JP2009204176A - 半導体製造装置用空気調和装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体製造装置3内の空気を吸込んで顕熱交換器9を通じた後再び半導体製造装置3内に供給する循環経路4と、クリーンルーム内の空気(CA)を吸込んで顕熱交換器9を通じた後排気するCA経路6を有し、顕熱交換器9は、循環空気とCAが混じりあうことなく交差するような構造で、循環空気とCAとの間で熱交換を行うことによって、循環空気の冷却を行う。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、半導体製造装置3は、クリーンルームCR内に設けられ、その内部に半導体製造装置プロセス部2等を備えている。本実施の形態による半導体製造装置用空気調和装置1は、この半導体製造装置3内の空気調和を行うものである。その半導体製造装置用空気調和装置1の構成は、半導体製造装置3内の空気(以下、循環空気と呼ぶ)を吸込んで冷却し、再び半導体製造装置3内に供給する循環経路4を有している。また、クリーンルームCR内の空気(CAと呼ぶ)を吸込んで循環空気と熱交換した後、排気するCA経路6を有している。循環経路4は、半導体製造装置3内の空気を吸込む循環空気吸込口7と、循環用ファン8、顕熱交換器9と、高性能フィルタ10を直列に配し、循環空気吹出口11から半導体製造装置3内に給気する。一方、CA経路6は、CA吸込口12、顕熱交換器9とCA用ファン13、モータ14を有し、排気口15から排気する。循環経路4とCA経路6とは、壁面5を挟んで隣接している。モータ14は、CA経路6内に配置される。循環用ファン8は、壁面5を貫通したモータ14のシャフトに接続され、モータ14の駆動によって回転する。CA用ファン13もモータ14のシャフトに接続されている。すなわち、循環用ファン8とCA用ファン13は、モータ14の駆動によって連動して回転する。顕熱交換器9は、循環空気とCAが混じりあうことなく交差するような構造で、循環空気とCAとの間で顕熱の交換を行うものである。
本発明の第2の実施の形態について、図2を参照して説明する。第1の実施の形態と同じ構成については同一の番号を付し、詳細な説明を省略する。
本発明の第3の実施の形態について、図3を参照して説明する。第1、第2の実施の形態と同じ構成については同一の番号を付し、詳細な説明を省略する。
4、4b、4c 循環経路
6 CA経路
8、8b 循環用ファン
9 顕熱交換器
10 高性能フィルタ
13 CA用ファン
14 モータ
22 CA用モータ
23 循環用モータ
24 温度センサ
25 制御装置
31 冷却コイル
32 CA温度センサ
Claims (11)
- クリーンルーム内に設置された半導体製造装置の内部の空気調和を行う空気調和装置であって、製造装置内の空気を循環空気として取り込み、熱交換器を通じた後に、製造装置内に供給する循環経路と、クリーンルーム内の空気(以下、CAと呼ぶ)を取り込み、熱交換器を通じた後に、クリーンルーム中に排気するCA経路を有し、前記熱交換器は、循環空気とCAとの間で熱交換を行い、循環空気を冷却することを特徴とする半導体製造装置用空気調和装置。
- 前記循環経路と前記CA経路は、壁面を隔てて隣り合って配置され、循環経路内には、循環ファンを、CA経路内には、CAファンを備え、循環ファンとCAファンは1つのモータに接続されて連動して動作することを特徴とする請求項1記載の半導体製造装置用空気調和装置。
- 前記モータは、CA経路内の排出口近傍に配置され、前記モータから発する熱は、CA経路の空気の流れに乗ってすぐにクリーンルーム内に排出されることを特徴とする請求項2記載の半導体製造装置用空気調和装置。
- 前記CA経路の排出口近傍には、CAファン用モータとこのCAファン用モータによって回転するCAファンと、前記循環経路には循環空気を送風する循環ファンと、前記循環経路の外部には循環ファン用モータを備え、循環ファンは循環経路を形成する壁面を隔てて循環ファン用モータのシャフトに接続されたことを特徴とする請求項1記載の半導体製造装置用空気調和装置。
- 半導体製造装置内の温度を検出する装置内温度検出手段と、この装置内温度検出手段で検出された温度をもとにCAファンの回転数を決定する制御手段を有することを特徴とする請求項4記載の半導体製造装置用空気調和装置。
- クリーンルーム内の温度(CA温度)を検出するCA温度検出手段を設け、前記制御手段は、加熱モードと冷却モードを切替えるモード切替手段を備えたことを特徴とする請求項5記載の半導体製造装置用空気調和装置。
- 前記循環経路の空気取入口に、空気冷却機を備えたことを特徴とする請求項1〜6いずれかに記載の半導体製造装置用空気調和装置。
- 前記循環経路の装置内への吹出口には、高性能フィルタを備えたことを特徴とする請求項1〜7いずれかに記載の半導体製造装置用空気調和装置。
- 前記高性能フィルタの上流側に隣接して整流手段を設けたことを特徴とする請求項8記載の半導体製造装置用空気調和装置。
- 前記熱交換器は、顕熱交換器であることを特徴とする請求項1〜9いずれかに記載の半導体製造装置用空気調和装置。
- 前記熱交換器は、全熱交換器であることを特徴とする請求項1〜9いずれかに記載の半導体製造装置用空気調和装置。
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