JP2009237117A - ミラー駆動回路および光スイッチ - Google Patents

Abstract

【課題】ミラーを制御するためのＤＡＣの占めるコスト比率を低減すること。
【解決手段】本発明にかかるミラー駆動回路１００は、演算部１３０が、オフセット電圧および制御電圧を演算し、全体のオフセット電圧を印加する電源部１４０が、ＭＥＭＳミラー１１０のマイナス側（ＧＮＤ）にオフセット電圧を印加する。そして、コストの低い汎用ＤＡＣ部１５０によってプラス側に電圧を印加することにより、ＭＥＭＳミラー１１０を制御する。
【選択図】 図２

Description

この発明は、波長分割多重（ＷＤＭ；Wavelength Division Multiplexing）通信などの光クロスコネクト（ＯＸＣ；Optical Cross-Connect）システムに関し、特にＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ミラーを用いたミラー駆動回路および光スイッチに関する。

近年、インターネットの利用者が急増しており、増加する通信トラフィックに対応すべく、高速通信が可能な光ネットワークが広く利用されている。そして、この光ネットワークでは、接続されるノード数および波長数が多くなるため、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ミラーを用いた光スイッチが利用されている（例えば、特許文献１参照）。

ここで、ＭＥＭＳミラーを用いたスイッチ（以下、ＭＥＭＳ光ＳＷ）の構成について説明する。図１３は、従来のＭＥＭＳ光ＳＷの構成を示す図である。図１３に示すように、このＭＥＭＳ光ＳＷ１０は、入力ポート１１と、出力ポート１２と、入力ミラー１３と、出力ミラー１４とを備えて構成される。なお、その他の構成は、周知の光スイッチと同様であるので説明を省略する。

ＭＥＭＳ光ＳＷ１０は、入力ミラー１３、出力ミラー１４に設置されたＭＥＭＳミラーの角度を制御することにより、入力ポート１１中のチャンネルから入力された光を、出力ポート１２中の任意のチャンネルから出力させる。

ここで、入力ポート１１のチャンネル数を６０ｃｈ、出力ポート１２のチャンネル数を６０ｃｈとすると、入力ミラー１３は６４枚のＭＥＭＳミラーが必要となり、出力ミラー１４は６４枚のＭＥＭＳミラーが必要となるので、計１２８枚のＭＥＭＳミラーを制御する必要がある。

なお、ＭＥＭＳミラーを制御する場合には、各ＭＥＭＳミラーの縦方向および横方向にある電極に高電圧（例えば、２００Ｖ）の電圧を印加することにより、静電気力を発生させ、ＭＥＭＳミラーを制御する（任意の方向にＭＥＭＳミラーを傾ける）。

続いて、ＭＥＭＳミラーを制御するミラー駆動回路について説明する。図１４は、従来のミラー駆動回路の構成を示す機能ブロック図である。同図に示すように、このミラー駆動回路２０は、ＭＥＭＳミラー２１と、接続基板（Dpram）２２と、演算部２３と、高電圧ＤＡＣ（Digital Analog Converter）部２４とを備えて構成される。

このうち、ＭＥＭＳミラー２１は、図１３に示した入力ミラー１３、出力ミラー１４に設置されたＭＥＭＳミラーに対応する。ＭＥＭＳミラー２１は、例えば、入力ポート１１のチャンネル数が６０ｃｈ、出力ポート１２のチャンネル数が６０ｃｈの場合には、１２８枚のＭＥＭＳミラーによって構成される。

接続基板（Dpram）２２は、上位装置（図示略）に接続され、上位装置との間におけるデータ通信を制御する手段であり、上位装置から出力される接続情報を記憶する。ここで、接続情報は、接続する入力ポート１１のチャンネルと、出力ポート１２のチャンネルとの関係を示す情報である。例えば、この接続情報は、入力ポート１１のチャンネル１から出力される光を、出力ポート１２のチャンネル２に入力する旨の情報を含んでいる。

演算部２３は、接続基板２２に記憶された接続情報に基づいて、ＭＥＭＳミラー２１を駆動するための駆動電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を演算する手段であり、演算結果となる駆動電圧の情報を高電圧ＤＡＣ部２４に出力する。

具体的に、演算部２３は、管理テーブルを保持しており、かかる管理テーブルと接続情報とを比較することにより、駆動電圧を演算する。図１５は、従来の管理テーブルのデータ構造の一例を示す図である。同図に示すように、この管理テーブルは、入力チャンネルと、出力チャンネルと、入力ミラー電圧と、出力ミラー電圧とを対応付けて記憶している。

ここで、入力チャンネルは、入力ポート１１中のチャンネルに対応し、出力チャンネルは、出力ポート１２中のチャンネルに対応する。また、入力ミラー電圧は、入力ミラー１３に設置された所定のＭＥＭＳミラーに印加する電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を示し、出力ミラー電圧は、出力ミラー１４に設置された所定のＭＥＭＳミラーに印加する電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を示す。

例えば、入力チャンネル「１」から入力される光を出力チャンネル「１」から出力する場合には、入力ミラー電圧は、縦方向電圧「１９５Ｖ」、横方向電圧「１９０Ｖ」となり、出力ミラー電圧は、縦方向電圧「１９７Ｖ」、横方向電圧「１８７Ｖ」となる。

高電圧ＤＡＣ部２４は、演算部２３から取得する駆動電圧の情報に基づいて、ＭＥＭＳミラー２１に電圧を印加し、該当するＭＥＭＳミラー２１の角度を制御する手段である。

特開２００４−２１９４６９号公報

しかしながら、上述した従来の技術では、入力ミラー１３、出力ミラー１４に設置された各ＭＥＭＳミラーを制御するために、高電圧を印加可能なＤＡＣ部が複数必要になり、かかるＤＡＣ部は、汎用のＤＡＣ部と比較して非常に高価であるため、製造コストが非常に高くなってしまうという問題があった。

この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するためになされたものであり、ＭＥＭＳミラーを制御するためのＤＡＣの占めるコスト比率を低減することができるミラー駆動回路および光スイッチを提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するため、このミラー駆動回路は、電圧を印加してミラーを駆動させ、入力ポートのチャンネルから出力ポートのチャンネルに出力される光の光路を切り替えるミラー駆動回路であって、前記ミラーにオフセット電圧を印加するオフセット電圧印加手段と、前記光の経路となる入力ポートのチャンネルと出力ポートのチャンネルとの関係に基づいて、前記ミラーに印加する印加電圧を判定する印加電圧判定手段と、前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧を前記ミラーに印加する電圧印加手段と、を備えたことを要件とする。

