JP2009202075A - キャッピング装置および液状体吐出装置 - Google Patents

キャッピング装置および液状体吐出装置 Download PDF

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Abstract

【課題】飛散した液状体がキャッピング装置の接触部に付着してノズル面と接触部との間に液状体が介在すると、接触部がノズル面に密着することができなくなる。この結果、内部空間の密閉度が下がり、内部空間に所望する負圧が発生しないために、ノズルが確実にクリーニングされず、ノズルの吐出回復処理ができない。
【解決手段】接触部51の接触面51sを清掃する清掃手段が設けられている。清掃手段は、布などの繊維材料やスポンジなどの多孔質材料を表面に有する部材で形成されたローラー75と、このローラー75を保持しつつ図面左右方向に移動させる移動部材70、およびこの移動部材70を移動駆動するモータM2とを有している。モータM2は、制御部10の制御によって動作し、移動部材70を図中白抜き矢印で示したように左右方向に移動する。このとき、ローラー75は接触面51s上を所定の係合量Dで移動して、接触面51sをクリーニングする。
【選択図】図3

Description

本発明は、キャッピング装置およびこのキャッピング装置を備えた液状体吐出装置に関する。
近年、機能性材料を含む液状体をヘッドに配設されたノズルから基板に対して吐出し、吐出された液状体を固化して薄膜を形成する方法が提案されている。形成する薄膜の代表的な例としては、例えば、カラーフィルタや有機ELパネルの発光層、金属配線などが挙げられる。
このような方法を用いた場合、良好に薄膜を形成するためには、予め定められた量の液状体が、ノズルから確実に基板に吐出されることが要求される。そうでないと、例えば吐出された液状体によって形成される薄膜の厚さにバラツキが生じ、その結果特性バラツキが生じて均質な薄膜形成が阻害されてしまうことになるからである。
そこで、ノズルをキャッピング装置(あるいはキャッピング手段)を用いてクリーニングして、ノズルから確実に液状体が吐出できるよう回復させる吐出回復処理が従来から行われている。キャッピング装置は、周知のように、ノズルが形成されたノズル面を弾性ゴムなどで形成された接触部によって覆い、覆うことによって形成される内部空間を負圧にしてノズルから液状体を吸引することでノズルをクリーニングする装置である。このため、キャッピング装置がノズル面から離れて内部空間の負圧が解除されるとき発生する大気流に起因して、この内部空間に貯留された液状体が周囲に飛散し、種々の障害を引き起こす課題がある。
そこで、例えば特許文献1には、内部空間に貯留された液状体が周囲に飛散する度合いを大幅に低減する技術が開示されている。
特開2001−138531号公報
しかしながら、特許文献1に開示された技術を用いた場合であっても、液状体の飛散が低減されるものの、飛散した液状体がキャッピング装置の接触部に付着することが生ずる。このとき、接触部に付着した液状体がノズル面との接触面に介在すると、接触面がノズル面に対して密着することができなくなる。この結果、内部空間の密閉度が下がり、内部空間に所望する負圧が発生しないために、ノズルが確実にクリーニングされず、ノズルの吐出回復処理を行えないという課題が生ずる。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するために行われたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]ノズル面に形成されたノズルを覆うキャッピング装置であって、前記ノズル面に接触して内部空間を形成する接触面を有する接触部と、前記接触面を清掃部材を用いて清掃する清掃手段と、を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、キャッピング装置は、ノズル面と接触する接触面を清掃することができるので、接触部がノズル面に接触して形成する内部空間を、高い密閉度で形成することができる。この結果、内部空間に所望する負圧が発生することになり、吐出回復処理を確実に行うことが可能となる。
[適用例2]上記キャッピング装置であって、前記清掃手段は、前記清掃部材を前記接触面に当接状態で移動させる移動手段を含むことを特徴とする。
この構成によれば、清掃部材によって接触面を払拭して清掃することができるので、接触面に液状体が残留する確率が低くなる。従って、接触部がノズル面を密着状態で覆う確率が高くなり、内部空間に所望する負圧を発生させることができる。この結果、吐出回復処理を確実に行うことが可能となる。
