイト欠陥の正電荷過剰をLiイオンが補償する効果も期待できる。
本スピネル焼結体において、鉄(Fe)の含有量は、4重量ppm未満であるのが好ましく、特に1重量ppm未満、中でも特に0.5重量ppm未満であるのが好ましい。
ケイ素(Si)の含有量は、4重量ppm未満であるのが好ましく、特に2重量ppm未満、中でも特に1重量ppm未満であるのが好ましい。
硫黄(S)の含有量は、2重量ppm未満であるのが好ましく、特に1重量ppm未満、中でも特に0.5重量ppm未満であるのが好ましい。
これらFe、Si及びSは、意図して添加するものではなく不可避的に含まれる元素であるが、原料の純度を高め、混合装置乃至器具の素材を選択し、製造環境をクリーンルームにし、さらにFを排出する焼結条件下で焼結させてFe、Si及びSを同時に排出させることで、これらFe、Si及びSの濃度をそれぞれ所望の含有量未満に制御することができ、波長193nmでの吸収係数をより一層低下させることができる。
ケイ素(Si)の含有量は、4重量ppm未満であるのが好ましく、特に2重量ppm未満、中でも特に1重量ppm未満であるのが好ましい。
硫黄(S)の含有量は、2重量ppm未満であるのが好ましく、特に1重量ppm未満、中でも特に0.5重量ppm未満であるのが好ましい。
これらFe、Si及びSは、意図して添加するものではなく不可避的に含まれる元素であるが、原料の純度を高め、混合装置乃至器具の素材を選択し、製造環境をクリーンルームにし、さらにFを排出する焼結条件下で焼結させてFe、Si及びSを同時に排出させることで、これらFe、Si及びSの濃度をそれぞれ所望の含有量未満に制御することができ、波長193nmでの吸収係数をより一層低下させることができる。
本スピネル焼結体は、波長193nmでの吸収係数が0.3/cm以下であることが特徴であるが、好ましくは0.2/cm以下、より好ましくは0.15/cm以下である。
この際、波長193nmでの吸収係数は次の式(4)より求められる値である。
すなわち、一般的な吸収係数は次の式(1)より求められる値である。
(1)・・・吸収係数:k10≡−Log10(T/To)/L
(但し、式(1)において、Tは直線透過率[%],Toは反射率を補正した理論透過率[%]であり、次の式(2)より求められる。また、Lは試料厚み[cm]をそれぞれ示す。)
(2)・・・理論透過率T0={(1−R)2/(1−R2)}×100
(但し、式(2)において、Rは反射率を示し、次の式(3)より求められる。)
(3)・・・反射率R={(n−1)/(n+1)}2
(但し、式(3)において、nは屈折率を示す。)
ここで、マグネシアアルミナスピネルの波長193nmにおける屈折率は、学会(“High-Index Materials for 193nm Immersion Lithography”,J.Burnettetal,O28,2ndInt.Symp.ImmersionLithography(2005))で、n=1.92と報告されているので、上記の式(1)〜(3)により、マグネシアアルミナスピネルの波長193nmにおける吸収係数は、次の式(4)より求められる。
(4)・・・吸収係数:k10≡−Log10(T/81.94)/L
(但し、式(4)においてTは波長193nmでの直線透過率[%]、Lは試料厚み[cm]をそれぞれ示す。)。
すなわち、一般的な吸収係数は次の式(1)より求められる値である。
(1)・・・吸収係数:k10≡−Log10(T/To)/L
(但し、式(1)において、Tは直線透過率[%],Toは反射率を補正した理論透過率[%]であり、次の式(2)より求められる。また、Lは試料厚み[cm]をそれぞれ示す。)
(2)・・・理論透過率T0={(1−R)2/(1−R2)}×100
(但し、式(2)において、Rは反射率を示し、次の式(3)より求められる。)
(3)・・・反射率R={(n−1)/(n+1)}2
(但し、式(3)において、nは屈折率を示す。)
ここで、マグネシアアルミナスピネルの波長193nmにおける屈折率は、学会(“High-Index Materials for 193nm Immersion Lithography”,J.Burnettetal,O28,2ndInt.Symp.ImmersionLithography(2005))で、n=1.92と報告されているので、上記の式(1)〜(3)により、マグネシアアルミナスピネルの波長193nmにおける吸収係数は、次の式(4)より求められる。
