JP2004294989A - 光スイッチ - Google Patents
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Abstract
【目的】本発明はMEMSが適用される光スイッチに関し、駆動電圧を有効に低下させることができる光スイッチの提供が主な課題である。
【構成】本発明による光スイッチは、複数の光ファイバを有するファイバアレイ22と、偏向角が可変な複数のミラーを有し各ミラーはファイバアレイの各光ファイバから出力された光を偏向させるミラーアレイ30とを備えている。そして、その特徴とするところは、各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにされていることである。この構成によると、各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにしているので、各ミラーの偏向角の可変範囲を狭くすることができ、駆動電圧を有効に低下させることができるようになる。
【選択図】 図1
【構成】本発明による光スイッチは、複数の光ファイバを有するファイバアレイ22と、偏向角が可変な複数のミラーを有し各ミラーはファイバアレイの各光ファイバから出力された光を偏向させるミラーアレイ30とを備えている。そして、その特徴とするところは、各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにされていることである。この構成によると、各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにしているので、各ミラーの偏向角の可変範囲を狭くすることができ、駆動電圧を有効に低下させることができるようになる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバ通信システムに適用可能な光スイッチに関し、特にマイクロマシン技術を用いて製造され得る微小ミラー用いた光路の切替が可能な光スイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバネットワークの高速・大容量化に伴って、光信号を電気信号に変換することなく、光信号のまま経路を切り換えることのできる光スイッチの需要が高まってきている。光スイッチとしては、切り換えチャネル数に応じてさまざまな種類のものがある。64チャネル以上の大規模チャネル数向けとしては、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いた3次元型光スイッチが有力と考えられている。
【0003】
図12は3次元MEMS光スイッチの例を示す斜視図である。この光スイッチは、入力側のファイバアレイ12と、ファイバアレイ12に対向するレンズアレイ14と、半導体製造技術で基板上に作製された複数の微小なミラーMを有する一対のMEMSミラーアレイ16及び18と、出力側のファイバアレイ22と、ファイバアレイ22に対向するレンズアレイ20とから構成される。
【0004】
入力側ファイバアレイ12の各ファイバを伝搬してきた光は、レンズアレイ14の各レンズによって空間伝搬に適したコリメート光に変換される。MEMSミラーアレイ16及び18の各微小ミラーMは静電気の作用でその中心軸の周りに偏向(回転)することができ、所定のミラーMを所定の角度だけ偏向することで、入力側ファイバアレイ12の各ファイバから出射された光を反射させて所望の出力側ファイバアレイ22の各ファイバへと光路を切り換えることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
この3次元MEMS型光スイッチにおける課題を示すために、その切替え動作を、図13を使って説明する。図13は図12に示される光スイッチを横から見たものである。説明のため、入力側ポート(チャネル)1〜5、出力側ポートを1´〜5´と名づける。
【0006】
ポート1からポート1´への経路の場合、図13(a)に示されるように、ミラーMは偏向させる必要は無い。
【0007】
ポート1からポート5´への経路の場合、図13(b)に示されるように、光路をθ1傾ける必要があるため、2枚の対向する位置に配置されたミラーMをそれぞれθ1/2ずつ傾けることで光路の切替えを行う。
【0008】
ポート3からポート5´への経路の場合、図13(c)に示されるように、θ2/2ずつミラーMを傾け、ポート3からポート1´への経路の場合は、図13(d)に示されるように、それぞれのミラーMを逆方向にθ2/2ずつ傾ける必要がある。
【0009】
ポート5からポート5´の場合は図13(e)に示されるようにミラーMを傾ける必要はなく、一方、ポート5からポート1´への経路の場合は、図13(f)に示されるように、ミラーMを図13(b)とは逆の方向にθ3/2ずつ傾ける必要がある。
【0010】