また、このミラー駆動回路は、電圧を印加してミラーを駆動させ、入力ポートのチャンネルから出力ポートのチャンネルに出力される光の光路を切り替えるミラー駆動回路であって、オフセット電圧を出力するオフセット電圧出力手段と、前記光の経路となる入力ポートのチャンネルと出力ポートのチャンネルとの関係に基づいて、前記ミラーに印加する印加電圧を判定する印加電圧判定手段と、前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧を出力する電圧出力手段と、前記オフセット電圧出力手段から出力されるオフセット電圧と前記電圧出力手段から出力される電圧とを加算し、加算した電圧を前記ミラーに印加する電圧加算手段と、を備えたことを要件とする。

また、このミラー駆動回路は、上記のミラー駆動回路において、前記オフセット電圧出力手段は、異なるオフセット電圧をそれぞれ出力する複数のサブオフセット電圧出力手段から構成されていることを要件とする。

また、このミラー駆動回路は、上記のミラー駆動回路において、前記電圧出力手段は、前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧と等しくなるように、プラスの電圧あるいはマイナスの電圧を出力することを要件とする。

また、この光スイッチは、電圧を印加してミラーを駆動させ、入力ポートのチャンネルから出力ポートのチャンネルに出力される光の光路を切り替えるミラー駆動回路を利用して光信号を伝送する光スイッチであって、前記ミラー駆動回路は、前記ミラーにオフセット電圧を印加するオフセット電圧印加手段と、前記光の経路となる入力ポートのチャンネルと出力ポートのチャンネルとの関係に基づいて、前記ミラーに印加する印加電圧を判定する印加電圧判定手段と、前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧を前記ミラーに印加する電圧印加手段と、を備えたことを要件とする。

このミラー駆動回路によれば、オフセット電圧を印加することで、ミラー制御用の電圧を大幅に下げることを可能とする。そして、制御用の電圧を大幅に下げることで、ミラー制御に用いるＤＡＣ部を、汎用のＤＡＣ部に置き換え、ミラー駆動回路のコストを削減することができる。

また、このミラー駆動回路によれば、ミラー制御用の電圧とオフセット電圧とを直列的に加算し、加算した電圧をミラーに印加することで、コストの低い汎用ＤＡＣによってＭＥＭＳミラーを制御可能とし、ミラー駆動回路のコストを削減することができる。

また、このミラー駆動回路によれば、異なるオフセット電圧をそれぞれ出力する電源部を複数有し、ミラーごと（あるいは、ミラーの縦方向、横方向の電極ごと）に、異なるオフセット電圧の何れかを利用することで、各ＭＥＭＳミラーの硬さばらつきや、上下方向、左右方向の硬さの違いによる制御電圧の違いに対応し、制御に必要となる電圧を抑え、コストの低い汎用ＤＡＣによってミラーを制御可能とする。

また、このミラー駆動回路によれば、プラスの電圧あるいはマイナスの電圧を出力してミラーを制御するので、より低電圧でミラーを制御可能とし、よりコストを削減することができる。

また、この光スイッチによれば、オフセット電圧を印加することで、ミラー制御用の電圧を大幅に下げることを可能とする。そして、制御用の電圧を大幅に下げることで、ミラー制御に用いるＤＡＣ部を、汎用のＤＡＣ部に置き換え、光スイッチのコストを削減することができる。

以下に添付図面を参照して、この発明に係るミラー駆動回路および光スイッチの好適な実施の形態を詳細に説明する。

まず、本実施例１にかかるミラー駆動回路にかかる概要および特徴について説明する。ミラー駆動回路は、ＭＥＭＳミラーの電極に電圧を印加すること（ＭＥＭＳミラーと電極との間の静電気）により、ＭＥＭＳミラーの角度を制御し、光の光路を切り替える。

ここで、制御電圧と制御角度との関係は、
θ＝α×Ｖ^２
によって表すことができる。ここで、θは制御角度、αは硬さ係数、Ｖは制御電圧である。

硬さ係数αにもよるが、例えばミラーを６°傾斜させるためには、２００Ｖ程度の高電圧を印加可能なＤＡＣ部（以下、高電圧ＤＡＣ部）が必要となる。更に、複数のチャンネル切り替えが可能なＭＥＭＳ光ＳＷには、ミラー数分の高電圧ＤＡＣ部が必要となり、各高電圧ＤＡＣ部は非常に高価な回路であるため、コストアップの要因となっている。

そこで、本実施例１にかかるミラー駆動回路は、ＭＥＭＳミラーのＧＮＤ電位を印加していた電極に対し、マイナスの高電圧（オフセット電圧）を印加することで、ミラー制御用のＤＡＣ部の電圧を大幅に下げることを可能とする。そして、ＤＡＣ部が出力すべき電圧を大幅に下げることで、ミラー制御に用いるＤＡＣ部を、汎用のＤＡＣ部に置き換え、ミラー駆動回路（ミラー駆動回路を備えるＭＥＭＳ光ＳＷ）のコストを削減する。

図１は、ＭＥＭＳミラーの駆動電圧とＭＥＭＳミラーの傾斜角との関係を示す図である。同図に示すように、例えば、ＭＥＭＳミラーの駆動電圧を１８５〜２００Ｖとすると、従来の技術では、各ＭＥＭＳミラーを制御する高電圧ＤＡＣ部が、光路を切り替えるべく、１８５〜２００Ｖの電圧を印加し続けなければならない。

一方、本実施例１にかかるミラー駆動回路は、専用ＤＡＣがオフセット電圧（例えば、−１８５Ｖ）のＧＮＤ電位をＭＥＭＳミラーに印加することで、ＭＥＭＳミラーの駆動電圧は、１５Ｖ程度となるので、コストの低い汎用のＤＡＣによって、各ＭＥＭＳミラーを制御可能となる。

次に、本実施例１にかかるミラー駆動回路の構成について説明する。図２は、本実施例１にかかるミラー駆動回路１００の構成を示す機能ブロック図である。同図に示すように、このミラー駆動回路１００は、ＭＥＭＳミラー１１０と、接続基板（Dpram）１２０と、演算部１３０と、電源部１４０と、汎用ＤＡＣ部１５０とを備えて構成される。

このうち、ＭＥＭＳミラー１１０は、図１３に示した入力ミラー１３、出力ミラー１４に設置された各ＭＥＭＳミラー（ｎ−ｃｈ；ｎは自然数）に対応する。ＭＥＭＳミラー１１０は、例えば、入力ポート１１のチャンネル数が６０ｃｈ、出力ポート１２のチャンネル数が６０ｃｈの場合には、１２８枚のＭＥＭＳミラーによって構成される。

