JP2009231437A - マクロ検査装置、マクロ検査システム、及び、マクロ検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】マクロ検査装置、マクロ検査システム及びマクロ検査方法において、ホルダの位置・構成が制限されることなく短時間で平面基板をマクロ検査装置に受け渡すことができるようにする。
【解決手段】検査者１０に対して検査角度を切り換えることができるホルダ３を備えるマクロ検査装置１において、平面基板６をすくい上げて支持する基板支持部材２を備え、平面基板６は、支持部材２によりすくい上げられた状態でホルダ３に固定される構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等のガラス基板に照明光を照射し、その透過光や反射光を目視観察することによりガラス基板を検査（マクロ検査）するために用いられるマクロ検査装置、マクロ検査システム及びマクロ検査方法に関する。

液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造工程では、マザーガラス基板の外観検査が行われている。ガラス基板の外観を検査する基板検査装置として、ガラス基板を保持したマクロ検査用ホルダを目視観察し易い角度に立ち上げた状態で上方から照明光を照射したり、また、ガラス基板に垂直に照明光を照射し、ガラス基板からの反射光や透過光を観察者が目視観察するマクロ検査装置が知られている。

このマクロ検査装置は、ガラス基板からの乱反射光を観察することによって基板表面に塗布されたレジストの膜むらやピンホールなどの欠陥や、塵埃付着の有無などを検査することができる。

ガラス基板を製造する工程では、搬送装置であるローラコンベアでガラス基板を枚葉搬送し、その途中でガラス基板をＬ／ＵＬ（Loading／Unloading）を使用して製造装置等に受け渡す方法が採られている（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、この方法ではローラコンベアと、その側方に設けられた製造装置等との間でガラス基板を受け渡す装置（Ｌ／ＵＬ）として、ガラス基板をローラコンベアの上方に持ち上げるリフター装置と、このリフター装置からガラス基板を受け取り製造装置に受け渡す移送ロボットとが必要となる。これをマクロ検査装置に適用すると、移送ロボットによりガラス基板をマクロ検査装置まで移動しなければならないため、基板の受け渡しに時間を要するという問題が生ずる。

また、前工程で製造されたガラス基板をローラコンベアで枚葉搬送し、このガラス基板を起立させて傾斜搬送コンベアに受け渡して次工程に搬送する方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

また、マクロ検査装置では、透過照明によるマクロ観察ができるようにガラス基板を矩形枠の基板ホルダに保持している。この基板ホルダは、ガラス基板の薄型化、大型化に伴い、ガラス基板の水平度を高め、かつ振動の影響を与えないように、基板ホルダの開口部に複数の桟を架設したものが提案されている（例えば、特許文献３参照）。
特開２００４−７９６１４号公報 特開２００４−１７５５２５号公報 特開２００４−２８１９０７号公報

上述のように、ローラコンベアで搬送されてきたガラス基板を、例えば特許文献１記載の受け渡し装置を用いてローラコンベアから各装置に受け渡すと、平面基板の受け渡しに時間を要するとともに、ガラス基板をローラコンベアと装置との間で移載する搬送ロボットが必要になるため、この搬送ロボットを配置するスペースが必要になるという問題が生ずる。

また、特許文献２記載のようにローラコンベアの搬出側に起立装置を配置する構成では、ローラコンベアの途中に起立装置を配置することができず、ローラコンベアの途中に配置した場合にはローラコンベアが分断される。この起立装置をマクロ検査の基板ホルダに適用した場合には、マクロ検査中にローラコンベアが分断されるため、マクロ検査中はガラス基板を搬送することができないという問題が生ずる。

また、特許文献３記載のようなガラス基板を水平に支持する桟を設けた矩形枠の基板ホルダを特許文献１に適用した場合には、リフトピンに基板ホルダが干渉するため、ローラコンベアから基板ホルダにガラス基板を移載することができなくなり、特許文献２に適用した場合には、ローラコンベアのローラに基板ホルダが干渉するため、基板ホルダの位置・構成が制限されるという問題をも引き起こすことになる。

本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、ホルダの位置・構成が制限されることなく、短時間で平面基板をマクロ検査装置に受け渡すことができるマクロ検査装置、マクロ検査システム及びマクロ検査方法を提供することである。