図から明らかなように、θ1>θ2及びθ3>θ2の関係が成り立ち、全てのチャネルを切替える場合、端のチャネル(この場合ポート1とポート5及びポート1´とポート5´)に対応した位置にあるミラーMの偏向必要角が最も大きい。一般的な静電駆動型のMEMSミラーは、電圧を印加することで偏向させるが、その印加電圧Vと偏向角θとの間には、θ∝V2の関係がある。
【0011】
静電型のMEMSミラーの駆動電圧は、一般的に数度偏向させるだけでも100V以上と非常に高い。そのため制御回路は高電圧電源、高耐圧部品を必要とし、また、消費電力を増加させる要因となっているため、駆動電圧を下げるための工夫が必要となる。
【0012】
大きな駆動電圧が必要なのは、端のチャネルにおけるMEMSミラーである。そこで、端のチャネルにおける偏向角を減少させることができれば、駆動電圧を低下させることが可能となる。
【0013】
よって、本発明の目的は、駆動電圧を有効に低下させることができる光スイッチを提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、複数の光ファイバを有するファイバアレイと、偏向角が可変な複数のミラーを有し各ミラーはファイバアレイの各光ファイバから出力された光を偏向させるミラーアレイとを備えた光スイッチが提供される。そして、その特徴とするところは、各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにされていることである。
【0015】
この構成によると、各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにしているので、後で詳細に説明する原理に従って各ミラーの偏向角の可変範囲を狭くすることができ、駆動電圧を有効に低下させることができるようになる。
【0016】
望ましくは、ミラーアレイの各ミラーは半導体製造技術により基板上に作製されたMEMSミラーである。
【0017】
複数の光ファイバ及び複数のミラーを光の伝搬方向に見て2次元的に配列することによって、多入出力ポートの光スイッチを小型に提供することができる。
【0018】
例えば、本発明による光スイッチは、複数のレンズを有しその各々はファイバアレイの各光ファイバから放射された光をコリメートビームに変換するレンズアレイを更に備えている。
【0019】
この場合、ファイバアレイにおける光ファイバのピッチとレンズアレイにおけるレンズのピッチを異ならせることにより、容易に各光ファイバから各ミラーへの入射角を異ならせることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
図1は本発明による光スイッチの第1実施形態を示す側面図である。この光スイッチは、複数の光ファイバF(ここではポート1〜5に対応して5本図示されている。)を有する入力側のファイバアレイ22と、ファイバアレイ22に対向して設けられるレンズアレイ24と、複数の光ファイバF(ここではポート1´〜5´に対応して5本図示されている。)を有する出力側のファイバアレイ26と、ファイバアレイ26に対向して設けられるレンズアレイ28と、入力側のファイバアレイ22の任意の光ファイバF及び出力側のファイバアレイ26の任意の光ファイバFを光学的に接続する反射光路を択一的に提供するための入力側MEMSミラーアレイ30及び出力側MEMSミラーアレイ32とを備えている。
【0021】
ミラーアレイ30及び32の各々は、基板34と基板34上に半導体製造技術により作製された複数のMEMSミラーMを有している。各ミラーMは、個別に印加される駆動電圧に応じてその傾斜角(偏向角)を変化させることができる。
【0022】
例えば入力側について見てみると、レンズアレイ24におけるレンズLの配列ピッチとファイバアレイ22におけるファイバFの配列ピッチが異なるようにされており、これにより、各チャネルごとにミラーMへの光軸の角度及びミラーMからの光軸の角度を異なるようにしている。例えば、左端に位置する入力ポート1からミラーMへの入射角をφとすると、中央に位置する入力ポート3からミラーMへの入射角は0°、右端に位置する入力ポート5からミラーMへの入射角は−φとなる。出力側についても同様に設定されている。
【0023】
このようにミラーMへの入射角をチャネルごとに異なるようにしたことによる作用を、図2及び図3を用いて説明する。
【0024】
図2はミラーMの偏向角と光軸の偏向角との関係を示したものである。図中nはミラーMの法線ベクトルであり、光線の反射の法則から、ミラーMでの光線の入射角と反射角は等しくなる。
【0025】
図2(a)に示されるように、ミラーMに角度θで入射した光は角度θで反射される。ミラーMが角度φ偏向すると、図2(b)に示されるように、出射角度はθ+2φとなる。一方、図2(c)に示されるように、ミラーMがもともと角度−φ/2傾いていて、入射角度がθ+φだとすると、出射角度はθであり、また、図2(d)に示されるように、ミラーMが+φ/2傾くと、出射角度はθ+2φとなる。