[適用例3]上記キャッピング装置であって、前記清掃手段は、前記清掃部材に前記接触面を洗浄する洗浄液を含浸させる含浸手段を含むことを特徴とする。
この構成によれば、接触面を洗浄液によって清掃することができるので、接触面に付着する液状体を容易に取り除くことができ、接触面に液状体が残留する確率が低くなる。
[適用例4]上記キャッピング装置であって、ノズルの吐出回復処理の終了によって前記接触面が前記ノズル面から離れた後、直ちに前記接触面を清掃するように前記清掃手段を制御する制御部を備えたことを特徴とする。
通常液状体は、時間の経過とともに固化し付着面との吸着力が増す。そこで、この構成によれば、吐出回復処理直後すなわち液状体の吸着力が増す前に接触面を清掃するので、接触面に付着する液状体を容易に取り除くことができる。
[適用例5]上記記載のキャッピング装置と、ノズルから液状体を吐出する吐出手段と、を備えた液状体吐出装置。
この装置によれば、吐出回復処理が確実に行われたノズルから、液状体を吐出することができる。従って、液状体が吐出しなかったり吐出量が少なかったりといった吐出不良が生じ難い信頼性の高い液状体吐出装置を提供することができる。
以下、本発明を具体化した一実施形態について図1を用いて説明する。図1は、キャッピング装置50を備えた液状体吐出装置100の概略構成図である。液状体吐出装置100は、所定の機能液を含む液状体を、ノズルが設けられたヘッド20から、吐出対象物としての基板Kに吐出して、所定の文字、図柄、画像等を描画する装置である。
図1に示すように、液状体吐出装置100は、直線的に設けられた一対のガイドレール101と、ガイドレール101の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ(図示せず)により1つの直線軸方向(これを本実施形態ではY軸方向とする)に移動する移動台103を備えている。移動台103上には、基板Kを載置するための載置テーブル105が設けられている。基板Kは、載置テーブル105に吸着固定されるようになっている。
載置テーブル105に対して移動台103と反対側の上方向には、所定の距離をおいて一対のガイドレール102が設けられている。ガイドレール102は1つの直線軸方向(これを本実施形態ではX軸方向とする)を呈するように設けられている。
そして、液状体吐出装置100には、この一対のガイドレール102に沿って移動するキャリッジ200が備えられている。すなわち、キャリッジ200は、その両側にキャリッジ200と一体若しくは別体でキャリッジ移動台112が設けられ、ガイドレール102の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ(いずれも図示せず)により、X軸方向に沿って移動可能に構成されている。
キャリッジ200には、その下方向側に所定の配列方向を呈するように設けられた複数のノズルと、ノズル毎に液状体を吐出する吐出機構とが形成されたヘッド20が備えられている。そして、図示しない液状体供給機構からキャリッジ200に供給された液状体は、キャリッジ200内に形成された図示しない流路を経由してヘッド20に供給され、吐出機構によって各ノズルから液滴として吐出する。
移動台103のY軸方向の移動つまり基板KのY軸方向の移動制御、キャリッジ200に設けられたキャリッジ移動台112のX軸方向の移動つまりキャリッジ200のX軸方向の移動制御、およびヘッド20に形成された吐出機構の駆動制御つまり液状体の吐出制御は、制御部10によって行われる。制御部10は、所謂コンピュータ機能を有し、所定のプログラムに基づいてこれらの処理を実行する。
ここで、ノズルについて、図2を用いて説明する。図2は、ヘッド20に設けられたノズルを示す模式図であり、図1においてキャリッジの下方向から見た状態を示したものである。なお、ここでは図面上下方向をX軸方向として図示している。
図示するように、ヘッド20には、ノズルが略直線状に複数個並んだノズル列が2列設けられ、その配列方向はX軸方向と一致している。なお、ノズル列は2列に限らず1列や3列以上設けられていてもよいし、配列方向もX軸方向に対して傾いているなど、必ずしもX軸方向と一致しなくても差し支えない。
設けられた各ノズル列において、前述したようにノズル毎に吐出機構がヘッド20内にそれぞれ形成され、この吐出機構が液状体に圧力を発生させて所定量の液状体をノズルから吐出するように構成されている。もとより、吐出機構は、総てのノズルについて同様な構造を有している。