上記課題を解決するために、本発明のマクロ検査装置は、検査者に対して検査角度を切り換えることができるホルダを備えるマクロ検査装置において、上記平面基板をすくい上げて支持する基板支持部材を備え、上記平面基板は、上記基板支持部材によりすくい上げられた状態で上記ホルダに固定される構成とする。

上記課題を解決するために、本発明のマクロ検査システムは、上記マクロ検査装置と、上記平面基板を搬送する基板搬送装置と、上記基板支持部材を上記マクロ検査装置と上記基板搬送装置との間で移動させる支持部材移動手段と、を備える構成とする。

上記課題を解決するために、本発明のマクロ検査方法は、検査者に対して検査角度を切り換えることができるホルダを用いて上記平面基板のマクロ検査を行うマクロ検査方法において、上記ホルダに対し着脱自在な基板支持部材により上記平面基板をすくい上げて支持し、上記すくい上げた平面基板を上記ホルダに固定し、上記ホルダに固定された平面基板の検査を行うようにする。

本発明では、基板支持部材により平面基板をすくい上げてホルダに固定している。そのため、短時間で平面基板をマクロ検査装置（ホルダ）に受け渡すことができる。また、基板支持部材により平面基板をすくい上げるため、ホルダを基板搬送装置等に配置する必要がなく、ホルダの位置・構成が基板搬送装置等に制限されることがない。よって、本発明によれば、ホルダの位置・構成が制限されることなく、短時間で平面基板をマクロ検査装置に受け渡すことができる。

以下、本発明の実施の形態に係るマクロ検査装置、マクロ検査システム及びマクロ検査方法について、図面を参照しながら説明する。
＜第１実施形態＞
本実施形態では、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造ラインで製造される矩形状のガラス基板の表側又は裏側から照明光を照射して観察者の目視により基板上の欠陥を目視観察するマクロ検査装置１について説明する。

図１は、本発明の第１実施形態に係るマクロ検査装置１を示す概略斜視図である。
図２は、上記マクロ検査装置１の基板支持部材２及びホルダ３を示す概略斜視図であり、図３は、図２の分解斜視図である。

図４は、上記基板支持部材２及びホルダ３を示す平面図である。
図５及び図６は、図４のＡ−Ａ´断面図である。
図１に示すマクロ検査装置１は、基板支持部材２、矩形のホルダ３、ホルダ移動機構４、照明装置５等から構成されており、同図に示す状態では、基板支持部材２及びホルダ３により平面基板６を保持している。

基板支持部材２は、ＦＰＤ製造ラインで製造される矩形状のガラス基板などの透明な平面基板６を平らに支持するべく、上方に突出する支持ピン２ａ（図４〜図６に図示）が一定間隔毎に形成された棒材２ｂを、縦横それぞれに複数本並べて井桁状に組み合わせることにより形成されている。

ホルダ３は、その回動軸３ａがホルダ移動機構４のアーム部４ａの一端において軸支されており、回動軸３ａを中心に回動することができるようになっている。このように、ホルダ３は、ホルダ移動機構４によって、検査者１０に対して検査角度を切り換えることが可能になっている。

また、ホルダ３は、アーム部４ａに軸支された状態で、ホルダ移動機構４により、検査者１０に対しての奥行き方向（本実施形態ではアーム部４ａの長手方向であり水平方向）Ｄ１及び高さ方向（鉛直方向）Ｄ２に移動されることも可能となっている。

ホルダ３は、略四角形の枠状に構成されており、中央には、照明装置５により照射される照明光が透過する開口部３ｂが形成されている。この開口部３ｂの周縁には、図４〜図６に示すように、複数の保持部材３ｃが設けられている。

保持部材３ｃは、基板支持部材２の棒材２ｂの両端部に対し平面基板２を挟んで対向するように複数配置されている。図５及び図６に示すように、保持部材３ｃは、開口部３ｂの周縁から鉛直上方に延び、途中から平面基板６側に水平に延びている。

なお、支持ピン２ａ及び保持部材３ｃと平面基板６とが当接する構成とする場合には、支持ピン２ａ及び保持部材３ｂのうち少なくとも平面基板６との当接部分を樹脂等の当たりの柔らかな材料から構成するとよい。

