JP2009217150A - 光学素子保持装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 コンパクトでかつミラー等の光学素子の６自由度を過不足無く拘束することが可能な支持装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 光学素子支持装置は、光学素子を支持する第１支持部と第２支持部とを備え、前記第１支持部と前記第２支持部とは互いに離間し、前記第１支持部と前記第２支持部とによって前記光学素子の３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とを拘束するように前記光学素子を支持し、前記第１支持部が前記光学素子の前記３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とのうち拘束する軸数をｎとし、前記第２支持部が前記光学素子の前記３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とのうち拘束する軸数をｍとしたとき、前記ｎとｍとは以下の式を満たすことを特徴とする。
ｎ＋ｍ＝６
【選択図】 図２

Description

本発明は、光学素子を保持するための光学素子保持装置に関し、特に半導体露光装置の投影光学系鏡筒にミラーもしくはレンズを結合するための装置に関するものである。
フォトリソグラフィー技術を用いてマイクロデバイスを製造する際に、レチクルに描画された回路パターンを投影光学系によってウエハ等に投影して回路パターンを転写する縮小投影露光装置が使用されている。
現在、０．１μｍ以下の非常に微細な回路パターンを高解像度で転写するために、紫外光よりも更に波長が短い波長１０ｎｍ乃至１５ｎｍ程度の極端紫外線（ＥＵＶ）光を用いた縮小投影露光装置（以下、「ＥＵＶ露光装置」という。）が開発されている。
高解像度で露光するＥＵＶ露光装置では、投影光学系に求められる精度が極めて高い。ミラーの形状においては、１ｎｍ程度以下の変形しか許容されない。ミラーなどの光学素子に変形が生じると、変形前後で光線の光路が変化し、一点に結像するべき光線が一点に収束せずに収差が生じ、像のぼけや位置シフトが発生し、結果的にはウエハ上の回路パターンの短絡を招く。
従って、投影光学系内の光学素子に変形を与えないように、光学素子の６自由度を過不足無く拘束する必要がある。かつ、像のぼけが発生しないように、固有振動数を高く保って保持する必要がある。
光学素子を支持する支持装置としては、例えば、特許文献１が開示されている。これは、光学素子の外縁部の三箇所を複数の板バネにより構成された支持部により保持する光学素子支持装置である。
特開２００２−３５０６９９号公報
特に、ＥＵＶ露光装置の投影光学系では、限られた空間内でミラーの周りに、ミラー駆動装置、位置センサ、温度調整装置等を配置する必要がある。さらに、光学設計等の制約から、ミラー同士の間隔が狭く、ミラーのすぐ近くをビームが通るという構成になっている。そのために、従来のような３箇所でミラーを支持する構造では、ミラーの周辺に必要な位置センサ等の配置スペースが制限されてしまう。位置センサ等の配置スペースが制限されることから、それらを保持する構造体のスペースも制限されてしまう。そのため、十分な剛性を保って位置センサ等を配置することが困難となるおそれがある。そこで、ミラー周りの位置センサ等を高い剛性（固有振動数）を保ったまま配置するためには、なるべくコンパクトにミラーを支持することが必要となる。
さらに、ミラーを変形させないように、ミラーの６自由度を過不足無く拘束することも必要となる。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、コンパクトでかつミラー等の光学素子の６自由度を過不足無く拘束することが可能な支持装置を提供することを目的とする。