吐出機構は、図2の吹出し部に示した構造を有し、圧電素子2を駆動体(アクチュエータ)とするものである。すなわち、圧電素子2は、その両端の電極COMとGNDとの間に所定の電圧波形が印加されると、電歪性によって収縮あるいは伸長変形し、振動板3を矢印方向に撓ませて流路途中に形成された加圧室4に存在する液状体を加圧する。この結果、加圧された液状体は、ヘッド20の底面部材8の外表面(これをノズル面と称す)に微小開口5を有するように設けられたノズルから、液滴9として吐出されるのである。なお、吐出機構は、例えば、駆動体として加熱素子を用いた所謂サーマル方式などを採用することもできる。
ところで、ノズルは、その開口5の面積が小さいため、液状体に含まれる溶媒成分の蒸発に起因する液状体粘度の上昇や、インクの固化、塵埃の付着、さらには気泡の混入などによりノズル開口に目詰まりを発生し、吐出不良を起こすという問題を抱えている。
そこで、図1に戻り、液状体吐出装置100は、ヘッド20のノズルをクリーニングするためのキャッピング装置50を備えている。キャッピング装置50は、制御部10の制御によって動作し、ホルダ52に設けられた略矩形形状の接触部51が、白抜き矢印で示したようにヘッド20に対して上昇して、ノズル列を囲みながら(図2の二点鎖線参照)ノズル面を覆う。そして、ノズル面を覆うことによって形成される内部空間を負圧にすることでノズルから液状体を吸引して、ノズルの吐出回復処理を行う装置である。そして、本実施形態におけるキャッピング装置50には、接触部51を清掃する図示しない清掃手段が構成されている。
次に、この清掃手段を含め、本実施形態におけるキャッピング装置50を、図3を用いて詳しく説明する。図3は、キャッピング装置50をX軸方向から見た状態で示した模式図である。ノズル面と接触する接触部51は弾性変形する材料で形成され、図示するように、ホルダ52の上面よりヘッド20の方向に突出するようにホルダ52に取り付けられている。そして、ホルダ52の上面側には、接触部51によって囲まれた領域内に、液状体を吸収する吸収材53が設置されている。一方、ホルダ52の下面側には吸収材53に吸収された液状体を排出する排出口55が形成されている。
排出口55には、排出される液状体の流路となるチューブ56が繋がれている。そして、吸収材53に吸収された液状体は、チューブ56の流路途中に設けられたポンプPによって生成された負圧によって、チューブ56内を流通して廃タンク59に排出される。なお、ポンプPは、チューブ56をローラーで押しつぶしながら一定方向に回転する方式やダイヤフラム方式など、周知な方式のポンプを用いることができる。
ホルダ52は、モータM1の動作によって移動する部材60によって、図中白抜き矢印で示したように上下方向に昇降し、図中二点鎖線で示したようにヘッド20の下面つまりノズル面に、接触部51が当接したり離れたりするように構成されている。モータM1は、制御部10の制御によって動作する。
ホルダ52が上昇し、接触部51がノズル面に当接して接触した状態では、ノズル面と接触する接触面51sがノズル面との間の界面を封止する。従って、接触部51によって囲まれた内部空間は封止空間となることから、ポンプPの駆動によって内部空間を確実に負圧状態にすることができ、この結果、ノズル開口の液状体を強制的に吸引排出させてノズル開口の目詰まりを解消させることができる。なお、この封止空間は、ヘッド20のノズル面に設けられた複数のノズル開口において、液状体の乾燥を抑制することも可能である。
そこで、キャッピング装置50には、封止空間を確実に形成するために、接触部51の接触面51sを清掃する清掃手段が設けられている。清掃手段は、布などの繊維材料やスポンジなどの多孔質材料を表面に有する部材で形成されたローラー75と、このローラー75を保持しつつ図面左右方向に移動する移動部材70、およびこの移動部材70を移動駆動するモータM2とを有している。ローラー75は請求項記載の清掃部材に、移動部材70とモータM2とは請求項記載の移動手段に、それぞれ相当する。
モータM2は、制御部10の制御によって動作し、移動部材70を図中白抜き矢印で示したように図面左右方向に移動する。つまり、ローラー75は、モータM2の動作のよって左右方向に移動する。このとき、移動部材70の移動に伴って、ローラー75は図中二点鎖線にて示したように、接触面51s上を所定の係合量D(D≧0)で移動するように構成されている。この結果、接触面51sは、ローラー75に払拭されてクリーニングされる。
さらに、キャッピング装置50には、ローラー75によるクリーニングを行う際、接触面51sを洗浄する洗浄液をローラー75に含浸させる含浸手段が設けられている。含浸手段は、洗浄液85を収容するとともに、収容した洗浄液85を流出するための流路管82が形成された収容容器81と、流路管82の途中に形成されたバルブV1と、から構成される。もとより、洗浄液85は、液状体吐出装置100において使用される液状体に適した液(例えば有機性溶剤)が用いられる。