(4)・・・吸収係数:k10≡−Log10(T/81.94)/L
(但し、式(4)においてTは波長193nmでの直線透過率[%]、Lは試料厚み[cm]をそれぞれ示す。)。
本スピネル焼結体は、厚さ4mmにおいて、波長193nmでの直線透過率(T%)が62%以上であるのが好ましく、特に68%以上であるのが好ましく、中でも特に72%以上であるのが好ましい。
直線透過率は、入射する光の光軸と平行な直線上における、入射光の強度に対する透過光の強度の割合である。したがって、各波長の光に対して直線透過率が高いほど、強い透過光が得られ、透過するレンズに吸収される光エネルギが小さいため、レンズの発熱を抑えることができる。
直線透過率は、入射する光の光軸と平行な直線上における、入射光の強度に対する透過光の強度の割合である。したがって、各波長の光に対して直線透過率が高いほど、強い透過光が得られ、透過するレンズに吸収される光エネルギが小さいため、レンズの発熱を抑えることができる。
本スピネル焼結体の焼結体密度は、3.58g/cm3、すなわちマグネシアアルミナスピネルの理論密度に等しいことが好ましい。
本スピネル焼結体の結晶粒径は、1μm〜1mmであるのが好ましく、特に10μm〜500μm、その中でも特に10μm〜100μmであるのが好ましい。
本スピネル焼結体は、厚さを特に制限するものではなく、厚さを大きくしても波長193nmでの直線透過率(T%)を維持できる点に特徴があり、例えば3.5mm以上の厚さとしても波長193nmでの直線透過率(T%)を上記の好ましい値に維持することができる。
(スピネル焼結体の製造方法)
本スピネル焼結体の製造においては、LiFを比較的多量に添加すると共に、加圧焼結する際に、昇温速度を緩慢に制御することが好ましい。LiFを比較的多量に添加することにより、焼結を促進させると共に、気泡など光の錯乱を無くすことができ、焼結助剤の効果を十分に利用することができる。さらに昇温速度を緩慢にすることにより、Liを残しつつ、Fと過剰なLiの排出を促進し、残留F含有量を低下させることができる。
本スピネル焼結体の製造においては、LiFを比較的多量に添加すると共に、加圧焼結する際に、昇温速度を緩慢に制御することが好ましい。LiFを比較的多量に添加することにより、焼結を促進させると共に、気泡など光の錯乱を無くすことができ、焼結助剤の効果を十分に利用することができる。さらに昇温速度を緩慢にすることにより、Liを残しつつ、Fと過剰なLiの排出を促進し、残留F含有量を低下させることができる。
主原料としては、スピネル粉末(MgAl2O4)、又は、酸化マグネシウム粉末(MgO)と酸化アルミニウム粉末(Al2O3)の混合物を使用すればよい。
主原料として酸化マグネシウム(MgO)と酸化アルミニウム(Al2O3)とを使用する場合には、マグネシアアルミナスピネルの組成がMgO・nAl2O3(n=1)で示すことができるように、すなわち当モルで混合するのが好ましい。但し、必要に応じてMgO或いはAl2O3がより多くなるように混合することは可能である。例えばMgOが多くなるようにnが1〜0.97となるように配合してもよいし、また、Al2O3がより多くなるようにnが1〜1.10となるように配合してもよい。
主原料として酸化マグネシウム(MgO)と酸化アルミニウム(Al2O3)とを使用する場合には、マグネシアアルミナスピネルの組成がMgO・nAl2O3(n=1)で示すことができるように、すなわち当モルで混合するのが好ましい。但し、必要に応じてMgO或いはAl2O3がより多くなるように混合することは可能である。例えばMgOが多くなるようにnが1〜0.97となるように配合してもよいし、また、Al2O3がより多くなるようにnが1〜1.10となるように配合してもよい。
本スピネル焼結体の製造においては、焼結助剤としてフッ化リチウム(LiF)を添加して製造することが重要である。
この際、フッ化リチウム(LiF)は、上記主原料に対して1〜6重量%、特に2〜5重量%、中でも特に3〜4重量%含まれるように添加するのが好ましい。
