JP2009231719A

JP2009231719A - 露光装置に用いられる楕円鏡の保持方法および保持装置

Info

Publication number: JP2009231719A
Application number: JP2008077994A
Authority: JP
Inventors: Hirohide Minagawa; 弘英皆川; Yoshiyuki Enomoto; 芳幸榎本; Takeshi Tsurumaki; 猛鶴巻
Original assignee: Topcon Corp
Current assignee: Topcon Corp
Priority date: 2008-03-25
Filing date: 2008-03-25
Publication date: 2009-10-08

Abstract

【課題】楕円鏡を確実に保持することができるとともに、楕円鏡を傾斜させて保持する姿勢の自由度が増し、例えば２つ以上の楕円鏡を安定して、きれいに整頓させて配列すると共に、複数のランプ本体を近接して配置することが容易になる、楕円鏡の保持方法および保持装置を提供する。
【解決手段】露光装置に用いられる楕円鏡を保持する方法及び装置において、楕円鏡の側壁の楕円壁面の箇所に穴をあけ、各穴に１つの保持部材を取り付け、少なくとも３つの保持部材により楕円鏡を保持する。
【選択図】図１

Description

本発明は、露光装置（液晶パネルなどを露光するための大型露光装置や、半導体製造の際に用いられる半導体露光装置など）に用いられる水銀ランプ等の楕円鏡を保持するための保持方法および保持装置に関する。

従来から、上述した露光装置では、いろいろな形で楕円鏡を保持していた。

図６（ａ）に示すように、楕円鏡１の底部を保持具２で保持したり（例えば特許文献１）、楕円鏡の開口部周縁に設けられたつば（フランジ）に穴をあけてボルトで留めて固定したり（例えば特許文献２）、図６（ｂ）に示すように、楕円鏡３の開口周縁部に切り欠きを入れて、保持具４をその切り欠きに取り付け固定したりする方法が知られている。
特開２０００−４０６５５号公報特開２００４−７９８６４号公報

しかしながら、図６（ａ）に示すように、楕円鏡１の底部を保持した場合には、楕円鏡１を乗せているだけの状態になるので、楕円鏡を固定することができず、楕円鏡が安定しがたく、ずれてしまったり、振動などの衝撃により楕円鏡が外れてしまい、破損する危険性がある。

また、図６（ｂ）に示すように、楕円鏡３の開口周縁部に切り欠きを入れて、保持具をその切り欠きに取り付け固定したりする方法では、斜めに取り付けると、一部に集中して力がかかるため、楕円鏡３の姿勢に自由度がなく、制限がある。例えば２つ以上の楕円鏡を近接して配置する場合に、保持具４が邪魔になってしまい、集光光学系にうまく露光光が集光できる形で楕円鏡を保持することができず、保持具とのクリアランスを工夫する必要があり、露光装置の製造上、手間が掛かってしまう。

そこで、本発明は、楕円鏡を確実に保持することができるとともに、楕円鏡を傾斜させて保持するときに姿勢の自由度が増し、例えば２つ以上の楕円鏡を安定して、きれいに整頓させて配列すると共に、複数のランプ本体を近接して配置することが容易になる、楕円鏡の保持方法および保持装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明は、特許請求の範囲の各請求項に記載した事項を特徴とする。

本発明によれば、楕円鏡を確実に保持することができ、楕円鏡を傾斜させて保持するときに姿勢の自由度が増し、例えば２つ又は３つの楕円鏡を近接して保持する場合でも安定して、きれいに整頓させて配列することができる。

さらに、本発明によれば、複数のランプ本体を近接して配置することが容易になる。

２つ又は３つの楕円鏡の各々の楕円壁面の少なくとも３箇所に穴を開け、３つの保持部材（例えば保持棒）の各々を各穴に取り付けて各楕円鏡を保持して固定する。このように各穴に取りつけた保持部材を楕円鏡を固定するために使用することにより、楕円鏡を確実に保持することができる。

さらに、２つ又は３つの楕円鏡を互いに近接して傾斜させて保持するとき、姿勢の自由度が増す。例えば、２つ又は３つの楕円鏡を安定して、きれいに整頓させて配列することができる。とくに、複数のランプ本体を近接して配置することが容易になる。