ホルダ３には、基板支持部材２を下方から固定する固定機構３ｄが設けられている。この固定機構３ｄは、開口部３ａの壁面に配置されており、図示しない制御手段により、基板支持部材２を下方から固定する位置（図５に示す状態）と、基板支持部材２がホルダ３に挿脱自在となる退避位置（図６に示す状態）とに回動することが可能となっている。以上の構成により、ホルダ３の開口部３ａに基板支持部材２が着脱可能に設けられ、その基板支持部材２の上に、平面基板６が平らに支持される。

なお、本実施形態では、基板支持部材２を、複数の棒材５を井桁状に組み合わせたものとして説明したが、基板支持部材２としては平面基板６を支持することができるものであればよい。

また、本実施形態では、ホルダ３は、基板支持部材２及び平面基板６を、保持部材３ｃと固定機構３ｄとの間に挟み込んで固定する例について説明したが、基板支持部材２に設けられた支持ピン２ａを吸着ピンに代えて平面基板６を吸着保持できるようにすれば、基板支持部材２の両端部を保持部材３ｃと固定機構３ｄとで挟持するようにしてもよい。

以下、平面基板６のマクロ検査について説明する。
まず、図６に示すように、基板支持部材２により平面基板６をすくい上げて支持する。すくい上げる平面基板６については、第２実施形態において後述する基板搬送装置等により搬送されているものでも、どこかに載置されているものでもよい。

次に、図５に示すように、基板支持部材２をホルダ３の開口部３ｂに対し下方から挿入し、固定機構３ｄにより基板支持部材２及び平面基板６をホルダ３内に固定する。なお、基板支持部材２をホルダ３に挿入するには、第２実施形態において後述する昇降機構を備えた支持部材移動手段のように、棒状の部材により基板支持部材２を押上げればよい。

基板支持部材２及びホルダ３により保持した平面基板６については、ホルダ移動機構４のアーム部４ａによってホルダ３の回動軸３ａを中心に回動させると共に、ホルダ移動機構４によってホルダ３を水平方向（矢印Ｄ１）及び鉛直方向（矢印Ｄ２）に移動させながら、検査者１０が平面基板６に対する反射光や透過光を観察して検査することができる。

検査が終了した後には、ホルダ移動機構４によりホルダ３を元の位置（基板支持部材２を固定した位置）に戻し、ホルダ３の固定機構３ｄによる基板支持部材２の固定を解除し、基板支持部材２及び平面基板６を元の位置に戻せばよい。

以上説明した本実施形態では、基板支持部材２により平面基板６をすくい上げてホルダ３に固定している。そのため、短時間で平面基板６をマクロ検査装置１（ホルダ３）に受け渡すことができる。また、基板支持部材２により平面基板６をすくい上げるため、ホルダ３をローラコンベア等の基板搬送装置等に配置する必要がなく、ホルダ３の位置・構成が基板搬送装置等に制限されることがない。よって、本実施形態によれば、ホルダ３の位置・構成が制限されることなく、多関節ロボットを用いずに基板搬送装置から短時間で平面基板６をマクロ検査装置１に受け渡すことができる。

また、本実施形態では、基板支持部材２とホルダ３とを互いに着脱自在としている。具体的には、ホルダ３と基板支持部材２とは、基板支持部材２が平面基板６をすくい上げて支持した状態において、互いに着脱自在となっている。そのため、平面基板６を基板支持部材２ごとホルダ３に固定することができ、したがって、受け渡し時及び検査時における平面基板６の安定性を向上させることができる。

また、本実施形態では、ホルダ３には、平面基板６を検査するための照明光が透過する開口部３ｂが形成され、基板支持部材２は、複数の棒材２ｂを井桁状に組み合わせてなり、ホルダ３の下方からホルダ３に対し固定されるようになっている。これにより、照明光を用いて有効にマクロ検査を行うことができる。

＜第２実施形態＞
本実施形態では、上記第１実施形態において説明したマクロ検査装置１を備えるマクロ検査システム２１について説明する。そのため、上記第１実施形態において説明したものについては、同一の符号を付して説明を省略する。

