JP2009185857A

JP2009185857A - 動圧気体軸受の取付構造

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Publication number: JP2009185857A
Application number: JP2008024910A
Authority: JP
Inventors: Masanao Ando; 昌尚安藤; Hidefumi Saito; 英文斎藤; Koji Horikawa; 浩司堀川
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2008-02-05
Filing date: 2008-02-05
Publication date: 2009-08-20
Anticipated expiration: 2028-02-05
Also published as: JP4935702B2

Abstract

【課題】軸受部材へのフォイル部の取り付けの際に、フォイル部の位置決め及び抜け止めを図る。
【解決手段】軸２を取り付ける対象である軸受部材１と軸２に設けた回転受圧部３との間に設けられるフォイル部４とを具備してなる動圧気体軸受において、前記フォイル部４を構成するアンダーフォイル５及びアッパーフォイル６の一端部に軸受部材１に支持させるためのフィン５１、６１を設け、前記フィン５１、６１が、前記軸受部材１に向け屈曲するフィン本体５１１、６１１及びこのフィン本体５１１、６１１の突出端からさらに屈曲させて設けた係合部５１２、６１２を有する構成を採用するとともに、前記軸受部材１側に、前記フィン本体５１１、６１１を収納する溝部１ｘ１及びこの溝部１ｘ１の先端から延伸して設けてなり前記係合部５１２、６１２を収納する被係合部１ｘ２を有する係止穴１ｘを設ける。
【選択図】図4

Description

本発明は、航空機のエアサイクルマシン、ヘリウム液化装置の膨張タービン、自動車のターボチャージャ等の高速回転機械に使用される軸受に関し、特に、軸を取り付ける対象である軸受部材と軸に設けた回転受圧部との間に形成された気体膜により荷重を支持する動圧気体軸受の取付構造に関する。

高速回転機械用に使用される軸受として、軸を取り付ける対象である軸受部材と軸に設けた回転受圧部との間に形成した楔状の空間により両部材間に薄い気体膜を生じさせ、この気体膜の潤滑作用により荷重を支持する動圧気体軸受が従来知られている。

このような従来の動圧気体軸受の一例として、軸受部材に係止された可撓性を有するフォイル部を設け、このフォイル部と前記回転受圧部との間における初期楔状空間から回転受圧部とフォイルの間隙に導入された気体の圧力により、フォイルが撓んで隣接する支持突起間に複数の楔状空間を繰り返し形成するようにする構成が考えられている。このような構成に用いられるフォイル部には、軸受部材に係止された環状のアンダーフォイルと、一部にうねり部を形成してなる環状のアッパーフォイルとを設け、このアッパーフォイルのうねり部と前記回転受圧部との間における初期楔状空間を形成しているとともに、前記アンダーフォイルとアッパーフォイルとの間の空間にアッパーフォイルを支持させるべく支持台を設ける態様が従来考えられてきている。そして、このような態様において、アッパーフォイル及びアンダーフォイルは、ともに上流側において軸受部材に支持させるようにしている（特許文献１参照）。
特開２００３−１４８４６１号公報

ところで、前記アッパーフォイル及びアンダーフォイルには、上流側の端縁をＬ字状に屈曲させてフィンを設けていて、このフィンを軸受部材に設けた係合溝に係合させて取り付けるようにしている。しかし、このような取付態様では、前記アッパーフォイル又はアンダーフォイルに軸受部材から離間させる方向の作用が加えられた場合に該アッパーフォイル又はアンダーフォイルが容易に脱落する。すなわち、このようなアッパーフォイル又はアンダーフォイルの取付態様では、取り付け作業の際に外れ止めを別途行う手間がかかる不具合が存在する。