バルブV1は、その開閉状態が制御部10によって制御されるバルブ(例えば、電磁バルブ)であって、ローラー75の移動開始前の状態において所定の期間「開」状態に制御され、流路管82から洗浄液85を所定量流出させてローラー75に含浸させる。なお、流路管82は、ローラー75の上方に位置し、図示しないがローラー75の長手方向に対して所定の幅に渡って洗浄液85を滴下できるように構成されている。
次に、キャッピング装置50を制御する制御部10について、図4に示したブロック図を用いて説明する。制御部10は、図4に示したように、バスラインで相互に接続されたCPU11とメモリ12、および昇降制御信号生成回路13、移動制御信号生成回路14、バルブ制御信号生成回路15、ポンプ制御信号生成回路16を有している。これらの昇降制御信号生成回路13、移動制御信号生成回路14、バルブ制御信号生成回路15、ポンプ制御信号生成回路16の各出力信号は、必要に応じて図示しないインターフェースを介し、ホルダ52を昇降するためのモータM1、ローラー75を左右に移動するためのモータM2、流路管82の途中に形成されたバルブV1、チューブ56の流路途中に設けられたポンプPに、それぞれ所定の電気信号として出力されるようになっている。
CPU11は、メモリ12に格納された処理プログラムを読み出し、昇降制御信号生成回路13、移動制御信号生成回路14、バルブ制御信号生成回路15、ポンプ制御信号生成回路16をそれぞれ制御することによってノズルのクリーニング処理を行い、キャッピング装置50の制御部として機能する。もとより、制御部10は、液状体吐出装置100の制御部として機能する場合は、図1において説明したように、基板KのY軸方向の移動制御、キャリッジ200のX軸方向の移動制御、およびノズルからの液状体の吐出制御を行う。
それでは、本実施形態のキャッピング装置50が行うクリーニング処理について、図5に示した処理フローチャートに従って説明する。この処理は、例えば、液状体吐出装置100の長時間の休止後に吐出を再開する場合や、ユーザが吐出不良を認識して吐出回復処理を命令するデータを入力した場合などにおいて、制御部10に入力されるクリーニング処理開始命令によって開始される。
この処理が開始されると、まずステップS101にて、ヘッドをクリーニング位置に移動する処理を行う。CPU11は、ガイドレール102におけるキャリッジ200の位置が、接触部51によってノズルが封止されるクリーニング位置になるように、その移動量を演算する。そして、演算した移動量に応じ、キャリッジ移動台112を駆動してキャリッジ200をX軸方向に移動する。
次に、ステップS102にて、ノズルをキャッピングする処理を行う。CPU11は、昇降制御信号生成回路13を制御してモータM1の駆動信号を生成し、生成した駆動信号をモータM1に出力することによって動作させる。モータM1の動作は、ホルダ52が上昇し、接触部51がノズル面に当接してノズルを封止状態で覆う、つまりキャッピングするまで行われる。このとき、接触部51によって囲まれた内部空間は封止空間となる。
次に、ステップS103にて、ノズルのクリーニング処理を行う。CPU11は、ポンプ制御信号生成回路16を制御して、ポンプPの駆動信号を生成し、生成した駆動信号をポンプPに出力することによって所定の時間ポンプPを動作させ、封止空間を負圧にすることによって、前述したノズルの吐出回復処理(クリーニング処理)を行う。
次に、ステップS104にて、キャッピングの解除処理を行う。CPU11は、昇降制御信号生成回路13を制御してモータM1の駆動信号を生成し、生成した駆動信号をモータM1に出力することによって動作させる。モータM1の動作は、ホルダ52が下降し、接触部51が上昇前の位置になるまで行われる。この処理において、封止空間の負圧が解除されるため、前述したように、吸収材53に付着あるいは吸収されていた液状体が、大気の動きに伴って飛散して拡散し、接触面51s上に付着するのである。
そこで、このように接触面51sに付着した液状体を取り除くために、まず次のステップS105にて、ローラーに洗浄液を含浸する処理を行う。CPU11は、バルブ制御信号生成回路15を制御して、バルブV1の開閉信号を生成し、生成した開閉信号をバルブV1に出力することによって所定の時間バルブV1を開放させ、洗浄液85をローラー75に含浸させる。
次に、ステップS106にて、ローラーを移動する処理を行う。CPU11は、移動制御信号生成回路14を制御してモータM2の駆動信号を生成し、生成した駆動信号をモータM2に出力することによって動作させ、移動部材70を矢印で示したように往復移動させる。従って、移動部材70に保持されたローラー75は、接触部51におけるノズル面との接触面51sが、洗浄液85が含浸したローラー75によって払拭清掃される。この結果、接触面51sから、付着した液状体が取り除かれる。
