JP2009231543A - 多層配線基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、複数のガラスセラミック絶縁層1a、1b、1c、1d、1eが積層されてなる絶縁基体1と、少なくとも表層を構成するガラスセラミック絶縁層1a、1eの内部に形成された金、銀および銅のうちいずれかを主成分とする貫通導体3とを具備してなる多層配線基板において、貫通導体3が、Sb、As、F、NおよびSの群から選ばれる少なくとも1種を合計で0.01〜0.5mol%含有するガラス転移温度が650〜800℃のガラスを含んでいることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
1a、1b、1c、1d、1e ガラスセラミック絶縁層
2 配線層
3 貫通導体
Claims (2)
- 複数のガラスセラミック絶縁層が積層されてなる絶縁基体と、少なくとも表層を構成するガラスセラミック絶縁層の内部に形成された金、銀および銅のうちいずれかを主成分とする貫通導体とを具備してなる多層配線基板において、前記貫通導体が、Sb、As、F、NおよびSの群から選ばれる少なくとも1種を合計で0.01〜0.5mol%含有するガラス転移温度が650〜800℃のガラスを含んでいることを特徴とする多層配線基板。
- 複数のガラスセラミックグリーンシートを作製する工程と、
前記複数のガラスセラミックグリーンシートの積層体を作製する際に該積層体の少なくとも表層に配置されるガラスセラミックグリーンシートに、貫通孔を形成して、該貫通孔に、金、銀および銅のうちいずれかの金属粉末と、Sb、As、F、NおよびSの群から選ばれる少なくとも1種を合計で0.01〜0.5mol%含有し、かつ焼成によって結晶を析出しないガラス転移温度が650〜800℃のガラス粉末とを含む貫通導体用ペーストを充填する工程と、
前記貫通孔に前記貫通導体用ペーストが充填されたガラスセラミックグリーンシートを少なくとも表層に配置して、前記複数のガラスセラミックグリーンシートの積層体を作製する工程と、
前記積層体を焼成する工程とを具備することを特徴とする多層配線基板の製造方法。
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2008
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