【0026】
即ち、入射角度をθからθ+φに変更することで、ミラーMの偏向角を0からφまで変えた場合に得られる光軸の偏向を、ミラーMの偏向角を−φ/2からφ/2まで変えることで実現することができる。
【0027】
図3は図1の一部分、入力ポート1の部分とそれに対応したMEMSミラーアレイ30の部分を示したものである。光路を切替えるのに必要な光軸の偏向量の最大値が図2で説明したθであるとすると、ミラーMに入射する光軸の角度をφとしたときに、ミラーMを−φ/2から+φ/2まで偏向させることで、出力ポート1´〜5´のいずれへも、光路を切替ることができる。
【0028】
ミラーMへの光軸の偏向は、図3に示されているように、光ファイバFとレンズLの相対位置をずらして配置することで実現される。レンズLの焦点距離をf、光ファイバFとレンズLの中心の位置ずれ量をdとすると、レンズLから出射される光軸はd/fの角度偏向される。一方、この光軸の偏向は、各チャネル毎に変えることが必要となる。なぜなら、図13(b)及び図13(f)に示したように、ミラーアレイの両端では偏向の方向が異なり、また、図13(c)及び図13(d)に示したように、ミラーアレイ中央付近では、すでに偏向角の必要量は小さく、対策の必要が無いからである。
【0029】
そこで、レンズアレイ24におけるレンズLの配列ピッチをファイバアレイ22におけるファイバFの配列ピッチよりも狭くすることで、図1に示されるように各ミラーMに異なった角度を付加することが可能となる。それは、ファイバアレイ22とレンズアレイ24のピッチが異なると、チャネルごとにdの値が異なることになるからである。
【0030】
図4はMEMSミラーの偏向角と駆動電圧の関係を示すグラフである。偏向角の必要値を0〜φから−φ/2〜φ/2と変更することにより、電源電圧を下げることが可能となり、また、電圧に対する角度変化のより緩やかな領域で使用できるようになるため、ミラーの角度制御が容易になるという利点もある。
【0031】
図1から図3までの説明では、ポート1〜5に関して一次元状にファイバアレイ22、レンズアレイ24及びミラーアレイ30が配列されているが、図12に示される従来例のように、光の伝搬方向に見て二次元状に配列されていてもよい。これをより具体的に説明する。
【0032】
図5は本発明の第2実施形態として、ファイバアレイ22及びレンズアレイ24を正面から見た図である。レンズLは8×8マトリックス状に64個有り、これに対応して各光ファイバFが設けられている。そして、縦横両方向ともファイバアレイ22のピッチよりもレンズアレイ24のピッチのほうが小さくなるように設定されている。
【0033】
図6は図5に示されるファイバアレイ22及びレンズアレイ24の斜視図である。ここでは、ファイバアレイ22とレンズアレイ24の相対的な位置関係を確定するために、ファイバアレイ22の各ファイバFはファイバ整列部材36に挿入及び固定されており、レンズアレイ24はファイバ整列部材36に接着等により固定されている。
【0034】
図6を参照すると、レンズアレイ24の四隅から放射されるビームの様子が示されている。点線B1で示されているのは、比較のためにレンズアレイ24のピッチがファイバアレイ22のピッチと等しい場合のビームであり、コリメートされた各ビームは互いに平行であり、全体としてのビームB1の太さは変わらない。これに対して、実線B2で示されているのが本実施形態におけるものであり、各ビームは中心方向に向けて傾きをもって出射され、全体としてのビームB2はレンズアレイ24からの距離が増大するのに従って細くなっている。これにより、図1に示した場合と同様に、端のチャネルにおけるMEMSミラーMの偏向角の必要値を減少させることができる。
【0035】
ところで、ファイバアレイ22及びレンズアレイ24のピッチにより、ミラーMに入射する光軸の角度が変わるので、ファイバ整列部材36及びレンズアレイ24が温度によって変動すると、光軸の角度も温度によって変わってしまう。そこで、両者の材質の熱膨張係数をほぼ等しくしておくことで、この影響を低減することが可能となる。
【0036】
図7は本発明による光スイッチの第3実施形態を示す側面図である。この実施形態では、断面がV字型の折返しミラー38を入力側及び出力側のMEMSミラーアレイ30及び32に対向させて配置することで、光路を折り曲げることができる。後述の実施形態で説明するが、折返しミラー38を採用することにより、入力側及び出力側のMEMSミラーアレイ30及び32を一体化することができ、更には入力側及び出力側のファイバアレイ22やレンズアレイ24を一体化することができる。
【0037】
図8は本発明による光スイッチの第4実施形態を示す側面図であり、その入力側のみが示されている。この実施形態では、ファイバアレイ22とレンズアレイ24のピッチは等しく、ファイバアレイ22とミラーアレイ30の間に光学部材40が設けられている。光学部材40はファイバアレイ22の各光ファイバFから出力されレンズアレイ24の各レンズLによりコリメートされたビームに対して異なる屈折角を与え、それによりミラーアレイ30の各ミラーへの入射角が異なるようにされている