この際、フッ化リチウム(LiF)は、上記主原料に対して1〜6重量%、特に2〜5重量%、中でも特に3〜4重量%含まれるように添加するのが好ましい。
原料は、例えば湿式ボールミルなどで混合し、必要に応じて乾燥させ、必要に応じて造粒及び分級を行い、ホットプレス機などで加圧しながら焼結すればよい。
ボールミル装置としては、不純物の混入量を低減するために、純度99.9%以上のアルミナボールを使用するのが好ましい。また、ポット容器の内面も純度99.9以上のアルミナで覆うか、ポリエチレンなどの有機物材質を使用するのがさらに好ましい。
加圧焼成は、真空、アルゴン、窒素などの雰囲気下において、圧力を加えながらLiFの融点(840℃)近くまで加熱した後、少なくとも1000℃〜1200℃の温度域においては昇温速度0.01〜0.5℃/分で加熱して、スピネル(MgAl2O4)の焼結が進む温度(1300〜1800℃)にまで到達させて必要時間保持した後、冷却するのが好ましい。
この際、昇温速度を緩慢に制御する温度域は、例えば室温から最高温度までのように広いほどよいが、時間の制約もあるため、例えば被処理体の収縮が顕著になり始める750℃から最高温度までの範囲に限ってもよい。また、より短時間で行うために、LiFの添加量と昇温速度に合わせて効率的な範囲に絞り込むことも可能である。
加圧焼成における圧力は、20〜70MPa、特に25〜50MPa、中でも特に30〜40MPaとするのが好ましい。
なお、常に一定の圧力にする必要はない。例えばFの排出過程が顕著な低温域は比較的低圧力にする一方、焼結が進む高温域では比較的高い圧力にしてもよいと考えられる。
この際、昇温速度を緩慢に制御する温度域は、例えば室温から最高温度までのように広いほどよいが、時間の制約もあるため、例えば被処理体の収縮が顕著になり始める750℃から最高温度までの範囲に限ってもよい。また、より短時間で行うために、LiFの添加量と昇温速度に合わせて効率的な範囲に絞り込むことも可能である。
加圧焼成における圧力は、20〜70MPa、特に25〜50MPa、中でも特に30〜40MPaとするのが好ましい。
なお、常に一定の圧力にする必要はない。例えばFの排出過程が顕著な低温域は比較的低圧力にする一方、焼結が進む高温域では比較的高い圧力にしてもよいと考えられる。
加圧焼結後、残存気泡を潰すために熱間等方圧加工処理(HIP:Hot Isostatic Pressing)を行ってもよい。
熱間等方圧加工処理(HIP)は、Arなどのガスを圧力媒体として、100〜2000℃、好ましくは1000〜2000℃に加熱しながら20MPa〜200MPaの等方的な圧力を被処理体に同時に加えて処理すればよい。
熱間等方圧加工処理(HIP)は、Arなどのガスを圧力媒体として、100〜2000℃、好ましくは1000〜2000℃に加熱しながら20MPa〜200MPaの等方的な圧力を被処理体に同時に加えて処理すればよい。
(用途)
本スピネル焼結体は、波長193nmでの吸収係数が小さいことから、波長193nmの真空紫外光用のレンズ材料として好適に用いることができる。
よって、波長193nmの真空紫外光を用いた装置のレンズ材料、例えば半導体リソグラフィー装置において微細化加工を担うステッパー(;縮小投影型露光装置)などに用いる光学レンズ材料として好適に提供することができる。より具体的には、リソグラフィー用のスキャナーまたはステッパー中の照明及び投影システムにおいて、照射源後方及びフォトマスク前方に配置されるレンズ、フォトマスク後方のビーム通路中、すなわちフォトマスクとウェハーの間に配置されるレンズ、液浸用の終端レンズ、すなわち投影光学装置の前面レンズなどの材料として特に好適に使用することができる。
本スピネル焼結体は、波長193nmでの吸収係数が小さいことから、波長193nmの真空紫外光用のレンズ材料として好適に用いることができる。
よって、波長193nmの真空紫外光を用いた装置のレンズ材料、例えば半導体リソグラフィー装置において微細化加工を担うステッパー(;縮小投影型露光装置)などに用いる光学レンズ材料として好適に提供することができる。より具体的には、リソグラフィー用のスキャナーまたはステッパー中の照明及び投影システムにおいて、照射源後方及びフォトマスク前方に配置されるレンズ、フォトマスク後方のビーム通路中、すなわちフォトマスクとウェハーの間に配置されるレンズ、液浸用の終端レンズ、すなわち投影光学装置の前面レンズなどの材料として特に好適に使用することができる。