ここで、ステップS104の処理開始とステップS106の処理開始との間は出来るだけ短いことが好ましい。こうすることによって、接触面51sに液状体が付着してからローラー75によって払拭されるまでの時間が短くなるので、液状体の乾燥固化が進まない状態にて液状体を払拭して清掃できる。従って、液状体を接触面51sから容易に取り除くことができる確率が高くなる。
また、ステップS105の処理は、次のステップS106の処理に先んじて行われることが好ましい。ちなみに、本実施形態では、直前の処理ステップS104と並行して行われる。こうすることで、ローラー75への洗浄液85の含浸からローラー75の移動処理までの時間が短くなるので、洗浄液85の含浸からローラー75が接触面51sを払拭するまでの間における洗浄液85の蒸発量が少なく抑えられる。
次に、ステップS107にて、ヘッドを元の位置に移動する処理を行う。CPU11は、ステップS101にて移動した移動量分、キャリッジ移動台112を駆動してキャリッジ200をX軸方向に逆移動する。こうして、ヘッドは、吐出回復処理が行われた後に元の位置に戻るので、以降、吐出回復処理が確実に行われたノズルから、継続して液状体を安定吐出することができる液状体吐出装置100となる。従って、液状体が吐出しなかったり吐出量が少なかったりといった吐出不良が生じ難い信頼性の高い液状体吐出装置を提供することが可能となる。
上述したように、本実施形態のキャッピング装置50によれば、接触部51におけるノズル面との接触面51sが、洗浄液85を含浸したローラー75によって払拭される。この結果、接触面51sから、付着した液状体が取り除かれる確率が高くなる。
以上、本発明について、一実施形態を用いて説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において様々な形態で実施し得ることは勿論である。以下変形例を挙げて説明する。
(変形例)
上記実施形態では、清掃部材となるローラー75を、モータM2および移動部材70からなる移動手段で移動し、接触面51sを払拭して清掃することとしたが、特にこれに限るものでないことは勿論である。例えば、移動手段を有しない清掃部材を用いて、接触面51s上を払拭しないで清掃することとしても差し支えない。こうすれば移動手段に関する構成要素をキャッピング装置50内に形成する必要がないので、キャッピング装置の構成が容易になる。
本変形例について図6を用いて説明する。図6は、キャッピング装置50をY軸方向から見た状態で示した模式図である。図示するように、ノズル面と接触する接触部51の上方向には、接触面51sを清掃する清掃手段が形成されている。清掃手段は、多孔質性の部材からなる略平板形状を有する清掃板40がプレート41に固着されたものである。そして、プレート41の略中央部には開口部が形成され、ここに滴下された洗浄液85が清掃板40に含浸するようになっている。
この清掃手段は、ヘッド20のX軸方向における移動によって押され、X軸方向に沿って図面右から左方向に移動するように構成されている。すなわち、クリーニング処理のために接触部51の上方向に図面右側から移動してくるヘッド20によって押され、図中二点鎖線で示したように、図面左側に移動する。そして、移動後の位置において、プレート41の開口部に洗浄液85が滴下され、清掃板40に含浸する。
その後、ノズルのクリーニング処理が終了して、ヘッド20が元の位置に戻ると、ヘッド20によって押されていた清掃手段は、バネ45の作用により、X軸方向に沿って図面左から右方向に移動して元の位置に戻るように構成されている。このように、モータM2等からなる移動手段を用いることなくキャッピング装置50が構成されている。
本変形例において、図6に示したその他の構成要素(例えば、モータM1、ポンプP、バルブV1)およびその動作は、上記実施形態と同様であり、既に図3において説明しているのでここでは説明を省略し、クリーニング処理の違いについて説明する。
本変形例における処理について、図7のフローチャートを用いて説明する。なお、図7において、図5に示した処理と同じ処理については同じ符号を付している。従って、ここでは、同じ処理ステップについての説明を省略し、異なる処理ステップであるステップS105aと、ステップS108について以下説明する。
ステップS105aでは、清掃板に洗浄液を含浸する処理を行う。CPU11は、バルブ制御信号生成回路15を制御して、バルブV1の開閉信号を生成し、生成した開閉信号をバルブV1に出力することによって所定の時間バルブV1を開放させ、洗浄液85を清掃板40に含浸させる。
