JP2009236931A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガスセンサは、素子2が、主体金具1の中空部101の中に配置される。素子2と主体金具1の間の隙間は無機粉末4によって充填されることで素子2と主体金具1との間の間隙は気密にシールされる。無機粉末としては、示差熱分析によって700℃以下で発熱ピークを有さない材料を用いることで、600℃以上の高温の使用環境においても素子と主体金具の間の気密性が劣化しない。無機粉末としては、SiO2とMgOからなる滑石粉末を用いることが出来るが、示差熱分析で700℃以下において発熱ピークを有さない材料となるように、水ガラスなどのバインダを混入させない。成形性を確保する為に、粉末としては原石を400〜600μmの粒径に粉砕したものを用いる。
【選択図】 図1
Description
上記の無機粉末で素子と主体金具の間の空間を充填する場合の従来の製造方法を図1に示す。最初に原料となる滑石としては、粒径5〜50μmのものを用い、滑石100重量部に対してと水ガラス4重量部を混合し調合する。次にその混合粉末をシート状に加圧成形する。次に成形体を粗く粉砕し粒径300〜800μm程度の二次粒子に整粒する。整粒した粉末を金型に流してから加圧しリング状に成形する。成形したリングを素子と主体金具の間隙に挿入する。挿入したリングを油圧プレスにて上方から押しつぶして素子と主体金具の間隙に充填する。更に上からアルミナセラミックスからなるスリーブを挿入し、主体金具の上部を折り込んでスリーブを介して無機粉末を圧縮して気密性を高める。
上記工程において無機粉末に水ガラスを混合するのは、無機粉末の圧縮性を向上させる為である。特に出願人の先の出願である特願平11−123122号に記載されているように、水ガラス量を無機粉末100重量部に対して2〜7重量部とすると、リングに加工する際の可能性が良好になると同時に、ガスセンサに組付ける際にも、圧縮した時に高い圧縮率で圧縮されるので、高い気密性のガスセンサが得られる。
しかし、この様に水ガラスを含んだ滑石を用いた場合には、600℃を超えるような環境下では良好な気密性が長時間維持できないことが出願人の調査により明らかとなった。即ち、滑石中に水ガラスが含まれていると、600℃以上の温度において水ガラスが変質し、結果として滑石が粒成長を起こしてしまうので、滑石特有の柔軟な粉末性状が失われてしまうので、気密性が落ちてしまうのである。
なお、示唆熱分析によって得られるデータとして減量率を用いた場合には、無機粉末の減量率が700℃以下で0.5%以下となるような無機粉末を用いても良い。この場合、700℃以下での減量率が0.5%以下である無機粉末であれば、600℃以上の使用環境下でも粒成長を起こさないので、良好な気密性を保つことが出来る。
また、無機粉末として、700℃×24時間の熱処理後に比表面積の変化率の絶対値(以下単に変化率とも言う)が19%以下のものを用いても良い。比表面積の変化率が19%以下ならば、600℃以上の使用環境下でも無機粉末の粒成長は少ないと考えることが出来る。従って、ガスセンサの気密性は良好に保たれる。
上記の様な無機粉末を扱う場合、ガスセンサに挿入する為にリング形状に成型したり、粉末のまま素子と主体金具の間隙に注入したりする為に、流動性が高く扱いやすい大きさの二次粒子に整粒する必要がある。しかし、本質的に水ガラスを含まない無機粉末の場合には、扱いやすい大きさの二次粒子に整粒することは難しい。そこで、本発明では、前記の原料となる無機粉末として、滑石等の原石を扱いやすい粒径の粉末に砕き、直接それを用いてリングを成形したり、素子と主体金具の間隙に注入したりすると良い。原石から粉砕により直接リング形状に成形する粒子を作る場合には、平均粒径として400〜600μmとすると粒子が流れ易く成形性が良いので、好ましい。
そしてこの様な無機粉末を主体金具と素子の間に充填するにおいては、主体金具を加締めることで無機粉末を圧縮状態にすることで、素子と主体金具の間の間隙を良好に充填することが出来、気密にシールすることが出来る。
