JP2009200176A - 基板支持装置、基板測定装置、熱伝導シート取り付け具及び熱伝導シート取り付け方法 - Google Patents
基板支持装置、基板測定装置、熱伝導シート取り付け具及び熱伝導シート取り付け方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】上面に常温より高い温度の基板を搭載するテーブル(100,500)と、テーブルの下面に設けられた冷却手段(112,122)と、テーブルの厚み方向に設けられた複数の孔(101,102)と、テーブルを構成する物質より熱伝導率の高い物質で構成され、複数の孔の内部に設けられて、テーブルの熱を冷却手段へ伝える複数の熱伝導手段とを備える。テーブルの厚み方向の熱伝導性が向上し、テーブルの上面付近が効果的に冷却されて、テーブルの上面付近の歪が小さくなる。
【選択図】図4
Description
10,50 基板支持装置
11 ベース
12 Xガイド
13 X移動ベース
14 Yガイド
15 Y移動ベース
16 脚部
17 リフトピン
18 昇降ベース
21 白色光源
22 集光レンズ
23 ハーフミラー
24 対物レンズ
25 収束レンズ
26 ピンホール
27 結像レンズ
28 CCDカメラ
30,40 熱伝導シート取り付け具
31,41 具台
32,42 アーム
33,43 スライドガイド
34,44 ガイド受け
35 スプリング
36,46 カム
37 カム溝
38 カムフォロア
100,500 テーブル
101 リフトピン孔
102 貫通孔
110 熱伝導シート
111,121 保護層
112,122 冷却ブロック
113 冷却水通路
120 熱伝導部材
Claims (10)
- 上面に常温より高い温度の基板を搭載するテーブルと、
前記テーブルの下面に設けられた冷却手段と、
前記テーブルの厚み方向に設けられた複数の孔と、
前記テーブルを構成する物質より熱伝導率の高い物質で構成され、前記複数の孔の内部に設けられて、前記テーブルの熱を前記冷却手段へ伝える複数の熱伝導手段とを備えたことを特徴とする基板支持装置。 - 前記複数の熱伝導手段は、薄板状の熱伝導シートであり、前記複数の孔の内壁に取り付けられたことを特徴とする請求項1に記載の基板支持装置。
- 前記熱伝導シートは、グラファイトで構成され、内面に樹脂性の保護層を有することを特徴とする請求項2に記載の基板支持装置。
- 前記複数の孔は、基板を昇降するリフトピンが通るリフトピン孔であることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の基板支持装置。
- 前記複数の孔は、基板を昇降するリフトピンが通るリフトピン孔とは別に設けられた貫通孔であり、
前記複数の熱伝導手段は、円柱状の熱伝導部材であり、前記貫通孔に埋め込まれたことを特徴とする請求項1に記載の基板支持装置。 - 前記円柱状の熱伝導部材は、グラファイトで構成され、上面に樹脂性の保護層を有することを特徴とする請求項5に記載の基板支持装置。
- 前記冷却手段は、内部に冷却水を流し、前記熱伝導手段から伝えられた熱を冷却水に伝えることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の基板支持装置。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の基板支持装置を有することを特徴とする基板測定装置。
- 上面に常温より高い温度の基板を搭載するテーブルの厚み方向に設けられた複数の孔の内壁に、テーブルを構成する物質より熱伝導率の高い物質で構成され、テーブルの熱をテーブルの下面に設けられた冷却手段へ伝える熱伝導シートを取り付ける熱伝導シート取り付け具であって、
半径がテーブルの孔の半径より小さい円柱の側面の一部を有する複数のアームと、
前記複数のアームをそれぞれ円柱の半径方向へ移動させる移動機構とを備え、
前記移動機構により前記複数のアームの間隔を狭めて、熱伝導シートを前記複数のアームの側面に装着し、前記移動機構により前記複数のアームの間隔を広げて、装着した熱伝導シートを広げることを特徴とする熱伝導シート取り付け具。 - 上面に常温より高い温度の基板を搭載するテーブルの厚み方向に設けられた複数の孔の内壁に、テーブルを構成する物質より熱伝導率の高い物質で構成され、テーブルの熱をテーブルの下面に設けられた冷却手段へ伝える熱伝導シートを取り付ける熱伝導シート取り付け方法であって、
熱伝導シートをテーブルの孔の直径より小さく丸めて請求項8に記載の熱伝導シート取り付け具の複数のアームの側面に装着し、熱伝導シートを装着した複数のアームをテーブルの孔へ挿入し、熱伝導シートを複数のアームにより広げてテーブルの孔の内壁に貼り付けることを特徴とする熱伝導シート取り付け方法。
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