本発明は、以上に述べた課題を解決すべく構成するものである。

すなわち本発明に係る動圧気体軸受の取付構造は、軸を取り付ける対象である軸受部材と軸に設けた回転受圧部との間に設けられるフォイル部とを具備してなり、前記フォイル部を構成するフォイルの一端部に軸受部材に支持させるためのフィンを有する動圧気体軸受の取付構造であって、前記フィンが、前記軸受部材に向け屈曲するフィン本体及びこのフィン本体の突出端からさらに屈曲させて設けた係合部を有するとともに、前記軸受部材側に、前記フィン本体を収納する溝部及びこの溝部の先端から延伸して設けてなり前記係合部を収納する被係合部を有する係止穴を設けていることを特徴とする。

このようなものであれば、軸受部材へのフォイル部の取り付けの際に、フォイル部のフィンの係合部と軸受部材の係止穴の被係合部とを係合させ、フォイル部の位置決め及び抜け止めを図ることができる。

フォイル部が複数のフォイルを有し、前記係止孔に複数のフォイルを係止してなるものに特に有効な態様として、前記係止穴に複数のフォイルのフィンを同時に係止してなるものであって、係止穴の溝部の開口幅が前記複数のフォイルの前記フィン本体の厚さ寸法の合計に前記複数のフォイルのフィン本体のうち厚さ寸法が最小のものの厚さ寸法を加えたものよりも小さいものが挙げられる。このようなものであれば、前記溝部内でのフォイルのがたつきを少なくできるからである。

フォイル部の抜け止めをさらに有効に図ることができるようにするための態様として、前記係止穴の被係合部が傾斜面を有し開口幅が回転受圧部に向けて拡開する形状をなすとともに、前記フィンの係合部が、前記被係合部の傾斜面に圧接可能であるものが挙げられる。

フォイル部の溝部に沿う方向の位置決めをも有効に行わせるための態様として、前記係止穴の溝部の長手方向少なくとも一端部にストッパを設けているものが挙げられる。ここで、「前記係止穴の溝部の長手方向」とは、該溝部が延伸する方向を示す概念である。

前記フォイル部が複数のフォイル部を有する場合にフォイル部の振動を有効に防止するための構成の一つとして、前記フォイル部が、軸の回転の際に気体膜を形成すべく前記回転受圧部との間にクサビ状空間を含む気体膜を形成するアッパーフォイルと、このアッパーフォイルと前記軸受部材との間に配してなり前記アッパーフォイルを前記回転受圧部側に弾性付勢するアンダーフォイルとを具備するものであって、前記アンダーフォイルの上流側端縁とアッパーフォイルの下流側端縁とを同一の係止孔に係止させてなるものが挙げられる。

また、前記フォイル部が複数のフォイル部を有する場合にフォイル部の振動を有効に防止するための構成の他の一つとして、前記フォイル部が、軸の回転の際に気体膜を形成すべく前記回転受圧部との間にクサビ状空間を含む気体膜を形成するアッパーフォイルと、このアッパーフォイルと前記軸受部材との間に配してなり前記アッパーフォイルを前記回転受圧部側に弾性付勢する第１のアンダーフォイルと、この第１のアンダーフォイルと前記アッパーフォイルとの間に配してなる第２のアンダーフォイルとを具備するものであって、前記アッパーフォイル及び前記第１のアンダーフォイルの上流側端縁と前記第２のアンダーフォイルの下流側端縁とを同一の係止穴に係止させてなるものも挙げられる。

これらのようなものであれば、厚み方向に隣接するフォイルがそれぞれ逆方向に摺動するので、フォイル間の摩擦によりダンピング効果を発生させることができるからである。

本発明に係る動圧気体軸受の構造によれば、フォイルの一端部に軸受部材に支持させるためのフィンを有し、このフィンが、前記軸受部材に向け屈曲するフィン本体及びこのフィン本体の突出端からさらに屈曲させて設けた係合部を有するとともに、フォイルを取り付ける対象の軸受部材側に、前記フィン本体を収納する溝部と、前記溝部の先端から延伸して設けてなり前記係合部を収納する被係合部とを有する係止穴を設けているので、軸受部材へのフォイル部の取り付けの際に、フォイル部のフィンの係合部と軸受部材の係止穴の被係合部とを係合させ、フォイル部の位置決め及び抜け止めを図ることができる。