図示されたようにファイバアレイ22が一次元的な配列である場合には、光学部材40としてはシリンドリカルレンズを用いることができる。また、図6に示されるような2次元配置が採用されている場合には、凸レンズやプリズムを光学部材40として用いることができる。例えば、中心の光軸(この場合はポート3からミラーMへ入射する光軸)に対して対称な構造のレンズを配置するとで、その両側の光軸を逆方向に偏向させることが可能となり、また、各チャネル毎に異なった角度で光軸を偏向させることが可能となる。
【0038】
図9は本発明による光スイッチの第5実施形態を示す側面図であり、その入力側のみが示されている。この実施形態でも、ファイバアレイ22とレンズアレイ24のピッチは等しく、レンズアレイ24とミラーアレイ30を反射光路により光学的に接続するための凹面リフレクター42が設けられている。これにより、互いに平行なビームがリフレクター42に入射したときに、その焦点位置(図示せず)に向けて光軸を偏向させることができ、ミラーアレイ30の各ミラーへの入射角を異ならせることができる。リフレクター42の反射面としては例えば放物面を用いることができる。
【0039】
図10は本発明による光スイッチの第6実施形態を示す側面図である。この実施形態でも、ファイバアレイ22とレンズアレイ24のピッチは等しい。そして、図7に示される実施形態との対比において説明すると、凹面による折り返しミラー44が用いられている。このように、折り返しミラー44の反射面の形状を曲面形状の組み合わせとすることで、MEMSミラーMへの入射光軸を偏向させなくても、端の経路においては、MEMSミラーMを偏向させることが必要になり、これまでに説明したのと同様にMEMSミラーMの偏向角の必要値を減少させることができる。
【0040】
図11は本発明による光スイッチの第7実施形態を示す斜視図である。この実施形態では、入力側及び出力側のMEMSミラーアレイ30及び32を一体化し、更には入力側及び出力側のファイバアレイ22やレンズアレイ24を一体化するために、図7に示される実施形態の各構成要素の配置が変更されている。入力側ファイバアレイ22と同様、出力側ファイバアレイ26についてもファイバ整列部材36が用いられている。
【0041】
レンズアレイ24及び28の各レンズLは、板状のガラス基板にエッチング等により半球状のレンズを形成して得ることができる。ここで、ファイバアレイピッチ>レンズアレイピッチ>MEMSミラーアレイピッチとしており、光軸は中心に向かうように角度が付けられている。
【0042】
また、レンズアレイを石英ガラス(熱膨張係数=0.5×10−6/℃)、ファイバアレイ(より正確には、ファイバ整列部材)をインバー合金(64Fe+36Ni)(熱膨張係数=1.4×10−6/℃)で構成すれば、温度変動に対してもビームの角度変動を少なくすることができる。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によると、駆動電圧を有効に低下させることができる光スイッチの提供が可能になるという効果が生じる。その結果、電源電圧を低減することができ、低消費電力化が可能となり、また、部品の耐圧ランクを下げ、使用可能な部品品種が増えるため、低コスト化が可能となる。更に、ファイバアレイのピッチとMEMSミラーのピッチを変えることができることから、両者の設計自由度が向上し、汎用部品の利用が可能となるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明による光スイッチの第1実施形態を示す側面図である。
【図2】図2はミラーMの偏向角と光軸の偏向角との関係を示す図である。
【図3】図3は図1の一部分、入力ポート1の部分とそれに対応したMEMSミラーアレイ30の部分を示す図である。
【図4】図4はMEMSミラーの偏向角と駆動電圧の関係を示すグラフである。
【図5】図5は本発明の第2実施形態として、ファイバアレイ22及びレンズアレイ24を正面から見た図である。
【図6】図6は図5に示されるファイバアレイ22及びレンズアレイ24の斜視図である。
【図7】図7は本発明による光スイッチの第3実施形態を示す側面図である。
【図8】図8は本発明による光スイッチの第4実施形態を示す側面図である。
【図9】図9は本発明による光スイッチの第5実施形態を示す側面図である。
【図10】図10は本発明による光スイッチの第6実施形態を示す側面図である。
【図11】図11は本発明による光スイッチの第7実施形態を示す斜視図である。
【図12】図12は3次元MEMS光スイッチの従来例を示す斜視図である。
【図13】図12に示される光スイッチの動作を説明するための図である。
【符号の説明】
22 入力側ファイバアレイ
24 入力側レンズアレイ
26 出力側ファイバアレイ
28 出力側レンズアレイ