また、各ＭＥＭＳミラー１１０は、縦方向および横方向に電極を有しており、縦方向および／または横方向の電極に電圧を印加されることにより、ミラーの角度が制御される。

接続基板（Dpram）１２０は、上位装置（図示略）に接続され、上位装置との間におけるデータ通信を制御する手段であり、上位装置から出力される接続情報を記憶する。ここで、接続情報は、接続する入力ポート１１のチャンネルと、出力ポート１２のチャンネルとの関係を示す情報である。例えば、この接続情報は、入力ポート１１のチャンネル１から出力される光を、出力ポート１２のチャンネル２に入力する旨の情報等を含んでいる。

演算部１３０は、接続基板１２０に記憶された接続情報に基づいて、ＭＥＭＳミラー１１０を駆動するための駆動電圧（縦方向電圧、横方向電圧）およびオフセット電圧を演算する手段であり、演算結果となる駆動電圧を汎用ＤＡＣ部１５０に出力し、オフセット電圧の情報を電源部１４０に出力する。

具体的に、演算部１３０は、管理テーブルを保持しており、かかる管理テーブルと接続情報とを比較することにより、駆動電圧およびオフセット電圧を演算する。図３は、本実施例１にかかる管理テーブルのデータ構造の一例を示す図である。同図に示すように、この管理テーブルは、入力チャンネルと、出力チャンネルと、第１オフセット電圧と、入力ミラー電圧と、第２オフセット電圧と、出力ミラー電圧とを対応付けて記憶している。

ここで、入力チャンネルは、入力ポート１１中のチャンネルに対応し、出力チャンネルは、出力ポート１２中のチャンネルに対応する。第１オフセット電圧は、入力ミラー１３に印加するＧＮＤ電位を示し、入力ミラー電圧は、入力ミラー１３に設置された所定のＭＥＭＳミラーに印加する電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を示す。

また、第２オフセット電圧は、出力ミラー１４に印加するＧＮＤ電位を示し、出力ミラー電圧は、出力ミラー１４に設置された所定のＭＥＭＳミラーに印加する電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を示す。

ここで、ＭＥＭＳミラーを制御するために必要となる駆動電圧は、オフセット電圧を差し引いた値となっているので、例えば、入力ミラー電圧、出力ミラー電圧は、最大でも１４Ｖ程度となる。

例えば、入力チャンネル「１」から出力する光を出力チャネル「１」から出力する場合には、従来ならば、高電圧ＤＡＣ部は、１９５Ｖ程度の電圧をＭＥＭＳミラー１１０に印加する必要があったが、本実施例１では、ＭＥＭＳミラー１１０のＧＮＤに−１８５Ｖが印加されるので、汎用ＤＡＣ部１５０が、残りの１０ＶをＭＥＭＳミラー１１０に印加すればよい。

ところで、演算部１３０は、入力チャンネル「１」から出力する光を出力チャネル「１」から出力する場合には、入力ミラー電圧として、縦方向電圧「１０Ｖ」、横方向電圧「５Ｖ」、出力ミラー電圧として、縦方向電圧「１２Ｖ」、横方向電圧「２Ｖ」とする駆動電圧の情報を汎用ＤＡＣ部１５０に出力し、第１オフセット電圧「−１８５Ｖ」、第２オフセット電圧「−１８５Ｖ」とするオフセット電圧の情報を電源部１４０に出力する。

電源部１４０は、演算部１３０からオフセット電圧の情報を取得し、取得したオフセット電圧の情報に基づいて、ＭＥＭＳミラー１１０のＧＮＤにオフセット電圧を印加する手段である。

例えば、電源部１４０は、第１オフセット電圧「−１８５Ｖ」、第２オフセット電圧「−１８５Ｖ」とするオフセット電圧の情報を取得した場合には、入力ミラー１３の該当ＭＥＭＳミラーのＧＮＤにオフセット電圧「−１８５Ｖ」を印加し、出力ミラー１４の該当ＭＥＭＳミラーのＧＮＤにオフセット電圧「−１８５Ｖ」を印加する。

汎用ＤＡＣ部１５０は、演算部１３０から駆動電圧の情報を取得し、取得した駆動電圧の情報に基づいて、ＭＡＭＳミラー１１０に駆動電圧を印加する手段であり、複数の汎用ＤＡＣによって構成されている。

例えば、汎用ＤＡＣ部１５０は、入力ミラー電圧として、縦方向電圧「１０Ｖ」、横方向電圧「６Ｖ」、出力ミラー電圧として、縦方向電圧「１２Ｖ」、横方向電圧「２Ｖ」とする駆動電圧の情報を取得した場合には、入力ミラー１３の該当ＭＥＭＳミラーの縦方向の電極に「１０Ｖ」、横方向の電極に「６Ｖ」をそれぞれ印加し、出力ミラー１４の該当ＭＥＭＳミラーの縦方向の電極に「１２Ｖ」、横方向の電極に「２Ｖ」をそれぞれ印加する。

上述してきたように、本実施例１にかかるミラー駆動回路１００は、全体のオフセット電圧を印加する電源部１４０が、ＭＥＭＳミラー１１０のマイナス側に電圧を印加し、コストの低い汎用ＤＡＣ部１５０によってプラス側に電圧を印加することにより、ＭＥＭＳミラー１１０を制御するので、高価な高電圧ＤＡＣ部を複数利用する必要性を無くし、大幅にコストダウンさせることが出来る。

例えば、電源部１４０（専用ＤＡＣなど）でオフセット電圧を印加することで、汎用ＤＡＣ（１５Ｖ程度）での制御が可能となる。ＭＥＭＳミラー１１０は、高電圧でより単位電位あたりの角度変化量が大きいため（図１参照）、１８５Ｖのオフセット電圧を印加した場合、汎用ＤＡＣ部１５０では、１５Ｖの制御しか出来ないが、十分な角度稼動範囲が得られる。

ところで、本実施例１では一例として、演算部１３０がオフセット電圧を演算し、演算結果に基づいて、電源部１４０がＭＥＭＳミラー１１０にオフセット電圧を印加していたが、これに限定されるものではなく、予め、電源部１４０が印加するオフセット電圧を設定しておいても良い。また、図２に示したミラー駆動回路１００は、図１３に示したようなＭＥＭＳ光ＳＷに接続されているものとする。

