JP2009231582A - 化合物半導体スイッチ回路装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】櫛状パターンのゲート電極を有する第1FETと、曲折パターンのゲート電極を有する第2FETを組み合わせて多段接続し、スイッチング素子を構成する。櫛状パターンのゲート電極のFET(第1FET)は線形性に優れ、曲折パターンのゲート電極のFET(第2FET)は高調波歪み特性に優れている。これらを適宜組み合わせて直列接続することにより、線形性と高調波歪み特性がいずれも良好なスイッチMMICを提供できる。特にSPnTスイッチMMICの共通入力端子に最も近いFETを第1FETにすると好適である。
【選択図】 図2
Description
12 動作領域
12c チャネル領域
20 ゲート金属層
21 ゲート電極
21a ゲート電極(櫛状パターン)
211a 櫛歯部
212a 配線部
21b ゲート電極(曲折パターン)
30 パッド金属層
35 ソース電極
36 ドレイン電極
51 第1FET
52 第2FET
220 ゲート金属層
221 ゲート電極
230 パッド金属層
235 ソース電極
236 ドレイン電極
251 基板
252 動作領域
IN 共通入力端子
Ctl1 第1制御端子
Ctl2 第2制御端子
OUT1 第1出力端子
OUT2 第2出力端子
I 共通入力端子パッド
C1 第1制御端子パッド
C2 第2制御端子パッド
O1 第1出力端子パッド
O2 第2出力端子パッド
CR1、CR2 コントロール抵抗
SW1 第1スイッチング素子
SW2 第2スイッチング素子
CP、CP’ 交差部
G ゲート
S ソース
D ドレイン
Claims (6)
- 化合物半導体基板と、
該化合物半導体基板に複数設けられ、それぞれFETを直列に多段接続したスイッチング素子と、
前記化合物半導体基板に設けられ、それぞれの前記スイッチング素子の一端のFETのソース電極またはドレイン電極が共通で接続する入力端子パッドと、
前記化合物半導体基板に設けられ、それぞれの前記スイッチング素子の他端のFETのドレイン電極またはソース電極が接続する複数の出力端子パッドと、
前記化合物半導体基板に設けられ、それぞれの前記スイッチング素子のゲート電極が接続する複数の制御端子パッドと、を有する化合物半導体スイッチ回路装置であって、
前記FETは、前記ソース電極または前記ドレイン電極と前記ゲート電極の一部とが交差する第1FETと、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と前記ゲート電極とが交差しない第2FETを含み、
前記スイッチング素子は前記一端に前記第1FETが配置されることを特徴とする化合物半導体スイッチ回路装置。 - 前記第1FETを複数段連続して接続することを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体スイッチ回路装置。
- 前記第1FETの前記ゲート電極は第1方向に延在する櫛歯部と該櫛歯部の一端を束ねて第2方向に延在する配線部とからなる櫛状パターンであることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体スイッチ回路装置。
- 前記第2FETの前記ゲート電極は第1方向及び第2方向に連続して延在する曲折パターンであることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体スイッチ回路装置。
- 前記ソース電極および前記ドレイン電極は、第1方向に延在する櫛歯部を有する櫛状パターンであり、前記第1方向に延在する前記ゲート電極に沿って配置されることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体スイッチ回路装置。
- 前記入力端子パッドと前記出力端子パッド間に高周波アナログ信号が伝搬することを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体スイッチ回路装置。
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CN103165671A (zh) * | 2011-12-12 | 2013-06-19 | 上海华虹Nec电子有限公司 | Mos器件及其制备方法 |
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-
2008
- 2008-03-24 JP JP2008075919A patent/JP2009231582A/ja active Pending
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