30 入力側MEMSミラーアレイ
32 出力側MEMSミラーアレイ
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバ通信システムに適用可能な光スイッチに関し、特にマイクロマシン技術を用いて製造され得る微小ミラー用いた光路の切替が可能な光スイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバネットワークの高速・大容量化に伴って、光信号を電気信号に変換することなく、光信号のまま経路を切り換えることのできる光スイッチの需要が高まってきている。光スイッチとしては、切り換えチャネル数に応じてさまざまな種類のものがある。64チャネル以上の大規模チャネル数向けとしては、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いた3次元型光スイッチが有力と考えられている。
【0003】
図12は3次元MEMS光スイッチの例を示す斜視図である。この光スイッチは、入力側のファイバアレイ12と、ファイバアレイ12に対向するレンズアレイ14と、半導体製造技術で基板上に作製された複数の微小なミラーMを有する一対のMEMSミラーアレイ16及び18と、出力側のファイバアレイ22と、ファイバアレイ22に対向するレンズアレイ20とから構成される。
【0004】
入力側ファイバアレイ12の各ファイバを伝搬してきた光は、レンズアレイ14の各レンズによって空間伝搬に適したコリメート光に変換される。MEMSミラーアレイ16及び18の各微小ミラーMは静電気の作用でその中心軸の周りに偏向(回転)することができ、所定のミラーMを所定の角度だけ偏向することで、入力側ファイバアレイ12の各ファイバから出射された光を反射させて所望の出力側ファイバアレイ22の各ファイバへと光路を切り換えることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
この3次元MEMS型光スイッチにおける課題を示すために、その切替え動作を、図13を使って説明する。図13は図12に示される光スイッチを横から見たものである。説明のため、入力側ポート(チャネル)1〜5、出力側ポートを1´〜5´と名づける。
【0006】
ポート1からポート1´への経路の場合、図13(a)に示されるように、ミラーMは偏向させる必要は無い。
【0007】
ポート1からポート5´への経路の場合、図13(b)に示されるように、光路をθ1傾ける必要があるため、2枚の対向する位置に配置されたミラーMをそれぞれθ1/2ずつ傾けることで光路の切替えを行う。
【0008】
ポート3からポート5´への経路の場合、図13(c)に示されるように、θ2/2ずつミラーMを傾け、ポート3からポート1´への経路の場合は、図13(d)に示されるように、それぞれのミラーMを逆方向にθ2/2ずつ傾ける必要がある。
【0009】
ポート5からポート5´の場合は図13(e)に示されるようにミラーMを傾ける必要はなく、一方、ポート5からポート1´への経路の場合は、図13(f)に示されるように、ミラーMを図13(b)とは逆の方向にθ3/2ずつ傾ける必要がある。
【0010】
図から明らかなように、θ1>θ2及びθ3>θ2の関係が成り立ち、全てのチャネルを切替える場合、端のチャネル(この場合ポート1とポート5及びポート1´とポート5´)に対応した位置にあるミラーMの偏向必要角が最も大きい。一般的な静電駆動型のMEMSミラーは、電圧を印加することで偏向させるが、その印加電圧Vと偏向角θとの間には、θ∝V2の関係がある。
【0011】
静電型のMEMSミラーの駆動電圧は、一般的に数度偏向させるだけでも100V以上と非常に高い。そのため制御回路は高電圧電源、高耐圧部品を必要とし、また、消費電力を増加させる要因となっているため、駆動電圧を下げるための工夫が必要となる。
【0012】
大きな駆動電圧が必要なのは、端のチャネルにおけるMEMSミラーである。そこで、端のチャネルにおける偏向角を減少させることができれば、駆動電圧を低下させることが可能となる。
【0013】
よって、本発明の目的は、駆動電圧を有効に低下させることができる光スイッチを提供することである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、複数の光ファイバを有するファイバアレイと、偏向角が可変な複数のミラーを有し各ミラーはファイバアレイの各光ファイバから出力された光を偏向させるミラーアレイとを備えた光スイッチが提供される。そして、その特徴とするところは、各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにされていることである。
【0015】
この構成によると、各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにしているので、後で詳細に説明する原理に従って各ミラーの偏向角の可変範囲を狭くすることができ、駆動電圧を有効に低下させることができるようになる。