図７は、本発明の第２実施形態に係るマクロ検査システム２１を示す概略斜視図である。
図８は、上記マクロ検査システム２１のホルダ３に基板支持部材２を固定した状態を示す概略斜視図である。

図９は、上記マクロ検査システム２１の基板搬送装置２２を示す概略斜視図である。
図１０は、上記マクロ検査システム２１の支持部材移動手段２３を示す概略斜視図である。

図１１は、上記マクロ検査システム２１の基板支持部材２及び搬送ローラ２３ａを示す平面図である。
図１２は、図１１のＢ−Ｂ´断面図である。

図１３Ａは、上記マクロ検査システム２１の柱状部材２４により基板支持部材２を支えている状態を示す平面図である。
図１３Ｂは、上記支持部材移動手段２３の押し上げ部２３ａにより基板支持部材２を押し上げる状態を側方から示す部分断面図である。

マクロ検査システム２１は、上記第１実施形態において説明したマクロ検査装置１（照明装置５は図示せず）に加え、基板搬送装置２２、昇降機構を備えた支持部材移動手段２３、柱状部材２４（図１１及び図１３Ａにおいてのみ図示）等から構成されている。

基板搬送装置２２は、平面基板６を搬送するローラ２２ａ、図示しない駆動手段に接続されローラ２２ａを回転させる複数のローラ回転軸２２ｂ等から構成されるローラコンベアである。基板搬送装置２２としては、製造ラインに繋がるものなど、平面基板６を搬送するものであればよい。

本実施形態の基板支持部材２は、基板搬送装置２２の搬送面（ローラ２２ａの上面）よりも下方で、且つ、基板搬送装置２２による平面基板６の搬送を妨げない位置に、柱状部材２４により支えられて配置されている。

具体的には、図１１に示すように、基板支持部材２の棒材２ｂは、ローラ回転軸２２ｂ間でローラ回転軸２２ｂに平行に延びるものと垂直に延びるものとが交差し、ローラ２２ａ及びローラ回転軸２２ｂのどちらにも接触しないように柱状部材２４により支えられて配置されている。

そして、図１３Ａに示すように、柱状部材２４は、四角柱形状を呈し、上方に突出する４つの位置決めピン２４ａが上面に設けられている。これら４つの位置決めピン２４ａの間で基板支持部材２の棒材２ｂが交差している。

支持部材移動手段２３は、押し上げ部２３ａ、この押し上げ部２３ａを押し上げる図示しない昇降機構等から構成され、基板支持部材２をマクロ検査装置１と基板搬送装置２２との間で移動させている。

押し上げ部２３ａは、図１３Ｂに示すように、円柱形状を呈し、上面から上方に突出するように設けられた係合ピン２３ｂが、基板支持部材２の棒材２ｂ下端に形成された係合穴２ｃに係合することで、基板支持部材２を支えている。

係合ピン２３ｂは、その下端から上端にかけて途中までは円柱形状を呈し、途中から上端にかけてテーパ状（円錐形状）となっている。また、係合穴２ｃは、断面円形状に形成されている。

押し上げ部２３ａは、図１２に示すように、基板支持部材２を押し上げないときには、棒材２ｂよりも下方の位置に待機している。
なお、支持部材移動手段２３の押し上げ部２３ａに４つのピンを設け、これらにより基板支持部材２の棒材２ｂが交差する部分を支持させてもよく、また、柱状部材２４に棒材２ｂの係合穴２ｃに係合するピンを設けてもよい。

また、支持部材移動手段２３の押し上げ部２３ａ及び柱状部材２４の形状は本実施形態のものに限定されず、押し上げ部２３ａは基板支持部材２を押し上げることができればよく、また、柱状部材２４は支持部材２を支えられればよい。

更には、柱状部材２４自体を設けずに、支持部材移動手段２３の押し上げ部２３ａにより待機時（基板搬送装置２２内に位置する際）の基板支持部材２を支持するようにしてもよい。

