TWI439734B - 透鏡模組及其製造方法 - Google Patents

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TWI439734B TW097120572A TW97120572A TWI439734B TW I439734 B TWI439734 B TW I439734B TW 097120572 A TW097120572 A TW 097120572A TW 97120572 A TW97120572 A TW 97120572A TW I439734 B TWI439734 B TW I439734B
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Description

透鏡模組及其製造方法
本發明係有關於半導體科技，特別是有關於一種透鏡模組。
第1A圖為一傳統的透鏡模組的剖面圖。在第1A圖中，一玻璃基底1是用以形成一透鏡模組10。複數個透鏡模組10可形成於玻璃基底1上。透鏡模組10具有一第一透鏡組件11、一第二透鏡組件12、與一玻璃部分13，其中玻璃基底1是位於第一透鏡組件11與第二透鏡組件12之間，第一透鏡組件11與第二透鏡組件12是由透明的聚合物第二透鏡組件12所形成。
第1B圖為傳統的透鏡模組10和用以形成透鏡模組10的模仁20與30的剖面圖。模仁20具有一圖形21，圖形21是用以形成透鏡模組10的第一透鏡組件11；而模仁30則具有一圖形31，圖形31是用以形成透鏡模組10的第二透鏡組件12。
透鏡模組10是藉由下列步驟所形成。首先，將一透鏡材料(未繪示)置於玻璃基底1的一第一表面1a上。然後，將模仁20置於玻璃基底1的第一表面1a上，並以圖形21壓印上述透鏡材料，接下來對已成形的透鏡材料施以熟化處理，以完成透鏡模組10的第一透鏡組件11。接下來，將相同的透鏡材料(未繪示)置於模仁30的圖形 31上。然後，將玻璃基底1與模仁20的組合結構移至模仁30，而使玻璃基底1的一第二表面1b(第一表面1a的相反表面)接觸模仁30的圖形31，以壓印模仁30的圖形31上的上述透鏡材料，並使其成形，接下來對已成形的透鏡材料施以熟化處理，以完成透鏡模組10的第二透鏡組件12。至此，已完成透鏡模組10。最後，將帶有透鏡模組10的玻璃基底1與模仁20、30分離。
如前所述，透鏡模組10的製造需要很多的製程步驟。透鏡模組10的第一透鏡組件11是經過了二次的熟化處理，因此其可能受到了過度的硬化。透鏡模組10的第一透鏡組件11的過度硬化會至少引發二項問題。其一是第一透鏡組件11會發生收縮變形，其二是第一透鏡組件11會發生顏色黃化。上述問題很有可能會對透鏡模組10的光學性能造成不良影響。另外，透鏡模組10並不是一個均質的透鏡，因為第一透鏡組件11與第二透鏡組件12均為聚合物，而玻璃部分13則是玻璃(玻璃部分13即是位於第一透鏡組件11與第二透鏡組件12之間的玻璃基底1)。聚合物與玻璃具有不同的折射係數，在二者之間的界面會發生光的全反射。因此，在透鏡模組10中是具有二個玻璃/聚合物界面，而會對透鏡模組10的透光率造成不良影響。還有，針對透鏡模組10形成壩狀結構(dam structure)(未繪示)及/或遮光罩(light shield)時，則會需要增加更多的製程步驟。
有鑑於此，本發明的實施例是提供透鏡模組及其製造方法，可改善透鏡模組的光學性能，並減少製造此一透鏡模組所需的製程步驟。
本發明的一實施例是提供一種透鏡模組，包含：一基底，具有一貫穿孔於其中；以及一透鏡結構，嵌於上述貫穿孔中。
本發明的另一實施例是提供一種透鏡模組的製造方法。首先，提供一基底，上述基底具有一貫穿孔於其中。然後，提供一第一模仁(molding die)與一第二模仁，上述第一模仁具有對應於上述貫穿孔的一第一透鏡圖形，上述第二模仁具有對應於上述貫穿孔的一第二透鏡圖形。接下來，將上述基底置於上述第一模仁上，其中上述基底的上述貫穿孔是與上述第一透鏡圖形對準。接下來，將一透鏡材料置於上述貫穿孔內及上述第一透鏡圖形上。接著，將上述第二模仁置於上述基底上並壓印(imprinting)上述透鏡材料。上述第二透鏡圖形是與上述基底的上述貫穿孔對準，且使上述透鏡材料成形而成為一透鏡結構，上述透鏡結構藉由上述第一透鏡圖形與上述第二透鏡圖形而嵌入上述貫穿孔中。最後，將上述第一模仁、於上述貫穿孔包含上述透鏡結構的上述基底、與上述第二模仁分離。