【0016】
望ましくは、ミラーアレイの各ミラーは半導体製造技術により基板上に作製されたMEMSミラーである。
【0017】
複数の光ファイバ及び複数のミラーを光の伝搬方向に見て2次元的に配列することによって、多入出力ポートの光スイッチを小型に提供することができる。
【0018】
例えば、本発明による光スイッチは、複数のレンズを有しその各々はファイバアレイの各光ファイバから放射された光をコリメートビームに変換するレンズアレイを更に備えている。
【0019】
この場合、ファイバアレイにおける光ファイバのピッチとレンズアレイにおけるレンズのピッチを異ならせることにより、容易に各光ファイバから各ミラーへの入射角を異ならせることができる。
【0020】
【発明の実施の形態】
図1は本発明による光スイッチの第1実施形態を示す側面図である。この光スイッチは、複数の光ファイバF(ここではポート1〜5に対応して5本図示されている。)を有する入力側のファイバアレイ22と、ファイバアレイ22に対向して設けられるレンズアレイ24と、複数の光ファイバF(ここではポート1´〜5´に対応して5本図示されている。)を有する出力側のファイバアレイ26と、ファイバアレイ26に対向して設けられるレンズアレイ28と、入力側のファイバアレイ22の任意の光ファイバF及び出力側のファイバアレイ26の任意の光ファイバFを光学的に接続する反射光路を択一的に提供するための入力側MEMSミラーアレイ30及び出力側MEMSミラーアレイ32とを備えている。
【0021】
ミラーアレイ30及び32の各々は、基板34と基板34上に半導体製造技術により作製された複数のMEMSミラーMを有している。各ミラーMは、個別に印加される駆動電圧に応じてその傾斜角(偏向角)を変化させることができる。
【0022】
例えば入力側について見てみると、レンズアレイ24におけるレンズLの配列ピッチとファイバアレイ22におけるファイバFの配列ピッチが異なるようにされており、これにより、各チャネルごとにミラーMへの光軸の角度及びミラーMからの光軸の角度を異なるようにしている。例えば、左端に位置する入力ポート1からミラーMへの入射角をφとすると、中央に位置する入力ポート3からミラーMへの入射角は0°、右端に位置する入力ポート5からミラーMへの入射角は−φとなる。出力側についても同様に設定されている。
【0023】
このようにミラーMへの入射角をチャネルごとに異なるようにしたことによる作用を、図2及び図3を用いて説明する。
【0024】
図2はミラーMの偏向角と光軸の偏向角との関係を示したものである。図中nはミラーMの法線ベクトルであり、光線の反射の法則から、ミラーMでの光線の入射角と反射角は等しくなる。
【0025】
図2(a)に示されるように、ミラーMに角度θで入射した光は角度θで反射される。ミラーMが角度φ偏向すると、図2(b)に示されるように、出射角度はθ+2φとなる。一方、図2(c)に示されるように、ミラーMがもともと角度−φ/2傾いていて、入射角度がθ+φだとすると、出射角度はθであり、また、図2(d)に示されるように、ミラーMが+φ/2傾くと、出射角度はθ+2φとなる。
【0026】
即ち、入射角度をθからθ+φに変更することで、ミラーMの偏向角を0からφまで変えた場合に得られる光軸の偏向を、ミラーMの偏向角を−φ/2からφ/2まで変えることで実現することができる。
【0027】
図3は図1の一部分、入力ポート1の部分とそれに対応したMEMSミラーアレイ30の部分を示したものである。光路を切替えるのに必要な光軸の偏向量の最大値が図2で説明したθであるとすると、ミラーMに入射する光軸の角度をφとしたときに、ミラーMを−φ/2から+φ/2まで偏向させることで、出力ポート1´〜5´のいずれへも、光路を切替ることができる。
【0028】
ミラーMへの光軸の偏向は、図3に示されているように、光ファイバFとレンズLの相対位置をずらして配置することで実現される。レンズLの焦点距離をf、光ファイバFとレンズLの中心の位置ずれ量をdとすると、レンズLから出射される光軸はd/fの角度偏向される。一方、この光軸の偏向は、各チャネル毎に変えることが必要となる。なぜなら、図13(b)及び図13(f)に示したように、ミラーアレイの両端では偏向の方向が異なり、また、図13(c)及び図13(d)に示したように、ミラーアレイ中央付近では、すでに偏向角の必要量は小さく、対策の必要が無いからである。
【0029】
そこで、レンズアレイ24におけるレンズLの配列ピッチをファイバアレイ22におけるファイバFの配列ピッチよりも狭くすることで、図1に示されるように各ミラーMに異なった角度を付加することが可能となる。それは、ファイバアレイ22とレンズアレイ24のピッチが異なると、チャネルごとにdの値が異なることになるからである。
【0030】