次に、本実施例２にかかるミラー駆動回路について説明する。本実施例２にかかるミラー駆動回路は、上述した実施例１のミラー駆動回路１００のようにＭＥＭＳミラーのＧＮＤ側にオフセット電圧を印加するのではなく、汎用ＤＡＣから出力される駆動電圧とオフセット電圧とを直列的に加算し、加算した電圧をＭＥＭＳミラーに印加することで、コストの低い汎用ＤＡＣによってＭＥＭＳミラーを制御可能とし、ミラー駆動回路（ミラー駆動回路を備えるＭＥＭＳ光ＳＷ）のコストを削減する。

続いて、本実施例２にかかるミラー駆動回路の構成について説明する。図４は、本実施例２にかかるミラー駆動回路２００の構成を示す機能ブロック図である。同図に示すように、このミラー駆動回路２００は、ＭＥＭＳミラー２１０と、接続基板（Dpram）２２０と、演算部２３０と、電源部２４０と、汎用ＤＡＣ部２５０と、電圧加算部２６０とを備えて構成される。

このうち、ＭＥＭＳミラー２１０は、図１３に示した入力ミラー１３、出力ミラー１４に設置された各ＭＥＭＳミラー（ｎ−ｃｈ）に対応する。ＭＥＭＳミラー２１０は、例えば、入力ポート１１のチャンネル数が６０ｃｈ、出力ポート１２のチャンネル数が６０ｃｈの場合には、１２８枚のＭＥＭＳミラーによって構成される。

また、各ＭＥＭＳミラー２１０は、縦方向および横方向に電極を有しており、縦方向および／または横方向の電極に電圧を印加されることにより、ミラーの角度が制御される。

接続基板（Dpram）２２０は、上位装置（図示略）に接続され、上位装置との間におけるデータ通信を制御する手段であり、上位装置から出力される接続情報を記憶する。ここで、接続情報は、接続する入力ポート１１のチャンネルと、出力ポート１２のチャンネルとの関係を示す情報である。例えば、この接続情報は、入力ポート１１のチャンネル１から出力される光を、出力ポート１２のチャンネル２に入力する旨の情報等を含んでいる。

演算部２３０は、接続基板２２０に記憶された接続情報に基づいて、ＭＥＭＳミラー２１０を駆動するための駆動電圧（縦方向電圧、横方向電圧）およびオフセット電圧を演算する手段であり、演算結果となる駆動電圧を汎用ＤＡＣ部２５０に出力し、オフセット電圧の情報を電源部２４０に出力する。

具体的に、演算部２３０は、管理テーブルを保持しており、かかる管理テーブルと接続情報とを比較することにより、駆動電圧およびオフセット電圧を演算する。図５は、本実施例２にかかる管理テーブルのデータ構造の一例を示す図である。同図に示すように、この管理テーブルは、入力チャンネルと、出力チャンネルと、第１オフセット電圧と、入力ミラー電圧と、第２オフセット電圧と、出力ミラー電圧とを対応付けて記憶している。

ここで、入力チャンネルは、入力ポート１１中のチャンネルに対応し、出力チャンネルは、出力ポート１２中のチャンネルに対応する。第１オフセット電圧は、入力ミラー１３に印加するオフセット電圧を示し、入力ミラー電圧は、入力ミラー１３に設置された所定のＭＥＭＳミラーに印加する電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を示す。

また、第２オフセット電圧は、出力ミラー１４に印加するオフセット電圧を示し、出力ミラー電圧は、出力ミラー１４に設置された所定のＭＥＭＳミラーに印加する電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を示す。

ここで、ＭＥＭＳミラーを制御するために必要となる駆動電圧は、オフセット電圧を差し引いた値となっているので、例えば、入力ミラー電圧、出力ミラー電圧は、最大でも１４Ｖ程度となる。

例えば、入力チャンネル「１」から出力する光を出力チャネル「１」から出力する場合には、従来ならば、高電圧ＤＡＣ部は、１９５Ｖ程度の電圧をＭＥＭＳミラー２１０に印加する必要があったが、本実施例２では、電圧加算器２６０によって、オフセット電圧１８５Ｖが加算されるので、汎用ＤＡＣ部２５０が、残りの１０Ｖを電圧加算部２６０に出力すればよい。

ところで、演算部２３０は、入力チャンネル「１」から出力する光を出力チャネル「１」から出力する場合には、入力ミラー電圧として、縦方向電圧「１０Ｖ」、横方向電圧「５Ｖ」、出力ミラー電圧として、縦方向電圧「１２Ｖ」、横方向電圧「２Ｖ」とする駆動電圧の情報を汎用ＤＡＣ部２５０に出力し、第１オフセット電圧「１８５Ｖ」、第２オフセット電圧「１８５Ｖ」とするオフセット電圧の情報を電源部２４０に出力する。

電源部２４０は、演算部２３０からオフセット電圧の情報を取得し、取得したオフセット電圧の情報に基づいて、各オフセット電圧（第１オフセット電圧、第２オフセット電圧）を電圧加算部２６０に出力する手段である。

汎用ＤＡＣ部２５０は、演算部２３０から駆動電圧の情報を取得し、取得した駆動電圧の情報に基づいて、電圧加算部２６０に駆動電圧(入力ミラー電圧、出力ミラー電圧)を出力する手段であり、複数の汎用ＤＡＣによって構成されている。

例えば、汎用ＤＡＣ部２５０は、入力ミラー電圧として、縦方向電圧「１０Ｖ」、横方向電圧「６Ｖ」、出力ミラー電圧として、縦方向電圧「１２Ｖ」、横方向電圧「２Ｖ」とする駆動電圧の情報を取得した場合には、縦方向電圧「１０Ｖ」、横方向電圧「６Ｖ」の入力ミラー電圧と、縦方向電圧「１２Ｖ」、横方向電圧「２Ｖ」の出力ミラー電圧とを電圧加算部２６０に出力する。

電圧加算部２６０は、電源部２４０から出力される第１オフセット電圧と、汎用ＤＡＣ部２６０から入力される入力ミラー電圧とを加算し、加算した電圧を入力ミラー１３の該当ＭＥＭＳミラーに印加すると共に、電源部２４０から出力される第２オフセット電圧と、汎用ＤＡＣ部２５０から入力される出力ミラー電圧とを加算し、加算した電圧を出力ミラー１４の該当ＭＥＭＳミラーに印加する手段である。

上述してきたように、本実施例２にかかるミラー駆動回路２００は、電圧加算部２６０によって、汎用ＤＡＣ部２５０から出力される駆動電圧とオフセット電圧とを直列的に加算し、加算した電圧をＭＥＭＳミラー２１０に印加するので、コストの低い汎用ＤＡＣによってＭＥＭＳミラーを制御可能とし、ミラー駆動回路（ミラー駆動回路を備えるＭＥＭＳ光ＳＷ）のコストを削減することができる。

