JP2008310213A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法であって、
   第１アライメントマークが付された成形基板上に、複数の第１開口部と、第２開口部とを備えたマスクを形成する第１の工程と、
   前記成形基板に前記マスクを介してウェットエッチングを施し、前記成形基板上の前記第１開口部に対応した箇所に第１凹部を、前記第２開口部に対応した箇所に第２凹部をそれぞれ形成する第２の工程と、
   前記成形基板から前記マスクを除去し、前記成形基板に再度ウェットエッチングを施すことにより、前記第１凹部にマイクロレンズ形成用の第１成形面を、前記第２凹部に第２アライメントマーク形成用の第２成形面を同時に設けた成形型を作製する第３の工程と、
   前記第２成形面に着色樹脂を充填し、前記着色樹脂で構成される第２アライメントマークを形成する第４の工程と、
   前記成形型または基板側マークを付した基板に透明樹脂を塗布する第５の工程と、
   前記成形型の前記第２アライメントマークと、前記基板側マークとを用いて両者を位置決めし、前記透明樹脂が塗布された面に前記基板を配置する第６の工程と、
   前記成形型と前記基板とを密着させたまま前記透明樹脂を硬化させることにより、前記基板上に前記透明樹脂で構成される前記マイクロレンズを作製すると同時に、前記第２アライメントマークを前記基板上に転写しレンズ側マークを作製する第７の工程と、を含むことを特徴とするマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
2. 前記第１の工程では、前記第２開口部を複数形成することを特徴とする請求項１に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
3. 前記第４の工程では、前記着色樹脂を充填後に硬化させることを特徴とする請求項１または２に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
4. 前記第５の工程では、前記第２成形面で前記着色樹脂と前記透明樹脂が積層されることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
5. 前記着色樹脂と前記透明樹脂が、同じ硬化手段を用いる硬化性樹脂であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
6. 前記第１の工程から前記第５の工程を用いて、前記第２アライメントマークを形成した後に前記透明樹脂を塗布した前記成形型を２つ用意し、前記第６の工程を用いて、前記基板の両面に２つの前記成形型を配置し、前記基板を挟んで隣接する２つの前記第２アライメントマークと、前記基板に含まれる前記基板側マークとを用いて前記成形型と前記基板との位置決めを行い、前記基板の両面に前記マイクロレンズアレイを作製すると同時に、前記基板の両面に前記第２アライメントマークを転写し前記レンズ側マークを作製することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
7. 前記基板を挟んで隣接する２つの前記第２アライメントマークが、互いに異なる色に着色していることを特徴とする請求項６に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
8. 前記第１の工程から前記第７の工程を用いて、片面に前記マイクロレンズ及び前記レンズ側マークが形成されている前記マイクロレンズ付き部品を用意し、前記第１の工程から前記第５の工程を用いて、前記第２アライメントマークを形成した後に前記透明樹脂を塗布した前記成形型を用意し、前記第６の工程を用いて、前記マイクロレンズ付き部品の、
   前記マイクロレンズが形成されていない面に前記成形型を対向させて配置し、前記基板を挟んで隣接する前記マイクロレンズアレイ付き部品に含まれる前記レンズ側マークと、前記成形型に含まれる前記第２アライメントマークと、前記基板に含まれる前記基板側マークとを用いて位置決めを行い、前記基板に前記マイクロレンズアレイを作製すると同時に、前記第２アライメントマークを前記基板に転写し前記レンズ側マークを作製することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
9. 前記基板を挟んで隣接する前記レンズ側マークと前記第２アライメントマークとが、互いに異なる色に着色していることを特徴とする請求項８に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
10. 前記第１の工程から前記第７の工程を用いて、片面に前記マイクロレンズ及び前記レンズ側マークが形成されている前記マイクロレンズ付き部品を２つ用意し、前記マイクロレンズアレイ付き部品の、前記マイクロレンズが形成されていない面同士を対向させて配置し、前記基板を挟んで隣接する２つの前記レンズ側マーク同士を用いて位置決めを行い、
    ２つの前記マイクロレンズアレイ付き部品を一体とすることにより、前記基板の両面に前記マイクロレンズアレイを配置すると同時に、前記基板の両面に前記レンズ側マークを配置することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
11. 前記基板を挟んで隣接する２つの前記レンズ側マークが、互いに異なる色に着色していることを特徴とする請求項１０に記載のマイクロレンズアレイ付き部品の製造方法。
12. 複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイ付き部品であって、
    集光作用を備えた複数のマイクロレンズと、
    前記マイクロレンズと異なる色に着色された着色樹脂からなるレンズ側マークと、
    基板側マークを設けた基板と、を備え、
    前記マイクロレンズと前記レンズ側マークが、前記基板の同じ面に突出して形成され、
    前記マイクロレンズが、前記基板に規則的に配列された領域を形成して配置され、
    前記レンズ側マークが、前記マイクロレンズが形成された前記領域の外側で前記基板側マークと平面的に重なって配置されていることを特徴とする前記マイクロレンズアレイ付き部品。
13. 複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイ付き部品であって、
    集光作用を備えた複数のマイクロレンズと、
    前記マイクロレンズと異なる色に着色された前記マイクロレンズとは異なる着色樹脂からなるレンズ側マークと、
    基板側マークを設けた基板と、を備え、
    前記マイクロレンズと前記レンズ側マークが、前記基板の同じ面に突出して形成され、
    前記マイクロレンズが、前記基板に規則的に配列された領域を形成して配置され、
    前記レンズ側マークが、前記マイクロレンズが形成された前記領域の外側で前記基板側マークと平面的に重なって配置されていることを特徴とする前記マイクロレンズアレイ付き部品。