図面に基づいて本発明の実施例を説明する。

図１（ａ）（ｂ）に示すように、楕円鏡１０の側壁の楕円壁面に少なくとも３つの穴１０ａを開け、各穴１０ａに１本の保持棒１２を入れて楕円鏡１０に任意の手段（図示せず）に固定する。

保持棒１２は、好ましくは、短い長さを有する。

穴１０ａの個数は、３つ以上、例えば４つ、５つであってもよい。

これらの穴１０ａは、好ましくは、開口端縁近くでかつ周方向に等間隔に配置する。

また、これらの穴１０ａは、露光光が過剰に漏れてしまうことのないように保持棒１２を設置する。

保持棒１２を各穴１０ａに固定する形態をより詳細に述べると、図２に示すように、貫通した各穴１０ａに保持棒１２の一端を少し出るところまで通した状態で固定する。

保持棒１２を使用すると、所望の姿勢に自由に楕円鏡１０を保持することが可能である。例えば、傾いた姿勢でも複数の楕円鏡１０を隣接して保持することができる。

図３及び図４の（ａ）（ｂ）に示すように、２つ又は４つの楕円鏡１０を組にして配置する場合、本発明の保持方法および保持装置によれば、２つ又は４つの楕円鏡１０の開口縁部を非常に近接した状態で配置でき、しかも、安定して、きれいに整頓させて配列することができる。その際に、複数のランプ本体（図示せず）も近接して配置することができる。

楕円鏡１０の主要部は極めて高い輝度の露光光があたるため、楕円鏡１０及び保持棒１２の光吸収による熱膨張差や、劣化を考慮し、保持棒１２は楕円鏡１０と同一素材で作成するのが望ましい。

通常、楕円鏡１０は耐熱ガラス又は低膨張ガラスで製作されることが多いので、全く同一の素材でなく、同種の素材、例えば石英ガラスなどでも特に問題はない。

保持棒１２を金属等で作成することも可能である。その場合、熱膨張差を考慮して、楕円鏡１０の周辺において冷却装置などを露光装置に取り付ける。

なお、保持棒１２を入れる穴１０ａは貫通穴でなくてもよい。例えば、図５に示すように、貫通穴でない穴１０ａであっても、そこに保持棒１２を挿入して保持することが可能である。

（ａ）は、本発明に係る露光装置の楕円鏡の保持方法および装置を示す側面図、（ｂ）は、（ａ）の矢印Ａの方向から見た図。楕円鏡の穴と保持棒との結合（固定）構造の好ましい例の１つを示す断面図。２つの楕円鏡の保持方法を示す。４つの楕円鏡の保持方法を示す。貫通穴でない穴の実施例を示す断面図。従来の露光装置の楕円鏡の保持方法を示す。

Claims

露光装置に用いられる楕円鏡を保持する楕円鏡保持方法において、
楕円鏡の楕円壁面の少なくとも３箇所に穴をあけ、それらの穴の各々に少なくとも３個の保持部材の各々を取り付け、保持部材により楕円鏡を保持することを特徴とする楕円鏡保持方法。
楕円鏡を２個又は３個互いに近接させて、しかも傾斜させて配置することを特徴とする請求項１に記載の楕円鏡保持方法。
少なくとも３個の保持部材が楕円鏡の周方向に互いに離れて配置されていて、隣り合う２個の保持部材の中間位置で、２つの楕円鏡が互いに近接して配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の楕円鏡保持方法。
少なくとも３個の保持部材が楕円鏡の周方向に互いに離れて等間隔に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の楕円鏡保持方法。
露光装置に用いられる楕円鏡を保持する楕円鏡保持装置において、
楕円鏡を保持するための保持部材が、楕円鏡の楕円壁面の少なくとも３箇所に設けられた穴の各々に取り付けられていることを特徴とする楕円鏡保持装置。
楕円鏡が、２個又は３個互いに近接させ、かつ、傾斜させて配置されていることを特徴とする請求項５に記載の楕円鏡保持装置。
少なくとも３個の保持部材が円周方向に互いに離れて配置されていて、隣り合う２個の保持部材の中間位置で、２つの楕円鏡が互いに近接して配置されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の楕円鏡保持装置。
少なくとも３個の保持部材が円周方向に互いに離れて等間隔に配置されていることを特徴とする請求項７に記載の楕円鏡保持装置。