為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能更 明顯易懂，下文特舉出較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下：在以下的敘述中，所謂的「實質上均質」，係指在設計上期望為均質，但在實際實行中卻難以達成數學上或理論上「完全地均質」，而當變動的範圍落於對應的標準或規格所訂定的允收範圍內，就應視為均質。本發明所屬技術領域中具有通常知識者應當瞭解依據不同的性質、條件、需求等等，上述對應的標準或規格會有所不同，故下文中並未列出特定的標準或規格。
第2A~2C圖為一系列之剖面圖，係顯示本發明較佳實施例之透鏡模組。
在第2A圖中，所示透鏡模組包含一基底100與一透鏡結構200。基底100包含一貫穿孔110，而透鏡結構200則嵌於貫穿孔110中。因此，透鏡結構200可以是均質或實質上均質，其內並未含有基底的任何一部分，而防止入射的光線因界面的全反射而遭受損失，並改善本發明較佳實施例之透鏡模組的光學性能。
基底100可以是透明基底、半透明基底、或不透光基底。基底100的材質可以玻璃或是其他的材質。在本實施例中，基底100為透明的玻璃基底。透鏡結構200的材質可以是任何已知的透明的聚合物。在本實施例中，透鏡結構200包含一透鏡本體210，透鏡本體210是直接與貫穿孔110的側壁連接。在本實施例中，透鏡本體210為一雙凸透鏡；而在其他實施例中，透鏡本體210 亦可以是其他種類的透鏡，例如平凸透鏡、彎月形透鏡(meniscus lens)、凹透鏡、或其他已知種類的透鏡。
與第2A圖所示的透鏡模組相比，第2B圖所示的透鏡模組是以一透鏡結構300來取代嵌於貫穿孔110中的透鏡結構200。在第2B圖中，透鏡結構300包含一透鏡本體310與一連接構件320，連接構件320連接透鏡本體310與貫穿孔110的側壁。在本實施例中，透鏡本體310是位於貫穿孔110的中央區，且被連接構件320所圍繞；在其他實施例中，透鏡本體310的一部分可直接連接貫穿孔110的側壁的一部分，而連接構件320則連接透鏡本體310的其他部分與貫穿孔110的側壁的其他部分。在本實施例中，透鏡本體310為一雙凸透鏡；而在其他實施例中，透鏡本體310亦可以是其他種類的透鏡，例如平凸透鏡、彎月形透鏡(meniscus lens)、凹透鏡、或其他已知種類的透鏡。
與第2A圖所示的透鏡模組相比，第2C圖所示的透鏡模組是以一透鏡結構400來取代嵌於貫穿孔110中的透鏡結構200。在第2C圖中，透鏡結構400包含一透鏡本體410、一連接構件420、與一壩狀結構430。壩狀結構430是位於貫穿孔110的至少一部分的側壁上，並延伸至貫穿孔110以外的區域。在某些實施例中，壩狀結構430可用於阻擋不需要的入射光。連接構件420則連接透鏡本體410與壩狀結構430。在本實施例中，透鏡本體410為一雙凸透鏡；而在其他實施例中，透鏡本體410 亦可以是其他種類的透鏡，例如平凸透鏡、彎月形透鏡(meniscus lens)、凹透鏡、或其他已知種類的透鏡。
在本實施例中，壩狀結構430是置於貫穿孔110的全部的側壁上，並延伸至貫穿孔110以外的區域；而壩狀結構430則圍繞連接構件420；而連接構件420則圍繞透鏡本體410。在某些情況中，部分的透鏡本體410可直接連接部分的壩狀結構430，而連接構件420則連接透鏡本體410的其他部分與壩狀結構430的其他部分。
在某些實施例中，壩狀結構430可置於貫穿孔110的部分側壁上，並延伸至貫穿孔110以外的區域。在某些情況中，一部分的透鏡本體410可直接連接部分未連接壩狀結構430的貫穿孔110的側壁，而透鏡本體410的其他部分則藉由連接構件420而與壩狀結構430及未連接壩狀結構430的貫穿孔110的側壁的其他部分連接。在某些情況中，連接構件420連接透鏡本體410與壩狀結構430及貫穿孔110的側壁的其他部分。
第3圖為一剖面圖，係顯示繪示於第2A圖的透鏡模組的應用。在第3圖中，第2A圖所示的透鏡模組係置於一半導體基底500的上方，並由二者之間的複數個間隔物510所支持。複數個透鏡本體210是分別對應半導體基底500上或其中的複數個感光元件(未繪示)。在其他的實施例中，可以相同的手法將繪示於第2A及/或2B圖半導體基底500所示的透鏡模組置於半導體基底500的上方。
第4A~4C圖為一系列之剖面圖，係顯示第2A圖所示之透鏡模組的一例示的製造方法。