以下、本発明の第一実施形態を、図面を参照して説明する。

本実施形態に係る軸受は、図１に概略正面図を示すようなスラスト軸受であり、軸２を取り付ける対象である軸受部材１と軸２に設けた回転受圧部３との間に設けられたフォイル部４と、このフォイル部４と前記回転受圧部３との間にクサビ状空間を含む気体膜Ｓとを具備してなる。

前記フォイル部４は、前記図１に示すように、前記軸受部材１に略全体が添接可能であるとともに前記軸受部材１に対して弾性突没可能な複数の突条５２を有し前記軸受部材１側に配してなるアンダーフォイル５と、このアンダーフォイル５に添接させてなり前記回転受圧部３との間に前記クサビ状空間を含む気体膜Ｓを形成するアッパーフォイル６とを具備する。ここで、図２に軸受部材１の平面図、図３にこの軸受付近の縦断面図、図４にこのフォイル部４の正面図をそれぞれ示している。また、前記図１及び図４ではアンダーフォイル５及びアッパーフォイル６は形状の理解を容易にするため、一定の厚さで示されているが、実際には、例えば０．１〜０．２ｍｍであり、かつ軸１を巻回する環状に形成されている。

前記アッパーフォイル６及び前記アンダーフォイル５は、本実施形態では４枚ずつ対をなして設けていて、対をなすアッパーフォイル６及びアンダーフォイル５をそれぞれ重合させた状態に配している。

しかして、前記アッパーフォイル６及び前記アンダーフォイル５は、いずれも一端縁にフィン６１、５１を有するとともに、軸受部材１側には、このフィンと係合してこれらアッパーフォイル６及びアンダーフォイル５を係止可能な係止穴１ｘを設けている。

さらに詳述すると、前記アッパーフォイル６は、軸２の回転に伴い発生する気体膜Ｓのガス流れの上流側端縁に前記フィン６１を設けてなる。このフィン６１は、前記軸受部材１に向け屈曲するフィン本体６１１と、このフィン本体６１１の突出端からこのアッパーフォイル６の面板部すなわちフィン６１以外の部分に平行にさらに屈曲させて設けた係合部６１２とを有する。

一方、前記アンダーフォイル５は、下流側端縁に前記フィン５１を設けてなる。このフィン５１も、前記フィン６１と同様に前記軸受部材１に向け屈曲するフィン本体５１１と、このフィン本体５１１の突出端からさらに屈曲させて延伸する係合部５１２とを有する。

そして、前記係止穴１ｘは、いずれか１つのアッパーフォイル６のフィン６１及び該アッパーフォイル６の上流側に隣接するアンダーフォイル５のフィン５１と同時に係合する。この係止穴１ｘは、前記フィン本体５１１、６１１を収納する溝部１ｘ１と、前記溝部１ｘ１の先端から延伸して設けてなり前記係合部５１２、６１２と係合する被係合部１ｘ２とを有する。なお、前記溝部１ｘ１の幅寸法は、前記アッパーフォイル５の厚み寸法と前記アンダーフォイル６の厚み寸法との合計よりは大きく、この合計と前記アッパーフォイル６の厚み寸法との和よりは小さい。また、この係止穴１ｘの溝部１ｘ１の内周側端部には、ストッパ７を設けている。このストッパ７は、係止穴１ｘを貫通するとともに、上部においてアッパーフォイル５及びアンダーフォイル６と当接し、これらアッパーフォイル５及びアンダーフォイル６がこのストッパ７を越えて内周側に移動することを規制している。

