JP2009236636A - X線異物検査装置及びそれに用いられるx線異物検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線検査画像メモリ11に記憶されているX線検査画像データに基づいて、ずらし画像データを作成するずらし画像作成器12と、ずらし画像作成器12によって作成されたずらし画像データを記憶するずらし画像メモリ13と、X線検査画像メモリ11に記憶されているX線検査画像データとずらし画像メモリ13に記憶されているずらし画像データを画素毎に加算してずらし加算画像データを算出するずらし画像加算演算処理器14と、ずらし画像加算演算処理器14によって算出されたずらし加算画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定する異物判定処理器15によって構成する。
【選択図】図1
Description
X線を出射するX線源と、
前記X線源から出射され検査対象物を透過した後入射したX線を電荷に変換して蓄積するX線検出素子が複数個配列されて成り、該X線検出素子に蓄積された電荷を検査対象物のX線検査画像データとして出力するX線撮像手段と、
前記X線撮像手段によって出力されたX線検査画像データを記憶するX線検査画像記憶手段と、
前記X線検査画像記憶手段によって記憶されているX線検査画像データに基づいて、各画素を平行移動させることによりずらし画像データを作成するずらし画像作成手段と、
前記ずらし画像作成手段によって作成されたずらし画像データを記憶するずらし画像記憶手段と、
前記X線検査画像記憶手段によって記憶されているX線検査画像データと、前記ずらし画像記憶手段によって記憶されているずらし画像データとを画素毎に加算してずらし加算画像データを算出するずらし画像加算手段と、
前記ずらし画像加算手段によって算出されたずらし加算画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定する異物判定手段とを備えたものである。
前記ずらし画像作成手段は、前記X線検査画像記憶手段によって記憶されているX線検査画像データの各画素を、上下左右斜めの8方向のうち少なくとも一方向に、少なくとも1画素だけ平行移動させることによりずらし画像データを作成するものである。
前記異物判定手段は、前記ずらし画像加算手段によって算出されたずらし加算画像データにおいて、周辺画素との輝度値の差が所定の閾値以上である画素が所定の個数以上連続して存在する場合に、検査対象物内に異物が有ると判定するものである。
異物の有無を判定するための基準となる基準良品画像データを記憶する基準良品画像記憶手段と、
前記X線検査画像記憶手段によって記憶された検査対象物のX線検査画像データから前記基準良品画像記憶手段によって記憶された基準良品画像データを除算処理することにより、異物の背景が除去された背景除去画像データを算出する除算演算手段とをさらに備え、
前記ずらし画像作成手段は、前記除算演算手段によって算出された背景除去画像データに基づいて、各画素を平行移動させることにより異物の背景が除去されたずらし画像データを作成し、
前記ずらし画像記憶手段は前記背景除去ずらし画像作成手段によって作成された異物の背景が除去されたずらし画像データを記憶し、
前記ずらし画像加算手段は、前記除算演算手段によって算出された背景除去画像データと、前記ずらし画像記憶手段によって記憶されている異物の背景が除去されたずらし画像データとを画素毎に加算して異物の背景が除去されたずらし加算画像データを算出し、
前記異物判定手段は、前記ずらし画像加算手段によって算出された異物の背景が除去されたずらし加算画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定するものである。
前記X線検査画像記憶手段によって記憶されたX線検査画像データのうち、前記異物判定手段によって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物のX線検査画像データを蓄積する良品画像蓄積手段と、
前記良品画像蓄積手段によって蓄積されている複数のX線検査画像データを加算平均して良品平均画像データを算出する加算平均演算手段とをさらに備え、
前記基準良品画像記憶手段は、前記加算平均演算手段によって算出された良品平均画像データを基準良品画像データとして記憶するものである。
異物の有無を判定するための基準となる基準良品ずらし加算画像データを記憶する基準良品ずらし加算画像記憶手段と、
前記ずらし画像加算手段によって算出された検査対象物のずらし加算画像データから前記基準良品ずらし加算画像記憶手段によって記憶された基準良品ずらし加算画像データを除算処理することにより、異物の背景が除去された背景除去画像データを算出する除算演算手段とをさらに備え、