在第4A圖中，是提供一基底100與一模仁610，其中基底100是具有貫穿孔110於其中，而模仁610則具有一透鏡圖形615，透鏡圖形615是對應於貫穿孔110。透鏡圖形615具有一透鏡本體圖形611，透鏡本體圖形611是包含第2A圖所示的透鏡模組的透鏡本體210的一輪廓。然後，將基底100的貫穿孔110與模仁610的透鏡圖形615對準，並將基底100實於模仁610上。
在第4B圖中，是將一透鏡材料250置於貫穿孔110中及透鏡圖形615上。透鏡材料250較好為一可加熱熟化的透明聚合物、或是可經紫外光照射而熟化的一透明聚合物。
在第4C圖中，是提供一模仁620，模仁620具有一透鏡圖形625，透鏡圖形625是對應於貫穿孔110。透鏡圖形625具有一透鏡本體圖形621，透鏡本體圖形621是包含第2A圖所示的透鏡模組的透鏡本體210的一輪廓。在本實施例中，模仁610與620均包含用以製造第2A圖所示的透鏡模組的透鏡本體210的透鏡圖形；在某些實施例中，僅模仁610與620其中之一具有用以製造第2A圖所示的透鏡模組的透鏡本體210的透鏡圖形，而另一個則支撐基底100與透鏡材料250，但不具有包含透鏡本體210的一輪廓的透鏡本體圖形。
接下來，將模仁620的透鏡圖形625與基底100的 貫穿孔110對準，然後將模仁620置於基底100上。在此時，是使繪示於第4B圖的透鏡材料250成形，而成為嵌於貫穿孔110中的透鏡結構200。
在一較佳的實施例中，是需要一熟化的步驟來硬化透鏡結構200。上述熟化步驟可在將模仁610、於貫穿孔110包含透鏡結構200的基底100、與模仁620分離之前或之後實施，且較好為在上述分離步驟之前實施以避免在熟化步驟的過程中，透鏡結構200的輪廓發生變化。上述熟化步驟的實施可使用紫外光的照射或加熱(熱處理)。在本實施例中，是在將模仁610、於貫穿孔110包含透鏡結構200的基底100、與模仁620分離之前，以紫外光的照射來熟化透鏡結構200。在上述熟化步驟後，將模仁610、於貫穿孔110包含透鏡結構200的基底100、與模仁620分離，而完成第2A圖所示的透鏡結構。
受惠於第2A圖所示的透鏡結構的製造僅需要最多一道的熟化步驟，可以避免透鏡結構200的過度硬化、收縮變形、及顏色黃化，並可減少製程步驟。
第2B與2C圖所示的透鏡模組的製造，亦可使用等效於前文對第4A~4C圖所作敘述的步驟與分別符合其透鏡模組的模仁。
在第5圖中，是顯示第2B圖所示的透鏡結構及其適用的模仁710與720。模仁710具有一透鏡圖形715，透鏡圖形715是對應於貫穿孔110。透鏡圖形715具有一透鏡本體圖形711與一連接構件圖形712，連接構件圖形 712是連接於透鏡本體圖形711。透鏡本體圖形711包含透鏡本體310的一輪廓，連接構件圖形712則包含連接構件320的一輪廓。在本實施例中，透鏡本體310是被連接構件320所圍繞，因此透鏡本體圖形711是被連接構件圖形712所圍繞；在其他實施例中，透鏡本體圖形711與連接構件圖形712的排列是決定於透鏡本體310與連接構件320的預定的排列方式。
模仁720具有一透鏡圖形725，透鏡圖形725是對應於貫穿孔110。透鏡圖形725具有一透鏡本體圖形721與一連接構件圖形722，連接構件圖形722是連接於透鏡本體圖形721。透鏡本體圖形721包含透鏡本體310的一輪廓，連接構件圖形722則包含連接構件320的一輪廓。在本實施例中，透鏡本體310是被連接構件320所圍繞，因此透鏡本體圖形721是被連接構件圖形722所圍繞；在其他實施例中，透鏡本體圖形721與連接構件圖形722的排列是決定於透鏡本體310與連接構件320的預定的排列方式。
在本實施例中，模仁710與720均包含用以製造透鏡本體310的透鏡本體圖形、與用以製造連接構件320的連接構件圖形；在某些實施例中，僅模仁710與720其中之一具有用以製造透鏡本體310的透鏡本體圖形、與用以製造連接構件320的連接構件圖形；而另一個則在製程中支撐基底100與一透鏡材料(未繪示)，但不具有用以製造透鏡本體310的透鏡本體圖形、與用以製造連 接構件320的連接構件圖形。
在第6圖中，是顯示第2C圖所示的透鏡結構及其適用的模仁810與820。模仁810具有一透鏡圖形815，透鏡圖形815是對應於貫穿孔110。透鏡圖形815具有一透鏡本體圖形811、一壩狀結構圖形813、與一連接構件圖形812，連接構件圖形812是連接透鏡本體圖形811與壩狀結構圖形813。因此，壩狀結構430可與透鏡本體410與連接構件420同時製造，也就是不需要額外的製程步驟來製造壩狀結構430。