図1に示すのは被測定ガス中の酸素濃度を測定するガスセンサである。このガスセンサは、主体金具1は素子2を収納する内空間を有し、素子2と主体金具1の間の間隙には下からホルダ3、無機粉末4、スリーブ5、加締パッキン6の順に重なり、加締パッキン6を主体金具で加締めることで、スリーブ4を介して無機粉末3を圧縮する。加締め条件は加締め荷重25KNで約1秒間加締める。
また、表1の各無機粉末を粉末単体で大気雰囲気中700℃×24時間の耐久試験を行った。そして、耐久前後における比表面積の変化を測定した。結果を表2に示す。
なお、下部センサの無機粉末を粉末状態のまま素子と主体金具の間隙に注入しても同様な結果が得られた。
2、…素子
3、…無機粉末
4、…スリーブ
5、…加締パッキン
6、…セラミックホルダ
101、…内空間
102、…六角部
Claims (14)
- 被測定ガス中の検出ガス濃度を測定する為の素子と
前記素子を収容する上下方向に開放した内空間を有する主体金具とを有し、
前記主体金具と素子の間隙の少なくとも一部が無機粉末で充填されているガスセンサであって、
前記無機粉末を示差熱分析すると、700℃までの温度領域で発熱又は吸熱ピークが無い事
を特徴とするガスセンサ。 - 被測定ガス中の検出ガス濃度を測定する為の素子と
前記素子を収容する上下方向に開放した内空間を有する主体金具とを有し、
前記主体金具と素子の間隙の少なくとも一部が無機粉末で充填されているガスセンサであって、
前記無機粉末を示唆熱分析すると、700℃までの減量率が0.5%以下である事
を特徴とするガスセンサ。 - 被測定ガス中の検出ガス濃度を測定する為の素子と
前記素子を収容する上下方向に開放した内空間を有する主体金具とを有し、
前記主体金具と素子の間隙の少なくとも一部が無機粉末で充填されているガスセンサであって、
前記無機粉末は700℃×24時間の熱処理後でも比表面積の変化率の絶対値が19%以下である事
を特徴とするガスセンサ。 - 前記無機粉末は少なくともSiO2とMgOを含み、
SiO2とMgOの重量合計が、無機粉末の全重量に対して、98wt%以上である事
を特徴とする請求項1乃至3記載のガスセンサ。 - 前記無機粉末は少なくともSiO2とAl2O3を含み、
SiO2とAl2O3の重量合計が、無機粉末の全重量に対して、98wt%以上である事
を特徴とする請求項1乃至3記載のガスセンサ。 - 前記無機粉末は少なくともSiO2とAl2O3とMgOを含み
SiO2とAl2O3とMgOの重量合計が、無機粉末の全重量に対して、98wt%以上である事
を特徴とする請求項1乃至3記載のガスセンサ。 - 前記無機粉末は、一次粒子の形状が葉片状或いは鱗状である事
を特徴とする請求項1乃至6記載のガスセンサ。 - 原石を砕いて平均粒径400〜600μmの粒径の無機粉末を製造し、
前記無機粉末を用いて前記素子と主体金具の間隙の少なくとも一部に充填することを特徴とするガスセンサの製造方法。 - 前記無機粉末を用いて円環形状のリングを成形し、
前記リングを前記素子と前記主体金具の間隙の少なくとも一部に挿入し、
前記リングに圧力を加えて、圧縮状態で前記素子と主体金具の間隙の少なくとも一部に充填することを特徴とする請求項9記載のガスセンサの製造方法。 - 前記無機粉末を粉末状態で前記素子と前記主体金具の間隙の少なくとも一部に流し込み、
前記無機粉末に圧力を加えて、圧縮状態で前記素子と主体金具の間隙の少なくとも一部に充填することを特徴とする請求項7記載のガスセンサの製造方法。 - 前記無機粉末は少なくともSiO2とMgOを含み、
SiO2とMgOの重量合計が、無機粉末の全重量に対して、98wt%以上である事
を特徴とする請求項8乃至10記載のガスセンサの製造方法。 - 前記無機粉末は少なくともSiO2とAl2O3を含み、
SiO2とAl2O3の重量合計が、無機粉末の全重量に対して、98wt%以上である事
を特徴とする請求項8乃至10記載のガスセンサの製造方法。 - 前記無機粉末は少なくともSiO2とAl2O3とMgOを含み
SiO2とAl2O3とMgOの重量合計が、無機粉末の全重量に対して、98wt%以上である事
を特徴とする請求項8乃至10記載のガスセンサの製造方法。 - 前記無機粉末は、一次粒子の形状が葉片状或いは鱗状である事
を特徴とする請求項8乃至13記載のガスセンサの製造方法。
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