前記異物判定手段は、前記除算演算手段によって算出された景除去画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定するものである。
前記ずらし画像加算手段によって算出されたずらし加算画像データのうち、前記異物判定手段によって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物に関するずらし加算画像データを蓄積する良品ずらし加算画像蓄積手段と、
前記良品ずらし画像蓄積手段によって蓄積されている複数のずらし加算画像データを加算平均して良品平均ずらし加算画像データを算出する加算平均演算手段とをさらに備え、
前記基準良品ずらし加算画像記憶手段は、前記加算平均演算手段によって算出された良品平均ずらし加算画像データを基準良品ずらし加算画像データとして記憶するものである。
前記X線撮像手段によって撮像されたX線検査画像データにおける検査対象物の大きさ、位置又は角度のうち、少なくとも1つを補正する画像処理手段を備え、
前記良品画像蓄積手段は、前記画像処理手段によって補正されたX線検査画像データのうち、前記異物判定手段によって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物のX線検査画像データを蓄積し、
前記除算演算手段は、前記画像処理手段によって補正されたX線検査画像データから前記基準良品画像記憶手段によって記憶された基準良品画像データを除算処理するものである。
前記ずらし画像加算手段によって算出されたずらし加算画像データにおける検査対象物の大きさ、位置又は角度のうち、少なくとも1つを補正する画像処理手段を備え、
前記良品ずらし加算画像蓄積手段は、前記画像処理手段によって補正されたずらし加算画像データのうち、前記異物判定手段によって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物のずらし加算画像データを蓄積し、
前記除算演算手段は、前記画像処理手段によって補正されたずらし加算画像データから前記基準良品ずらし加算画像記憶手段によって記憶された基準良品ずらし加算画像データを除算処理するものである。
検査対象物にX線を照射するX線照ステップと、
前記X線照ステップにおいて出射され検査対象物を透過した後入射したX線を電荷に変換し、検査対象物のX線検査画像データとして出力するX線撮像ステップと、
前記X線撮像ステップによって出力されたX線検査画像データを記憶するX線検査画像記憶ステップと、
前記X線検査画像記憶ステップによって記憶されているX線検査画像データに基づいて、所定の方向に所定の画素だけ平行移動させたずらし画像データを作成するずらし画像作成ステップと、
前記ずらし画像作成ステップによって作成されたずらし画像データを記憶するずらし画像記憶ステップと、
前記X線検査画像記憶ステップによって記憶されているX線検査画像データと、前記ずらし画像記憶ステップによって記憶されているずらし画像データとを画素毎に加算してずらし加算画像データを算出するずらし画像データ加算ステップと、
前記ずらし画像データ加算ステップによって算出されたずらし加算画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定する異物判定ステップとを有するX線異物検査方法である。
前記異物判定ステップは、前記ずらし画像データ加算ステップによって算出されたずらし加算画像データにおいて、周辺画素との輝度値の差が所定の閾値以上である画素が所定の個数以上連続して存在する場合に、検査対象物内に異物が有ると判定するものである。
異物の有無を判定するための基準となる基準良品画像データを記憶する基準良品画像記憶ステップと、
前記X線検査画像記憶ステップによって記憶された検査対象物のX線検査画像データから前記基準良品画像記憶ステップによって記憶された基準良品画像データを除算処理することにより、異物の背景が除去された背景除去画像データを算出する除算演ステップとをさらに有し、
前記ずらし画像作成ステップは、前記除算演算ステップによって算出された背景除去画像データに基づいて、各画素を平行移動させることにより異物の背景が除去されたずらし画像データを作成し、
前記ずらし画像記憶ステップは前記背景除去ずらし画像作成ステップによって作成された異物の背景が除去されたずらし画像データを記憶し、
前記ずらし画像データ加算ステップは、前記除算演算ステップによって算出された背景除去画像データと、前記ずらし画像記憶ステップによって記憶されている異物の背景が除去されたずらし画像データとを画素毎に加算して異物の背景が除去されたずらし加算画像データを算出し、
前記異物判定ステップは、前記ずらし画像データ加算ステップによって算出された異物の背景が除去されたずらし加算画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定するものである。