(用語の解説)
本発明において「X〜Y」(X、Yは任意の数字)と記載した場合、特にことわらない限り「X以上Y以下」の意とともに、「好ましくはXより大きい」或いは「好ましくはYより小さい」の意を包含する。
また、本明細書において、「主成分」とは、その成分が影響する割合で含有される成分であり、その成分の機能を妨げない範囲で他の成分を含むことを許容する意を包含するものである。「主成分」の含有割合を特に制限するものではないが、本スピネル焼結体においては、90重量%以上、特に95重量%以上、中でも99重量%以上(100%を含む)であるのが好ましい。
本発明において「X〜Y」(X、Yは任意の数字)と記載した場合、特にことわらない限り「X以上Y以下」の意とともに、「好ましくはXより大きい」或いは「好ましくはYより小さい」の意を包含する。
また、本明細書において、「主成分」とは、その成分が影響する割合で含有される成分であり、その成分の機能を妨げない範囲で他の成分を含むことを許容する意を包含するものである。「主成分」の含有割合を特に制限するものではないが、本スピネル焼結体においては、90重量%以上、特に95重量%以上、中でも99重量%以上(100%を含む)であるのが好ましい。
以下、本発明に関する実施例について説明するが、本発明は以下に説明する実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
酸化マグネシウム粉末(MgO、純度99.99重量%)と酸化アルミニウム粉末(Al2O3、純度99.999重量%)とをモル比1:1で混合すると共に、全原料の4重量%のフッ化リチウム(LiF)を添加し、エタノール中で湿式ボールミルにより粉砕及び混合を行った。得られた混合物を乾燥させた後、乳鉢で粉砕し、500μmの篩を使って篩下を回収し、ハンドプレス機で14MPaの圧力で予備成型を行った。そして、予備成型体はその周りをグラファイトフォイル(A GRAF TECH INTERNATIONAL社製)で覆いながらカーボンダイス中にセットし、このカーボンダイスをホットプレス機にセットした。焼結は、装置内の雰囲気を10Pa以下の真空度に保ちながら、プレス圧力70MPaを加えながら昇温速度0.25℃/分で1550℃まで加熱して2時間保持した後、室温まで冷却して試料を得た。なお、上記の一連の製造工程のうち、原料の秤量から予備成型までをクリーンルーム内で行った。
酸化マグネシウム粉末(MgO、純度99.99重量%)と酸化アルミニウム粉末(Al2O3、純度99.999重量%)とをモル比1:1で混合すると共に、全原料の4重量%のフッ化リチウム(LiF)を添加し、エタノール中で湿式ボールミルにより粉砕及び混合を行った。得られた混合物を乾燥させた後、乳鉢で粉砕し、500μmの篩を使って篩下を回収し、ハンドプレス機で14MPaの圧力で予備成型を行った。そして、予備成型体はその周りをグラファイトフォイル(A GRAF TECH INTERNATIONAL社製)で覆いながらカーボンダイス中にセットし、このカーボンダイスをホットプレス機にセットした。焼結は、装置内の雰囲気を10Pa以下の真空度に保ちながら、プレス圧力70MPaを加えながら昇温速度0.25℃/分で1550℃まで加熱して2時間保持した後、室温まで冷却して試料を得た。なお、上記の一連の製造工程のうち、原料の秤量から予備成型までをクリーンルーム内で行った。
(実施例2)
加圧焼成におけるプレス圧力を35MPaに変更した以外、実施例1と同様に試料を得た。
加圧焼成におけるプレス圧力を35MPaに変更した以外、実施例1と同様に試料を得た。
(実施例3)
加圧焼成におけるプレス圧力を35MPaに変更すると共に、加熱する際の昇温速度を0.14℃/分に変更した以外、実施例1と同様に試料を得た。
加圧焼成におけるプレス圧力を35MPaに変更すると共に、加熱する際の昇温速度を0.14℃/分に変更した以外、実施例1と同様に試料を得た。
(実施例4)