透鏡本體圖形811具有透鏡本體410的一輪廓，連接構件圖形812則具有連接構件420的一輪廓，而壩狀結構圖形813則具有壩狀結構430的一輪廓。在本實施例中，壩狀結構430圍繞連接構件420，且連接構件420圍繞透鏡本體410；因此，壩狀結構圖形813圍繞連接構件圖形812，且連接構件圖形812圍繞透鏡本體圖形811。在其他實施例中，透鏡本體圖形811、連接構件圖形812、與壩狀結構圖形813的排列是決定於透鏡本體410、連接構件420、與壩狀結構430的預定的排列方式。
模仁820具有一透鏡圖形825，透鏡圖形825是對應於貫穿孔110。透鏡圖形825具有一透鏡本體圖形821、一壩狀結構圖形823、與一連接構件圖形822，連接構件圖形822是連接透鏡本體圖形821與壩狀結構圖形823。透鏡本體圖形821具有透鏡本體410的一輪廓，連接構件圖形822則具有連接構件420的一輪廓，而壩狀結構 圖形823則具有壩狀結構430的一輪廓。在本實施例中，壩狀結構430圍繞連接構件420，且連接構件420圍繞透鏡本體410；因此，壩狀結構圖形823圍繞連接構件圖形822，且連接構件圖形822圍繞透鏡本體圖形821。在其他實施例中，透鏡本體圖形821、連接構件圖形822、與壩狀結構圖形823的排列是決定於透鏡本體410、連接構件420、與壩狀結構430的預定的排列方式。
在本實施例中，模仁810與820均包含用以製造透鏡本體410的透鏡本體圖形、用以製造連接構件420的連接構件圖形、與用以製造壩狀結構430的壩狀結構圖形；在某些實施例中，僅模仁810與820其中之一具有用以製造透鏡本體410的透鏡本體圖形、用以製造連接構件420的連接構件圖形、與用以製造壩狀結構430的壩狀結構圖形；而另一個則在製程中支撐基底100與一透鏡材料(未繪示)，但不具有用以製造透鏡本體410的透鏡本體圖形、用以製造連接構件420的連接構件圖形、與用以製造壩狀結構430的壩狀結構圖形。
如前所述，本發明之透鏡模組及其製造方法的功效是提供均質或實質上均質的透鏡結構、改善透鏡模組的光學性能、並減少製造透鏡模組所需的製程步驟。
雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專 利範圍所界定者為準。
1‧‧‧玻璃基底
1a‧‧‧第一表面
1b‧‧‧第二表面
10‧‧‧透鏡模組
11‧‧‧第一透鏡組件
12‧‧‧第二透鏡組件
13‧‧‧玻璃部分
20、30、610、620、710、720、810、820‧‧‧模仁
21、31‧‧‧圖形
100‧‧‧基底
110‧‧‧貫穿孔
200、300、400‧‧‧透鏡結構
210、310、410‧‧‧透鏡本體
250‧‧‧透鏡材料
320、420‧‧‧連接構件
430‧‧‧壩狀結構
500‧‧‧半導體基底
510‧‧‧間隔物
611、621、711、721、811、821‧‧‧透鏡本體圖形
615、625、715、725、815、825‧‧‧透鏡圖形
712、722、812、822‧‧‧連接構件圖形
813、823‧‧‧壩狀結構圖形
第1A圖為一剖面圖，係顯示一傳統的透鏡模組。
第1B圖為一剖面圖，係顯示第1A圖所示之傳統的透鏡模組及用以形成該傳統的透鏡模組的模仁。
第2A~2C圖為一系列之剖面圖，係顯示本發明較佳實施例之透鏡模組。
第3圖為一剖面圖，係顯示本發明較佳實施例之透鏡模組的應用。
第4A~4C圖為一系列之剖面圖，係顯示第2A圖所示之透鏡模組的一例示的製造方法。
第5圖為一剖面圖，係顯示第2B圖所示之透鏡模組及用以形成該透鏡模組的模仁。
第6圖為一剖面圖，係顯示第2C圖所示之透鏡模組及用以形成該透鏡模組的模仁。
100‧‧‧基底
110‧‧‧貫穿孔
200‧‧‧透鏡結構
210‧‧‧透鏡本體

Claims (18)

  1. 一種透鏡模組，包含：一玻璃基底，具有一貫穿孔於其中；以及一透鏡結構，嵌於該貫穿孔中。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之透鏡模組，其中該透鏡結構實質上為均質。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之透鏡模組，其中該透鏡結構包含一透鏡本體，該透鏡本體直接連接該貫穿孔的側壁。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之透鏡模組，其中該透鏡結構包含：一透鏡本體；以及一連接構件，該連接構件連接該透鏡本體與該貫穿孔的側壁。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之透鏡模組，其中該透鏡本體是被該連接構件所圍繞。