図4はMEMSミラーの偏向角と駆動電圧の関係を示すグラフである。偏向角の必要値を0〜φから−φ/2〜φ/2と変更することにより、電源電圧を下げることが可能となり、また、電圧に対する角度変化のより緩やかな領域で使用できるようになるため、ミラーの角度制御が容易になるという利点もある。
【0031】
図1から図3までの説明では、ポート1〜5に関して一次元状にファイバアレイ22、レンズアレイ24及びミラーアレイ30が配列されているが、図12に示される従来例のように、光の伝搬方向に見て二次元状に配列されていてもよい。これをより具体的に説明する。
【0032】
図5は本発明の第2実施形態として、ファイバアレイ22及びレンズアレイ24を正面から見た図である。レンズLは8×8マトリックス状に64個有り、これに対応して各光ファイバFが設けられている。そして、縦横両方向ともファイバアレイ22のピッチよりもレンズアレイ24のピッチのほうが小さくなるように設定されている。
【0033】
図6は図5に示されるファイバアレイ22及びレンズアレイ24の斜視図である。ここでは、ファイバアレイ22とレンズアレイ24の相対的な位置関係を確定するために、ファイバアレイ22の各ファイバFはファイバ整列部材36に挿入及び固定されており、レンズアレイ24はファイバ整列部材36に接着等により固定されている。
【0034】
図6を参照すると、レンズアレイ24の四隅から放射されるビームの様子が示されている。点線B1で示されているのは、比較のためにレンズアレイ24のピッチがファイバアレイ22のピッチと等しい場合のビームであり、コリメートされた各ビームは互いに平行であり、全体としてのビームB1の太さは変わらない。これに対して、実線B2で示されているのが本実施形態におけるものであり、各ビームは中心方向に向けて傾きをもって出射され、全体としてのビームB2はレンズアレイ24からの距離が増大するのに従って細くなっている。これにより、図1に示した場合と同様に、端のチャネルにおけるMEMSミラーMの偏向角の必要値を減少させることができる。
【0035】
ところで、ファイバアレイ22及びレンズアレイ24のピッチにより、ミラーMに入射する光軸の角度が変わるので、ファイバ整列部材36及びレンズアレイ24が温度によって変動すると、光軸の角度も温度によって変わってしまう。そこで、両者の材質の熱膨張係数をほぼ等しくしておくことで、この影響を低減することが可能となる。
【0036】
図7は本発明による光スイッチの第3実施形態を示す側面図である。この実施形態では、断面がV字型の折返しミラー38を入力側及び出力側のMEMSミラーアレイ30及び32に対向させて配置することで、光路を折り曲げることができる。後述の実施形態で説明するが、折返しミラー38を採用することにより、入力側及び出力側のMEMSミラーアレイ30及び32を一体化することができ、更には入力側及び出力側のファイバアレイ22やレンズアレイ24を一体化することができる。
【0037】
図8は本発明による光スイッチの第4実施形態を示す側面図であり、その入力側のみが示されている。この実施形態では、ファイバアレイ22とレンズアレイ24のピッチは等しく、ファイバアレイ22とミラーアレイ30の間に光学部材40が設けられている。光学部材40はファイバアレイ22の各光ファイバFから出力されレンズアレイ24の各レンズLによりコリメートされたビームに対して異なる屈折角を与え、それによりミラーアレイ30の各ミラーへの入射角が異なるようにされている
図示されたようにファイバアレイ22が一次元的な配列である場合には、光学部材40としてはシリンドリカルレンズを用いることができる。また、図6に示されるような2次元配置が採用されている場合には、凸レンズやプリズムを光学部材40として用いることができる。例えば、中心の光軸(この場合はポート3からミラーMへ入射する光軸)に対して対称な構造のレンズを配置するとで、その両側の光軸を逆方向に偏向させることが可能となり、また、各チャネル毎に異なった角度で光軸を偏向させることが可能となる。
【0038】
図9は本発明による光スイッチの第5実施形態を示す側面図であり、その入力側のみが示されている。この実施形態でも、ファイバアレイ22とレンズアレイ24のピッチは等しく、レンズアレイ24とミラーアレイ30を反射光路により光学的に接続するための凹面リフレクター42が設けられている。これにより、互いに平行なビームがリフレクター42に入射したときに、その焦点位置(図示せず)に向けて光軸を偏向させることができ、ミラーアレイ30の各ミラーへの入射角を異ならせることができる。リフレクター42の反射面としては例えば放物面を用いることができる。
【0039】
図10は本発明による光スイッチの第6実施形態を示す側面図である。この実施形態でも、ファイバアレイ22とレンズアレイ24のピッチは等しい。そして、図7に示される実施形態との対比において説明すると、凹面による折り返しミラー44が用いられている。このように、折り返しミラー44の反射面の形状を曲面形状の組み合わせとすることで、MEMSミラーMへの入射光軸を偏向させなくても、端の経路においては、MEMSミラーMを偏向させることが必要になり、これまでに説明したのと同様にMEMSミラーMの偏向角の必要値を減少させることができる。
