<実施の形態1>
図1は、フラッシュメモリ等の半導体記憶装置などで採用されているこの発明の実施の形態1であるデコーダ回路の一部構成を示す回路図である。
同図に示すように、実施の形態1のデコーダ回路は、高電圧回路部1及び低電圧回路部5(低電圧設定部)から構成される。低電圧回路部5は1.5V程度の低電源電圧VD及び0V程度のGND電圧VSを“H”及び“L”とした低電圧動作を行い、高電圧回路部1は5〜10V程度の高電源電圧VP及び0V〜負の高電圧程度の負側電源電圧VNを“H”及び“L”とした高電圧動作を行う。
低電圧回路部5は3入力のNANDゲートG1より構成され、入力信号IN2〜IN4を入力し、その出力信号が高電圧回路部1に出力される。また、入力信号IN1はそのまま高電圧回路部1に出力される。
高電圧回路部1は、負荷電流発生部11(高電圧付与部)、NMOSトランジスタQN1及びインバータG2(出力信号駆動部)から構成される。NMOSトランジスタQN1は、一方電極にNANDゲートG1の出力を受け、他方電極がノードN1(電位設定ノード)に接続され、ゲート電極に入力信号IN1を受ける。
負荷電流発生部11は直列接続されたPMOSトランジスタQP1及びQP2(第1及び第2のスイッチング素子)より構成される。PMOSトランジスタQP2は一方電極に高電源電圧VPを受け、ゲート電極に(負荷電流)制御信号SC2を受け、他方電極が中間ノードM11となる。PMOSトランジスタQP1は一方電極がPMOSトランジスタQP2の他方電極(中間ノードM11)に接続され、ゲート電極に(負荷電流)制御信号SC1を受け、他方電極がノードN1、すなわち、NMOSトランジスタQN1の他方電極に接続される。なお、制御信号SC1及びSC2は原則としてPMOSトランジスタQP1及びQP2が常時オン状態となる電圧(GND電圧VS,低電源電圧VD等)に設定される。
ただし、NANDゲートG1の出力が“L”(GND電圧VS)の時は、NANDゲートG1及びNMOSトランジスタQN1の(“L”レベル)駆動力がPMOSトランジスタQP1及びQP2の駆動力を上回り、ノードN1はGND電圧VSに強制的に設定される第1の動作条件を満足するように設計されている。例えば、NANDゲートG1を構成するMOSトランジスタ(特にGND電圧VSの設定用MOSトランジスタ)及びNMOSトランジスタQN1のゲート幅をPMOSトランジスタQP1より大きくする等により上記第1の動作条件を満足する構成が実現される。
したがって、低電圧回路部5及びNMOSトランジスタQN1は入力信号IN1〜IN4が全て“H”のとき選択状態と判定し、NANDゲートG1の出力は“L”となり、NMOSトランジスタQN1がオンする。その結果、低電圧回路部5内のNANDゲートG1及びNMOSトランジスタQN1は、上記第1の動作条件を満足するため、選択状態時にノードN1をGND電圧VSに強制的に設定することができる。
インバータG2は、互いに直列に接続され、ゲート電極を共有するPMOSトランジスタQP21及びNMOSトランジスタQN21によるCMOS構成により実現される。すなわち、PMOSトランジスタQP21の一方電極に高電源電圧VPを受け、NMOSトランジスタQN21の一方電極に負側電源電圧VNを受け、双方のゲート電極がノードN1に接続される。そして、PMOSトランジスタQP21(NMOSトランジスタQN21)の他方電極より得られる信号が出力信号OUT1として出力される。
このような構成のインバータG2は、ノードN1より得られる信号を入力信号とし、その反転信号を出力信号OUT1として出力する。この出力信号OUT1によって対応するワード線等が駆動されることになる。すなわち、出力信号OUT1の電圧レベルによって半導体記憶装置におけるワード線等の制御対象物の選択/非選択が規定される。
このような構成において、実施の形態1のデコーダ回路のデコード動作について説明する。
非選択状態時は、プリデコード信号である入力信号IN1〜IN4の少なくとも一つが“L”になり、NANDゲートG1の出力が“H”となるか、NMOSトランジスタQN1がオフ状態となり、ノードN1の電位が“L”に引き抜かれることはない。このため、常時オン状態のPMOSトランジスタQP1及びQP2による充電動作によってノードN1の電位は高電源電圧VPに設定される。
その結果、インバータG2により出力信号OUT1として“L”(負側電源電圧VN)が出力され、出力信号OUT1を受けるワード線等の制御対象物が非選択状態となる。
一方、選択状態時は、入力信号IN1〜IN4が全て“H”になり、NANDゲートG1の出力が“L”に設定され、NMOSトランジスタQN1がオン状態なり、上記第1の動作条件を満足するため、ノードN1の電位は“L”(GND電圧VS)に引き抜かれる。
その結果、インバータG2により出力信号OUT1として“H”(高電源電圧VP)が出力され、出力信号OUT1を受ける対応するワード線等の制御対象物が選択状態となる。
このような実施の形態1のデコーダ回路は、負荷電流発生部11をPMOSトランジスタQP1及びQP2の直列接続により実現している。したがって、選択状態時にノードN1の電位が“L”に設定された場合、直列接続のPMOSトランジスタQP1及びQP2によって高電源電圧VPは分圧されるため、中間ノードM11の電位は高電源電圧VPとGND電圧VSとの間の中間電位VM11となる。すなわち、PMOSトランジスタQP1及びQP2のソース・ドレイン間電圧Vds1及びVds2は(VP−VM11)及びVM11となる。
したがって、高電源電圧VPとして、PMOSトランジスタQP1及びQP2のオン耐圧を超える高電圧を付与した場合でも、ソース・ドレイン間電圧Vds1及びVds2をそれぞれオン耐圧以下に抑えることができれば、実施の形態1のデコーダ回路の信頼性劣化を招くことはなく、正常動作が可能である。
また、制御信号SC1及びSC2の電圧レベルを高電源電圧VPに適合させて最適値(例えば、低電源電圧VD等)に設定することにより、負荷電流を抑えることが可能であり、低消費電力化が実現できる。その結果、負荷電流を引き抜くための上記第1の動作条件を満足するためのNMOSトランジスタサイズ(NANDゲートG1,NMOSトランジスタQN1)を必要最小限とすることが可能であり、レイアウト面積を削減することも可能となる効果を奏する。
さらに、図19で示した第2の従来回路のように、出力信号OUT1の“L”のハーフラッチ回路(PMOSトランジスタQP32相当)が不要であるため、実施の形態1のデコーダ回路をロウデコーダ回路最終段(例えば、ワード線ドライバ)に採用する場合においても、ワード線のピッチにあわせてレイアウトを形成することが可能となる。また、上記ハーフラッチ回路を設けることによる設計コストの増大を招くこともない。
したがって、実施の形態1のデコーダ回路によって回路面積の増大及び設計コストの増大を招くことはない。
<実施の形態2>
図2は、半導体記憶装置などで採用されているこの発明の実施の形態2であるデコーダ回路の一部構成を示す回路図である。なお、図1で示した実施の形態1と同様な部分は同一符号を付して説明を適宜省略する。
同図に示すように、実施の形態2のデコーダ回路は、高電圧回路部2及び低電圧回路部5から構成される。高電圧回路部2は高電圧回路部1と同様、高電圧動作を行う。
高電圧回路部2は、負荷電流発生部12(高電圧付与部)、NMOSトランジスタQN1及びインバータG2から構成される。NMOSトランジスタQN1は、一方電極にNANDゲートG1の出力を受け、他方電極がノードN2(電位設定ノード)に接続され、ゲート電極に入力信号IN1を受ける。
負荷電流発生部12は互いに独立して設けられるPMOSトランジスタQP3及びQP4(第1及び第2のスイッチング素子)より構成される。PMOSトランジスタQP3は一方電極に高電源電圧VPを受け、ゲート電極に制御信号SC1を受け、他方電極がノードN2、すなわち、NMOSトランジスタQN1の他方電極に接続される。なお、制御信号SC1は原則としてPMOSトランジスタQP3が常時オン状態となる電圧(GND電圧VS,低電源電圧VD等)に設定される。