ところで、本実施例２では一例として、演算部２３０がオフセット電圧を演算し、演算結果に基づいて、電源部２４０が電圧加算部２６０にオフセット電圧を出力していたが、これに限定されるものではなく、予め、電源部２４０が出力するオフセット電圧を設定しておいても良い。また、図４に示したミラー駆動回路２００は、図１３に示したようなＭＥＭＳ光ＳＷに接続されているものとする。

次に、本実施例３にかかるミラー駆動回路について説明する。本実施例３にかかるミラー駆動回路は、異なるオフセット電圧をそれぞれ出力する電源部を複数有し、ＭＥＭＳミラーごと（あるいは、ＭＥＭＳミラーの縦方向、横方向の電極ごと）に、異なるオフセット電圧の何れかを利用することで、各ＭＥＭＳミラーの硬さばらつきや、上下方向、左右方向の硬さの違いによる制御電圧の違いに対応する。

例えば、利用可能なオフセット電圧が１種類「１３０Ｖ」とし、各ＭＥＭＳミラーの硬さばらつきや、上下方向、左右方向の硬さの違いにより、制御電圧が「１３０〜２００Ｖ」だとすると、ＤＡＣ部としては、７０Ｖの出力が必要となり、汎用ＤＡＣ部を利用できず、コストアップの要因となってしまう。

そこで、本実施例３にかかるミラー駆動回路は、例えば、各ＭＥＭＳミラーの硬さばらつきや上下方向、左右方向の硬さの違いに対応すべく（違いにより発生する制御電圧の違いを吸収すべく）、オフセット電圧を複数種類（１３０Ｖ、１４０Ｖ、１５０Ｖ、１６０Ｖ、１７０Ｖ、１８０Ｖ、１９０Ｖ）持つことで、汎用ＤＡＣ部としては、１０Ｖ程度の出力のみ必要となるので、汎用ＤＡＣ部を利用でき、コストを削減することができる。

次に、本実施例３にかかるミラー駆動回路３００の構成について説明する。図６は、本実施例３にかかるミラー駆動回路３００の構成を示す機能ブロック図である。同図に示すように、このミラー駆動回路３００は、ＭＥＭＳミラー３１０と、接続基板３２０と、演算部３３０と、電源部３４０と、汎用ＤＡＣ部３５０と、電圧加算部３６０とを備えて構成される。

このうち、ＭＥＭＳミラー３１０は、図１３に示した入力ミラー１３、出力ミラー１４に設置された各ＭＥＭＳミラー（ｎ−ｃｈ）に対応する。ＭＥＭＳミラー３１０は、例えば、入力ポート１１のチャンネル数が６０ｃｈ、出力ポート１２のチャンネル数が６０ｃｈの場合には、１２８枚のＭＥＭＳミラーによって構成される。

また、各ＭＥＭＳミラー３１０は、縦方向および横方向に電極を有しており、縦方向および／または横方向の電極に電圧を印加されることにより、ミラーの角度が制御される。

接続基板３２０は、上位装置（図示略）に接続され、上位装置との間におけるデータ通信を制御する手段であり、上位装置から出力される接続情報を記憶する。ここで、接続情報は、接続する入力ポート１１のチャンネルと、出力ポート１２のチャンネルとの関係を示す情報である。例えば、この接続情報は、入力ポート１１のチャンネル１から出力される光を、出力ポート１２のチャンネル２に入力する旨の情報等を含んでいる。

演算部３３０は、接続基板３２０に記憶された接続情報に基づいて、ＭＥＭＳミラー３１０を駆動するための駆動電圧（縦方向電圧、横方向電圧）およびオフセット電圧（第１オフセット電圧、第２オフセット電圧）を演算する手段であり、演算結果となる駆動電圧を汎用ＤＡＣ部３５０に出力し、オフセット電圧の情報を電源部３４０に出力する。

具体的に、演算部３３０は、管理テーブルを保持しており、かかる管理テーブルと接続情報とを比較することにより、駆動電圧およびオフセット電圧を演算する。図７は、本実施例３にかかる管理テーブルのデータ構造の一例を示す図である。同図に示すように、この管理テーブルは、入力チャンネルと、出力チャンネルと、第１オフセット電圧と、入力ミラー電圧と、第２オフセット電圧と、出力ミラー電圧とを対応付けて記憶している。

ここで、入力チャンネルは、入力ポート１１中のチャンネルに対応し、出力チャンネルは、出力ポート１２中のチャンネルに対応する。第１オフセット電圧は、入力ミラー１３に印加するオフセット電圧を示し、入力ミラー電圧は、入力ミラー１３に設置された所定のＭＥＭＳミラーに印加する電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を示す。

また、第２オフセット電圧は、出力ミラー１４に印加するオフセット電圧を示し、出力ミラー電圧は、出力ミラー１４に設置された所定のＭＥＭＳミラーに印加する電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を示す。

ここで、ＭＥＭＳミラーを制御するために必要となる駆動電圧は、オフセット電圧を差し引いた値となっているので、例えば、入力ミラー電圧、出力ミラー電圧は、最大でも１４Ｖ程度となる。また、複数種類のオフセット電圧を出力するので、各ＭＥＭＳミラーの硬さばらつきや、上下方向、左右方向の硬さの違いが存在しても、汎用ＤＡＣ部３５０が出力すべき最大電圧を抑えることが出来る。

ところで、演算部３３０は、入力チャンネル「１」から出力する光を出力チャネル「１」から出力する場合には、入力ミラー電圧として、縦方向電圧「１０Ｖ」、横方向電圧「５Ｖ」、出力ミラー電圧として、縦方向電圧「７Ｖ」、横方向電圧「７Ｖ」とする駆動電圧の情報を汎用ＤＡＣ部３５０に出力し、第１オフセット電圧「１８５Ｖ」、第２オフセット電圧「１４０Ｖ」とするオフセット電圧の情報を電源部３４０に出力する。

電源部３４０は、演算部３３０からオフセット電圧の情報を取得し、取得したオフセット電圧の情報に基づいて、各オフセット電圧（第１オフセット電圧、第２オフセット電圧）を電圧加算部３６０に出力する手段である。

また、電源部３４０は、それぞれ異なるオフセット電圧を出力する電源部を複数備えている。例えば、オフセット電圧「１８５Ｖ」を出力する電源部、オフセット電圧「１４０Ｖ」を出力する電源部などを備えている。そして、電源部３４０は、第１オフセット電圧として「１８５Ｖ」を出力する場合には、各電源部のうち、「１８５Ｖ」を出力する電源部からオフセット電圧を出力させる。