ここで、軸２及び回転受圧部３が回転すると、回転受圧部３とフォイル部４との隙間の空気が空気の粘性により引張られ、回転受圧部３とフォイル部４との隙間が次第に挟まっている気体膜Ｓの前記クサビ状空間の領域で圧力が上昇する。この圧力上昇によって、まず、アッパーフォイル６が軸受部材１側に向かう作用を受ける。この際、アッパーフォイル６はアンダーフォイル５の突条５２に圧接し、前記アンダーフォイル５が下方に向かう作用を受ける。この作用を受けて、前記突条５２が弾性変形してアンダーフォイル５の表面形状が変化する。一方、前記アッパーフォイル６は、この突条５２から上方に向かう弾性力を受ける。この弾性力は、例えば、前記クサビ状空間の入口部分すなわち気体膜Ｓの上流側では小さく、周方向中間部以降、すなわち気体膜Ｓの下流側では前記入口部分における弾性力よりも大きな所定の大きさである。そして、アッパーフォイル６が前記突条５２からこのような弾性力を受けることにより、クサビ状空間を含む気体膜Ｓの形状が、例えば、入口部分から下流側に進むにつれ幅が小さくなるなど、適切な形状に維持され、前記突条５２の上方部分において空気の圧力上昇が生じる。この圧力上昇により軸受は回転受圧部３を非接触で支えることになる。

以上に述べたように、本実施形態に係る軸受の取付構造によれば、アンダーフォイル５の下流側端縁に設けたフィン５１、及びアッパーフォイル６の上流側端縁に設けたフィン６１が、前記軸受部材１に向け屈曲するフィン本体５１１、６１１、及びこのフィン本体５１１、６１１の突出端からさらに屈曲させて設けた係合部５１２、６１２をそれぞれ有するとともに、前記軸受部材１側に、前記フィン本体５１１、６１１を収納する溝部１ｘ１と、前記溝部１ｘ１の先端から延伸して設けてなり前記係合部５１２、６１２を収納する被係合部１ｘ２とを有する係止穴１ｘを設けているので、軸受部材１へのフォイル部４の取り付けの際に、フォイル部４の各フォイル５、６のフィン５１、６１と軸受部材１の係止孔１ｘとを係合させ、フォイル部４の位置決め及び各フォイル５、６抜け止めを有効に図ることができる。

また、係止穴１ｘの溝部１ｘ１の開口幅を、前記アッパーフォイル６及びアンダーフォイル５の前記フィン本体５１１、６１１の厚さ寸法の合計に前記アッパーフォイル６の厚さ寸法を加えたものよりも小さくしているので、前記溝部１ｘ１内での各フォイル５、６のがたつきを少なくできる。

さらに、前記係止孔１ｘの溝部の内周側端部にストッパ７を設けているので、アッパーフォイル６及びアンダーフォイル５の内周側への脱落を防止でき、溝部１ｘ１に沿う方向の位置決めをも有効に行わせることができる。

そして、各アッパーフォイル６の上流側端縁のフィン６１と各アッパーフォイル６の上流側に隣接するアンダーフォイル５の下流側端縁のフィン５１とを同一の係止孔１ｘに係止させているので、厚み方向に隣接するアッパーフォイル６及びアンダーフォイル５がそれぞれ逆方向に摺動し、これらの間の摩擦によりダンピング効果を発生させることができる。従って、ダンピング効果によりフォイル部４の振動を有効に防止することができる。

なお、スラスト軸受において、フォイル部４に異なる構成を採用してもよい。例えば、図５に示すように、前記アンダーフォイル５を省略し、前記アッパーフォイルと同様の構成を有する、すなわち上流側端縁にフィン４１を有する１枚のフォイル４のみを係止穴１ｘに係合させ、前記フィン４１に軸受部材１に向け屈曲するフィン本体４１１及びこのフィン本体４１１の先端からさらに屈曲させて設けた係合部４１２を設ける態様を採用してもよい。