PMOSトランジスタQP3と独立して設けられるPMOSトランジスタQP4は一方電極に高電源電圧VPを受け、ゲート電極に(負荷電流)制御信号SC3を受け、他方電極がノードN2に接続される。制御信号SC3は後述するように、入力信号IN1〜IN4による非選択状態設定をトリガとして、非選択状態設定当初の所定期間のみ“L”(負側電源電圧VN)となり、他の期間は“H”(高電源電圧VP)に設定される。
また、実施の形態2のデコーダ回路は、実施の形態1と同様、NANDゲートG1の出力が“L”(GND電圧VS)の時は、NANDゲートG1及びNMOSトランジスタQN1の(“L”レベル)駆動力がPMOSトランジスタQP3の駆動力を上回り、ノードN2はGND電圧VSに強制的に設定される上記第1の動作条件を満足するように設計されている。
インバータG2は、ノードN2より得られる信号を入力信号とし、その反転信号を出力信号OUT2として出力する。この出力信号OUT2によって対応するワード線等が駆動されることになる。
図3は実施の形態2のデコーダ回路の動作を示す波形図である。以下、同図を参照して実施の形態2のデコード動作を説明する。
非選択状態時は、プリデコード信号である入力信号IN1〜IN4の少なくとも一つが“L”になり、NANDゲートG1の出力が“H”となるか、NMOSトランジスタQN1がオフ状態となり、ノードN2の電位が“L”に引き抜かれることはない。このため、常時オン状態のPMOSトランジスタQP3による充電動作によってノードN2の電位は高電源電圧VPに設定される。
この際、非選択状態の当初の所定期間T1において、制御信号SC3が“L”となり、PMOSトランジスタQP3がオンし、上記期間T1はオン状態のPMOSトランジスタQP3及びQP4双方によってノードN2が充電される。
したがって、選択状態(N2=“L”,OUT2=“H”)から非選択状態(N2=“H”,OUT2=“L”)への遷移時において、図3の遷移TS1のように、ノードN2は高電源電圧VPに向けて速やかに立ち上がる。なお、遷移TS21(破線部分)はPMOSトランジスタQP3がオフ状態の場合のノードN2の電位変化を仮想的に示している。
その結果、図3の遷移TS2に示すように、出力信号OUT2は速やかに立ち下がり、インバータG2の出力信号OUT2として“L”(負側電源電圧VN)が出力され、出力信号OUT2を受けるワード線等が非選択状態となる。なお、遷移TS22(破線部分)はPMOSトランジスタQP3がオフ状態の場合の出力信号OUT2の電位変化を仮想的に示している。
一方、選択状態時は、入力信号IN1〜IN4が全て“H”になり、NANDゲートG1の出力が“L”に設定され、NMOSトランジスタQN1がオン状態なり、上記第1の動作条件を満足するため、ノードN2の電位は“L”(GND電圧VS)に引き抜かれる。
その結果、インバータG2により出力信号OUT2として“H”(高電源電圧VP)が出力され、出力信号OUT2を受けるワード線等が選択状態となる。
このような実施の形態2のデコーダ回路において、制御信号SC1の電圧レベルを高電源電圧VPに適合させて最適値(例えば、低電源電圧VD等)に設定することにより、負荷電流を抑えることが可能であり、低消費電力化が実現できる。その結果、負荷電流を引き抜くためのNMOSトランジスタサイズ(NANDゲートG1,NMOSトランジスタQN1)を必要最小限とすることが可能であり、レイアウト面積を削減することも可能となる効果を奏する。
さらに、実施の形態2のデコーダ回路は、実施の形態1と同様、出力信号OUT2のハーフラッチ回路が不要であるため、実施の形態2のデコーダ回路によって回路面積の増大及び設計コストの増大を招くことはない。
加えて、負荷電流発生部12は、非選択状態の開始当初の所定期間は、PMOSトランジスタQP3に加え、PMOSトランジスタQP4によってもノードN2に高電源電圧VPで充電することができる。
したがって、選択状態から非選択状態への遷移時おける負荷電流発生部12によるノードN2の駆動能力を十分高くすることができるため、デコード動作の遅延が生じることはない。加えて、高電源電圧VPをPMOSトランジスタQP3,QP4のオン耐圧以下に設定することにより、正常に動作可能である。
<実施の形態3>
図4は、半導体記憶装置などで採用されているこの発明の実施の形態3であるデコーダ回路の一部構成を示す回路図である。なお、図1で示した実施の形態1あるいは図2で示した実施の形態2と同様な部分は同一符号を付して説明を適宜省略する。
同図に示すように、実施の形態3のデコーダ回路は、高電圧回路部3及び低電圧回路部5から構成される。高電圧回路部3は高電圧回路部1及び高電圧回路部2と同様、高電圧動作を行う。
高電圧回路部3は、負荷電流発生部13(高電圧付与部)、NMOSトランジスタQN1及びインバータG2から構成される。NMOSトランジスタQN1は一方電極にNANDゲートG1の出力を受け、他方電極がノードN2に接続され、ゲート電極に入力信号IN1を受ける。
負荷電流発生部13はPMOSトランジスタQP5〜QP7(第1〜第3のスイッチング素子)より構成される。PMOSトランジスタQP6は一方電極に高電源電圧VPを受け、ゲート電極に制御信号SC2を受け、他方電極が中間ノードM13となる。PMOSトランジスタQP5は一方電極がPMOSトランジスタQP6の他方電極(中間ノードM13)に接続され、ゲート電極に制御信号SC1を受け、他方電極がノードN3(電位設定ノード)、すなわち、NMOSトランジスタQN1の他方電極に接続される。なお、制御信号SC1及びSC2は原則としてPMOSトランジスタQP5及びQP6が常時オン状態となる電圧(GND電圧VS,低電源電圧VD等)に設定される。
PMOSトランジスタQP5及びQP6とは独立して設けられるPMOSトランジスタQP7は一方電極に高電源電圧VPを受け、ゲート電極に制御信号SC3を受け、他方電極がノードN3に接続される。制御信号SC3は実施の形態2と同様、入力信号IN1〜IN4による非選択状態設定をトリガとして、非選択状態設定当初の所定期間のみ“L”となり、他の期間は“H”に設定される。
ただし、高電源電圧VPの電圧レベルがPMOSトランジスタQP7のオン耐圧を超える場合があるが、選択状態時には“H”(高電源電圧VP)をPMOSトランジスタQP7のゲート電極に付与し、PMOSトランジスタQP7をオフ状態としているため、実施の形態3のデコーダ回路の信頼性を損なうことはない。
また、実施の形態3のデコーダ回路は、実施の形態1と同様、NANDゲートG1の出力が“L”(GND電圧VS)の時は、NANDゲートG1及びNMOSトランジスタQN1の(“L”レベル)駆動力がPMOSトランジスタQP5の駆動力を上回り、ノードN3はGND電圧VSに設定される第1の動作条件を満足するように設計されている。
インバータG2は、ノードN3より得られる信号を入力信号とし、その反転信号を出力信号OUT3として出力する。この出力信号OUT3によってワード線等が駆動されることになる。
このような構成において、実施の形態3のデコーダ回路のデコード動作について説明する。
非選択状態時は、プリデコード信号である入力信号IN1〜IN4の少なくとも一つが“L”になり、NANDゲートG1の出力が“H”となるか、NMOSトランジスタQN1がオフ状態となり、ノードN3の電位が“L”に引き抜かれることはない。このため、常時オン状態のPMOSトランジスタQP5及びQP6による充電動作によってノードN3の電位は高電源電圧VPに設定される。
この際、非選択状態の当初の所定期間において、制御信号SC3が“L”となり、PMOSトランジスタQP5がオンし、上記当初の所定期間はオン状態のPMOSトランジスタQP5及びQP6に加え、オン状態のPMOSトランジスタQP7によってノードN3が充電されるため、ノードN3は“H”(高電源電圧VP)に向けて速やかに立ち上がる。
その結果、インバータG2の出力信号OUT2は速やかに“H”から“L”(負側電源電圧VN)に変化し、“L”の出力信号OUT2を受ける対応するワード線等が非選択状態となる。