前記X線検査画像記憶ステップによって記憶されたX線検査画像データのうち、前記異物判定手段によって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物のX線検査画像データを蓄積する良品画像蓄積ステップと、
前記良品画像蓄積ステップによって蓄積されている複数のX線検査画像データを加算平均して良品平均画像データを算出する加算平均演算ステップとをさらに備え、
前記基準良品画像記憶ステップは、前記加算平均演算ステップによって算出された良品平均画像データを基準良品画像データとして記憶するものである。
異物の有無を判定するための基準となる基準良品ずらし加算画像データを記憶する基準良品ずらし加算画像記憶ステップと、
前記ずらし画像データ加算ステップによって算出された検査対象物のずらし加算画像データから前記基準良品ずらし加算画像記憶ステップによって記憶された基準良品ずらし加算画像データを除算処理することにより、異物の背景が除去された背景除去画像データを算出する除算演算ステップとをさらに有し、
前記異物判定ステップは、前記除算演算ステップによって算出された背景除去画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定するものである。
前記ずらし画像加算ステップによって算出されたずらし加算画像データのうち、前記異物判定ステップによって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物に関するずらし加算画像データを蓄積する良品ずらし加算画像蓄積ステップと、
前記良品ずらし画像蓄積ステップによって蓄積されている複数のずらし加算画像データを加算平均して良品平均ずらし加算画像データを算出する加算平均演算ステップとをさらに有し、
前記基準良品ずらし加算画像記憶ステップは、前記加算平均演算ステップによって算出された良品平均ずらし加算画像データを基準良品ずらし加算画像データとして記憶するものである。
本発明の第1実施形態によるX線異物検査装置について図面を参照して説明する。図1はX線異物検査装置の全体構成を示している。X線異物検査装置1は、X線を出射するX線源2と、X線源2を制御するX線源制御部3と、検査対象物500が載置されるテーブル4と、テーブル4の位置及び姿勢を制御するテーブル制御部5と、検査対象物500及びテーブル4を透過したX線検査画像を撮像するX線エリアセンサ(X線撮像手段)6と、X線エリアセンサ6を制御すると共にX線エリアセンサ6が撮像したX線検査画像の画像データを出力するX線エリアセンサ制御部7と、X線エリアセンサ制御部7から出力された画像データを処理することにより検査対象物500内の異物を検出する画像処理部8と、画像処理部8が検出した異物のX線検査画像を表示する表示部9等によって構成されている。
AIx,y=Ix,y+Ix-1,y-1+Ix,y-1+Ix+1,y-1+Ix-1,y+Ix+1,y
+Ix-1,y+1+Ix,y+1+Ix+1,y+1 (1)
ただし、Ix,y:X線検査画像の座標(x,y)の位置にあるピクセルの輝度値
AIx,y:ずらし加算画像の座標(x,y)の位置にあるピクセルの輝度値
とする。
AI(avg)=ai1+ai2+ai3+ai4+ai5+ai6+ai7+ai8 (2)
輝度値の差=AIx,y−AI(avg) (3)
ただし、ai1乃至ai8は、数式(1)によって画素毎に算出された周辺画素P1乃至P8の輝度値とする。
図6は、本発明の第2実施形態によるX線異物検査装置の全体構成を示している。X線異物検査装置200は、良品画像メモリ(良品画像蓄積手段)21と、画像加算平均演算処理器(加算平均演算手段)22と、基準良品画像メモリ(基準良品画像記憶手段)23と、画像除算演算処理器(除算演算手段)24等を有する点において、上記第1実施形態によるX線異物検査装置1とは相違する。
CIx,y−BLx,y=M×(Ix,y−BLx,y)/(BIx,y−BLx,y) (4)
ただし、Ix,y:X線検査画像の座標(x,y)の位置にあるピクセル(画素)の輝度値
BIx,y:良品基準画像の座標(x,y)の位置にあるピクセルの輝度値
BLx,y:ダーク画像の座標(x,y)の位置にあるピクセルの輝度値
CIx,y:除算処理によって算出した座標(x,y)の位置にあるピクセルの輝度値
とする。
図7は、本発明の第3実施形態によるX線異物検査装置の全体構成を示している。X線異物検査装置300は、良品ずらし加算画像メモリ(良品ずらし加算画像蓄積手段)31と、ずらし加算画像加算平均演算処理器(平均演算手段)32と、基準良品ずらし加算画像メモリ(基準良品ずらし加算画像記憶手段)33と、ずらし画像除算演算処理器(除算演算手段)34等を有する点において、上記第1実施形態によるX線異物検査装置1とは相違する。
CIx,y−BLx,y=M×(AIx,y−BLx,y)/(BIx,y−BLx,y) (5)