また、図６に示すように、フォイル部４に、軸受部材１に添接可能な第１のアンダーフォイル５０１と、回転受圧部３に対向しこの回転受圧部３との間に気体膜を形成するアッパーフォイル６と、これら第１のアンダーフォイル５０１及びアッパーフォイル６の間に設けてなる第２のアンダーフォイル５０２とを具備する構成を採用するとともに、第１のアンダーフォイル５０１の上流側端縁、第２のアンダーフォイル５０２の下流側端縁、及びアッパーフォイル６の上流側端縁にそれぞれフィン５０１１、５０２１、６１を設け、これらのフィンを同一の係止穴１ｘに係合させる態様を採用してもよい。ここで、前記フィン５０１１、５０２１、６１は、いずれも、軸受部材１に向け屈曲するフィン本体及びこのフィン本体の先端からさらに屈曲させて設けた係合部を有する。

さらに、図７に示すように、１枚のアッパーフォイル６が周方向に互いに隣接する複数のアンダーフォイル５に跨り当接する態様を採用してもよい。

また、本発明の第二実施形態を、図面を参照して説明する。

本実施形態に係る軸受は、図８に概略正面図を示すようなジャーナル軸受であり、軸Ａ２を取り付ける対象である軸受部材Ａ１と軸Ａ２の表面との間に設けられたフォイル部Ａ４と、このフォイル部Ａ４と前記軸Ａ２との間にクサビ状空間を含む気体膜ＳＳとを具備してなる。なお、本実施形態では、軸Ａ２の軸受部材Ａ１に対向する表面が回転受圧部である。

前記フォイル部Ａ４は、前記図８に示すように、前記軸受部材Ａ１に略全体が添接可能であるとともに前記軸受部材Ａ１に対して弾性突没可能な複数の突条Ａ５２を有し前記軸受部材Ａ１側に配してなるアンダーフォイルＡ５と、このアンダーフォイルＡ５に添接させてなり前記軸Ａ３との間に前記クサビ状空間を含む気体膜ＳＳを形成するアッパーフォイルＡ６とを具備する。ここで、前記図８では、アンダーフォイルＡ５及びアッパーフォイルＡ６は形状の理解を容易にするため一定の厚さで示されているが、実際には、例えば０．１〜０．２ｍｍの板状である。

前記アッパーフォイルＡ６及び前記アンダーフォイルＡ５は、本実施形態では複数枚ずつ対をなして設けていて、対をなすアッパーフォイルＡ６及びアンダーフォイルＡ５をそれぞれ重合させた状態に配している。

しかして、前記アッパーフォイルＡ６及び前記アンダーフォイルＡ５は、いずれも一端縁にフィンＡ６１、Ａ５１を有するとともに、軸受部材Ａ１側には、この支持部と係合してこれらアッパーフォイルＡ６及びアンダーフォイルＡ５を係止可能な係止孔Ａ１ｘを設けている。

さらに詳述すると、前記アッパーフォイルＡ６は、上流側端縁に前記フィンＡ６１を設けてなる。このフィンＡ６１は、前記軸受部材Ａ１に向け屈曲するフィン本体Ａ６１１と、このフィン本体Ａ６１１の突出端からさらに屈曲させて設けた係合部Ａ６１２とを有する。

一方、前記アンダーフォイルＡ５は、下流側端縁に前記フィンＡ５１を設けてなる。このフィンＡ５１も、前記軸受部材Ａ１に向け屈曲するフィン本体Ａ５１１と、このフィン本体Ａ５１１の突出端からさらに屈曲させて延伸する係合部Ａ５１２とを有する。