一方、選択状態時は、入力信号IN1〜IN4が全て“H”になり、NANDゲートG1の出力が“L”に設定され、NMOSトランジスタQN1がオン状態なり、上記第1の動作条件を満足するため、ノードN3の電位は“L”(GND電圧VS)に引き抜かれる。
その結果、インバータG2により出力信号OUT3として“H”(高電源電圧VP)が出力され、出力信号OUT3を受ける対応するワード線等が選択状態となる。
このような実施の形態3のデコーダ回路は、負荷電流発生部13の一部をPMOSトランジスタQP5及びQP6の直列接続により実現している。したがって、選択状態時にノードN3の電位が“L”に設定された場合、中間ノードM13の電位は高電源電圧VPとGND電圧VSとの間の中間電位VM13となる。PMOSトランジスタQP5及びQP6のソース・ドレイン間電圧Vds6及びVds7は(VP−VM13)及びVM13となる。
したがって、高電源電圧VPとして、PMOSトランジスタQP5及びQP6のオン耐圧電圧を超える高電圧を付与した場合でも、ソース・ドレイン間電圧Vds5及びVds6をオン耐圧電圧以下に抑えることがでれば、実施の形態1と同様、実施の形態3のデコーダ回路の信頼性劣化を招くことはない。
また、制御信号SC1及びSC2の電圧レベルを高電源電圧VPに適合させて最適値(例えば、低電源電圧VD等)に設定することにより、負荷電流を抑えることが可能であり、低消費電力化が実現できる。さらに、負荷電流を引き抜くためのNMOSトランジスタサイズ(NANDゲートG1,NMOSトランジスタQN1)を必要最小限とすることが可能であり、レイアウト面積を削減することも可能となる効果を奏する。
さらに、実施の形態3のデコーダ回路は、実施の形態1及び実施の形態2と同様、出力信号OUT3のフィードバック用の回路が不要であるため実施の形態3のデコーダ回路によって回路面積の増大及び設計コストの増大を招くことはない。
さらに、実施の形態3のデコーダ回路において、負荷電流発生部13は、非選択状態の開始当初の所定期間は、PMOSトランジスタQP5及びQP6に加え、PMOSトランジスタQP7よってもノードN2に高電源電圧VPが付与される。
したがって、選択状態から非選択状態への遷移時おける負荷電流発生部13の高電源電圧VPの駆動能力をより高くすることができるため、よりデコード動作の高速化を図ることができる。
<第1の応用例>
図5は実施の形態3のデコーダ回路を採用した第1の応用例であるフラッシュメモリのロウデコーダ関連部分を示したブロック図である。すなわち、図5は、アドレス信号AD及び制御信号SC91等の入力信号からロウデコーダ98及びメモリアレイ群99までの回路構成を示している。
図6は図5の一部分(メモリアレイ99aのワード線WL0〜WL3対応部分)の詳細を示す回路図である。すなわち、図6は、4本のワード線WL0〜WL3に対応する部分ワード線駆動回路101aを示す回路図である。
このような図5及び図6で示す構成は、実施の形態3のデコーダ回路を1本のワード線WLに対応させてフラッシュメモリのロウデコーダ最終段に採用した構成である。
図5に示すように、ロウデコーダ98として、制御対象物であるメモリアレイ群99を構成する二つのメモリアレイブロック(メモリアレイ99a,99b)を制御する構成を示している。メモリアレイ99a,99bに対応するデコーダは、図6で示す部分ワード線駆動回路101a(101b)をワード線WLの本数に対応する個数配置して構成される。
図5において、ロウデコーダ98に入力される高電源電圧VP,VP1は、電源回路90にて各種電圧レベルが生成される。制御回路91は制御信号SC91に基づき、電源選択信号SV1、負荷電流制御信号SL1、偶数アドレスワード線選択信号SWe、及び奇数アドレスワード線選択信号SWoをロウデコーダ98に出力する。
なお、後に詳述するが、インバータG12a〜G12dの高電圧部分は他の部分と異なる電圧設定がなされる場合があるため、他の高電源電圧VPと区別すべく、高電源電圧VP1と標記している。
電源切り替え回路94では制御回路91による電源選択信号SV1に基づき、高電源電圧VP,VP1,VNを複数の電圧レベルに切り替えながら、ロウデコーダ98に供給する。高電源電圧VP,高電源電圧VP1以外に負側電源電圧VN等がある。
タイミング制御信号発生回路92はクロックCLKに基づきタイミング制御信号ST1を発生してロウデコーダ98に出力する。
(アドレスバッファ&)プリデコード回路93はアドレス信号ADをバッファリング及びプリデコードして得られるプリデコード信号SPDをロウデコーダ98に出力する。
ロウデコーダ98は、レベルシフタ95a〜97a及びワード線駆動回路100aと、レベルシフタ95b〜97b及びワード線駆動回路100bから構成される。
レベルシフタ95aは、高電源電圧VPを受け、偶数アドレスワード線選択信号SWe及びプリデコード信号SPDに基づき、高電源電圧VPにレベルシフトした負荷電流制御信号SL2aeを出力する。
レベルシフタ96aは、高電源電圧VPを受け、奇数アドレスワード線選択信号SWo及びプリデコード信号SPDに基づき、高電源電圧VPにレベルシフトした負荷電流制御信号SL2aoを出力する。
レベルシフタ97aは、高電源電圧VPを受け、タイミング制御信号ST1、及びプリデコード信号SPDに基づき、高電源電圧VPにレベルシフトした負荷電流制御信号SL3aを出力する。
ワード線駆動回路100aは、高電源電圧VP,VP1,VNの電圧を受け、負荷電流制御信号SL2ae、負荷電流制御信号SL2ae、負荷電流制御信号SL3a及びプリデコード信号SPDに基づき、メモリアレイ99aのワード線WL0〜WLnのうち、選択状態のワード線を駆動する。
なお、レベルシフタ95b〜97b及びワード線駆動回路100bは、レベルシフタ95a〜97a及びワード線駆動回路100aと等価な構成であるため、上述したレベルシフタ95a〜97a及びワード線駆動回路100aと同様な動作を行う。
すなわち、レベルシフタ95b,96b及び97bによって、負荷電流制御信号SL2be、負荷電流制御信号SL2bo及び負荷電流制御信号SL3bが得られ、これらの信号に基づき、ワード線駆動回路100bよりメモリアレイ99bのワード線WL0〜WLnのうち、選択状態のワード線が駆動される。
図6に示すように、ワード線WL0〜WL3に対応する部分ワード線駆動回路101aは、高電圧回路部4及び低電圧回路部6から構成される。高電圧回路部4は実施の形態3の高電圧回路部3と同様、高電圧動作を行い、低電圧回路部6は実施の形態3の低電圧回路部5と同様、低電圧動作を行う。
低電圧回路部6は3入力のNANDゲートG11より構成され、プリデコード信号PD12〜PD14を入力し、その出力信号が高電圧回路部4に出力される。また、プリデコード信号PD11a〜PD11dはそのまま高電圧回路部4に出力される。上述したプリデコード信号PD11a〜PD11d及びプリデコード信号PD12〜PD14が、図5で示したプリデコード信号SPDの一部に相当する。
高電圧回路部4は、負荷電流生成部14a〜14d、NMOSトランジスタQN11a〜QN11d及びインバータG12a〜G12dから構成される。これら負荷電流生成部14a〜14d、NMOSトランジスタQN11a〜QN11d及びインバータG12a〜G12dは、ワード線WL0〜WL3に対応して設けられる。
以下、ワード線WL0に対応して設けられた負荷電流生成部14a、NMOSトランジスタQN11a及びインバータG12aを中心に説明する。
NMOSトランジスタQN11a〜QN11dは他方電極にNANDゲートG11の出力を共通に受け、一方電極がノードN10a〜10d(電位設定ノード)に接続され、ゲート電極にプリデコード信号PD11a〜PD11dを受ける。
負荷電流生成部14aはPMOSトランジスタQP15a〜QP17aより構成される。PMOSトランジスタQP16aは一方電極に高電源電圧VPを受け、ゲート電極に負荷電流制御信号SL2aeを受け、他方電極が中間ノードM23aとなる。