前述の課題を解決するために、本発明の光学素子支持装置は、光学素子を支持する第１支持部と第２支持部とを備え、前記第１支持部と前記第２支持部とは互いに離間し、前記第１支持部と前記第２支持部とによって前記光学素子の３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とを拘束するように前記光学素子を支持し、前記第１支持部が前記光学素子の前記３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とのうち拘束する軸数をｎとし、前記第２支持部が前記光学素子の前記３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とのうち拘束する軸数をｍとしたとき、前記ｎとｍとは以下の数１に表す式を満たすことを特徴とする。
（数１）ｎ＋ｍ＝６。
また、本発明の光学素子支持装置は、光学素子を支持する第１支持部と第２支持部とを備え、前記第１支持部と前記第２支持部とは互いに離間し、前記第１支持部は、剛体部材と２つの板状弾性部材とを有し、前記板状弾性部材は、前記剛体部材に対して第１の軸方向に配置され、前記第１支持部が有する２つの板状弾性部材は前記第１支持部と前記第２支持部とを結ぶ第２の軸方向に延びる形状の板状弾性部材と前記第１の軸と前記第２の軸とに直交する第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材とであり、前記第２支持部は、剛体部材と２つの板状弾性部材とを有し、前記板状弾性部材は、前記剛体部材に対して第１の軸方向に配置され、前記第２支持部が有する２つの板状弾性部材は、前記第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材であることを特徴とする。
また、本発明の光学素子支持装置は、光学素子を支持する第１支持部と第２支持部とを備え、前記第１支持部と前記第２支持部とは互いに離間し、前記第１支持部は、剛体部材と１つの板状弾性部材とを有し、前記板状弾性部材は、前記剛体部材に対して第１の軸方向に配置され、前記第１の軸と前記第１支持部と前記第２支持部とを結ぶ第２の軸とに直交する第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材であり、前記第２支持部は、剛体部材と２つの棒状弾性部材とが前記剛体部材を挟んで前記第１の軸方向に直列に配置された構造体を２つ有し、前記２つの構造体の間隔が、前記第１の軸方向に沿って狭まることを特徴とする。
また、本発明の光学素子支持装置は、光学素子を支持する第１支持部と第２支持部とを備え、前記第１支持部と前記第２支持部とは互いに離間し、前記第１支持部は、剛体部材と１つの板状弾性部材とを有し、前記板状弾性部材は、前記剛体部材に対して第１の軸方向に配置され、前記第１の軸と前記第１支持部と前記第２支持部とを結ぶ第２の軸とに直交する第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材であり、前記第２支持部は、剛体部材と１つの板状弾性部材と１つの棒状弾性部材とを有し、前記剛体部材と前記板状弾性部材と前記棒状弾性部材とは前記剛体部材を挟んで前記第１の軸方向に直列に配置され、前記板状弾性部材は、前記第１の軸と前記第１支持部と前記第２支持部とを結ぶ第２の軸とに直交する第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材であることを特徴とする。
本発明によれば、コンパクトでかつミラー等の光学素子の６自由度を過不足無く拘束することが可能な支持装置を提供することが可能となる。
以下、添付図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。
（露光装置に適用した例）
図１に示すように、この実施形態の露光装置１００は、光源１、と照明光学系２と、レチクル３を保持するレチクルステージ４と、投影光学系５（鏡筒）と、ウエハ６を保持するウエハステージ７とから構成されている。
前記光源１はＥＵＶ光源であり、前記照明光学系２は、複数枚のミラーや絞りで構成されている。光源１から出射されたＥＵＶ光はこの照明光学系２により、前記レチクル３上に照射される。レチクル３は、前記レチクルステージ４に保持されており、レチクルステージ４により走査する。
レチクル３で反射したＥＵＶ光は、前記投影光学系５に入る。投影光学系内５内には、複数枚の光学素子８が光学素子支持装置９を介して配置されている。ここでは、光学素子８はミラーである。