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之透鏡模組，其中該透鏡結構包含：一透鏡本體；一壩狀結構，該壩狀結構位於該貫穿孔的至少一部分的側壁上，並延伸至該貫穿孔以外的區域；以及一連接構件，該連接構件連接該透鏡本體與該壩狀結構。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之透鏡模組，其中該壩 狀結構圍繞該連接構件，且該連接構件圍繞該透鏡本體。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之透鏡模組，其中該透鏡模組是置於一半導體基底上。
  9. 一種透鏡模組的製造方法，包含：提供一玻璃基底，該玻璃基底具有一貫穿孔於其中；提供一第一模仁(molding die)與一第二模仁，該第一模仁具有對應於該貫穿孔的一第一透鏡圖形，該第二模仁具有對應於該貫穿孔的一第二透鏡圖形；將該玻璃基底置於該第一模仁上，其中該玻璃基底的該貫穿孔是與該第一透鏡圖形對準；將一透鏡材料置於該貫穿孔內及該第一透鏡圖形上；將該第二模仁置於該玻璃基底上並壓印(imprinting)該透鏡材料，其中該第二透鏡圖形是與該玻璃基底的該貫穿孔對準，且使該透鏡材料成形而成為一透鏡結構，該透鏡結構藉由該第一透鏡圖形與該第二透鏡圖形而嵌入該貫穿孔中；以及將該第一模仁、於該貫穿孔包含該透鏡結構的該玻璃基底、與該第二模仁分離。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之透鏡模組的製造方法，更包含在將該第一模仁、於該貫穿孔包含該透鏡結構的該玻璃基底、與該第二模仁分離之前，對該透鏡結構進行熟化(curing)處理。
  11. 如申請專利範圍第10項所述之透鏡模組的製造 方法，其中該透鏡結構的熟化是藉由紫外光的照射或加熱。
  12. 如申請專利範圍第9項所述之透鏡模組的製造方法，更包含在將該第一模仁、於該貫穿孔包含該透鏡結構的該玻璃基底、與該第二模仁分離之後，對該透鏡結構進行熟化(curing)處理。
  13. 如申請專利範圍第12項所述之透鏡模組的製造方法，其中該透鏡結構的熟化是藉由紫外光的照射或加熱。
  14. 如申請專利範圍第9項所述之透鏡模組的製造方法，其中：該透鏡結構包含一透鏡本體，該透鏡本體直接連接該貫穿孔的側壁；以及該第一透鏡圖形與該第二透鏡圖形的至少其中之一具有一透鏡本體圖形，該透鏡本體圖形包含該透鏡本體的一輪廓。
  15. 如申請專利範圍第9項所述之透鏡模組的製造方法，其中：該透鏡結構包含一透鏡本體與一連接構件，該連接構件連接該透鏡本體與該貫穿孔的側壁；以及該第一透鏡圖形與該第二透鏡圖形的至少其中之一具有一透鏡本體圖形與一連接構件圖形，該連接構件圖形連接該透鏡本體圖形；其中：該透鏡本體圖形包含該透鏡本體的一輪廓；以及 該連接構件圖形包含該連接構件的一輪廓。
  16. 如申請專利範圍第15項所述之透鏡模組的製造方法，其中：該透鏡本體是被該連接構件所圍繞；以及該透鏡本體圖形是被該連接構件圖形所圍繞。
  17. 如申請專利範圍第9項所述之透鏡模組的製造方法，其中：該透鏡結構包含一透鏡本體、一壩狀結構、與一連接構件，該壩狀結構位於該貫穿孔的至少一部分的側壁上，並延伸至該貫穿孔以外的區域，該連接構件連接該透鏡本體與該壩狀結構；以及該第一透鏡圖形與該第二透鏡圖形的至少其中之一具有一透鏡本體圖形、一壩狀結構圖形、與連接於該透鏡本體圖形與該壩狀結構圖形之間的一連接構件圖形；其中：該透鏡本體圖形包含該透鏡本體的一輪廓；該連接構件圖形包含該連接構件的一輪廓；以及該壩狀結構圖形包含該壩狀結構的一輪廓。
  18. 如申請專利範圍第17項所述之透鏡模組的製造方法，其中：該壩狀結構圍繞該連接構件，且該連接構件圍繞該透鏡本體；以及該壩狀結構圖形圍繞該連接構件圖形，且該連接構件圖形圍繞該透鏡本體圖形。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5009209B2 (ja) * 2008-03-21 2012-08-22 シャープ株式会社 ウエハ状光学装置およびその製造方法、電子素子ウエハモジュール、センサウエハモジュール、電子素子モジュール、センサモジュール、電子情報機器
JP2011180293A (ja) * 2010-02-26 2011-09-15 Fujifilm Corp レンズアレイ