PMOSトランジスタQP15aは一方電極がPMOSトランジスタQP16aの他方電極(中間ノードM23a)に接続され、ゲート電極に負荷電流制御信号SL1を受け、他方電極がノードN10a、すなわち、NMOSトランジスタQN11aの他方電極に接続される。
PMOSトランジスタQP17aは一方電極に高電源電圧VPを受け、ゲート電極に負荷電流制御信号SL3aを受け、他方電極がノードN10aに接続される。
インバータG12aは、互いに直列に接続され、ゲート電極を共有するPMOSトランジスタQP22a及びNMOSトランジスタQN22aによるCMOS構成により実現される。すなわち、PMOSトランジスタQP22aの一方電極に高電源電圧VP1を受け、NMOSトランジスタQN22aの一方電極は負側電源電圧VNを受け、双方のゲート電極がノードN10aに接続される。そして、PMOSトランジスタQP22a(NMOSトランジスタQN22a)の他方電極より得られる信号がワード線WL0に付与される。
実施の形態3のデコーダ回路と、ワード線WL0に対応して設けられた負荷電流生成部14a、NMOSトランジスタQN11a及びインバータG12aとの対応関係は以下のようになる。
NANDゲートG1にNANDゲートG11が対応し、NMOSトランジスタQN1にNMOSトランジスタQN11aが対応し、負荷電流発生部13に負荷電流生成部14aが対応し、インバータG2にインバータG12aが対応する。
負荷電流生成部14内部のPMOSトランジスタQP5〜QP7に負荷電流生成部14a内部のPMOSトランジスタQP15a〜WP17aが対応し、インバータG2内部のPMOSトランジスタQP21及びNMOSトランジスタQN21にインバータG12a内部のPMOSトランジスタQP22a及びNMOSトランジスタQN22aが対応する。
さらに、入力信号IN1にプリデコード信号PD11aが対応し、入力信号IN2〜IN4にプリデコード信号PD12〜PD14が対応し、制御信号SC1に負荷電流制御信号SL1が対応し、制御信号SC2に負荷電流制御信号SL2aeが対応し、制御信号SC3に負荷電流制御信号SL3aが対応する。
また、第1の応用例は、NANDゲートG11の出力が“L”(GND電圧VS)の時は、NANDゲートG11及びNMOSトランジスタQN11aの(“L”レベル)駆動力がPMOSトランジスタQP15a及びQP16aの駆動力を上回り、ノードN10aはGND電圧VSに強制的に設定される上記第1の動作条件を満足するように設計されている。
以下、ワード線WL1〜WL3に対応して設けられた負荷電流生成部14b〜14d、NMOSトランジスタQN11b〜QN11d及びインバータG12b〜G12dも、ワード線WL0に対応して設けられた負荷電流生成部14a、NMOSトランジスタQN11a及びインバータG12aと同様に構成される。
ただし、負荷電流生成部14bはPMOSトランジスタQP15b〜QP17bより構成され、負荷電流生成部14cはPMOSトランジスタQP15c〜QP17cより構成され、負荷電流生成部14dはPMOSトランジスタQP15d〜QP17dより構成される。また、ノードN10aにノードN10b〜N10dがそれぞれ対応する。
また、PMOSトランジスタQP16b及びQP16dはゲート電極に負荷電流制御信号SL2aoを受け、PMOSトランジスタQP16cはゲート電極に負荷電流制御信号SL2aeを受ける。
さらに、インバータG12bはPMOSトランジスタQP22b及びNMOSトランジスタQN22bより構成され、インバータG12cはPMOSトランジスタQP22c及びNMOSトランジスタQN22cより構成され、インバータG12dはPMOSトランジスタQP22d及びNMOSトランジスタQN22dより構成される。
このような構成の第1の応用例のデコード動作をフラッシュメモリの各種動作に対応させて説明する。
一般的なフラッシュメモリでは読み出し動作、書込み動作、消去動作の各動作が可能である。書込み動作、消去動作は更に幾つかの動作状態に細分化できる。なお、書込み動作とは、フラッシュメモリを構成するメモリトランジスタのフローティングゲートに電子を注入し閾値電圧上昇を図ることを意味し、消去動作はその逆を意味する。
図7はフラッシュメモリにおける書込み動作及び消去動作の処理手順を示すフローチャートである。同図(a) に示すように、書込み動作はステップS11の書込み処理、ステップS12の書込みベリファイ処理を順次行うことにより実行される。一方、消去動作は、同図(b) に示すように、ステップS21で消去前書込み処理、ステップS22で消去処理、ステップS23で消去ベリファイ処理を順次行うことにより実行される。
図8はロウデコーダ98の動作状態(高電源電圧VP(VP1)の電圧レベル)とフラッシュメモリ(メモリアレイ群99)の主な動作状態(WL選択アドレス)を表形式で示す説明図である。
同図に示すように、ワード線WLの選択アドレスを1アドレス選択で行うのは、書込み動作における書込み処理及び書込みベリファイ処理、読み出し動作、消去動作における消去ベリファイ処理時である。
また、ワード線WLの選択アドレスを偶数アドレス、奇数アドレスに分けて選択するのはテストモード動作時である。なお、テストモード動作については本発明との直接関係はないため、説明を省略する。
そして、ワード線WLの選択を全アドレス選択で行うのは、消去動作における消去前書込み処理時と消去処理時である。
そして、書込み処理、書込みベリファイ処理及び消去前書込み処理時は、PMOSトランジスタ(PMOSトランジスタQP15a〜QP15d,PMOSトランジスタQP16a〜QP16d)のオン耐圧以上の電圧レベルに高電源電圧VPが設定される。
また、読み出し動作及びテストモード動作時は、PMOSトランジスタのオン耐圧以下で、低電源電圧VD以上の電圧レベルに高電源電圧VPが設定される。
さらに、消去ベリファイ処理及び消去処理時は、低電源電圧VD以下の電圧レベルに高電源電圧VPが設定される。
このようにフラッシュメモリのロウデコーダでは、複数の動作状態において選択したワード線WLの電圧レベルをさまざまな電圧レベルに制御する必要がある。
図9は以下の動作説明で用いる電圧の定義を表形式で示した説明図である。同図に示すように、低電源電圧VDは低電圧回路部6の動作電源として用いられる1.5V程度の電圧を意味する。GND電圧VSは接地レベル(0V)の電圧を意味する。オン耐圧超高電圧VHは上記PMOSトランジスタのオン耐圧以上の電圧レベルを意味する。高レベル中間電圧VMは、上記PMOSトランジスタのオン耐圧以下で、かつ低電源電圧VD以上の電圧レベルを意味する。低レベル中間電圧VLは低電源電圧VD以下で、かつGND電圧VS以上の電圧レベルを意味する。負側高電圧VNHはGND電圧VSを下回る負の電圧レベル(−10V程度)を意味する。図9で示した各電圧レベルは前述した電源切り替え回路94によって供給される。
図10は読み出し動作、書込み動作及び消去動作における、各種電源電圧及び制御信号の設定内容を表形式で示す説明図である。
同図に示すように、高電源電圧VPは、選択状態(選択ブロック)及び非選択状態(非選択ブロック)に関係なく、読み出し時は高レベル中間電圧VM、書込み動作(書込み処理、書込みベリファイ処理)時及び消去前書込み処理時はオン耐圧超高電圧VH、消去処理及び消去ベリファイ処理時は低レベル中間電圧VLにそれぞれ設定される。
一方、高電源電圧VP1は、選択状態の場合、読み出し動作時は高レベル中間電圧VM、書込み動作時及び消去前書込み処理時はオン耐圧超高電圧VH、消去処理時はGND電圧VS、消去ベリファイ処理時が低レベル中間電圧VLにそれぞれ設定される。また、高電源電圧VP1は、非選択状態の場合、読み出し時は高レベル中間電圧VM、それ以外の時はGND電圧VSにそれぞれ設定される。
また、負荷電流制御信号SL1は、選択状態及び非選択状態に関係なく、消去処理時及び消去ベリファイ処理時はGND電圧VS、それ以外の時は低電源電圧VDにそれぞれ設定される。
負荷電流制御信号SL2e(SL2ae,SL2be)は、選択状態の場合、読み出し動作時は低電源電圧VD、書込み動作時は高レベル中間電圧VM、消去前書き込み時はオン耐圧超高電圧VH、消去処理時は低レベル中間電圧VL、消去ベリファイ処理時はGND電圧VSに設定される。