光学素子支持装置９は所望の光学性能を得るために、光学素子８の位置を微調整できるように例えばピエゾ素子などを使った駆動機構（不図示）に接続されている場合もある。投影光学系５内に入射したＥＵＶ光は、複数枚の光学素子８で反射し、例えば１／４や１／５に縮小して前記ウエハ６に到達する。図１では、投影光学系５の光学素子は４枚で構成されているが、広い画面サイズで露光するために６枚あるいは８枚の光学素子を用いる場合がある。ウエハ６は前記ウエハステージ７に保持されており、このウエハステージ７と、レチクルステージ４は投影系の縮小倍率と同じ速度比で同期走査する。
このようにして、レチクル上に形成されたパターン像をウエハ上に投影して露光を行う。
（実施例１）
図２に示すのは、光学素子支持装置９の詳細図である。
光学素子８は外縁部に設けられた２箇所の接続部材１０を介して支持部１１（第１支持部）および支持部１２（第２支持部）に接続されており、各々の支持部は基部構造体１３に結合されている。図２では接続部材１０は金属であり、これが光学素子に直接接着された例であるが、光学素子の突起部を設けて、突起部を金属で挟み込んだ構造（不図示）でもよい。図２では基部構造体１３は多角形形状であるが、必要に応じて円形状でも構わない。基部構造体１３は、外部からの力によって光学素子８が変形を受けないように非常に堅い。また、基部構造体１３は熱の影響を考慮して、光学素子８と同程度の熱膨張係数である低熱膨張材を用いるのが望ましい。
図３に支持部１１の詳細を示す。支持部１１は、板状弾性部材である板ばね１４、１５、剛体部材１６、１７、１８を具備する。
剛体部材１６に対して板ばね１４を配置する方向に延びる軸をＺ軸（第１の軸）としている。また、図２に示す支持部１１と支持部１２との配置において、支持部１１と支持部１２とを結ぶ方向に延びる軸をＹ軸（第２の軸）としている。さらに、Ｚ軸とＹ軸との両軸に直交する軸をＸ軸（第３の軸）としている。
板ばね１４を剛体部材１６に対して第１の軸方向であるＺ軸方向（図３中の−Ｚ方向）に配置し、剛体部材１６と剛体部材１８とを板ばね１４で接続する。板ばね１４は第３の軸方向であるＸ軸方向に延びる形状をしているため、剛体部材１８に対して、剛体部材１６をＸ軸の回り（第３の軸回り）に容易に変形することができる。板ばね１５を、剛体部材１６に対してＺ軸方向（図３中の＋Ｚ方向）に配置し、剛体部材１６と剛体部材１７とを板ばね１５で接続する。板ばね１５は第２の軸方向であるＹ軸方向に延びる形状をしているため、剛体部材１６に対して、剛体部材１７をＹ軸の回り（第２の軸回り）に容易に変形することが可能となる。
剛体部材１７は、接続部材１０と板ばね１５の間に配置され両者を繋ぐ部材である。しかし、剛体部材１７を設けずに、板ばね１５を接続部材１０に直接接続する構成にしてもよい。
剛体部材１８は、基部構造体１３と板ばね１４との間に配置され両者を繋ぐ部材である。しかし、剛体部材１８を設けずに、板ばね１４を基部構造体１３に直接接続する構成にしてもよい。
支持部１１により、光学素子８のＺ軸、Ｙ軸およびＺ軸方向の並進移動の３軸が拘束され、上記３軸回りは容易に回転可能となり拘束されない。したがって、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向への並進移動とＸ、Ｙ、Ｚの各軸回りの回転との６軸のうち、支持部１１が拘束する光学素子８の軸数は３となる。ここで、「拘束」とは、「拘束されない」方向に対して十分剛性が高く、容易に移動もしくは回転できない状態を示している。図では、板ばね１４が基部構造体１３側、板ばね１５が接続部材１０側に配置されているが、板ばね１４と１５の位置を入れ替えても同等の効果を得ることができる。
図４に支持部１２の詳細を示す。
支持部１２は、板状弾性部材である板ばね１９、２０、剛体部材２１、２２、２３を具備する。
板ばね１９を、剛体部材２１に対してＺ軸方向（図４中の＋Ｚ方向）に配置し、剛体部材２１と剛体部材２２とを板ばね１９で接続する。板ばね１９は、Ｘ軸方向に延びる形状をしているため剛体部材２１に対して、剛体部材２２をＸ軸の回りに容易に変形することが可能となる。
板ばね２０を、剛体部材２１に対してＺ軸方向（図４中の−Ｚ方向）に配置し、剛体部材２３と剛体部材２１とを板ばね２０で接続する。板ばね２０は、Ｘ軸方向に延びる形状をしているため剛体部材２３に対して、剛体部材２１をＸ軸の回りに容易に変形することが可能となる。
このように、Ｘ軸方向に延びる形状をした板ばね１９、２０をＺ軸方向に直列配置することで、剛体部材２０に対して、剛体部材２２をＹ軸方向に並進移動させることを可能にしている。