ただし、AIx,y :ずらし加算画像の座標(x,y)の位置にあるピクセル(画素)の輝度値
BIx,y:良品基準画像の座標(x,y)の位置にあるピクセルの輝度値
BLx,y:ダーク画像の座標(x,y)の位置にあるピクセルの輝度値
CIx,y:除算処理によって算出した座標(x,y)の位置にあるピクセルの輝度値
とする。ここで上記ダーク画像とは、X線源2からX線を出射していない状態で、X線エリアセンサ6が撮像したX線画像であり、X線エリアセンサ6に固有のノイズだけが記録された画像である。ダーク画像のデータBLx,yは、例えばX線検査画像メモリ11や別途設けられたダーク画像メモリに記憶されている。このダーク画像のBLx,yをAIx,y、BIx,y及びCIx,yから減じることにより、X線検査画像から暗電流ノイズが除去されることになる。これにより、微細な異物をより一層正確に検出できるようになる。なお、上記数式(1)において、右辺分子の(Ix,y−BLx,y)が請求項に記載の第1画像データに相当し、右辺分母の(BIx,y−BLx,y)が請求項に記載の第2画像データに相当する。また、Mは、X線異物検査装置1及び検査対象物500の仕様により適宜設定される係数である。
2 X線源
6 X線エリアセンサ
11 X線検査画像メモリ(X線検査画像記憶手段)
12 ずらし画像作成器(ずらし画像作成手段)
13 ずらし画像メモリ(ずらし画像記憶手段)
14 ずらし画像加算演算処理器(ずらし画像加算手段)
15 異物判定処理器(異物判定手段)
200 X線異物検査装置
21 良品画像メモリ(良品画像蓄積手段)
22 画像加算平均演算処理器(加算平均演算手段)
23 基準良品画像メモリ(基準良品画像記憶手段)
24 画像除算演算処理器(除算演算手段)
300 X線異物検査装置
31 良品ずらし加算画像メモリ(良品ずらし加算画像蓄積手段)
32 ずらし加算画像加算加算平均演算処理器(平均演算手段)
33 基準良品ずらし加算画像メモリ(基準良品ずらし加算画像記憶手段)
34 ずらし画像除算演算処理器(除算演算手段)
Claims (15)
- X線を出射するX線源と、
前記X線源から出射され検査対象物を透過した後入射したX線を電荷に変換して蓄積するX線検出素子が複数個配列されて成り、該X線検出素子に蓄積された電荷を検査対象物のX線検査画像データとして出力するX線撮像手段と、
前記X線撮像手段によって出力されたX線検査画像データを記憶するX線検査画像記憶手段と、
前記X線検査画像記憶手段によって記憶されているX線検査画像データに基づいて、各画素を平行移動させることによりずらし画像データを作成するずらし画像作成手段と、
前記ずらし画像作成手段によって作成されたずらし画像データを記憶するずらし画像記憶手段と、
前記X線検査画像記憶手段によって記憶されているX線検査画像データと、前記ずらし画像記憶手段によって記憶されているずらし画像データとを画素毎に加算してずらし加算画像データを算出するずらし画像加算手段と、
前記ずらし画像加算手段によって算出されたずらし加算画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定する異物判定手段とを備えたことを特徴とするX線異物検査装置。 - 前記ずらし画像作成手段は、前記X線検査画像記憶手段によって記憶されているX線検査画像データの各画素を、上下左右斜めの8方向のうち少なくとも一方向に、少なくとも1画素だけ平行移動させることによりずらし画像データを作成することを特徴とする請求項1に記載のX線異物検査装置。
- 前記異物判定手段は、前記ずらし画像加算手段によって算出されたずらし加算画像データにおいて、周辺画素との輝度値の差が所定の閾値以上である画素が所定の個数以上連続して存在する場合に、検査対象物内に異物が有ると判定することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のX線異物検査装置。
- 異物の有無を判定するための基準となる基準良品画像データを記憶する基準良品画像記憶手段と、
前記X線検査画像記憶手段によって記憶された検査対象物のX線検査画像データから前記基準良品画像記憶手段によって記憶された基準良品画像データを除算処理することにより、異物の背景が除去された背景除去画像データを算出する除算演算手段とをさらに備え、
前記ずらし画像作成手段は、前記除算演算手段によって算出された背景除去画像データに基づいて、各画素を平行移動させることにより異物の背景が除去されたずらし画像データを作成し、
前記ずらし画像記憶手段は前記背景除去ずらし画像作成手段によって作成された異物の背景が除去されたずらし画像データを記憶し、
前記ずらし画像加算手段は、前記除算演算手段によって算出された背景除去画像データと、前記ずらし画像記憶手段によって記憶されている異物の背景が除去されたずらし画像データとを画素毎に加算して異物の背景が除去されたずらし加算画像データを算出し、