負荷電流制御信号SL2eは、非選択状態の場合、読み出し動作時は低電源電圧VD、書込み動作時は高レベル中間電圧VM、消去動作時はGND電圧VSに設定される。
負荷電流制御信号SL2o(SL2ao,SL2bo)も、負荷電流制御信号SL2eと同内容で設定される。
負荷電制御信号SL3(SL3a,SL3b)は、選択状態の場合、読み出し動作時は高レベル中間電圧VM、書込み動作理時及び消去前書込み処理時はオン耐圧超高電圧VH、消去処理及び消去ベリファイ時は低レベル中間電圧VLにそれぞれ設定される。
負荷電制御信号SL3は、非選択状態の場合、読み出し動作開始当初の所定期間のみGND電圧VSパルスを発生し、その後高レベル中間電圧VMで安定する。書込み動作時及び消去前書込み処理時はオン耐圧超高電圧VH、消去処理及び消去ベリファイ時は低レベル中間電圧VLにそれぞれ設定される。
負側電源電圧VNは、選択状態の場合、消去処理時にのみ−10V程度の負側高電圧VNHに設定され、それ以外の時はGND電圧VSに設定される。
負側電源電圧VNは、非選択状態の場合、全ての動作時においてGND電圧VSに設定される。
以下、図5〜図10を参照して、第1の応用例の動作を読み出し動作、書込み動作(書込み処理、書込みベリファイ処理)及び消去動作(消去前書込み処理、消去処理、消去ベリファイ処理)に分けて説明する。
(読み出し動作)
まず、ワード線WL0を選択した読み出し動作について説明する。この場合、プリデコード信号PD11a、プリデコード信号PD12〜PD14が全て“H”(低電源電圧VD)となり、ノードN10aの電位がGND電圧VSに設定される。この際、高電源電圧VP,VP1は共に高レベル中間電圧VMであるため、ワード線WL0が高レベル中間電圧VMで駆動される。
また、負荷電流制御信号SL1及び負荷電流制御信号SL2e(SL2ae,SL2be)が低電源電圧VDに設定されているため、PMOSトランジスタQP15a及びQP16aの駆動能力を下げ負荷電流を小さく抑えている。このため、ワード線WL0の選択時に、NANDゲートG11のGND電圧VS(を規定する接地レベル)にかけて流れる貫通電流を抑えることで低消費電力化を実現することができる。その結果、負荷電流を引き抜くためのNMOSサイズ(NANDゲートG11,NMOSトランジスタQN11a)を必要最小限とすることが可能であり、レイアウト面積を削減することも可能となる。
その後、プリデコード信号PD11aがGND電圧VSとなり、ワード線WL0が非選択に遷移する場合、PMOSトランジスタQP15a及びQP16aによる負荷電流を小さくしたことによりノードN10aがGND電圧VSから高レベル中間電圧VMに立ち上がる遷移が遅れる。
しかし、選択期間中は高レベル中間電圧VMに設定されていた負荷電流制御信号SL3が、非選択期間の当初の所定期間にGND電圧VSのパルスを発生する。その結果、非選択期間の当初の所定期間において、PMOSトランジスタQP17aがオン状態となることにより、負荷電流生成部14aによるノードN10aに供給する負荷電流を一時的に大きくし所望の遷移時間に、ノードN10aを高レベル中間電圧VMに設定することができる。このように、第1の応用例は、選択状態から非選択状態への切り替えを速やかに行うことにより、高速な読み出し動作を可能とする効果を奏する。
(書込み動作(書込み処理、書込みベリファイ処理))
次に、ワード線WL0を選択した書込み動作(書込み処理,書込みベリファイ処理)について説明する。すなわち、ワード線WL0により選択されるメモリアレイ99a内のメモリセルに書込み処理(書込みベリファイ処理)を行う場合を説明する。
この場合、プリデコード信号PD11a、プリデコード信号PD12〜PD14が全て“H”(低電源電圧VD)となり、ノードN10aの電位がGND電圧VSに設定される。この際、高電源電圧VP,VP1は共にオン耐圧超高電圧VHであるため、ワード線WL0がオン耐圧超高電圧VHで駆動される。
この際、中間ノードM23aの電位は、オン耐圧超高電圧VHとノードN10aの電位の中間電位となるため、PMOSトランジスタQP15a及びQP16dそれぞれのソース・ドレイン間電圧Vdsをオン耐圧電圧以下に抑えることがでれば、第1の応用例のデコーダ回路の信頼性劣化を招くことはない。
また、書込み処理時は、負荷電流制御信号SL3(SL3a,SL3b)はオン耐圧超高電圧VHに設定されているため、PMOSトランジスタQP17aは常時オフする。したがって、PMOSトランジスタQP17aのオン耐圧の問題を技術的に回避することができる。
したがって、書込み処理はワード線WL0の選択状態では、オン状態のPMOSトランジスタQP15a及びQP16aからの負荷電流によってノードN10aはオン耐圧超高電圧VHに充電される。その結果、インバータG12aのNMOSトランジスタQN22aがオンしワード線WL0がGND電圧VSで駆動される。
この際、PMOSトランジスタQP17aを常時オフさせているため、読み出し動作のように、選択状態から非選択状態への切り替えを速やかに行うことはできない。
しかし、一般にデコーダの動作周波数は読み出し動作より、書込み動作や消去動作の方が低速であるため、書込み処理時に選択状態から非選択状態への切り替えを速やかに行う必要性はさほどない。
また、書込み処理時において、負荷電流制御信号SL1は低電源電圧VDに、負荷電流制御信号SL2eは高レベル中間電圧VMに、負荷電流制御信号SL3はオン耐圧超高電圧VHに設定される。
書込み処理時は、高電源電圧VPがオン耐圧超高電圧VHに設定されるため、PMOSトランジスタQP15a及びQP16aの駆動能力が大きくなるが、負荷電流制御信号SL2eを高レベル中間電圧VMに設定することにより、PMOSトランジスタQP15a及び16aによる駆動能力を下げ負荷電流を小さく抑えることを可能としている。
ワード線WL0を選択している間に、負荷電流生成部14aからNANDゲートG11のGND電圧VSに流れる貫通電流を抑えることによる低消費電力化を実現するとともに、負荷電流を引き抜くためのNMOSサイズ(NANDゲートG11及びNMOSトランジスタQN11a)を必要最小限とすることが可能であり、レイアウト面積を削減することも可能となる。
(消去動作:消去前書込み処理)
消去前書込み処理は消去ブロック単位で実施するため、着目するワード線WL0を含む選択ブロックのワード線は全て選択される。ここで、ワード線WL0〜WL3が同一選択ブロックに該当するとする。
この場合、プリデコード信号PD11a〜PD11d、プリデコード信号PD12〜PD14が全て“H”(低電源電圧VD)となり、ノードN10a〜N10dの電位がGND電圧VSに設定される。この際、高電源電圧VP,VP1は共にオン耐圧超高電圧VHであるため、ワード線WL0〜WL3がオン耐圧超高電圧VHで駆動される。
このとき、負荷電流制御信号SL1は低電源電圧VD、負荷電流制御信号SL2e、負荷電流制御信号SL2o及び負荷電流制御信号SL3はオン耐圧超高電圧VHに設定される。
したがって、PMOSトランジスタQP15a〜QP15d及びPMOSトランジスタQP17a〜QP17dがオフ状態となるため、負荷電流生成部14a〜14dによるノードN10a〜N10dへの負荷電流供給は止められる。すなわち、PMOSトランジスタQP15a〜QP15dが例外的にオフ状態とされる。
したがって、NMOSトランジスタQN11a〜QN11d及びNANDゲートG11は、ノードN10a〜N10dに蓄積された電荷を引き抜くだけで良く、選択状態でのオン耐圧超高電圧VH〜GND電圧VS間の貫通電流も発生しないため低消費電力化を実現することができる。
一方、ワード線WL0〜WL3が非選択ブロックに該当する場合、負荷電流制御信号SL1が低電源電圧VD、負荷電流制御信号SL2e、負荷電流制御信号SL2oがGND電圧VS、負荷電流制御信号SL3がオン耐圧超高電圧VHに設定される。
