JP2009226631A5 - - Google Patents

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  1. 基板に対し第1の硬化性樹脂製の光学部材が設けられたウエハレンズの製造方法であって、
    前記光学部材の光学面形状に対応したポジ形状の成形面を複数有するマスター成形型から、前記光学面形状に対応したネガ形状の成形面を複数有するサブマスター成形部を第2の硬化性樹脂によって成形するとともに、当該サブマスター成形部をサブマスター基板で裏打ちすることによってサブマスター成形型を形成し、
    前記サブマスター成形型と、前記基板との間に前記第1の硬化性樹脂を充填して硬化させ前記光学部材を成形する場合に、
    前記マスター成形型のモールド成形用材料として低融点ガラス又は金属ガラスを使用することを特徴とするウエハレンズの製造方法。
  2. 前記マスター成形型の、前記光学面形状に対応したネガ形状の複数の成形面は、複数の凸部が形成された凸形状を有していることを特徴とする請求項1に記載のウエハレンズの製造方法。
  3. 前記マスター成形型の、前記光学面形状に対応したネガ形状の複数の成形面は、複数の凹部が形成された凹形状を有していることを特徴とする請求項1に記載のウエハレンズの製造方法。
  4. 前記サブマスター基板は光透過性を有するものである請求項1〜3のいずれか一項に記載のウエハレンズの製造方法。
  5. 前記第2の硬化性樹脂が光硬化性樹脂である請求項1〜4のいずれか一項に記載のウエハレンズの製造方法。
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