JP2009196370A - 多結晶シリコンロッドの切断方法および切断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 多結晶シリコンロッドを把持して回転する手段、把持した上記ロッドを昇降動する手段、該ロッドを軸方向に移動する手段を用い、移動手段によって多結晶シリコンロッドを定位置で回転する内周刃の内側に挿入し、回転手段によってロッドを回転すると共に、昇降動手段によってロッドを回転する内周刃に押し当てて切断を開始し、ロッドの全周に切込みが入っていない部分的な切り込みの段階(断続切削段階)では昇降手段の速度を遅くして切断を行い、ロッド全周に切込みが入った段階(連続切削段階)で昇降手段の速度を早くして切断を進めることを特徴とする多結晶シリコンロッドの切断方法および切断装置。
【選択図】図1
Description
〔1〕多結晶シリコンロッドを把持して回転する手段、把持した上記ロッドを昇降動する手段、該ロッドを軸方向に移動する手段を用い、移動手段によって多結晶シリコンロッドを定位置で回転する内周刃の内側に挿入し、回転手段によってロッドを回転すると共に、昇降動手段によってロッドを回転する内周刃に押し当てて切断を開始し、ロッドの全周に切込みが入っていない部分的な切り込みの段階(断続切削段階)では昇降手段の速度を遅くして切断を行い、ロッド全周に切込みが入った段階(連続切削段階)で昇降手段の速度を早くして切断を進めることを特徴とする多結晶シリコンロッドの切断方法。
〔2〕多結晶シリコンロッドを把持して回転する手段、把持した上記ロッドを昇降動する手段、該ロッドを軸方向に移動する手段、切断されたロッド片を受け取る手段(受台)を用い、移動手段によって多結晶シリコンロッドを定位置で回転する内周刃の内側に挿入し、回転手段によってロッドを回転すると共に、昇降動手段によってロッドを回転する内周刃に押し当てて切断を開始し、ロッドの全周に切込みが入っていない部分的な切り込みの段階(断続切削段階)では昇降手段の速度を遅くして切断を行い、ロッド全周に切込みが入った段階(連続切削段階)で昇降手段の速度を早くして切断を進め、切断が進行した段階で昇降手段を一時停止し、受台を上昇させ、次いで、ロッドの回転数および昇降手段の速度を遅くして切断を進め、ロッド片を受台に支持させ、受台を原位置に下降し、ロッドを切断開始位置まで下降する上記[1]の切断方法。
〔3〕多結晶シリコンロッドの軸方向に沿って前後進するテーブル、該テーブルの前方に固定された内周刃を有し、該テーブルの上面には、多結晶シリコンロッドを把持して回転するチャックと、該ロッドを支持する昇降自在なローラが設置されており、さらにテーブル上面の昇降動手段と、また該テーブルと内周刃の間にはロッドを把持するクランプが設けられており、内周刃の前方外側には切断されたロッド片を受け取る昇降自在な受台が設けられており、ローラによってロッドを支持した状態でテーブルを移動してロッドを定位置で回転する内周刃の内側に挿入し、チャックによってロッドを回転すると共に、昇降動手段によってテーブル上面を上昇させてロッドを内周刃に押し当てて切断し、切断されたロッド片を受台で支持させ、切断終了後に昇降動手段によってテーブル上面を下降してロッドを切断開始位置に復帰させることを特徴とする多結晶シリコンロッドの切断装置。
〔4〕テーブル、チャック、クランプ、ロッドの各動作を制御する自動制御系を有し、ロッドの設置と切断を自動的に行う上記[3]に記載するロッド切断装置。
本発明の切断装置の一例を図1に示す。図示する切断装置は、多結晶シリコンロッドを把持して回転する手段、把持した上記ロッドを昇降動する手段、該ロッドを軸方向に移動する手段を有する。具体的には、多結晶シリコンロッド60の軸方向に沿って前後進するテーブル10、該テーブル10の前方に設置された内周刃20を有している。該テーブル10の上面には、多結晶シリコンロッド60を把持して回転するチャック30と、該ロッド60を支持する昇降自在なローラ40が設置されており、テーブル10と内周刃20の間に上記ロッド60を把持するクランプ50が設けられている。
Claims (4)
- 多結晶シリコンロッドを把持して回転する手段、把持した上記ロッドを昇降動する手段、該ロッドを軸方向に移動する手段を用い、移動手段によって多結晶シリコンロッドを定位置で回転する内周刃の内側に挿入し、回転手段によってロッドを回転すると共に、昇降動手段によってロッドを回転する内周刃に押し当てて切断を開始し、ロッドの全周に切込みが入っていない部分的な切り込みの段階(断続切削段階)では昇降手段の速度を遅くして切断を行い、ロッド全周に切込みが入った段階(連続切削段階)で昇降手段の速度を早くして切断を進めることを特徴とする多結晶シリコンロッドの切断方法。
- 多結晶シリコンロッドを把持して回転する手段、把持した上記ロッドを昇降動する手段、該ロッドを軸方向に移動する手段、切断されたロッド片を受け取る手段(受台)を用い、移動手段によって多結晶シリコンロッドを定位置で回転する内周刃の内側に挿入し、回転手段によってロッドを回転すると共に、昇降動手段によってロッドを回転する内周刃に押し当てて切断を開始し、ロッドの全周に切込みが入っていない部分的な切り込みの段階(断続切削段階)では昇降手段の速度を遅くして切断を行い、ロッド全周に切込みが入った段階(連続切削段階)で昇降手段の速度を早くして切断を進め、
切断が進行した段階で昇降手段を一時停止し、受台を上昇させ、次いで、ロッドの回転数および昇降手段の速度を遅くして切断を進め、ロッド片を受台に支持させ、受台を原位置に下降し、ロッドを切断開始位置まで下降する請求項1の切断方法。 - 多結晶シリコンロッドの軸方向に沿って前後進するテーブル、該テーブルの前方に固定された内周刃を有し、該テーブルの上面には、多結晶シリコンロッドを把持して回転するチャックと、該ロッドを支持する昇降自在なローラが設置されており、さらにテーブル上面の昇降動手段と、また該テーブルと内周刃の間にはロッドを把持するクランプが設けられており、内周刃の前方外側には切断されたロッド片を受け取る昇降自在な受台が設けられており、ローラによってロッドを支持した状態でテーブルを移動してロッドを定位置で回転する内周刃の内側に挿入し、チャックによってロッドを回転すると共に、昇降動手段によってテーブル上面を上昇させてロッドを内周刃に押し当てて切断し、切断されたロッド片を受台で支持させ、切断終了後に昇降動手段によってテーブル上面を下降してロッドを切断開始位置に復帰させることを特徴とする多結晶シリコンロッドの切断装置。
- テーブル、チャック、クランプ、ロッドの各動作を制御する自動制御系を有し、ロッドの設置と切断を自動的に行う請求項3に記載するロッド切断装置。
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2009
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