剛体部材２２は、接続部材１０と弾性部材１９の間に配置され両者を繋ぐ部材である。しかし、剛体部材１７を設けずに、板ばね１５を接続部材１０に直接接続する構成にしてもよい。
剛体部材２３は、基部構造体１３と弾性部材２０の間に配置され両者を繋ぐ部材である。しかし、剛体部材１８を設けずに、板ばね１４を基部構造体１３に直接接続する構成にしてもよい。
支持部１２により、光学素子８のＸ軸方向とＺ軸方向とへの並進移動とＹ軸回りの回転との３軸が拘束され、Ｙ軸方向とＺ軸回りの回転、Ｘ軸回りの回転とは拘束されない。したがって、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向への並進移動とＸ、Ｙ、Ｚの各軸回りの回転との６軸のうち、支持部１２が拘束する光学素子８の軸数は３となる。
支持部１１によって、光学素子のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の３軸の並進移動が拘束される。支持部１２によって、光学素子のＸ軸、Ｚ軸方向の並進移動とＹ軸回りの回転が拘束される。そして、支持部１１と支持部１２とによって、光学素子のＸ軸回りとＺ軸回りの回転が拘束される。したがって、支持部１１および支持部１２の２つの支持部により光学素子８のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の３軸方向の並進移動と３軸の各軸回りの回転とを拘束することが可能となる。
このように、離間して設けられた支持部１１と支持部１２の２つの支持部によって、ミラーやレンズといった光学素子の６軸を過不足なく拘束することが可能となる。
支持部１１および支持部１２の材料としては、インバー合金等の低熱膨張合金や、析出硬化型ステンレス等を用いることが可能である。
支持部１１、１２は各々、板状弾性部材と剛体部材とを一体成形してももよいし、板状弾性部材と剛体部材とをそれぞれ用意して、圧着、溶接、螺合、圧入などの製造方法により両者を結合する、別体形成でもよい。
図２に示すように、支持部１１および１２によって支持される光学素子の形状は、ＸＹ平面で切ったときの断面形状が、Ｘ軸方向の長さよりもＹ軸方向の長さの方が長い形状をしているのがより好ましい。
（変形例）
図５に示すのは、支持部１１の変形例である。図３で説明した箇所と対応する箇所については同一の符合にアルファベットａを付している。
２つの剛体部材１６ａの間に、十字状の板状弾性部材２４を設けることで、Ｚ軸回り（第１の軸回り）の変形をさらに容易にすることが可能となる。
図６に示すのは、支持部１２の変形例である。図４で説明した箇所と対応する箇所については同一の符号にアルファベットｂを付している。
２つの剛体部材２１ｂの間に、十字状の板状弾性部材２５を設けることで、Ｚ軸回りの変形をさらに容易にすることが可能となる。
このような十字状の板状弾性部材は、支持部１１と支持部１２とのうちいずれか一方に設けても良いし、両方に設けても良い。
十字状の板状弾性部材を設けることで、６軸以外の方向に生じる拘束を低減することができ、よりキネマティックに光学素子を支持することが可能となる。
（実施例２）
図７に示す支持部２７は、板状弾性部材である板ばね３２と剛体部材３３、３４とで構成される。板ばね３２を、剛体部材３４に対してＺ方向に配置し、剛体部材３３と剛体部材３４とを板ばね３２で接続する。板ばね３２は、Ｘ軸方向に延びる形状をしているため、剛体部材３４に対して剛体部材３３をＸ軸の回りに容易に変形させることが可能となる。
剛体部材３３は、接続部材１０と弾性部材３２の間に配置され、両者を繋ぐ部材である。しかし、剛体部材３３を設けずに、板ばね３２を接続部材１０に直接接続する構成にしてもよい。
剛体部材３４は、基部構造体１３と弾性部材３２の間に配置され、両者を繋ぐ部材である。しかし、剛体部材３４を設けずに、板ばね３２を基部構造体１３に直接接続する構成にしてもよい。
支持部２７により、光学素子８のＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸方向の３軸の並進移動と、Ｙ軸回りの回転との４軸が拘束され、Ｘ軸回りの回転とＺ軸回りの回転とは拘束されない。したがって、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向への並進移動とＸ、Ｙ、Ｚの各軸回りの回転との６軸のうち、支持部２７が拘束する光学素子８の軸数は４となる。