そして、前記係止穴Ａ１ｘは、いずれか１つのアッパーフォイルＡ６のフィンＡ６１及び該アッパーフォイルＡ６の上流側に隣接するアンダーフォイルＡ５のフィンＡ５１と同時に係合する。この係止穴Ａ１ｘは、前記フィン本体Ａ５１１、Ａ６１１を収納する溝部Ａ１ｘ１と、前記溝部Ａ１ｘ１の先端から延伸して設けてなり前記係合部Ａ５１２、Ａ６１２と係合する被係合部Ａ１ｘ２とを有する。なお、前記溝部Ａ１ｘ１の幅寸法は、前記アッパーフォイルＡ５の厚み寸法と前記アンダーフォイルＡ６の厚み寸法との合計よりは大きく、この合計と前記アッパーフォイルＡ６の厚み寸法との和よりは小さい。

ここで、軸Ａ２が回転すると、軸Ａ２とフォイル部Ａ４との隙間の空気が空気の粘性により引張られ、軸Ａ２とフォイル部Ａ４との隙間が次第に挟まっている気体膜ＳＳの前記クサビ状空間の領域で圧力が上昇する。この圧力上昇によって、まず、アッパーフォイルＡ６が軸受部材Ａ１側に向かう作用を受ける。この際、アッパーフォイルＡ６はアンダーフォイルＡ５の突条Ａ５２に圧接し、前記アンダーフォイルＡ５が軸受部材Ａ１側に向かう作用を受ける。この作用を受けて、前記突条Ａ５２が弾性変形してアンダーフォイルＡ５の表面形状が変化する。一方、前記アッパーフォイルＡ６は、この突条Ａ５２から回転受圧部Ａ３側に向かう弾性力を受ける。この弾性力は、例えば、前記クサビ状空間の入口部分すなわち気体膜ＳＳの上流側では小さく、周方向中間部以降、すなわち気体膜ＳＳの下流側では前記入口部分における弾性力よりも大きな所定の大きさである。そして、アッパーフォイルＡ６が前記突条Ａ５２からこのような弾性力を受けることにより、クサビ状空間を含む気体膜ＳＳの形状が、例えば、入口部分から下流側に進むにつれ幅が小さくなるなど、適切な形状に維持され、前記突条Ａ５２の軸Ａ２側において空気の圧力上昇が生じる。この圧力上昇により軸受は軸Ａ２を非接触で支えることになる。

以上に述べたような本実施形態に係る軸受の構成によっても、第一実施形態に係る軸受の構成によるものと同様の効果が得られる。すなわち、アンダーフォイルＡ５の下流側端縁に設けたフィンＡ５１、及びアッパーフォイルＡ６の上流側端縁に設けたフィンＡ６１が、前記軸受部材Ａ１に向け屈曲するフィン本体Ａ５１１、Ａ６１１、及びこのフィン本体Ａ５１１、Ａ６１１の突出端から各フォイルＡ５、Ａ６の面板部に平行に屈曲させて設けた係合部Ａ５１２、Ａ６１２をそれぞれ有するとともに、前記軸受部材Ａ１側に、前記フィン本体Ａ５１１、Ａ６１１を収納する溝部Ａ１ｘ１と、前記溝部Ａ１ｘ１の先端から延伸して設けてなり前記係合部Ａ５１２、Ａ６１２を収納する被係合部Ａ１ｘ２とを有する係止穴Ａ１ｘを設けているので、軸受部材Ａ１へのフォイル部Ａ４の取り付けの際に、フォイル部Ａ４の各フォイルＡ５、Ａ６のフィンＡ５１、Ａ６１と軸受部材１の係止孔Ａ１ｘとを係合させ、フォイル部Ａ４の位置決め及び各フォイルＡ５、Ａ６の抜け止めを有効に図ることができる。

また、係止穴Ａ１ｘの溝部Ａ１ｘ１の開口幅を、前記アッパーフォイルＡ６及びアンダーフォイルＡ５の前記フィン本体Ａ５１１、Ａ６１１の厚さ寸法の合計に前記アッパーフォイルＡ６の厚さ寸法を加えたものよりも小さくしているので、前記溝部Ａ１ｘ１内での各フォイルＡ５、Ａ６のがたつきを少なくできる。