前記異物判定手段は、前記ずらし画像加算手段によって算出された異物の背景が除去されたずらし加算画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のX線異物検査装置。 - 前記X線検査画像記憶手段によって記憶されたX線検査画像データのうち、前記異物判定手段によって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物のX線検査画像データを蓄積する良品画像蓄積手段と、
前記良品画像蓄積手段によって蓄積されている複数のX線検査画像データを加算平均して良品平均画像データを算出する加算平均演算手段とをさらに備え、
前記基準良品画像記憶手段は、前記加算平均演算手段によって算出された良品平均画像データを基準良品画像データとして記憶することを特徴とする請求項4に記載のX線異物検査装置。 - 異物の有無を判定するための基準となる基準良品ずらし加算画像データを記憶する基準良品ずらし加算画像記憶手段と、
前記ずらし画像加算手段によって算出された検査対象物のずらし加算画像データから前記基準良品ずらし加算画像記憶手段によって記憶された基準良品ずらし加算画像データを除算処理することにより、異物の背景が除去された背景除去画像データを算出する除算演算手段とをさらに備え、
前記異物判定手段は、前記除算演算手段によって算出された景除去画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のX線異物検査装置。 - 前記ずらし画像加算手段によって算出されたずらし加算画像データのうち、前記異物判定手段によって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物に関するずらし加算画像データを蓄積する良品ずらし加算画像蓄積手段と、
前記良品ずらし画像蓄積手段によって蓄積されている複数のずらし加算画像データを加算平均して良品平均ずらし加算画像データを算出する加算平均演算手段とをさらに備え、
前記基準良品ずらし加算画像記憶手段は、前記加算平均演算手段によって算出された良品平均ずらし加算画像データを基準良品ずらし加算画像データとして記憶することを特徴とする請求項6に記載のX線異物検査装置。 - 前記X線撮像手段によって撮像されたX線検査画像データにおける検査対象物の大きさ、位置又は角度のうち、少なくとも1つを補正する画像処理手段を備え、
前記良品画像蓄積手段は、前記画像処理手段によって補正されたX線検査画像データのうち、前記異物判定手段によって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物のX線検査画像データを蓄積し、
前記除算演算手段は、前記画像処理手段によって補正されたX線検査画像データから前記基準良品画像記憶手段によって記憶された基準良品画像データを除算処理することを特徴とする請求項4又は請求項5に記載のX線異物検査装置。 - 前記ずらし画像加算手段によって算出されたずらし加算画像データにおける検査対象物の大きさ、位置又は角度のうち、少なくとも1つを補正する画像処理手段を備え、
前記良品ずらし加算画像蓄積手段は、前記画像処理手段によって補正されたずらし加算画像データのうち、前記異物判定手段によって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物のずらし加算画像データを蓄積し、
前記除算演算手段は、前記画像処理手段によって補正されたずらし加算画像データから前記基準良品ずらし加算画像記憶手段によって記憶された基準良品ずらし加算画像データを除算処理することを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のX線異物検査装置。 - 検査対象物にX線を照射するX線照ステップと、
前記X線照ステップにおいて出射され検査対象物を透過した後入射したX線を電荷に変換し、検査対象物のX線検査画像データとして出力するX線撮像ステップと、
前記X線撮像ステップによって出力されたX線検査画像データを記憶するX線検査画像記憶ステップと、
前記X線検査画像記憶ステップによって記憶されているX線検査画像データに基づいて、所定の方向に所定の画素だけ平行移動させたずらし画像データを作成するずらし画像作成ステップと、
前記ずらし画像作成ステップによって作成されたずらし画像データを記憶するずらし画像記憶ステップと、
前記X線検査画像記憶ステップによって記憶されているX線検査画像データと、前記ずらし画像記憶ステップによって記憶されているずらし画像データとを画素毎に加算してずらし加算画像データを算出するずらし画像データ加算ステップと、