図８に示す支持部２７ｃは、支持部２７の変形例である。
図７で説明した箇所と対応する箇所については同一の符合にアルファベットｃを付している。
２つの剛体部材３４ｃの間に、十字状の板ばね弾性部材４１を設けることで、Ｚ軸回りの変形をさらに容易にすることが可能となる。
図９に示す支持部２６は、バイポッドとよばれる一般的な支持形状で、２つの棒状弾性部材２９が、剛体部材２８を挟んで直列に配置された構造体を２つ有している。そして、２つの構造体の端部が剛体部材３０と剛体部材３１にそれぞれ接続されている。２つの構造体の間隔は、Ｚ軸方向に沿って挟まるように配置されている。つまり、剛体部材３１に接続された２つの棒状弾性部材の間の間隔に比べて、剛体部材３０に接続された２つの棒状弾性部材の間の間隔が狭くなるように、２つの構造体は配置されている。
支持部２６により、光学部材８のＸ軸方向とＺ軸方向への並進移動の２軸が拘束され、その他のＹ軸方向への並進移動、Ｘ軸回り、Ｙ軸回り、Ｚ軸回りの回転の４軸は拘束されない。
したがって、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向への並進移動とＸ、Ｙ、Ｚの各軸回りの回転との６軸のうち、支持部２６が拘束する光学素子８の軸数は２となる。
光学素子８を支持部２６と２７とで支持することで、光学素子８のＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の３軸の並進移動と３軸の各軸回りの回転とを拘束することが可能となる。つまり、支持部２６と支持部２７の２つの支持部によって、光学素子の６軸を過不足なく拘束することが可能となる。
（実施例３）
図１０に示す支持部３５は、棒状弾性部材３６、板状弾性部材である板ばね３７、剛体部材３８、３９、４０で構成される。
棒状弾性部材３６を剛体部材３８に対してＺ軸方向（図９中の＋Ｚ方向）に配置し、剛体部材３８と剛体部材３９とを棒状弾性部材３６で接続する。これにより、剛体部材３６に対して、剛体部材３９をＸ、Ｙ、Ｚ軸回りに回転可能にしている。板ばね３７を剛体部材３８に対してＺ軸方向（図９中の−Ｚ軸方向）に配置し、剛体部材３８と剛体部材４０とを板ばね３７で接続する。板状弾性部材はＸ軸方向に延びる形状をしているため、剛体部材４０に対して剛体部材３８をＸ軸の回りに容易に変形させることが可能となる。
剛性部材３９は、接続部材１０と弾性部材３６との間に配置され、両者を繋ぐ部材である。しかし、剛体部材３９を設けずに、板ばね３７を接続部材１０に直接接続する構成にしてもよい。
剛体部材４０は、基部構造体１３と板ばね３７との間に配置され、両者を繋ぐ部材である。しかし、剛体部材４０を設けずに、板ばね３７を基部構造体１３に直接接続する構成にしてもよい。
支持部３５により、光学部材８のＸ軸方向とＺ軸方向への並進運動の２軸が拘束され、その他のＹ軸方向への並進移動、Ｘ軸回り、Ｙ軸回り、Ｚ軸回りの回転は拘束されない。したがって、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向への並進移動とＸ、Ｙ、Ｚの各軸回りの回転との６軸のうち、支持部３５が拘束する光学素子８の軸数は２となる。
支持部３５は、光学素子８の４軸を拘束するための支持部２７と組み合わせて光学素子８を支持することで、支持部３５と支持部２７との２つの支持部によって、光学素子の６軸を過不足なく拘束することが可能となる。
（デバイス製造方法）
デバイス（半導体集積回路素子、液晶表示素子等）は、前述のいずれかの実施例の露光装置を使用して感光剤を塗布した基板（ウエハ、ガラス基板等）を露光する工程と、その基板を現像する工程と、他の周知の工程と、を経ることにより製造される。
本発明の露光装置の概略構成を示す図である。 本発明の光学素子保持装置を示す図である。 本発明の実施例１の第１支持部を示す図である。 本発明の実施例１の第２支持部を示す図である。 本発明の変形例の第１支持部を示す図である。 本発明の変形例の第２支持部を示す図である。 本発明の実施例２の第１支持部を示す図である。 本発明の実施例２の第１支持部の変形例を示す図である。 本発明の実施例２の第２支持部を示す図である。 本発明の実施例３の支持部を示す図である。