そして、各アッパーフォイルＡ６の上流側端縁のフィンＡ６１と各アッパーフォイルＡ６の上流側に隣接するアンダーフォイルＡ５の下流側端縁のフィンＡ５１とを同一の係止孔Ａ１ｘに係止させているので、厚み方向に隣接するアッパーフォイルＡ６及びアンダーフォイルＡ５がそれぞれ逆方向に摺動し、これらの間の摩擦によりダンピング効果を発生させることができる。従って、ダンピング効果によりフォイル部Ａ４の振動を有効に防止することができる。

さらに、第１実施例でのストッパ７と同様に、溝部A1Xの端部にストッパ（図示せず）を備えることで長手方向への位置決めをおこない、また脱落を防止することができる。

なお、ジャーナル軸受においても、フォイル部Ａ４に異なる構成を採用してもよい。例えば、図９に示すように、前記アンダーフォイルＡ５を省略し、前記アッパーフォイルと同様の構成を有する、すなわち上流側端縁にフィンＡ４１を有する１枚のフォイルＡ４のみを係止穴Ａ１ｘに係合させ、前記フィンＡ４１に軸受部材Ａ１に向け屈曲するフィン本体Ａ４１１及びこのフィン本体Ａ４１１の先端からさらに屈曲させて設けた係合部Ａ４１２を設ける態様を採用してもよい。

さらに、図１０に示すように、１枚のアッパーフォイルＡ６が周方向に互いに隣接する複数のアンダーフォイルＡ５に跨り当接する態様を採用してもよい。

また、図１１に示すように、フォイル部Ａ４に、軸受部材Ａ１に添接可能な第１のアンダーフォイルＡ５０１と、軸Ａ２に対向しこの軸Ａ２との間に気体膜を形成するアッパーフォイルＡ６と、これら第１のアンダーフォイルＡ５０１及びアッパーフォイルＡ６の間に設けてなる第２のアンダーフォイルＡ５０２とを具備する構成を採用するとともに、第１のアンダーフォイルＡ５０１の上流側端縁、第２のアンダーフォイルＡ５０２の下流側端縁、及びアッパーフォイルＡ６の上流側端縁にそれぞれフィンＡ５０１１、Ａ５０２１、Ａ６１を設け、これらのフィンを同一の係止穴Ａ１ｘに係合させる態様を採用してもよい。ここで、前記フィンＡ５０１１、Ａ５０２１、Ａ６１は、いずれも、軸受部材Ａ１に向け屈曲するフィン本体及びこのフィン本体の先端からさらに屈曲させて設けた係合部を有する。

そして、本発明は以上に述べたような実施の態様に限られない。

例えば、図１２に示すように、フォイルＢ４の一端縁に、軸受部材Ｂ１に向け屈曲するフィン本体Ｂ４１１及びこのフィン本体Ｂ４１１の先端からさらに屈曲させて設けた係合部Ｂ４１２を有するフィンＢ４１を設けるとともに、軸受部材Ｂ１に、フィン本体Ｂ４１１を収納する溝部Ｂ１ｘ１及び傾斜面Ｂ１ｘ３を有し開口幅が回転受圧部に向けて拡開する形状の被係合部Ｂ１ｘ２を有する係止穴Ｂ１ｘを設け、前記フィンＢ４１の係合部Ｂ４１２が、前記被係合部Ｂ１ｘ２の傾斜面Ｂ１ｘ３に圧接可能な構成を採用してもよい。このようなものであれば、前記フィンＢ４１の係合部Ｂ４１２が、前記被係合部Ｂ１ｘ２の傾斜面Ｂ１ｘ３に圧接することにより、より確実にフォイルＢ４の軸受部材Ｂ１からの抜け止めを図ることができる。