したがって、非選択状態時は、PMOSトランジスタQP15a〜QP15d及びPMOSトランジスタQP16a〜QP16dをオン状態にして、ノードN10a〜N10dをオン耐圧超高電圧VHに充電することができる。
(消去動作:消去処理)
消去処理は消去ブロック単位で実施するため、着目するワード線WL0を含む選択ブロックのワード線は全て選択される。ここで、ワード線WL0〜WL3が同一選択ブロックに該当するとする。
この場合、プリデコード信号PD11a〜PD11d、プリデコード信号PD12〜PD14が全て“H”(低電源電圧VD)となり、ノードN10a〜N10dの電位がGND電圧VSに設定される。この際、高電源電圧VPは低レベル中間電圧VL、高電源電圧VP1はGND電圧VSに設定され、負側電源電圧VNが負側高電圧VNHに設定される。
このとき、負荷電流制御信号SL1はGND電圧VS、負荷電流制御信号SL2e、負荷電流制御信号SL2o及び負荷電流制御信号SL3は低レベル中間電圧VLに設定される。
したがって、選択状態時は、PMOSトランジスタQP15a〜QP15d、PMOSトランジスタQP16a〜QP16d及びPMOSトランジスタQP17a〜QP17dはオフ状態となり、負荷電流生成部14a〜14dからノードN10a〜N10dへの負荷電流供給は留められる。すなわち、PMOSトランジスタQP15a〜QP15d及びPMOSトランジスタQP16a〜QP16dは例外的にオフ状態とされる。
したがって、NMOSトランジスタQN11a〜QN11d及びNANDゲートG11は、ノードN10a〜N10dに蓄積された電荷を引き抜くだけで良く、選択状態でのオン耐圧超高電圧VH〜GND電圧VS間の貫通電流も発生しないため低消費電力化を実現することができる。
その結果、インバータG12aのNMOSトランジスタQN22aがオンしワード線WL0が負側高電圧VNHで駆動される。なお、選択されたワード線WL0に接続されるメモリトランジスタ(図示せず)のソース,ウェル領域は正の高電圧が印加される。
一方、ワード線WL0〜WL3が非選択ブロックに該当する場合、負荷電流制御信号SL1、負荷電流制御信号SL2e、及び負荷電流制御信号SL2oがGND電圧VSに、荷電流制御信号SL3が低レベル中間電圧VLに設定される。また、高電源電圧VPは低レベル中間電圧VL、高電源電圧VP1はGND電圧VSに設定され、負側電源電圧VNがGND電圧VSに設定される。
したがって、非選択状態時は、PMOSトランジスタQP15a〜QP15d及びPMOSトランジスタQP16a〜QP16dをオン状態にして、ノードN10a〜N10dを低レベル中間電圧VLに充電することができる。
その結果、インバータG12aのNMOSトランジスタQN22aがオンしワード線WL0がGND電圧VSで駆動される。なお、非選択のワード線WL0に接続されるメモリトランジスタ(図示せず)のソース,ウェル領域はGND電圧VSが印加される。
(消去動作:消去ベリファイ処理)
ワード線WL0を選択した消去ベリファイ処理について説明する。すなわち、ワード線WL0により選択されるメモリアレイ99a内のメモリセルに消去ベリファイ処理を行う場合を説明する。
この場合、プリデコード信号PD11a、プリデコード信号PD12〜PD14が全て“H”(低電源電圧VD)となり、ノードN10aの電位がGND電圧VSに設定される。この際、高電源電圧VP,VP1は共に低レベル中間電圧VLであるため、ワード線WL0が低レベル中間電圧VLで駆動される。
このとき、負荷電流制御信号SL1は及び負荷電流制御信号SL2eはGND電圧VSに設定され、負荷電流制御信号SL3は低レベル中間電圧VLに設定される。
一方、ワード線WL0が非選択の場合、高電源電圧VPは低レベル中間電圧VL、高電源電圧VP1はGND電圧VSに設定され、負側電源電圧VNがGND電圧VSに設定される。
したがって、高電源電圧VPが低レベル中間電圧VLであっても、PMOSトランジスタQP15a及びQP16aがオンし、負荷電流生成部14aからノードN10aに十分な負荷電流を供給することが可能となる。その結果、NMOSトランジスタQN22aがオンし、ワード線WL0はGND電圧VSで駆動される。
(まとめ)
以上のように、第1の応用例は、実施の形態3のデコーダ回路を用いて、フラッシュメモリの各動作に対し最適化した負荷電流制御を実施することで、負荷電流生成部を構成するPMOSトランジスタのオン耐圧に対し十分な信頼性を確保してデコーダの安定動作を実現するとともに、低消費電力化を実現できる。特に、第1の応用例は、読み出し動作の高速処理と、書込み処理時における信頼性の高いデコード動作が可能となる効果を奏する。
<レイアウト構成>
図11は第1の応用例における図6で示した回路部分を具体的に実現するためのレイアウト構成を模式的に示した説明図である。同図に示すように、低電圧部形成領域A1、引き抜き用NMOS形成領域A2、負荷電流生成部形成領域A3及びワード線駆動インバータ形成領域A4がそれぞれ設けられ、ワード線駆動インバータ形成領域A4はPMOS形成領域PM1、NMOS形成領域NM1及びPMOS形成領域PM1から構成される。
引き抜き用NMOS形成領域A2及び負荷電流生成部形成領域A3は、図中横方向をゲート長方向L、図中縦方向をゲート幅方向WとしたMOSトランジスタを設けている。一方、ワード線駆動インバータ形成領域A4では図中横方向をゲート幅方向W、図中縦方向をゲート長方向LとしたMOSトランジスタを設けている。そして、ワード線駆動インバータ形成領域A4はワード線WLと直接接続される部分であるため、ワード線ピッチ(ワード線によって規定される配線領域)によってそのレイアウト構成に制限を受ける。
図12は図11で示したワード線駆動インバータ形成領域A4において、4本のワード線WL0〜WL3に対応する実際のレイアウト構成を示す平面図である。同図(a) はワード線駆動インバータ形成領域A4のレイアウト構成を示し、同図(b) はその等価回路図となるインバータG12(G12a〜G12d)を示している。
PMOS形成領域PM1にはP型の活性領域51,52が設けられ、NMOS形成領域NM1にはN型の活性領域53〜56が設けられ、PMOS形成領域PM2にはP型の活性領域57,58が設けられる。そして、拡活性領域51〜58上にはそれぞれゲート配線LG(ゲート電極を兼ねる)が設けられる。
したがって、PMOS形成領域PM1において、ゲート配線LG及び活性領域51によりPMOSトランジスタQP22aが構成され、ゲート配線LG及び活性領域52によりPMOSトランジスタQP22cが構成される。
同様にして、PMOS形成領域PM2において、ゲート配線LG及び活性領域57によりPMOSトランジスタQP22dが構成され、ゲート配線LG及び活性領域58によりPMOSトランジスタQP22bが構成される。
また、NMOS形成領域NM1において、ゲート配線LG及び活性領域53によりNMOSトランジスタQN22cが構成され、ゲート配線LG及び活性領域54によりNMOSトランジスタQN22aが構成される。さらに、ゲート配線LG及び活性領域55によりNMOSトランジスタQN22bが構成され、ゲート配線LG及び活性領域56によりNMOSトランジスタQN22dが構成される。
ノードN10a(第1配線LY1)は、活性領域51上のゲート配線LG及び活性領域54上のゲート配線LGそれぞれとコンタクトホールCHG1を介して接続される。すなわち、ノードN10aはPMOSトランジスタQP22a及びNMOSトランジスタQN22aのゲート電極に電気的に接続される。
ノードN10b(第2配線LY2)は、スルーホールTH12及び第1配線LY1を中継して、活性領域55上のゲート配線LG及び活性領域58上のゲート配線LGそれぞれとコンタクトホールCHG1を介して接続される。すなわち、ノードN10bはPMOSトランジスタQP22b及びNMOSトランジスタQN22bのゲート電極に電気的に接続される。
ノードN10c(第1配線LY1)は、活性領域52上のゲート配線LG及び活性領域53上のゲート配線LGそれぞれとコンタクトホールCHG1を介して接続される。すなわち、ノードN10cはPMOSトランジスタQP22c及びNMOSトランジスタQN22cのゲート電極に電気的に接続される。