符号の説明
１ 光源
２ 照明光学系
３ レチクル
４ レチクルステージ
５ 投影光学系
６ ウエハ
７ ウエハステージ
８ 光学素子
９ 光学素子保持装置
１０ 接続部材
１１ 第１支持部
１２ 第２支持部
１３ 基部構造体
１４ 板状弾性部材
１５ 板状弾性部材
１６ 剛体部材
１７ 剛体部材
１８ 剛体部材
１９ 板状弾性部材
２０ 板状弾性部材
２１ 剛体部材
２２ 剛体部材
２３ 剛体部材
２６ 第２支持部
２７ 第１支持部
２８ 剛体部材
２９ 棒状弾性部材
３０ 剛体部材
３１ 剛体部材
３２ 板状弾性部材
３３ 剛体部材
３４ 剛体部材
３５ 第２支持部
３６ 棒状弾性部材
３７ 板状弾性部材
３８ 剛体部材
３９ 剛体部材
４０ 剛体部材

Claims (16)

  1. 光学素子を支持する第１支持部と第２支持部とを備え、
    前記第１支持部と前記第２支持部とは互いに離間し、
    前記第１支持部と前記第２支持部とによって前記光学素子の３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とを拘束するように前記光学素子を支持し、
    前記第１支持部が前記光学素子の前記３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とのうち拘束する軸数をｎとし、前記第２支持部が前記光学素子の前記３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とのうち拘束する軸数をｍとしたとき、前記ｎとｍとは以下の式を満たすことを特徴とする光学素子支持装置。
    ｎ＋ｍ＝６
  2. 前記第１支持部と前記第２支持部とは剛体部材と板状弾性部材とを有し、
    前記ｎと前記ｍとは３であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子支持装置。
  3. 前記第１支持部は、剛体部材と板状弾性部材とを有し、
    前記第２支持部は、剛体部材と棒状弾性部材とを有し、
    前記ｎは４、前記ｍは２であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子支持装置。
  4. 前記第１支持部は、剛体部材と板状弾性部材とを有し、
    前記第２支持部は、剛体部材と板状弾性部材と棒状弾性部材とを有し、
    前記ｎは４、前記ｍは２であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子支持装置。
  5. 前記第１支持部または前記第２支持部が有する前記板状弾性部材の数が１または２であることを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載の光学素子支持装置。
  6. 前記板状弾性部材は前記剛体部材に対して第１の軸方向に配置され、
    前記第１支持部は、前記光学素子の３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とのうち、前記第１の軸方向と前記第１支持部と前記第２支持部とを結ぶ第２の軸方向と前記第１の軸と前記第２の軸とに直交する第３の軸方向とへの前記光学素子の並進移動を拘束し、
    前記第２支持部は、前記光学素子の３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とのうち、前記第１の軸方向と前記第３の軸方向とへの前記光学素子の並進移動と前記第２の軸回りの前記光学素子の回転とを拘束することを特徴とする請求項２に記載の光学素子支持装置。
  7. 前記板状弾性部材は前記剛体部材に対して第１の軸方向に配置され、
    前記第１支持部は、前記光学素子の３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とのうち、前記第１の軸方向と前記第２の軸方向と前記第３の軸方向とへの前記光学素子の並進移動と前記第２の軸回りの前記光学素子の回転とを拘束し、
    前記第２支持部は、前記光学素子の３軸方向への並進移動と前記３軸の各軸回りの回転とのうち、前記第１の軸方向と前記第２の軸方向とへの前記光学素子の並進移動を拘束することを特徴とする請求項３または４に記載の光学素子支持装置。