その他、本発明の趣旨を損ねない範囲で種々に変更してよい。

本発明の第一実施形態に係る動圧気体軸受を示す概略図。同実施形態に係る軸受部材を示す概略図。同実施形態に係る動圧気体軸受の中央縦断面図。同実施形態に係る動圧気体軸受の要部を示す図。本発明の他の実施態様に係る動圧気体軸受の要部を示す図。本発明の他の実施態様に係る動圧気体軸受の要部を示す図。本発明の他の実施態様に係る動圧気体軸受の要部を示す図。本発明の第二実施形態に係る動圧気体軸受を示す概略図。本発明の他の実施態様に係る動圧気体軸受の要部を示す図。本発明の他の実施態様に係る動圧気体軸受の要部を示す図。本発明の他の実施態様に係る動圧気体軸受の要部を示す図。本発明の他の実施態様に係る動圧気体軸受の要部を示す図。

符号の説明

１、Ａ１…軸受部材
１ｘ、Ａ１ｘ…係止穴
２、Ａ２…軸
３…回転受圧部
４、Ａ４…フォイル部
５、Ａ５…アンダーフォイル
６、Ａ６…アッパーフォイル
５１、６１、Ａ５１、Ａ６１…フィン
５１１、６１１、Ａ５１１、Ａ６１１…フィン本体
５１２、６１２、Ａ５１２、Ａ６１２…係合部

Claims

軸を取り付ける対象である軸受部材と軸に設けた回転受圧部との間に設けられるフォイル部とを具備してなり、前記フォイル部を構成するフォイルの一端部に軸受部材に支持させるためのフィンを有する動圧気体軸受の取付構造であって、前記フィンが、前記軸受部材に向け屈曲するフィン本体及びこのフィン本体の突出端からさらに屈曲させて設けた係合部を有するとともに、前記軸受部材側に、前記フィン本体を収納する溝部及びこの溝部の先端から延伸して設けてなり前記係合部を収納する被係合部を有する係止穴を設けていることを特徴とする動圧気体軸受の取付構造。
前記係止穴に複数のフォイルのフィンを同時に係止してなるものであって、係止穴の溝部の開口幅が前記複数のフォイルの前記フィン本体の厚さ寸法の合計に前記複数のフォイルのフィン本体のうち厚さ寸法が最小のものの厚さ寸法を加えたものよりも小さいことを特徴とする請求項１記載の動圧気体軸受の取付構造。
前記係止穴の被係合部が傾斜面を有し開口幅が回転受圧部に向けて拡開する形状をなすとともに、前記フィンの係合部が、前記被係合部の傾斜面に圧接可能であることを特徴とする請求項１又は２記載の動圧気体軸受の取付構造。
前記係止穴の溝部の長手方向少なくとも一端部にストッパを設けていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の動圧気体軸受の取付構造。
前記フォイル部が、軸の回転の際に気体膜を形成すべく前記回転受圧部との間にクサビ状空間を含む気体膜を形成するアッパーフォイルと、このアッパーフォイルと前記軸受部材との間に配してなり前記アッパーフォイルを前記回転受圧部側に弾性付勢するアンダーフォイルとを具備するものであって、前記アンダーフォイルの上流側端縁とアッパーフォイルの下流側端縁とを同一の係止孔に係止させてなることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の動圧気体軸受の取付構造。
前記フォイル部が、軸の回転の際に気体膜を形成すべく前記回転受圧部との間にクサビ状空間を含む気体膜を形成するアッパーフォイルと、このアッパーフォイルと前記軸受部材との間に配してなり前記アッパーフォイルを前記回転受圧部側に弾性付勢する第１のアンダーフォイルと、この第１のアンダーフォイルと前記アッパーフォイルとの間に配してなる第２のアンダーフォイルとを具備するものであって、前記アッパーフォイル及び前記第１のアンダーフォイルの上流側端縁と前記第２のアンダーフォイルの下流側端縁とを同一の係止穴に係止させてなることを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の動圧気体軸受の取付構造。