ノードN10d(第2配線LY2)は、スルーホールTH12及び第1配線LY1を中継して、活性領域55上のゲート配線LG及び活性領域58上のゲート配線LGとコンタクトホールCHG1を介して接続される。すなわち、ノードN10dはPMOSトランジスタQP22d及びNMOSトランジスタQN22dのゲート電極に電気的に接続される。
ワード線WL0(第2配線LY2)は活性領域54及び活性領域51それぞれとコンタクトホールCH2を介して接続される。すなわち、ワード線WL0はPMOSトランジスタQP22a及びNMOSトランジスタQN22aのドレインと電気的に接続される。
ワード線WL1(第2配線LY2)は活性領域58及び活性領域55それぞれとコンタクトホールCH2を介して接続される。すなわち、ワード線WL1はPMOSトランジスタQP22b及びNMOSトランジスタQN22bのドレインと電気的に接続される。
ワード線WL2(第2配線LY2)はスルーホールTH12及び第1配線LY1を中継し活性領域53及び活性領域52それぞれとコンタクトホールCH1を介して接続される。すなわち、ワード線WL2はPMOSトランジスタQP22c及びNMOSトランジスタQN22cのドレインと電気的に接続される。
ワード線WL3(第2配線LY2)はスルーホールTH12及び第1配線LY1を中継し活性領域57及び活性領域56それぞれとコンタクトホールCH1を介して接続される。すなわち、ワード線WL3はPMOSトランジスタQP22d及びNMOSトランジスタQN22dのドレインと電気的に接続される。
高電源電圧線LVP1(第2配線LY2)は活性領域51及び活性領域52それぞれとコンタクトホールCH2を介して接続される。すなわち、高電源電圧線LVP1はPMOSトランジスタQP22a及びPMOSトランジスタQP22cのソースに電気的に接続される。
高電源電圧LVP2(第2配線LY2)は活性領域57及び活性領域58それぞれとコンタクトホールCH2を介して接続される。すなわち、高電源電圧線LVP2はPMOSトランジスタQP22b及びPMOSトランジスタQP22dのソースに電気的に接続される。
負側電源線LVN(第2配線LY2)は活性領域53〜56それぞれとコンタクトホールCH2を介して接続される。すなわち、負側電源線LVNはNMOSトランジスタQN22a〜QN22dのソースに電気的に接続される。
なお、実際には、高電源電圧線LVP1,LVP2及び負側電源線LVNには図示しない第3配線が設けられることにより、この第3配線を介して高電源電圧VP1、負側電源電圧VNが供給される。
このように、インバータG12a〜G12dを構成するPMOSトランジスタQP22a〜QP22d及びNMOSトランジスタQN22a〜QN22dは、4本のワード線WL0〜WL3用の配線領域LA〜LA4(4ピッチ)に収まるようにレイアウト配置することができる。
すなわち、配線領域LA1,LA3をノードN10a〜N10dの配線領域として積極的に使用し、配線領域LA2及び配線領域LA1,LA3の空き領域をワード線WL0〜WL3の配線領域として使用している。そして、配線領域LA4を高電源電圧線LVP1,LVP2及び負側電源線LVNの配線領域として使用している。
図13は図12と対比される比較用インバータ回路のレイアウト構成を示す説明図である。同図(b) に示すように、ワード線WL0(〜WL3)をゲート電極に受けるハーフラッチとなるPMOSトランジスタQP25a(〜25d)をさらに設けている。PMOSトランジスタQP25aはソースに高電源電圧VPを受け、ドレインがノードN10a(〜N10d)に接続される。すなわち、図13(b) で示す回路は図19で示した第2の従来回路と同様な構成を呈している。
図13(a) に示すように、PMOS形成領域PM11にはP型の活性領域61,62が設けられ、NMOS形成領域NM11にはN型の活性領域63〜66が設けられ、PMOS形成領域PM12にはP型の活性領域67,68が設けられる。そして、拡活性領域61〜68上にはそれぞれゲート配線LG(ゲート電極を兼ねる)が設けられる。
さらに、PMOS形成領域PM13には活性領域71〜74が設けられ、活性領域71〜74上それぞれにゲート配線LGが設けられる。
したがって、PMOS形成領域PM11において、ゲート配線LG及び活性領域61によりPMOSトランジスタQP22aが構成され、ゲート配線LG及び活性領域62によりPMOSトランジスタQP22cが構成される。
同様にして、PMOS形成領域PM12において、ゲート配線LG及び活性領域67によりPMOSトランジスタQP22dが構成され、ゲート配線LG及び活性領域68によりPMOSトランジスタQP22bが構成される。
また、NMOS形成領域NM11において、ゲート配線LG及び活性領域63によりNMOSトランジスタQN22cが構成され、ゲート配線LG及び活性領域64によりNMOSトランジスタQN22aが構成される。さらに、ゲート配線LG及び活性領域65によりNMOSトランジスタQN22bが構成され、ゲート配線LG及び活性領域66によりNMOSトランジスタQN22dが構成される。
さらに、PMOS形成領域PM13において、ゲート配線LG及び活性領域71によりPMOSトランジスタQP25aが構成され、ゲート配線LG及び活性領域72によりPMOSトランジスタQP25bが構成される。さらに。ゲート配線LG及び活性領域73によりPMOSトランジスタQP25cが構成され、ゲート配線LG及び活性領域74によりPMOSトランジスタQP25dが構成される。
ノードN10a〜N10dあるいはワード線WL0〜WL3と、PMOSトランジスタQP22a〜QP22d及びNMOSトランジスタQN22a〜QN22dとの電気的に接続は図12で示した第1の応用例とほぼ同様であるため説明を省略する。
比較用インバータ回路は、図12で示したレイアウトに加え、さらにMPMOSトランジスタQP25a〜QP25dをワード線WL0〜WL3及びノードN10a〜N10dに接続する必要がある。このため、ワード線WL0〜WL3はそれぞれ分岐する必要がある。以下、この点を詳述する。
例えば、ワード線WL0はPMOSトランジスタQP22a及びNMOSトランジスタQN22aのドレインとの接続用と、活性領域71上のゲート配線LGとのコンタクトホールCHG2を介した接続用に分岐して形成される。そして、前者が配線領域LA2及びLA3に形成され、後者が配線領域LA1に形成される。
ワード線WL1はPMOSトランジスタQP22b及びNMOSトランジスタQN22bとの接続用と、活性領域72上のゲート配線LGとのコンタクトホールCHG1を介した接続用に分岐して形成される。そして、前者が配線領域LA3に形成され、後者が配線領域LA1に形成される。
ワード線WL2はPMOSトランジスタQP22c及びNMOSトランジスタQN22cのドレインとの接続用と、活性領域713のゲート配線LGとのコンタクトホールCHG2を介した接続用に分岐して形成される。そして、前者が配線領域LA3及びLA4に形成され、後者が配線領域LA5に形成される。
ワード線WL4はPMOSトランジスタQP22d及びNMOSトランジスタQN22dとの接続用と、活性領域74上のゲート配線LGとのコンタクトホールCHG1を介した接続用に分岐して形成される。そして、前者が配線領域LA3、LA4及びLA6に形成され、後者が配線領域LA5に形成される。
このように、比較用インバータ回路の場合、ワード線WL0〜WL3をそれぞれ分岐形成する必要が生じるため、4本のワード線WL0〜WL3の形成部分を6本のワード線用の形成幅(6ピッチ)で形成することになり、レイアウトの縦方向のサイズを図12のように抑えることができず、回路構成を増大させてしまう。
すなわち、配線領域LA2,LA4をノードN10a〜N10dの配線領域として積極的に使用し、主として配線領域LA3及び配線領域LA2,LA4の空き領域をワード線WLのPMOSトランジスタQP22a〜QP22d及びNMOSトランジスタQN22a〜QN22dとの接続用配線領域として使用している。