JP5611445B2 (ja) * 2010-03-31 2014-10-22 エーファウ・グループ・ゲーエムベーハー マイクロレンズの製造方法及び製造装置
WO2012036626A1 (en) * 2010-09-16 2012-03-22 Medha Dharmatilleke Methods and camera systems for recording and creation of 3-dimension (3-d) capable videos and 3-dimension (3-d) still photos
FR2965103B1 (fr) * 2010-09-17 2013-06-28 Commissariat Energie Atomique Systeme optique d'imagerie a ftm amelioree
WO2013010284A2 (en) * 2011-07-19 2013-01-24 Heptagon Micro Optics Pte. Ltd. Opto-electronic modules and methods of manufacturing the same and appliances and devices comprising the same
JP2014521992A (ja) * 2011-07-19 2014-08-28 ヘプタゴン・マイクロ・オプティクス・プライベート・リミテッド 受動光学構成要素の製造方法および受動光学構成要素を備えるデバイス
TWI614107B (zh) * 2015-07-15 2018-02-11 趙崇禮 透鏡陣列的模具設備及其使用方法
DE102016113471B4 (de) * 2016-07-21 2022-10-27 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zur herstellung von optischen bauelementen
CN107146800A (zh) * 2017-05-22 2017-09-08 武汉新芯集成电路制造有限公司 一种图像传感器的封装设计
TWI701127B (zh) * 2019-05-16 2020-08-11 趙崇禮 透鏡陣列的模具設備

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4154506A (en) 1976-08-12 1979-05-15 Izon Corporation Projection lens plate for microfiche
US6707613B2 (en) * 2000-04-05 2004-03-16 Rohm Co., Ltd. Lens array unit and method of forming image
EP1251365B1 (en) 2001-04-20 2004-02-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Microlens array and method of its manufacturing
US6894840B2 (en) * 2002-05-13 2005-05-17 Sony Corporation Production method of microlens array, liquid crystal display device and production method thereof, and projector
JP3983652B2 (ja) * 2002-11-13 2007-09-26 シャープ株式会社 マイクロレンズアレイ基板の製造方法および製造装置
JP2004198536A (ja) 2002-12-16 2004-07-15 Three M Innovative Properties Co レンズアレイシート及び成形方法
JP4751650B2 (ja) * 2004-06-11 2011-08-17 株式会社リコー 微小光学素子、この微小光学素子を用いた空間光変調装置及びプロジェクタ装置
JP4423671B2 (ja) * 2004-12-15 2010-03-03 セイコーエプソン株式会社 露光ヘッドの制御装置、露光ヘッド、画像形成装置

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