以下、平面基板６のマクロ検査について説明する。
まず、図７に示すように基板搬送装置２２により搬送される平面基板６を、基板支持部材２上方の規定位置にて停止させる。

次に、図８に示すように、支持部材移動手段２３の押し上げ部２３ａを、図示しない昇降機構により押し上げることで、基板支持部材２により平面基板６をすくい上げる。そして、基板搬送装置２２の上方において水平状態で待機しているホルダ３に対し、平面基板６をすくい上げて支持した基板支持部材２を平面基板６ごと開口部３ｂ下方より挿入する。

ホルダ３の開口部３ｂに挿入された基板支持部材２及び平面基板６は、例えば上記第１実施形態で述べた方法でホルダ３に固定されればよい。
この後、支持部材移動手段２３の押し上げ部２３ａを元の位置に戻す。これにより、基板検査装置を駆動し、検査対象でない平面基板６を円滑に搬送することができる。

そして、上記第１実施形態で述べたように、ホルダ移動機構４のアーム部４ａによりホルダ３を回動させると共に、ホルダ移動機構４によりホルダ３を水平方向（矢印Ｄ１）及び鉛直方向（矢印Ｄ２）に移動させながら、検査者１０が平面基板６を透過した透過光を観察して検査する。また、ホルダ３を水平面から４５°〜７０°の所定の角度に傾けて上方からマクロ照明光を照射することにより平面基板６の表面からの反射光を観察して検査する。

検査が終了した後には、ホルダ移動機構４によりホルダ３を元の位置（基板支持部材２を固定した位置）に戻すと共に、押し上げ部２３ａを、検査対象でない平面基板６の搬送を妨げないように基板支持部材２を支持する位置に押し上げる。

そして、ホルダ３の固定機構３ｄによる基板支持部材２の固定を解除し、押し上げ部２３ａを降下させて平面基板６を基板搬送装置２２（ローラ２２ａ）上に戻すと共に基板支持部材２を元の位置（搬送面よりも下方）に戻す。

以上説明した本実施形態においても、基板支持部材２により平面基板６をすくい上げてホルダ３に固定している。そのため、短時間で平面基板６をマクロ検査装置１（ホルダ３）に受け渡すことができる。また、基板支持部材２を基板搬送装置２２に埋設することで、ホルダ３の位置・構成が基板搬送装置２２に制限されることがない。よって、本実施形態によっても、ホルダ３の位置・構成が制限されることなく、短時間で平面基板６をマクロ検査装置１に受け渡すことができる。

また、本実施形態では、基板支持部材２は、平面基板６を搬送する基板搬送装置２２の搬送面（ローラ２２ａの上端）よりも下方に配置され、基板支持部材２の上方に平面基板６が搬送されてきた段階で、平面基板６をすくい上げて支持するようにしている。更には、本実施形態では、基板支持部材２は、平面基板６を搬送する基板搬送装置２２の搬送面（ローラ２２ａの上端）よりも下方で、且つ、基板搬送装置２２による平面基板６の搬送を妨げない位置に配置されている。

これらにより、基板支持部材２及びこれを支持する柱状部材２４が基板搬送装置２２による平面基板６の搬送を妨げないため、平面基板６を円滑に搬送することができる。
また、本実施形態では、平面基板６をすくい上げて支持した基板支持部材２を、支持部材移動手段２３の押し上げ部２３ａにより、マクロ検査装置１（ホルダ３）と基板搬送装置２２との間で移動させている。これにより、搬送されてくる平面基板６を短時間で有効にマクロ検査装置１（ホルダ３）に受け渡すことができる。

また、本実施形態では、ホルダ３を基板搬送装置２２の上方に固定することにより、基板搬送装置２２上方のスペースを利用することができるため、マクロ検査装置１ひいてはマクロ検査システム２１の省スペース化を図ることができる。

また、本実施形態では、支持部材移動手段２３は、基板支持部材２を押し上げることで基板支持部材２に平面基板６をすくい上げさせる押し上げ部２３ａを有している。これにより、本実施形態のように支持部材移動手段２３を基板搬送装置２２の下部に配置することができ、したがって、マクロ検査システム２１の省スペース化を図ることができる。

