JP2009228011A - シートプラズマ成膜装置、及びシートプラズマ調整方法 - Google Patents
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Abstract
永久磁石による反発磁界の幅を狭めることなく、シートプラズマの傾きを調整できるシートプラズマ成膜装置を提供する。
【解決手段】
本発明に係るシートプラズマ成膜装置1は、円柱状のプラズマPを出射するプラズマガン2と、円柱状のプラズマPを挟んでN極の磁極面が対向するように配置された一対の永久磁石7A、7Bで構成され、円柱状のプラズマPをシート状に変形させる永久磁石対7と、少なくとも一方の永久磁石7A、7BのプラズマPに対向する面に配置され、かつ、一対の永久磁石7A、7Bの対向方向(Y方向)からみて円柱状のプラズマPの中心軸Tに対し非対称に配置された磁性部材8と、シート状のプラズマPを利用して成膜が行われる成膜室9と、を備えている。
【選択図】図1
Description
まず、第1実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1について説明する。図1は、本実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1の概略図である。以下では、プラズマPの輸送方向である図1紙面における左右方向をZ方向とし、このZ方向に直交する図1紙面における上下方向をY方向とし、Z方向に直交する図1紙面における貫通方向をX方向として説明を行う。
次に、第2実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1Aについて説明する。図5は、本実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1Aについて、永久磁石対7の周辺における磁場のシミュレーション結果を示した図ある。図5に示すシミュレーション結果の表示方法は、図3の場合と同じである。なお、本実施形態に係る磁性部材8は、第1実施例に係る磁性部材8に比べて上下方向(Y方向)の長さが2倍の直方体の形状を有している。図5における棒磁石7A、7Bの表面に配置された長方形は、この磁性部材8を示したものである。磁性部材8の長さが上下方向(Y方向)に長い点を除けば、本実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1Aの構成は、第1実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1の構成と同じである。
次に、第3実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1Bについて説明する。図6は、本実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1Bについて、永久磁石対7の周辺における磁場のシミュレーション結果を示した図である。図6に示すシミュレーション結果の表示方法は、図3の場合と同じである。なお、本実施形態に係る磁性部材8は、第1実施例に係る磁性部材8に比べて左右方向(X方向)の長さが2倍の直方体の形状を有している。図6における棒磁石7A、7Bの表面に配置された長方形は、この磁性部材8を示したものである。磁性部材8の長さが左右方向(X方向)に長い点を除けば、本実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1Bの構成は、第1実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1の構成と同じである。
次に、第4実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1Cについて説明する。図7は、本実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1Cについて、永久磁石対7の周辺における磁場のシミュレーション結果を示した図である。図7に示すシミュレーション結果の表示方法は、図3の場合と同じである。なお、本実施形態に係る磁性部材8は、直方体の一辺が面取りされた面取形状を有するとともに、面取りされた部分が、永久磁石(棒磁石)7A、7Bの中央側、かつ、プラズマP側となるような位置に配置されている。換言すれば、磁性部材8は、面取された部分がプラズマPの輸送軸Tに対向するように配置されている。図7における棒磁石7A、7Bの表面に配置された五角形は、この磁性部材8を示したものである。磁性部材8が面取形状である点を除けば、本実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1Cの構成は、第1実施形態に係るシートプラズマ成膜装置1の構成と同じである。
2 プラズマガン
7 永久磁石対
7A 永久磁石
7B 永久磁石
8 磁性部材
9 成膜室
P プラズマ
T 輸送軸(円柱状のプラズマの中心軸)
Claims (9)
- 円柱状のプラズマを出射するプラズマガンと、
前記円柱状のプラズマを挟んでN極の磁極面が対向するように配置された一対の永久磁石で構成され、前記円柱状のプラズマをシート状に変形させる永久磁石対と、
少なくとも一方の前記永久磁石の前記プラズマに対向する面に配置され、かつ、前記一対の永久磁石の対向方向からみて前記円柱状のプラズマの中心軸に対し非対称に配置された磁性部材と、
前記シート状のプラズマを利用して成膜が行われる成膜室と、を備えたシートプラズマ成膜装置。 - 前記各々のN極の磁極面は、平面状でかつ互いに平行に形成されている、請求項1に記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記磁性部材は、前記永久磁石の表面のうち、前記プラズマガン側から見たとき、前記円柱状のプラズマの中心軸を中心として時計回り方向側に偏って配置されている、請求項1又は2に記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記磁性部材は、前記永久磁石の表面のうち、前記プラズマガン側から見たとき、前記円柱状のプラズマの中心軸を中心として時計回り方向側の端部に配置されている、請求項1乃至3のうちいずれか一の項に記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記磁性部材は、直方体の形状を有する、請求項1乃至4のうちいずれか一の項に記載のシートプラズマ成膜装置。
- 前記磁性部材は、直方体の一辺が面取りされた面取形状を有するとともに、前記面取りされた部分が前記永久磁石の中央側、かつ、前記プラズマ側となるような位置に配置されている、請求項1乃至4のうちいずれか一の項に記載のシートプラズマ成膜装置。
- 円柱状のプラズマを出射するプラズマガンと、前記円柱状のプラズマを挟んでN極の磁極面が対向するように配置された一対の永久磁石で構成され、前記円柱状のプラズマをシート状に変形させる永久磁石対と、前記シート状のプラズマを利用して成膜が行われる成膜室と、を備えたシートプラズマ成膜装置において、少なくとも一方の前記永久磁石の前記プラズマに対向する面に、前記一対の永久磁石の対向方向からみて前記円柱状のプラズマの中心軸に対し非対称に磁性部材を配置することで、前記シート状のプラズマの傾きを調整するシートプラズマ調整方法。
- 前記各々のN極の磁極面は、平面状でかつ互いに平行に形成されている、請求項7に記載のシートプラズマ調整方法。
- 前記磁性部材の配置、前記磁性部材の大きさ、前記磁性部材の形状、及び、前記磁性部材の個数のうち少なくとも1つ変更することで、前記シート状のプラズマの傾きを調整する、請求項7又は8に記載のシートプラズマ調整方法。
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