JP2009218489A - フォトニック結晶発光素子及び発光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】3次元フォトニック結晶発光素子10は、フォトニック結晶20内に形成され、活性媒質を含む点欠陥共振器60と、該共振器にキャリアを注入するための第1の電極30及び第2の電極80と、フォトニック結晶内において第1の電極に接続され、キャリアを第1の電極から共振器に導くとともに、該共振器で発生した光を透光性を有する第1の電極に導く伝導路40とを有する。該伝導路は、断面積が共振器側から第1の電極側に向かって増加するテーパ型伝導路である。
【選択図】図1
Description
20 3次元フォトニック結晶
30 p型透明電極
40 テーパ型キャリア伝導路
50 p型領域
60 活性部(共振器)
70 n型キャリア伝導領域
80 n型電極
90 絶縁部
Claims (7)
- 3次元フォトニック結晶を用いた発光素子であって、
前記フォトニック結晶内に形成され、活性媒質を含む点欠陥共振器と、
該共振器にキャリアを注入するための第1の電極及び第2の電極と、
前記フォトニック結晶内において前記第1の電極に接続され、キャリアを前記第1の電極から前記共振器に導くとともに、該共振器で発生した光を透光性を有する前記第1の電極に導く伝導路とを有し、
前記伝導路は、断面積が前記共振器側から前記第1の電極側に向かって増加するテーパ型伝導路であることを特徴とする3次元フォトニック結晶発光素子。 - 前記フォトニック結晶内に形成された線欠陥導波路を有し、
前記線欠陥導波路及び前記テーパ型伝導路が、前記共振器で発生した光を前記第1の電極に導くことを特徴とする請求項1に記載の3次元フォトニック結晶発光素子。 - 前記第1の電極はp型電極であり、
該第1の電極からp型キャリアが前記テーパ型伝導路を介して前記共振器に注入されるように構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の3次元フォトニック結晶発光素子。 - 前記フォトニック結晶のうち前記テーパ型伝導路が形成されたp型領域又はn型領域において、前記テーパ型伝導路と前記共振器との間の部分以外の部分は、該テーパ型伝導路を構成する媒質よりもキャリア伝導に対する抵抗値が高い媒質により形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の3次元フォトニック結晶発光素子。
- 前記3次元フォトニック結晶は、2次元周期構造を含む複数の層が積層されて構成されており、
前記テーパ型伝導路は、前記複数の層の積層方向に延びるように形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の3次元フォトニック結晶発光素子。 - 前記第1の電極を含む反射防止構造を有することを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載の3次元フォトニック結晶発光素子。
- 請求項1から6のいずれか1つに記載の3次元フォトニック結晶発光素子と、
前記第1及び第2の電極に電圧を印加する電圧印加手段とを有することを特徴とする発光装置。
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JP2009272394A (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Canon Inc | 3次元フォトニック結晶を用いた発光素子 |
GB2535197A (en) * | 2015-02-12 | 2016-08-17 | Toshiba Res Europe Ltd | An optical device and a method of fabricating an optical device |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001257425A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ素子及びその製造方法 |
JP2004356438A (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体発光素子 |
JP2007251020A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Canon Inc | レーザ装置、レーザ装置の製造方法 |
JP2008034697A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Canon Inc | 共振器及びそれを有するデバイス |
JP2008047638A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 面発光レーザ素子およびその製造方法、ならびに面発光レーザアレイおよびその製造方法 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001257425A (ja) * | 2000-03-13 | 2001-09-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ素子及びその製造方法 |
JP2004356438A (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体発光素子 |
JP2007251020A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Canon Inc | レーザ装置、レーザ装置の製造方法 |
JP2008034697A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Canon Inc | 共振器及びそれを有するデバイス |
JP2008047638A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 面発光レーザ素子およびその製造方法、ならびに面発光レーザアレイおよびその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009272394A (ja) * | 2008-05-02 | 2009-11-19 | Canon Inc | 3次元フォトニック結晶を用いた発光素子 |
GB2535197A (en) * | 2015-02-12 | 2016-08-17 | Toshiba Res Europe Ltd | An optical device and a method of fabricating an optical device |
US9761756B2 (en) | 2015-02-12 | 2017-09-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical device and a method of fabricating an optical device |
GB2535197B (en) * | 2015-02-12 | 2019-11-06 | Toshiba Res Europe Limited | An optical device and a method of fabricating an optical device |
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