＜第３実施形態＞
本実施形態のマクロ検査システム３１は、平面基板６の受け渡しに関連する構成（基板支持部材２´及び支持部材移動手段３３）において上記第２実施形態のマクロ検査システム２１と主に相違し、その他の構成については概ね同様である。そのため、上記第１実施形態又は上記第２実施形態において説明したものと同一のものについては、同一の符号を付して説明を省略する。

図１４は、本発明の第３実施形態に係るマクロ検査装置３１を示す概略斜視図である。
同図においては、マクロ検査装置１のホルダ３、ホルダ移動機構４及び照明装置５、並びに基板搬送装置２２については図示を省略している。

本実施形態の支持部材移動手段３３は、押し上げ部３３ａ、この押し上げ部３３ａを押し上げる図示しない昇降機構等から構成され、基板支持部材２´をマクロ検査装置（１）と基板搬送装置（２２）との間で移動させている。

本実施形態の基板支持部材２´は、第１実施形態において述べた基板支持部材２よりも、被保持部２ｅの分だけ棒材２ｂ´が一側に長く延びており、押し上げ部３３ａは、被保持部２ｅにおいて基板支持部材２´を押し上げることで基板支持部材２´に平面基板６をすくい上げさせている。

押し上げ部３３ａは、本体部３３ｂ、クランプ部３３ｃ等から構成されている。本体部３３ｂには、棒材２ｂ´の被保持部２ｅのうち下半分が挿入される溝３３ｄが形成されている。また、クランプ部３３ｃには、被保持部２ｅのうち上半分が挿入される溝３３ｅが形成されている。

クランプ部３３ｃは、被保持部２ｅを挟み込んで基板支持部材２´を保持する位置と、この位置から退避して被保持部２ｅの保持を解除する位置とに回動することが可能となっている。

なお、支持部材移動手段３３を、基板支持部材２´を挟んで対向するように２つ配置することで、基板支持部材２´の押し上げに伴う基板支持部材２´の撓みを抑えることもできる。

平面基板６のマクロ検査については、上記第１実施形態及び第２実施形態と同様であるため説明を省略するが、基板支持部材２´が被保持部２ｅの側だけホルダ（３）よりも突出してしまうことになるため、ホルダ３に被保持部２ｅが挿入される溝を形成し、図５と同様に固定機構３ｄにより固定する。

以上説明した本実施形態においても、基板支持部材２´によりすくい上げた平面基板６をホルダ（３）に固定している。そのため、短時間で平面基板６をマクロ検査装置（１）に受け渡すことができる。また、基板支持部材２´により平面基板６をすくい上げるため、ホルダを基板搬送装置に配置する必要がなく、ホルダの位置・構成が基板搬送装置に制限されることがない。よって、本実施形態によっても、ホルダの位置・構成が制限されることなく、短時間で平面基板６をマクロ検査装置に受け渡すことができる。

また、本実施形態では、支持部材移動手段３３は、基板支持部材２´を押し上げることで基板支持部材２´に平面基板６をすくい上げさせる押し上げ部３３ａを有している。そして、押し上げ部３３ａは、本体部３３ｂの溝３３ｄとクランプ部３３ｃの溝３３ｅとで棒材２ｂ´の被保持部２ｅを挟み込んで保持している。そのため、平面基板６を支持した基板支持部材２´を有効にホルダに受け渡すことができる。

本発明の第１実施形態に係るマクロ検査装置を示す概略斜視図である。 上記第１実施形態に係るマクロ検査装置の基板支持部材及びホルダを示す概略斜視図である。 上記第１実施形態に係るマクロ検査装置の基板支持部材及びホルダを示す分解斜視図である。 上記第１実施形態に係る基板支持部材及びホルダを示す平面図である。 図４のＡ−Ａ´断面図（その１）である。 図４のＡ−Ａ´断面図（その２）である。 本発明の第２実施形態に係るマクロ検査システムを示す概略斜視図である。 上記第２実施形態に係るマクロ検査システムのホルダに基板支持部材を固定した状態を示す概略斜視図である。 上記第２実施形態に係るマクロ検査システムの基板搬送装置を示す概略斜視図である。 上記第２実施形態に係るマクロ検査システムの支持部材移動手段を示す概略斜視図である。 上記第２実施形態に係るマクロ検査システムの基板支持部材及び搬送ローラを示す平面図である。 図１１のＢ−Ｂ´断面図である。 上記第２実施形態に係るマクロ検査システムの柱状部材により基板支持部材を支えている状態を示す平面図である。 上記第２実施形態に係るマクロ検査システムの支持部材移動手段の押し上げ部により基板支持部材を押し上げる状態を側方から示す部分断面図である。 本発明の第３実施形態に係るマクロ検査装置を示す概略斜視図である。