【0040】
図11は本発明による光スイッチの第7実施形態を示す斜視図である。この実施形態では、入力側及び出力側のMEMSミラーアレイ30及び32を一体化し、更には入力側及び出力側のファイバアレイ22やレンズアレイ24を一体化するために、図7に示される実施形態の各構成要素の配置が変更されている。入力側ファイバアレイ22と同様、出力側ファイバアレイ26についてもファイバ整列部材36が用いられている。
【0041】
レンズアレイ24及び28の各レンズLは、板状のガラス基板にエッチング等により半球状のレンズを形成して得ることができる。ここで、ファイバアレイピッチ>レンズアレイピッチ>MEMSミラーアレイピッチとしており、光軸は中心に向かうように角度が付けられている。
【0042】
また、レンズアレイを石英ガラス(熱膨張係数=0.5×10−6/℃)、ファイバアレイ(より正確には、ファイバ整列部材)をインバー合金(64Fe+36Ni)(熱膨張係数=1.4×10−6/℃)で構成すれば、温度変動に対してもビームの角度変動を少なくすることができる。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によると、駆動電圧を有効に低下させることができる光スイッチの提供が可能になるという効果が生じる。その結果、電源電圧を低減することができ、低消費電力化が可能となり、また、部品の耐圧ランクを下げ、使用可能な部品品種が増えるため、低コスト化が可能となる。更に、ファイバアレイのピッチとMEMSミラーのピッチを変えることができることから、両者の設計自由度が向上し、汎用部品の利用が可能となるという効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明による光スイッチの第1実施形態を示す側面図である。
【図2】図2はミラーMの偏向角と光軸の偏向角との関係を示す図である。
【図3】図3は図1の一部分、入力ポート1の部分とそれに対応したMEMSミラーアレイ30の部分を示す図である。
【図4】図4はMEMSミラーの偏向角と駆動電圧の関係を示すグラフである。
【図5】図5は本発明の第2実施形態として、ファイバアレイ22及びレンズアレイ24を正面から見た図である。
【図6】図6は図5に示されるファイバアレイ22及びレンズアレイ24の斜視図である。
【図7】図7は本発明による光スイッチの第3実施形態を示す側面図である。
【図8】図8は本発明による光スイッチの第4実施形態を示す側面図である。
【図9】図9は本発明による光スイッチの第5実施形態を示す側面図である。
【図10】図10は本発明による光スイッチの第6実施形態を示す側面図である。
【図11】図11は本発明による光スイッチの第7実施形態を示す斜視図である。
【図12】図12は3次元MEMS光スイッチの従来例を示す斜視図である。
【図13】図12に示される光スイッチの動作を説明するための図である。
【符号の説明】
22 入力側ファイバアレイ
24 入力側レンズアレイ
26 出力側ファイバアレイ
28 出力側レンズアレイ
30 入力側MEMSミラーアレイ
32 出力側MEMSミラーアレイ
Claims (6)
- 複数の光ファイバを有するファイバアレイと、
偏向角が可変な複数のミラーを有し、各ミラーは前記ファイバアレイの各光ファイバから出力された光を偏向させるミラーアレイとを備えた光スイッチであって、
各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにされていることを特徴とする光スイッチ。 - 前記ミラーアレイの各ミラーは半導体製造技術により基板上に作製されたMEMSミラーであることを特徴とする請求項1記載の光スイッチ。
- 前記複数の光ファイバ及び前記複数のミラーは光の伝搬方向に見て2次元的に配列されていることを特徴とする請求項1記載の光スイッチ。
- 複数のレンズを有しその各々は前記ファイバアレイの各光ファイバから放射された光をコリメートビームに変換するレンズアレイを更に備えたことを特徴とする請求項1記載の光スイッチ。
- 前記ファイバアレイにおける光ファイバのピッチと前記レンズアレイにおけるレンズのピッチが異なり、それにより各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにされていることを特徴とする請求項4記載の光スイッチ。
- 前記ファイバアレイと前記ミラーアレイとの間に設けられた光学部材を更に備え、
前記光学部材は前記ファイバアレイの各光ファイバから出力された光に対して異なる屈折角を与え、それにより各光ファイバから各ミラーへの入射角が異なるようにされていることを特徴とする請求項1記載の光スイッチ。
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