JP2009184838A - Iii族窒化物系化合物半導体基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】サファイア基板10にTiNから成る高融点金属窒化物層20を形成し(1.A)、MOCVD法により、400℃で厚さ70nmのAlNから成るバッファ層30を形成し(1.B)、1150℃で厚さ10μmのGaNから成る第1の半導体層40を形成し(1.C)、HVPE法により厚さ300μmのGaNから成る第2の半導体層50を形成した(1.D)。冷却し、濃硝酸と過酸化水素水の混合物であるエッチング液Eに浸漬した(1.E)。TiNから成る高融点金属窒化物層20は、チタンイオンと窒素分子に分解し、AlNから成るバッファ層30、GaNから成る第1の半導体層40及びGaNから成る第2の半導体層50から成る積層体100からサファイア基板10が剥離した(1.F)。こうして、III族窒化物系化合物半導体基板100を得た(1.G)。
【選択図】図1
Description
尚、本願においてIII族窒化物系化合物半導体とは、AlxGayIn1-x-yN(x、y、x+yはいずれも0以上1以下)で示される半導体、及び、n型化/p型化等のために任意の元素を添加したものを含む。更には、III族元素及びV族元素の組成の一部を、B、Tl;P、As、Sb、Biで置換したものをも含むものとする。
しかし、レーザリフトオフ装置自体が高価であり、また、工程が多段であって生産性に乏しい。例えばウエハ一枚ずつのレーザ照射が必要であり、多数のウエハを一度に処理するバッチ処理ができない。また、得るべき厚膜のIII族窒化物系化合物半導体基板に少なからずダメージを与えてしまう。
高融点金属窒化物層の上に、III族窒化物系化合物半導体から成り、厚さ10nm以上1μm以下のバッファ層を形成するバッファ層形成工程と、
バッファ層の上に、バッファ層と組成が同一又は異なるIII族窒化物系化合物半導体から成る半導体層を形成するエピタキシャル成長工程と、
エピタキシャル成長工程後に得られる、異種基板と高融点金属窒化物層とバッファ層と半導体層とを有するウエハを、少なくとも硝酸と、硝酸とは異なる酸化剤とを含む溶液にて、高融点金属窒化物層を分解し、異種基板と、バッファ層及び半導体層から成る積層体とを分離する分離工程とを有することを特徴とする。
ここにおいて高融点金属とは、単体の金属としての融点が2000度以上のものを言う。また、硝酸とは異なる酸化剤には、下記で示す通り、反応条件によっては還元剤となりうる化合物を含むものとする。
請求項2に係る発明は、高融点金属窒化物は、窒化チタン、窒化ジルコニウム又は窒化ニオブであることを特徴とする。
請求項3に係る発明は、硝酸とは異なる酸化剤は、過酸化水素であることを特徴とする。
請求項5に係る発明は、バッファ層は窒化アルミニウムから成ることを特徴とする。
請求項6に係る発明は、バッファ層形成工程を、異種基板の温度を600℃以下として有機金属気相成長法により行うことを特徴とする。ここで有機金属気相成長法とは、III族窒化物系化合物半導体をエピタキシャル成長させる際にIII族元素の有機化合物をウエハ等の成長面に原料として供給するものである。
ここで、ハライド気相成長法とはIII族窒化物系化合物半導体をエピタキシャル成長させる際にIII族元素のハロゲン化物をウエハ等の成長面に原料として供給するものである。
請求項8に係る発明は、第1の半導体層と第2の半導体層とは、不純物を除いて組成が一致することを特徴とする。
請求項9に係る発明は、第1の半導体層と第2の半導体層は窒化ガリウムから成ることを特徴とする。
この後、エッチャントを改良したところ、過酸化水素その他の酸化剤を硝酸と共存させることで、高融点金属窒化物が極めて効率的に分解されることを見出した。これにより、間隔300μmの格子状のハーフダイシングの溝を形成しないで、例えば面積1cm2乃至数十cm2のウエハを、そのまま処理することが可能であることを見出した。