符号の説明

１ マクロ検査装置
２ 基板支持部材
２ａ 支持ピン
２ｂ 棒材
２ｃ 係合穴
２ｅ 被保持部
３ ホルダ
３ａ 回動軸
３ｂ 開口部
３ｃ 保持部材
３ｄ 固定機構
４ ホルダ移動機構
４ａ アーム部
５ 照明装置
６ 平面基板
１０ 検査者
２１ マクロ検査システム
２２ 基板搬送装置
２２ａ ローラ
２２ｂ ローラ回転軸
２３ 支持部材移動手段
２３ａ 押し上げ部
２３ｂ 係合ピン
２４ 柱状部材
２４ａ 位置決めピン
３１ マクロ検査装置
３３ 支持部材移動手段
３３ａ 押し上げ部
３３ｂ 本体部
３３ｃ クランプ部
３３ｄ，３３ｅ 溝

Claims (11)

1. 検査者に対して検査角度を切り換えることができるホルダを備えるマクロ検査装置において、
   前記平面基板をすくい上げて支持する基板支持部材を備え、
   前記平面基板は、前記基板支持部材によりすくい上げられた状態で前記ホルダに固定される、
   ことを特徴とするマクロ検査装置。
2. 前記ホルダと前記基板支持部材とは、互いに着脱自在であることを特徴とする請求項１記載のマクロ検査装置。
3. 前記ホルダと前記基板支持部材とは、前記基板支持部材が前記平面基板をすくい上げて支持した状態において、互いに着脱自在であることを特徴とする請求項２記載のマクロ検査装置。
4. 前記ホルダには、前記平面基板を検査するための照明光が透過する開口部が形成され、
   前記基板支持部材は、複数の棒材を井桁状に組み合わせてなり、前記ホルダの下方から該ホルダに対し固定される、
   ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載のマクロ検査装置。
5. 前記基板支持部材は、前記平面基板を搬送する基板搬送装置の搬送面よりも下方に配置され、前記基板支持部材の上方に前記平面基板が搬送されてきた段階で前記平面基板をすくい上げて支持することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項記載のマクロ検査装置。
6. 請求項１から請求項５のいずれか１項記載のマクロ検査装置と、
   前記平面基板を搬送する基板搬送装置と、
   前記平面基板をすくい上げて支持した基板支持部材を前記マクロ検査装置と前記基板搬送装置との間で移動させる支持部材移動手段と、
   を備えることを特徴とするマクロ検査システム。
7. 前記平面基板をすくい上げた基板支持部材は、前記マクロ検査装置のホルダに対し、前記基板搬送装置の上方で固定されることを特徴とする請求項６記載のマクロ検査システム
8. 前記支持部材移動手段は、前記基板支持部材を押し上げることで前記基板支持部材に前記平面基板をすくい上げさせる押し上げ部を有することを特徴とする請求項６又は請求項７記載のマクロ検査システム。
9. 検査者に対して検査角度を切り換えることができるホルダを用いて前記平面基板のマクロ検査を行うマクロ検査方法において、
   前記ホルダに対し着脱自在な基板支持部材により前記平面基板をすくい上げて支持し、
   該すくい上げた平面基板を前記ホルダに固定し、
   該ホルダに固定された平面基板の検査を行う、
   ことを特徴とするマクロ検査方法。
10. 前記すくい上げた平面基板を前記基板支持部材と共に前記ホルダに固定することを特徴とする請求項９記載のマクロ検査方法。
11. 前記平面基板を搬送する基板搬送装置の搬送面よりも下方に位置する前記基板支持部材により、該基板支持部材の上方に前記平面基板が搬送されてきた段階で、前記平面基板をすくい上げて支持することを特徴とする請求項９又は請求項１０記載のマクロ検査方法。