汎用ＤＡＣ部３５０は、演算部３３０から駆動電圧の情報を取得し、取得した駆動電圧の情報に基づいて、電圧加算部３６０に駆動電圧(入力ミラー電圧、出力ミラー電圧)を出力する手段であり、複数の汎用ＤＡＣによって構成されている。

例えば、汎用ＤＡＣ部３５０は、入力ミラー電圧として、縦方向電圧「１０Ｖ」、横方向電圧「６Ｖ」、出力ミラー電圧として、縦方向電圧「７Ｖ」、横方向電圧「７Ｖ」とする駆動電圧の情報を取得した場合には、縦方向電圧「１０Ｖ」、横方向電圧「６Ｖ」の入力ミラー電圧と、縦方向電圧「７Ｖ」、横方向電圧「７Ｖ」の出力ミラー電圧とを電圧加算部３６０に出力する。

電圧加算部３６０は、複数の電圧加算部からなり、電源部３４０から出力される第１オフセット電圧と、汎用ＤＡＣ部３５０から入力される入力ミラー電圧とを加算し、加算した電圧を入力ミラー１３の該当ＭＥＭＳミラーに印加すると共に、電源部３４０から出力される第２オフセット電圧と、汎用ＤＡＣ部３５０から入力される出力ミラー電圧とを加算し、加算した電圧を出力ミラー１４の該当ＭＥＭＳミラーに印加する手段である。

上述してきたように、本実施例３にかかるミラー駆動回路３００は、出力するオフセット電圧が異なる電源部３４０を複数持ち、かかる電源部３４０から出力されるオフセット電圧を汎用ＤＡＣ部３５０から出力される電圧に加算するので、各ＭＥＭＳミラーの硬さばらつきや上下方向、左右方向の硬さの違いに対応でき、汎用ＤＡＣ部３５０によってＭＥＭＳミラーを制御でき、ミラー駆動回路（ミラー駆動回路を備えるＭＥＭＳ光ＳＷ）のコストを削減することができる。

ところで、本実施例３では一例として、演算部３３０がオフセット電圧を演算し、演算結果に基づいて、電源部３４０が電圧加算部３６０にオフセット電圧を出力していたが、これに限定されるものではなく、予め、電源部３４０が出力するオフセット電圧をＭＥＭＳミラー毎に設定しておいても良い。また、図６に示したミラー駆動回路３００は、図１３に示したようなＭＥＭＳ光ＳＷに接続されているものとする。

次に、本実施例４にかかるミラー駆動回路について説明する。本実施例４にかかるミラー駆動回路は、汎用ＤＡＣ部が、プラスの電圧あるいはマイナスの電圧を出力してＭＥＭＳミラーを制御することで、より低電圧でＭＥＭＳミラーを制御し、よりコストを削減することができる。

図８は、プラス電圧のみを出力する汎用ＤＡＣ部の必要電圧を説明するための図であり、図９は、プラス電圧およびマイナス電圧を出力する汎用ＤＡＣ部の必要電圧を説明するための図である。図８に示すように、プラスの電圧のみ出力する汎用ＤＡＣ部を利用し、オフセット電圧として電源部が１８５Ｖ出力し、ＭＥＭＳミラーを制御する電圧の範囲（電圧加算結果）が１８５Ｖ〜２００Ｖとすると、汎用ＤＡＣ部は、０Ｖ〜１５Ｖの電圧を出力する必要がある。

一方、図９に示すように、プラスマイナス電圧を出力する汎用ＤＡＣの場合、オフセット電圧として電源部が１９２．５Ｖ出力し、ＭＥＭＳミラーを制御する電圧の範囲（電圧加算結果）が１８５Ｖ〜２００Ｖとすると、汎用ＤＡＣ部は、−７．５Ｖ〜＋７．５Ｖの範囲でＭＥＭＳミラーを制御可能となるので、より、汎用で低価格なＤＡＣ部を使用することが出来る。

次に、本実施例４にかかるミラー駆動回路の構成について説明する。図１０は、本実施例４にかかるミラー駆動回路４００の構成を示す機能ブロック図である。同図に示すように、このミラー駆動回路４００は、ＭＥＭＳミラー４１０と、接続基板（Dpram）４２０と、演算部４３０と、電源部４４０と、汎用ＤＡＣ部４５０と、電圧加算部４６０とを備えて構成される。

このうち、ＭＥＭＳミラー４１０は、図１３に示した入力ミラー１３、出力ミラー１４に設置された各ＭＥＭＳミラー（ｎ−ｃｈ）に対応する。ＭＥＭＳミラー４１０は、例えば、入力ポート１１のチャンネル数が６０ｃｈ、出力ポート１２のチャンネル数が６０ｃｈの場合には、１２８枚のＭＥＭＳミラーによって構成される。

また、各ＭＥＭＳミラー４１０は、縦方向および横方向に電極を有しており、縦方向および／または横方向の電極に電圧を印加されることにより、ミラーの角度が制御される。

接続基板４２０は、上位装置（図示略）に接続され、上位装置との間におけるデータ通信を制御する手段であり、上位装置から出力される接続情報を記憶する。ここで、接続情報は、接続する入力ポート１１のチャンネルと、出力ポート１２のチャンネルとの関係を示す情報である。例えば、この接続情報は、入力ポート１１のチャンネル１から出力される光を、出力ポート１２のチャンネル２に入力する旨の情報等を含んでいる。

演算部４３０は、接続基板４２０に記憶された接続情報に基づいて、ＭＥＭＳミラー４１０を駆動するための駆動電圧（縦方向電圧、横方向電圧）およびオフセット電圧（第１オフセット電圧、第２オフセット電圧）を演算する手段であり、演算結果となる駆動電圧の情報を汎用ＤＡＣ部４５０に出力し、オフセット電圧の情報を電源部４４０に出力する。

具体的に、演算部４３０は、管理テーブルを保持しており、かかる管理テーブルと接続情報とを比較することにより、駆動電圧およびオフセット電圧を演算する。図１１は、本実施例４にかかる管理テーブルのデータ構造の一例を示す図である。同図に示すように、この管理テーブルは、入力チャンネルと、出力チャンネルと、第１オフセット電圧と、入力ミラー電圧と、第２オフセット電圧と、出力ミラー電圧とを対応付けて記憶している。

ここで、入力チャンネルは、入力ポート１１中のチャンネルに対応し、出力チャンネルは、出力ポート１２中のチャンネルに対応する。第１オフセット電圧は、入力ミラー１３に印加するオフセット電圧を示し、入力ミラー電圧は、入力ミラー１３に設置された所定のＭＥＭＳミラーに印加する電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を示す。