前記ずらし画像データ加算ステップによって算出されたずらし加算画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定する異物判定ステップとを有することを特徴とするX線異物検査方法。 - 前記異物判定ステップは、前記ずらし画像データ加算ステップによって算出されたずらし加算画像データにおいて、周辺画素との輝度値の差が所定の閾値以上である画素が所定の個数以上連続して存在する場合に、検査対象物内に異物が有ると判定することを特徴とする請求項10に記載のX線異物検査方法。
- 異物の有無を判定するための基準となる基準良品画像データを記憶する基準良品画像記憶ステップと、
前記X線検査画像記憶ステップによって記憶された検査対象物のX線検査画像データから前記基準良品画像記憶ステップによって記憶された基準良品画像データを除算処理することにより、異物の背景が除去された背景除去画像データを算出する除算演ステップとをさらに有し、
前記ずらし画像作成ステップは、前記除算演算ステップによって算出された背景除去画像データに基づいて、各画素を平行移動させることにより異物の背景が除去されたずらし画像データを作成し、
前記ずらし画像記憶ステップは前記背景除去ずらし画像作成ステップによって作成された異物の背景が除去されたずらし画像データを記憶し、
前記ずらし画像データ加算ステップは、前記除算演算ステップによって算出された背景除去画像データと、前記ずらし画像記憶ステップによって記憶されている異物の背景が除去されたずらし画像データとを画素毎に加算して異物の背景が除去されたずらし加算画像データを算出し、
前記異物判定ステップは、前記ずらし画像データ加算ステップによって算出された異物の背景が除去されたずらし加算画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定することを特徴とする請求項10又は請求項11に記載のX線異物検査方法。 - 前記X線検査画像記憶ステップによって記憶されたX線検査画像データのうち、前記異物判定手段によって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物のX線検査画像データを蓄積する良品画像蓄積ステップと、
前記良品画像蓄積ステップによって蓄積されている複数のX線検査画像データを加算平均して良品平均画像データを算出する加算平均演算ステップとをさらに備え、
前記基準良品画像記憶ステップは、前記加算平均演算ステップによって算出された良品平均画像データを基準良品画像データとして記憶することを特徴とする請求項12に記載のX線異物検査方法。 - 異物の有無を判定するための基準となる基準良品ずらし加算画像データを記憶する基準良品ずらし加算画像記憶ステップと、
前記ずらし画像データ加算ステップによって算出された検査対象物のずらし加算画像データから前記基準良品ずらし加算画像記憶ステップによって記憶された基準良品ずらし加算画像データを除算処理することにより、異物の背景が除去された背景除去画像データを算出する除算演算ステップとをさらに有し、
前記異物判定ステップは、前記除算演算ステップによって算出された背景除去画像データに基づいて、検査対象物内の異物の有無を判定することを特徴とする請求項10又は請求項11に記載のX線異物検査方法。 - 前記ずらし画像加算ステップによって算出されたずらし加算画像データのうち、前記異物判定ステップによって異物が混入していないと判定された複数の検査対象物に関するずらし加算画像データを蓄積する良品ずらし加算画像蓄積ステップと、
前記良品ずらし画像蓄積ステップによって蓄積されている複数のずらし加算画像データを加算平均して良品平均ずらし加算画像データを算出する加算平均演算ステップとをさらに有し、
前記基準良品ずらし加算画像記憶ステップは、前記加算平均演算ステップによって算出された良品平均ずらし加算画像データを基準良品ずらし加算画像データとして記憶することを特徴とする請求項14に記載のX線異物検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009236636A true JP2009236636A (ja) | 2009-10-15 |
JP5328196B2 JP5328196B2 (ja) | 2013-10-30 |
Family
ID=41250774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008082006A Active JP5328196B2 (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | X線異物検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5328196B2 (ja) |
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