さらに、配線領域LA1,LA5をワード線WLのPMOSトランジスタQP25a〜QP25dとの接続用配線領域として使用している。そして、配線領域LA6を高電源電圧線LVP1,LVP2及び負側電源線LVNの配線領域として使用している。
一方、実施の形態3のデコーダ回路を第1の応用例ではレイアウトの縦方向サイズをワード線相当分(配線領域LA1〜LA4)に抑えることができるため、回路構成を増大させてしまうことはない。
このように、図12と図13との比較から明らかなように、実施の形態3のデコーダ回路を用いた第1の応用例は、ハーフラッチ回路(PMOSトランジスタQP25a〜QP25d相当)を設ける必要がないため、ワード線のピッチ(配線領域)にあわせてレイアウトを形成することが可能となる効果を奏する。また、上記ハーフラッチ回路を設けることによる設計コストの増大を招くこともない。
<第2の応用例>
図14は実施の形態3のデコーダ回路を用いた第2の応用例であるフラッシュメモリのロウデコーダ関連部分を示したブロック図である。すなわち、図14は、アドレス信号SAD及び制御信号SC91等の入力信号からロウデコーダ88及びメモリアレイ群99までの回路構成を示している。
図15は図14の一部分(メモリアレイ99aのワード線WL0〜WL3対応部分)の詳細を示す回路図である。すなわち、図15は、4本のワード線WL0〜WL3に対応する部分ワード線駆動回路101aを示す回路図である。
このような図14及び図15で示す構成は、実施の形態3のデコーダ回路をフラッシュメモリのロウデコーダ最終段に採用した構成である。
図14に示すように、ロウデコーダ88として二つのメモリアレイブロック(メモリアレイ99a,99b)を制御する構成を示している。メモリアレイ99a,99bに対応するデコーダは、図10で示す部分ワード線駆動回路101a(101b)をワード線WLの本数に対応する個数配置して構成される。
以下、図5及び図6で示した第1の応用例と同様な部分は同一符号を付して説明を適宜省略する。
制御回路81は制御信号SC91に基づき、電源選択信号SV1、負荷電流制御信号SL1及びSL2をロウデコーダ88に出力する。
ロウデコーダ88は、レベルシフタ85a,97a及びワード線駆動回路100aと、レベルシフタ85b,97b及びワード線駆動回路100bから構成される。
レベルシフタ85aは、高電源電圧VP,VP1を受け、負荷電流制御信号SL2及びプリデコード信号SPDに基づき、高電源電圧VP(VP1)にレベルシフトした負荷電流制御信号SL2aを出力する。
ワード線駆動回路100aは、高電源電圧VP,VP1等の種々の電圧を受け、負荷電流制御信号SL2a、負荷電流制御信号SL2a、負荷電流制御信号SL3a及びプリデコード信号SPDに基づき、メモリアレイ99aのワード線WL0〜WLnのうち、選択状態のワード線を駆動する。
なお、レベルシフタ85b及びワード線駆動回路100bは、レベルシフタ85a及びワード線駆動回路100aと等価な構成であるため、上述したレベルシフタ85a及びワード線駆動回路100aと同様な動作を行う。
すなわち、レベルシフタ85b及び97bによって、負荷電流制御信号SL2b及び負荷電流制御信号SL3bが得られ、これらの信号に基づき、ワード線駆動回路100bよりメモリアレイ99bのワード線WL0〜WLnのうち、選択状態のワード線が駆動される。
図15に示すように、ワード線WL0〜WL3に対応する部分ワード線駆動回路101aは、高電圧回路部7及び低電圧回路部6から構成される。高電圧回路部7は高電圧回路部3と同様、高電圧動作を行い、低電圧回路部6は低電圧回路部5と同様、低電圧動作を行う。
低電圧回路部6は3入力のNANDゲートG11より構成され、プリデコード信号PD12〜PD14を入力し、その出力信号が高電圧回路部7に出力される。また、プリデコード信号PD11a〜PD11dはそのまま高電圧回路部7に出力される。上述したプリデコード信号PD11a〜PD11d及びプリデコード信号PD12〜PD14が、図14で示したプリデコード信号SPDの一部に相当する。
高電圧回路部7は、負荷電流生成部14a〜14d、NMOSトランジスタQN11a〜QN11d及びインバータG12a〜G12dから構成される。これら負荷電流生成部14a〜14d、NMOSトランジスタQN11a〜QN11d及びインバータG12a〜G12dは、ワード線WL0〜WL3に対応して設けられる。
以下、ワード線WL0に対応して設けられた負荷電流生成部14a、NMOSトランジスタQN11a及びインバータG12aを中心に説明する。
NMOSトランジスタQN11a〜QN11dは一方電極にNANDゲートG11の出力を共通に受け、他方電極がノードN10a〜10dに接続され、ゲート電極にプリデコード信号PD11a〜PD11dを受ける。
負荷電流生成部14aはPMOSトランジスタQP15a〜QP17aより構成される。PMOSトランジスタQP16aは一方電極に高電源電圧VPを受け、ゲート電極に負荷電流制御信号SL2aを受け、他方電極が中間ノードM23aとなる。
PMOSトランジスタQP15aは一方電極がPMOSトランジスタQP16aの他方電極(中間ノードM23a)に接続され、ゲート電極に負荷電流制御信号SL1を受け、他方電極がノードN10a、すなわち、NMOSトランジスタQN11aの一方電極に接続される。
PMOSトランジスタQP17aは一方電極に高電源電圧VPを受け、ゲート電極に負荷電流制御信号SL3aを受け、他方電極がノードN10aに接続される。なお、負荷電流生成部14b〜14dも負荷電流生成部14aと同様に構成される。
また、第2の応用例においても、NANDゲートG11の出力が“L”(GND電圧VS)の時は、NANDゲートG11及びNMOSトランジスタQN11aの(“L”レベル)駆動力がPMOSトランジスタQP15a及びQP16aの駆動力を上回り、ノードN10aはGND電圧VSに強制的に設定される第1の動作条件を満足するように設計されている。
ワード線WL1〜WL3に対応して設けられた負荷電流生成部14b〜14d、NMOSトランジスタQN11b〜QN11d及びインバータG12b〜G12dも、ワード線WL0に対応して設けられた負荷電流生成部14a、NMOSトランジスタQN11a及びインバータG12aと同様に構成される。
図16は読み出し動作、書込み動作及び消去動作における、各種電源電圧及び制御信号の設定内容を表形式で示す説明図である。
同図に示すように、負荷電流制御信号SL2(SL2a,SL2b)は、選択状態の場合、読み出し動作時は低電源電圧VD、書込み動作時は高レベル中間電圧VM、消去前書き込み処理時はオン耐圧超高電圧VH、消去処理時は低レベル中間電圧VL、消去ベリファイ処理時はGND電圧VSにそれぞれ設定される。
負荷電流制御信号SL2は、非選択状態の場合、読み出し動作時は低電源電圧VD、書込み動作時は高レベル中間電圧VM、消去動作時はGND電圧VSにそれぞれ設定される。
なお、高電源電圧VP、高電源電圧VP1、負荷電流制御信号SL1、負荷電流制御信号SL2及び負側電源電圧VNの設定内容は、図10で示した第1の応用例の場合と同様である。
したがって、第2の応用例においても、読み出し動作、書込み動作(書込み処理、書込みベリファイ処理)及び消去動作(消去前書込み処理、消去処理、消去ベリファイ処理)は第1の応用例と実質同内容で行われる。
なお、第1及び第2の応用例として、実施の形態3のデコーダ回路を用いた構成を示したが、同様にして実施の形態1あるいは実施の形態2のデコーダ回路を用いて構成することも勿論可能である。実施の形態2のデコーダ回路を用いた場合、例えば、読み出し動作の高速処理が可能であり、実施の形態1のデコーダ回路を用いた場合、例えば、書込み処理時における信頼性の高いデコード動作が可能となる効果を奏する。
1〜4,7 高電圧回路部、5,6 低電圧回路部、11〜13,14a〜14d 負荷電流発生部、88,98 ロウデコーダ、100a,100b ワード線駆動回路、A4 ワード線駆動インバータ形成領域。