酸化マグネシウム粉末(MgO、純度99.99重量%)と酸化アルミニウム粉末(Al2O3、純度99.999重量%)とをモル比1:1で混合すると共に、全原料の4重量%のフッ化リチウム(LiF)を添加し、エタノール中で湿式ボールミルにより粉砕及び混合を行った。得られた混合物を乾燥させた後、乳鉢で粉砕し、500μmの篩を使って篩下を回収し、ハンドプレス機で14MPaの圧力で予備成型を行った。そして、予備成型体はその周りをグラファイトフォイル(A GRAF TECH INTERNATIONAL社製)で覆いながらカーボンダイス中にセットし、このカーボンダイスをホットプレス機にセットした。焼結は、装置内の雰囲気を10Pa以下の真空度に保ちながら、プレス圧力35MPaを加えながら昇温速度0.5℃/分で1550℃まで加熱して2時間保持した後、室温まで冷却した。次に、アルゴンガスを圧力媒体として1800℃まで加熱しながら180MPaの等方的な圧力下で2.5時間の熱間等方圧処理(HIP)を行い、試料を得た。
なお、上記の一連の製造工程のうち、原料の秤量から予備成型までをクリーンルーム内で行った。
酸化マグネシウム粉末(MgO、純度99.99重量%)と酸化アルミニウム粉末(Al2O3、純度99.999重量%)とをモル比1:1で混合すると共に、全原料の4重量%のフッ化リチウム(LiF)を添加し、エタノール中で湿式ボールミルにより粉砕及び混合を行った。得られた混合物を乾燥させた後、乳鉢で粉砕し、500μmの篩を使って篩下を回収し、ハンドプレス機で14MPaの圧力で予備成型を行った。そして、予備成型体はその周りをグラファイトフォイル(A GRAF TECH INTERNATIONAL社製)で覆いながらカーボンダイス中にセットし、このカーボンダイスをホットプレス機にセットした。焼結は、装置内の雰囲気を10Pa以下の真空度に保ちながら、プレス圧力35MPaを加えながら昇温速度0.5℃/分で1550℃まで加熱して2時間保持した後、室温まで冷却した。次に、アルゴンガスを圧力媒体として1800℃まで加熱しながら180MPaの等方的な圧力下で2.5時間の熱間等方圧処理(HIP)を行い、試料を得た。
なお、上記の一連の製造工程のうち、原料の秤量から予備成型までをクリーンルーム内で行った。
(比較例1)
スピネル粉末(MgAl2O4、純度99.985重量%)に、全原料の1重量%のフッ化リチウム(LiF)を添加し、エタノール中で湿式ボールミルにより粉砕及び混合を行った。得られた混合物を乾燥させた後、乳鉢で粉砕し、500μmの篩を使って篩下を回収し、ハンドプレス機で14MPaの圧力で予備成型を行った。そして、予備成型体はその周りをグラファイトフォイル(A GRAF TECH INTERNATIONAL社製)で覆いながらカーボンダイス中にセットし、このカーボンダイスをホットプレス機にセットした。焼結は、装置内の雰囲気を10Pa以下の真空度に保ちながら、プレス圧力50MPaを加えながら昇温速度8.75℃/分で1550℃まで加熱して2時間保持した後、室温まで冷却して試料を得た。なお、上記の一連の製造工程は一般環境下で行った。
スピネル粉末(MgAl2O4、純度99.985重量%)に、全原料の1重量%のフッ化リチウム(LiF)を添加し、エタノール中で湿式ボールミルにより粉砕及び混合を行った。得られた混合物を乾燥させた後、乳鉢で粉砕し、500μmの篩を使って篩下を回収し、ハンドプレス機で14MPaの圧力で予備成型を行った。そして、予備成型体はその周りをグラファイトフォイル(A GRAF TECH INTERNATIONAL社製)で覆いながらカーボンダイス中にセットし、このカーボンダイスをホットプレス機にセットした。焼結は、装置内の雰囲気を10Pa以下の真空度に保ちながら、プレス圧力50MPaを加えながら昇温速度8.75℃/分で1550℃まで加熱して2時間保持した後、室温まで冷却して試料を得た。なお、上記の一連の製造工程は一般環境下で行った。
(比較例2)
酸化マグネシウム粉末(MgO、純度99.99重量%)と酸化アルミニウム粉末(Al2O3、純度99.999重量%)とをモル比1:1で混合すると共に、全原料の2重量%のフッ化リチウム(LiF)を添加し、エタノール中で湿式ボールミルにより粉砕及び混合を行った。得られた混合物を乾燥させた後、乳鉢で粉砕し、500μmの篩を使って篩下を回収し、ハンドプレス機で14MPaの圧力で予備成型を行った。そして、予備成型体はその周りをグラファイトフォイル(A GRAF TECH INTERNATIONAL社製)で覆いながらカーボンダイス中にセットし、このカーボンダイスをホットプレス機にセットした。焼結は、装置内の雰囲気を10Pa以下の真空度に保ちながら、プレス圧力50MPaを加えながら昇温速度8.75℃/分で1550℃まで加熱して2時間保持した後、室温まで冷却して試料を得た。なお、上記の一連の製造工程は一般環境下で行った。