ステップS108では、接触面を上昇移動する処理を行う。CPU11は、昇降制御信号生成回路13を制御してモータM1の駆動信号を生成し、生成した駆動信号をモータM1に出力することによって動作させる。モータM1の動作は、ホルダ52が上昇し、接触面51sが清掃板40に当接するまで行われる。こうして、接触面51sの清掃は、接触面51sが清掃板40に上昇して押し付けられることによって行われ、クリーニング処理が終了する。
なお、ステップS105aの処理は、基本的に次のステップS107の処理に先んじて行われるものであるが、直前の処理ステップS104と並行して行われることが好ましい。こうすることで、清掃板40への洗浄液85の含浸からステップS108の処理までの時間が短くなるので、洗浄液85の含浸から清掃板40が接触面51sに当接するまでの間における洗浄液85の蒸発量が少なく抑えられる。
(その他の変形例)
上記実施形態または変形例では、含浸手段を設け、洗浄液85を清掃部材(ローラー75または清掃板40)に含浸させるようにしたが、これに限るものでないことは勿論である。例えば、清掃部材が洗浄液85を用いることなく液状体を取り除くことが出来る場合は、含浸手段が不要である。このような場合、含浸手段をキャッピング装置50に設けないこととしてもよい。こうすれば、キャッピング装置50を簡略化できる。
また、上記実施形態では、接触部51にノズル面と接触する接触面51sが予め形成されていることとして説明したが、これに限るものでないことは勿論である。接触部51が弾性を有する材料で形成されている場合、接触面51sは接触部51の材質や形状、あるいは接触部51がノズル面に当接する圧力などによって、その変形具合が異なるためにノズル面との接触面51sは変化する。従って、接触面51sは、この圧力に応じて定まる面とすることが好ましい。もとより、接触部51が弾性を有しない剛性材料で形成されている場合は、接触部51に予め接触面51sを形成することが好ましい。
本発明の一実施形態で、キャッピング装置を備えた液状体吐出装置の概略構成を示す斜視図。 ヘッドに設けられたノズルを示す模式図。 本実施形態のキャッピング装置の構成を示す模式図。 制御部の機能を説明するためのブロック図。 本実施形態のキャッピング装置が行う処理ステップを示すフローチャート。 変形例のキャッピング装置の構成を示す模式図。 変形例で、キャッピング装置が行う処理ステップを示すフローチャート。
符号の説明
10…制御部、11…CPU、12…メモリ、13…昇降制御信号生成回路、14…移動制御信号生成回路、15…バルブ制御信号生成回路、16…ポンプ制御信号生成回路、20…ヘッド、40…清掃板、41…プレート、45…バネ、50…キャッピング装置、51…接触部、51s…接触面、52…ホルダ、53…吸収材、55…排出口、56…チューブ、59…廃タンク、60…部材、70…移動部材、75…ローラー、81…収容容器、82…流路管、85…洗浄液、100…液状体吐出装置、101…ガイドレール、102…ガイドレール、103…移動台、105…載置テーブル、112…キャリッジ移動台。

Claims (5)

  1. ノズル面に形成されたノズルを覆うキャッピング装置であって、
    前記ノズル面に接触して内部空間を形成する接触面を有する接触部と、
    前記接触面を清掃部材を用いて清掃する清掃手段と、
    を備えたことを特徴とするキャッピング装置。
  2. 請求項1に記載のキャッピング装置であって、
    前記清掃手段は、
    前記清掃部材を前記接触面に当接状態で移動させる移動手段を含むことを特徴とするキャッピング装置。
  3. 請求項1または2に記載のキャッピング装置であって、
    前記清掃手段は、前記清掃部材に前記接触面を洗浄する洗浄液を含浸させる含浸手段を含むことを特徴とするキャッピング装置。
  4. 請求項1ないし3のいずれか一項に記載のキャッピング装置であって、
    ノズルの吐出回復処理の終了によって前記接触面が前記ノズル面から離れた後、直ちに前記接触面を清掃するように前記清掃手段を制御する制御部を備えたことを特徴とするキャッピング装置。
  5. 請求項1ないし4のいずれか一項に記載のキャッピング装置と、
    ノズルから液状体を吐出する吐出手段と、
    を備えた液状体吐出装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWI555581B (zh) * 2012-09-26 2016-11-01 斯克林集團公司 塗佈裝置以及液體承接清洗裝置

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