また、第２オフセット電圧は、出力ミラー１４に印加するオフセット電圧を示し、出力ミラー電圧は、出力ミラー１４に設置された所定のＭＥＭＳミラーに印加する電圧（縦方向電圧、横方向電圧）を示す。

ところで、演算部４３０は、入力チャンネル「１」から出力する光を出力チャネル「１」から出力する場合には、入力ミラー電圧として、縦方向電圧「２．５Ｖ」、横方向電圧「−２．５Ｖ」、出力ミラー電圧として、縦方向電圧「−０．５Ｖ」、横方向電圧「−０．５Ｖ」とする駆動電圧の情報を汎用ＤＡＣ部４５０に出力し、第１オフセット電圧「１９２．５Ｖ」、第２オフセット電圧「１４７．５Ｖ」とするオフセット電圧の情報を電源部４４０に出力する。

電源部４４０は、演算部４３０からオフセット電圧の情報を取得し、取得したオフセット電圧の情報に基づいて、各オフセット電圧（第１オフセット電圧、第２オフセット電圧）を電圧加算部４６０に出力する手段である。

また、電源部４４０は、それぞれ異なるオフセット電圧を出力する電源部を複数備えている。例えば、オフセット電圧「１９２．５Ｖ」を出力する電源部、オフセット電圧「１４７．５Ｖ」を出力する電源部などを備えている。そして、電源部４４０は、第１オフセット電圧として「１９２．５Ｖ」を出力する場合には、各電源部のうち、「１９２．５Ｖ」を出力する電源部からオフセット電圧を出力させる。

汎用ＤＡＣ部４５０は、演算部４３０から駆動電圧の情報を取得し、取得した駆動電圧の情報に基づいて、電圧加算部４６０に駆動電圧(入力ミラー電圧、出力ミラー電圧)を出力する手段であり、複数の汎用ＤＡＣによって構成されている。また、この汎用ＤＡＣ部４５０は、図９において説明したように、プラスおよびマイナスの電圧を出力する。

例えば、汎用ＤＡＣ部４５０は、入力ミラー電圧として、縦方向電圧「２．５Ｖ」、横方向電圧「−２．５Ｖ」、出力ミラー電圧として、縦方向電圧「−０．５Ｖ」、横方向電圧「−０．５Ｖ」とする駆動電圧の情報を取得した場合には、縦方向電圧「２．５Ｖ」、横方向電圧「−２．５Ｖ」の入力ミラー電圧と、縦方向電圧「−０．５Ｖ」、横方向電圧「−０．５Ｖ」の出力ミラー電圧とを電圧加算部４６０に出力する。

電圧加算部４６０は、複数の電圧加算部からなり、電源部４４０から出力される第１オフセット電圧と、汎用ＤＡＣ部４５０から入力される入力ミラー電圧とを加算し、加算した電圧を入力ミラー１３の該当ＭＥＭＳミラーに印加すると共に、電源部４４０から出力される第２オフセット電圧と、汎用ＤＡＣ部４５０から入力される出力ミラー電圧とを加算し、加算した電圧を出力ミラー１４の該当ＭＥＭＳミラーに印加する手段である。

上述してきたように、本実施例４にかかるミラー駆動回路４００は、汎用ＤＡＣ部４５０が、プラスの電圧あるいはマイナスの電圧を出力してＭＥＭＳミラー４１０を制御するので、より低電圧でＭＥＭＳミラー４１０を制御可能とし、よりコストを削減することができる。

ところで、本実施例４では一例として、演算部４３０がオフセット電圧を演算し、演算結果に基づいて、電源部４４０が電圧加算部４６０にオフセット電圧を出力していたが、これに限定されるものではなく、予め、電源部４４０が出力するオフセット電圧をＭＥＭＳミラー毎に設定しておいても良い。また、図１０に示したミラー駆動回路４００は、図１３に示したようなＭＥＭＳ光ＳＷに接続されているものとする。

最後に、従来のＤＡＣ部の制御電圧と、実施例１〜４に示したＤＡＣ部の制御電圧について説明する。図１２は、ＭＥＭＳスイッチの駆動電圧のばらつきが大きい場合の従来の管理テーブルを示す図である。

ＭＥＭＳミラーのばらつきが大きい場合（例えば、５０Ｖ）、実施例１および実施例２のミラー駆動回路１００，２００では、５５Ｖの電圧を出力可能なＤＡＣ部が必要となる。そこで、実施例３に示したミラー駆動回路３００を適用することで、最大で１４Ｖの汎用ＤＡＣで制御可能となる。更に、実施例４に示したミラー駆動回路４００を適用することで、最大で７．５Ｖの汎用ＤＡＣ部での制御が可能となり、より低コストの汎用ＤＡＣの使用が可能となる。

ところで、本実施例において説明した各処理のうち、自動的に行われるものとして説明した処理の全部または一部を手動的に行うこともでき、あるいは、手動的に行われるものとして説明した処理の全部あるいは一部を公知の方法で自動的に行うこともできる。この他、上記文書中や図面中で示した処理手順、制御手順、具体的名称、各種のデータやパラメータを含む情報については、特記する場合を除いて任意に変更することができる。

また、図２，４，６，１０に示したミラー駆動回路１００，２００，３００，４００の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、各装置の分散・統合の具体的形態は図示のものに限られず、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。

以上の各実施例を含む実施形態に関し、さらに以下の付記を開示する。

（付記１）電圧を印加してミラーを駆動させ、入力ポートのチャンネルから出力ポートのチャンネルに出力される光の光路を切り替えるミラー駆動回路であって、
前記ミラーにオフセット電圧を印加するオフセット電圧印加手段と、
前記光の経路となる入力ポートのチャンネルと出力ポートのチャンネルとの関係に基づいて、前記ミラーに印加する印加電圧を判定する印加電圧判定手段と、
前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧を前記ミラーに印加する電圧印加手段と、
を備えたことを特徴とするミラー駆動回路。

（付記２）電圧を印加してミラーを駆動させ、入力ポートのチャンネルから出力ポートのチャンネルに出力される光の光路を切り替えるミラー駆動回路であって、
オフセット電圧を出力するオフセット電圧出力手段と、
前記光の経路となる入力ポートのチャンネルと出力ポートのチャンネルとの関係に基づいて、前記ミラーに印加する印加電圧を判定する印加電圧判定手段と、
前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧を出力する電圧出力手段と、
前記オフセット電圧出力手段から出力されるオフセット電圧と前記電圧出力手段から出力される電圧とを加算し、加算した電圧を前記ミラーに印加する電圧加算手段と、
を備えたことを特徴とするミラー駆動回路。