  8. 光学素子を支持する第１支持部と第２支持部とを備え、
    前記第１支持部と前記第２支持部とは互いに離間し、
    前記第１支持部は、剛体部材と２つの板状弾性部材とを有し、
    前記板状弾性部材は、前記剛体部材に対して第１の軸方向に配置され、
    前記第１支持部が有する２つの板状弾性部材は前記第１支持部と前記第２支持部とを結ぶ第２の軸方向に延びる形状の板状弾性部材と前記第１の軸と前記第２の軸とに直交する第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材とであり、
    前記第２支持部は、剛体部材と２つの板状弾性部材とを有し、
    前記板状弾性部材は、前記剛体部材に対して第１の軸方向に配置され、
    前記第２支持部が有する２つの板状弾性部材は、前記第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材であることを特徴とする光学素子支持装置。
  9. 光学素子を支持する第１支持部と第２支持部とを備え、
    前記第１支持部と前記第２支持部とは互いに離間し、
    前記第１支持部は、剛体部材と１つの板状弾性部材とを有し、
    前記板状弾性部材は、前記剛体部材に対して第１の軸方向に配置され、前記第１の軸と前記第１支持部と前記第２支持部とを結ぶ第２の軸とに直交する第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材であり、
    前記第２支持部は、剛体部材と２つの棒状弾性部材とが前記剛体部材を挟んで前記第１の軸方向に直列に配置された構造体を２つ有し、
    前記２つの構造体の間隔が、前記第１の軸方向に沿って狭まることを特徴とする光学素子支持装置。
  10. 光学素子を支持する第１支持部と第２支持部とを備え、
    前記第１支持部と前記第２支持部とは互いに離間し、
    前記第１支持部は、剛体部材と１つの板状弾性部材とを有し、
    前記板状弾性部材は、前記剛体部材に対して第１の軸方向に配置され、前記第１の軸と前記第１支持部と前記第２支持部とを結ぶ第２の軸とに直交する第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材であり、
    前記第２支持部は、剛体部材と１つの板状弾性部材と１つの棒状弾性部材とを有し、
    前記剛体部材と前記板状弾性部材と前記棒状弾性部材とは前記剛体部材を挟んで前記第１の軸方向に直列に配置され、
    前記板状弾性部材は、前記第１の軸と前記第１支持部と前記第２支持部とを結ぶ第２の軸とに直交する第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材であることを特徴とする光学素子支持装置。
  11. 前記第１支持部と前記第２支持部とのうちいずれかまたは両方が、前記第２の軸方向に延びる形状の板状弾性部材と前記第３の軸方向に延びる形状の板状弾性部材とが互いに直交する形状の板状弾性部材を有することを特徴とする請求項６〜１０のいずれか１項に記載の光学素子支持装置。
  12. 請求項６〜１１のいずれか１項に記載の光学素子支持装置に支持される光学素子の前記第１の軸と直交する平面における断面形状が、前記第３の軸方向の長さよりも前記第２の軸の長さの方が長いことを特徴とする光学素子支持装置。
  13. 前記第１支持部と前記第２支持部とが支持する光学素子は、ミラーまたはレンズであることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載の光学素子支持装置。
  14. 複数の光学素子を保持する鏡筒において、請求項１〜１３に記載の光学素子支持装置を有することを特徴とする鏡筒。
  15. レチクル上に形成されたパターン像を投影光学系を介してウエハ上に転写する露光装置において、前記投影光学系は請求項１４に記載の鏡筒を有することを特徴とする露光装置。
  16. 請求項１５に記載の露光装置を用いてウエハを露光する工程と、
    前記ウエハを現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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