酸化マグネシウム粉末(MgO、純度99.99重量%)と酸化アルミニウム粉末(Al2O3、純度99.999重量%)とをモル比1:1で混合すると共に、全原料の2重量%のフッ化リチウム(LiF)を添加し、エタノール中で湿式ボールミルにより粉砕及び混合を行った。得られた混合物を乾燥させた後、乳鉢で粉砕し、500μmの篩を使って篩下を回収し、ハンドプレス機で14MPaの圧力で予備成型を行った。そして、予備成型体はその周りをグラファイトフォイル(A GRAF TECH INTERNATIONAL社製)で覆いながらカーボンダイス中にセットし、このカーボンダイスをホットプレス機にセットした。焼結は、装置内の雰囲気を10Pa以下の真空度に保ちながら、プレス圧力50MPaを加えながら昇温速度8.75℃/分で1550℃まで加熱して2時間保持した後、室温まで冷却して試料を得た。なお、上記の一連の製造工程は一般環境下で行った。
(比較例3)
酸化マグネシウム粉末(MgO、純度99.99重量%)と酸化アルミニウム粉末(Al2O3、純度99.999重量%)とをモル比1:1で混合すると共に、全原料の2重量%のフッ化リチウム(LiF)を添加し、エタノール中で湿式ボールミルにより粉砕及び混合を行った。得られた混合物を乾燥させた後、乳鉢で粉砕し、500μmの篩を使って篩下を回収し、ハンドプレス機で14MPaの圧力で予備成型を行った。そして、予備成型体はその周りをグラファイトフォイル(A GRAF TECH INTERNATIONAL社製)で覆いながらカーボンダイス中にセットし、このカーボンダイスをホットプレス機にセットした。焼結は、装置内の雰囲気を10Pa以下の真空度に保ちながら、プレス圧力70MPaを加えながら昇温速度1℃/分で1550℃まで加熱して2時間保持した後、室温まで冷却して試料を得た。なお、上記の一連の製造工程のうち、原料の秤量から予備成型までをクリーンルーム内で行った。
酸化マグネシウム粉末(MgO、純度99.99重量%)と酸化アルミニウム粉末(Al2O3、純度99.999重量%)とをモル比1:1で混合すると共に、全原料の2重量%のフッ化リチウム(LiF)を添加し、エタノール中で湿式ボールミルにより粉砕及び混合を行った。得られた混合物を乾燥させた後、乳鉢で粉砕し、500μmの篩を使って篩下を回収し、ハンドプレス機で14MPaの圧力で予備成型を行った。そして、予備成型体はその周りをグラファイトフォイル(A GRAF TECH INTERNATIONAL社製)で覆いながらカーボンダイス中にセットし、このカーボンダイスをホットプレス機にセットした。焼結は、装置内の雰囲気を10Pa以下の真空度に保ちながら、プレス圧力70MPaを加えながら昇温速度1℃/分で1550℃まで加熱して2時間保持した後、室温まで冷却して試料を得た。なお、上記の一連の製造工程のうち、原料の秤量から予備成型までをクリーンルーム内で行った。
<透過率測定>
試料(焼結体)の上下両面を光学鏡面研磨して測定試料を作製した。それぞれの測定試料は、表2に示す厚さとなった。
各測定試料について、紫外域試料測定システムU−4100型分光光度計(株式会社日立ハイテクノロジーズ社製)を使用して直線透過率(%T)を測定した。
測定条件は、波長範囲:190nm−900nm、スキャンスピード:300nm/min、スリット幅:3nm、データモード:透過率(%T)とした。
測定データから読み取った193nmの直線透過率と試料厚みから、次の式(4)により、波長193nmにおける吸収係数を求めた。
試料(焼結体)の上下両面を光学鏡面研磨して測定試料を作製した。それぞれの測定試料は、表2に示す厚さとなった。
各測定試料について、紫外域試料測定システムU−4100型分光光度計(株式会社日立ハイテクノロジーズ社製)を使用して直線透過率(%T)を測定した。
測定条件は、波長範囲:190nm−900nm、スキャンスピード:300nm/min、スリット幅:3nm、データモード:透過率(%T)とした。