（付記３）前記オフセット電圧出力手段は、異なるオフセット電圧をそれぞれ出力する複数のサブオフセット電圧出力手段から構成されていることを特徴とする付記２に記載のミラー駆動回路。

（付記４）前記電圧出力手段は、前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧と等しくなるように、プラスの電圧あるいはマイナスの電圧を出力することを特徴とする付記２または３に記載のミラー駆動回路。

（付記５）電圧を印加してミラーを駆動させ、入力ポートのチャンネルから出力ポートのチャンネルに出力される光の光路を切り替えるミラー駆動回路を利用して光信号を伝送する光スイッチであって、
前記ミラー駆動回路は、
前記ミラーにオフセット電圧を印加するオフセット電圧印加手段と、
前記光の経路となる入力ポートのチャンネルと出力ポートのチャンネルとの関係に基づいて、前記ミラーに印加する印加電圧を判定する印加電圧判定手段と、
前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧を前記ミラーに印加する電圧印加手段と、
を備えたことを特徴とする光スイッチ。

（付記６）電圧を印加してミラーを駆動させ、入力ポートのチャンネルから出力ポートのチャンネルに出力される光の光路を切り替えるミラー駆動回路を利用して光信号を伝送する光スイッチであって、
前記ミラー駆動回路は、
オフセット電圧を出力するオフセット電圧出力手段と、
前記光の経路となる入力ポートのチャンネルと出力ポートのチャンネルとの関係に基づいて、前記ミラーに印加する印加電圧を判定する印加電圧判定手段と、
前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧を出力する電圧出力手段と、
前記オフセット電圧出力手段から出力されるオフセット電圧と前記電圧出力手段から出力される電圧とを加算し、加算した電圧を前記ミラーに印加する電圧加算手段と、
を備えたことを特徴とする光スイッチ。

（付記７）前記オフセット電圧出力手段は、異なるオフセット電圧をそれぞれ出力する複数のサブオフセット電圧出力手段から構成されていることを特徴とする付記６に記載の光スイッチ。

（付記８）前記電圧出力手段は、前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧と等しくなるように、プラスの電圧あるいはマイナスの電圧を出力することを特徴とする付記６または７に記載の光スイッチ。

ＭＥＭＳミラーの駆動電圧とＭＥＭＳミラーの傾斜角との関係を示す図である。 本実施例１にかかるミラー駆動回路の構成を示す機能ブロック図である。 本実施例１にかかる管理テーブルのデータ構造の一例を示す図である。 本実施例２にかかるミラー駆動回路の構成を示す機能ブロック図である。 本実施例２にかかる管理テーブルのデータ構造の一例を示す図である。 本実施例３にかかるミラー駆動回路の構成を示す機能ブロック図である。 本実施例３にかかる管理テーブルのデータ構造の一例を示す図である。 プラス電圧のみを出力する汎用ＤＡＣ部の必要電圧を説明するための図である。 プラス電圧およびマイナス電圧を出力する汎用ＤＡＣ部の必要電圧を説明するための図である。 本実施例４にかかるミラー駆動回路の構成を示す機能ブロック図である。 本実施例４にかかる管理テーブルのデータ構造の一例を示す図である。 ＭＥＭＳスイッチの駆動電圧のばらつきが大きい場合の従来の管理テーブルを示す図である。 従来のＭＥＭＳ光ＳＷの構成を示す図である。 従来のミラー駆動回路の構成を示す機能ブロック図である。 従来の管理テーブルのデータ構造の一例を示す図である。

符号の説明

１０ ＭＥＭＳ光ＳＷ
１１ 入力ポート
１２ 出力ポート
１３ 入力ミラー
１４ 出力ミラー
２０，１００，２００，３００，４００ ミラー駆動回路
２１，１１０，２１０，３１０，４１０ ＭＥＭＳミラー
２２，１２０，２２０，３２０，４２０ 接続基板
２３，１３０，２３０，３３０，４３０ 演算部
２４ 高電圧ＤＡＣ部
１４０，２４０，３４０，４４０ 電源部
１５０，２５０，３５０，４５０ 汎用ＤＡＣ部
２６０，３６０，４６０ 電圧加算部

Claims (5)

1. 電圧を印加してミラーを駆動させ、入力ポートのチャンネルから出力ポートのチャンネルに出力される光の光路を切り替えるミラー駆動回路であって、
   前記ミラーにオフセット電圧を印加するオフセット電圧印加手段と、
   前記光の経路となる入力ポートのチャンネルと出力ポートのチャンネルとの関係に基づいて、前記ミラーに印加する印加電圧を判定する印加電圧判定手段と、
   前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧を前記ミラーに印加する電圧印加手段と、
   を備えたことを特徴とするミラー駆動回路。
2. 電圧を印加してミラーを駆動させ、入力ポートのチャンネルから出力ポートのチャンネルに出力される光の光路を切り替えるミラー駆動回路であって、
   オフセット電圧を出力するオフセット電圧出力手段と、
   前記光の経路となる入力ポートのチャンネルと出力ポートのチャンネルとの関係に基づいて、前記ミラーに印加する印加電圧を判定する印加電圧判定手段と、
   前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧を出力する電圧出力手段と、
   前記オフセット電圧出力手段から出力されるオフセット電圧と前記電圧出力手段から出力される電圧とを加算し、加算した電圧を前記ミラーに印加する電圧加算手段と、
   を備えたことを特徴とするミラー駆動回路。
3. 前記オフセット電圧出力手段は、異なるオフセット電圧をそれぞれ出力する複数のサブオフセット電圧出力手段から構成されていることを特徴とする請求項２に記載のミラー駆動回路。
4. 前記電圧出力手段は、前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧と等しくなるように、プラスの電圧あるいはマイナスの電圧を出力することを特徴とする請求項２または３に記載のミラー駆動回路。
5. 電圧を印加してミラーを駆動させ、入力ポートのチャンネルから出力ポートのチャンネルに出力される光の光路を切り替えるミラー駆動回路を利用して光信号を伝送する光スイッチであって、
   前記ミラー駆動回路は、
   前記ミラーにオフセット電圧を印加するオフセット電圧印加手段と、
   前記光の経路となる入力ポートのチャンネルと出力ポートのチャンネルとの関係に基づいて、前記ミラーに印加する印加電圧を判定する印加電圧判定手段と、
   前記印加電圧から前記オフセット電圧を差し引いた残りの電圧を前記ミラーに印加する電圧印加手段と、
   を備えたことを特徴とする光スイッチ。

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