測定データから読み取った193nmの直線透過率と試料厚みから、次の式(4)により、波長193nmにおける吸収係数を求めた。
(4)・・・吸収係数:k10≡−Log10(T/81.94)/L
(但し、式(4)においてTは波長193nmでの直線透過率[%]、Lは試料厚み[cm]をそれぞれ示す。)。
(但し、式(4)においてTは波長193nmでの直線透過率[%]、Lは試料厚み[cm]をそれぞれ示す。)。
<元素分析>
グロー放電重量分析装置(VGElemental社製VG9000)を用いてGD−MS分析を行い、試料中のLi、F、Fe、Si及びSの含有量(重量ppm)を測定した。
グロー放電重量分析装置(VGElemental社製VG9000)を用いてGD−MS分析を行い、試料中のLi、F、Fe、Si及びSの含有量(重量ppm)を測定した。
(考察)
実施例1−4と比較例1−3とを対比すると、Li含有量を1000重量ppm以上とし、F含有量を1重量ppm未満に制御した実施例1−4は、波長193nmの真空紫外光の吸収係数が顕著に低く、いずれも0.3/cm以下となることが分かった。
この際、スピネル焼結体の製造においては、LiFを比較的多量に添加すると共に、昇温速度を緩慢に制御して加圧焼成することで、Liを残したままF含有量を低減することができることが分かった。
波長193nmの真空紫外光における吸収係数が低いことから、実用的なレンズの厚さ(例えば1cm以上)であっても、光の吸収に伴う発熱が小さく、熱応力などによる像の歪みを抑えることができ、実用に耐えられると予想できる。
また、波長193nmの真空紫外光における吸収係数が低いことから、他の波長の真空紫外光の吸収係数も低いことが予想される。
なお、実施例1−4及び比較例1−3で得られた試料をX線回折にて分析したところ、いずれもMgAl2O4の多結晶体であることを確認した。
実施例1−4と比較例1−3とを対比すると、Li含有量を1000重量ppm以上とし、F含有量を1重量ppm未満に制御した実施例1−4は、波長193nmの真空紫外光の吸収係数が顕著に低く、いずれも0.3/cm以下となることが分かった。
この際、スピネル焼結体の製造においては、LiFを比較的多量に添加すると共に、昇温速度を緩慢に制御して加圧焼成することで、Liを残したままF含有量を低減することができることが分かった。
波長193nmの真空紫外光における吸収係数が低いことから、実用的なレンズの厚さ(例えば1cm以上)であっても、光の吸収に伴う発熱が小さく、熱応力などによる像の歪みを抑えることができ、実用に耐えられると予想できる。
また、波長193nmの真空紫外光における吸収係数が低いことから、他の波長の真空紫外光の吸収係数も低いことが予想される。
なお、実施例1−4及び比較例1−3で得られた試料をX線回折にて分析したところ、いずれもMgAl2O4の多結晶体であることを確認した。
Claims (6)
- マグネシアアルミナスピネルを主成分とし、リチウム(Li)の含有量が1000重量ppm以上であって、且つ、フッ素(F)の含有量が1重量ppm未満であることを特徴とする、波長193nmでの吸収係数(k10)が0.3/cm以下であるスピネル焼結体。
- 硫黄(S)の含有量が2重量ppm未満であることを特徴とする請求項1記載のスピネル焼結体。
- ケイ素(Si)の含有量が4重量ppm未満であることを特徴とする請求項1又は2に記載のスピネル焼結体。
- 鉄(Fe)の含有量が4重量ppm未満であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のスピネル焼結体。
- 主成分であるマグネシアアルミナスピネルの組成をMgO・nAl2O3で示した場合、nは0.97〜1.10であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のスピネル焼結体。
- 厚さが3.5mm以上であることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のスピネル焼結体。
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130716 |