このように、本発明によれば、異種基板上に形成した厚膜のIII族窒化物系化合物半導体層を、小面積に分割しないまま、ウエットエッチングにより異種基板と分離して、独立した(自立した)III族窒化物系化合物半導体基板とすることができる。
高融点金属窒化物として、特に窒化チタン、窒化ジルコニウム又は窒化ニオブは形成が容易であり、硝酸と過酸化水素の混合水溶液により極めて容易に分解され、水溶液中に溶解される。
高融点金属窒化物層の厚さは、最低でも5nm必要である。ウエットエッチングの速度を十分に速くするためには20nm以上とすべきである。一方コスト面からは10μm以下とすべきである。上層のGaN等の結晶性のを良くする観点からはより薄い方が好ましい。高融点金属窒化物層の厚さは、5nm以上10μm以下、好ましくは20nm以上2μm以下、より好ましくは30nm以上500nm以下である。
高融点金属窒化物の生成後、例えば有機金属気相成長装置内部で、アンモニアの存在下、窒化処理を行うと良い。この際、異種基板の温度を1050±150℃として、窒化不良部分を完全排除すると良い。
半導体層の厚さ、或いは請求項7乃至9における第2の半導体層の厚さは、最終的に得たい独立した(自立した)基板の厚さである。10μm未満であると、極めて脆弱であって、全く取り扱えない可能性が高い。一方1cmを越えても、III族窒化物系化合物半導体が極めて硬いことからスライシングを想定できないので、厚さに見合った用途が想定できず、コスト面から好ましくない。第2の半導体層の厚さは10μm以上1cm以下が好ましく、より好ましくは100μm以上5mm以下、更に好ましくは200μm以上2mm以下である。
請求項7乃至9に係る発明において、第1の半導体層の厚さは、1μm未満であると、十分に結晶性の良い単結晶層とならない可能性が高い。一方50μmを越えても、コスト面から好ましくない。第1の半導体層の厚さは1μm以上50μm以下が好ましく、より好ましくは2μm以上30μm以下、更に好ましくは3μm以上20μm以下である。
A面を主面とし、厚さ350μm、直径15mmのサファイア基板10を用意した。
尚、本発明はC面を主面とするサファイア基板を用いても同様に実施可能である。
スパッタリング装置にサファイア基板10を装着し、窒化チタンを反応性スパッタリングで成膜してサファイア基板10の表面に高融点金属窒化物層20を形成した。成膜条件は次の通りとした。
雰囲気は、窒素とアルゴンの1:4の混合で圧力は3.5×10-3Torr。高周波出力は300W、室温で100nmの成膜を行った(図1.A)。
まず、H2とNH3の分圧比を5:3とした混合ガスを流し、サファイア基板10の温度を1050℃として、常圧(加圧も減圧もしない)下、17分処理し、高融点金属窒化物層20の窒化を完全とした。
次に、トリメチルアルミニウムとアンモニアを供給して、MOCVD法により厚さ70nmのAlNから成るバッファ層30を形成した。この際、サファイア基板10の温度は400℃とした(図1.B)。
次に、トリメチルガリウムとアンモニアを供給して、MOCVD法により厚さ10μmのGaNから成る第1の半導体層40を形成した。この際、サファイア基板10の温度は1150℃とした(図1.C)。
過酸化水素は、自身の還元反応における標準電極電位が、1.77Vと、硝酸イオンの亜硝酸分子への還元反応における標準電極電位の0.94Vよりも大きいことから、窒化チタンの酸化反応においては、過酸化水素により酸化される(過酸化水素自体は還元される)反応が主体となる。
但し、当該反応は、図1.Eにおいて、サファイア基板10とAlNから成るバッファ層30との間の100nmの間隙に、新鮮なエッチング液Eが順次供給されることで進むので、反応当初は気泡も激しく生じたが、3日後以降は気泡はわずかに生じるのみとなった。
こうして、ほぼ3日ごとにエッチング液Eを交換して窒化チタンから成る高融点金属窒化物層20の分解を継続し、13日後にAlNから成るバッファ層30、GaNから成る第1の半導体層40及びGaNから成る第2の半導体層50から成る積層体(III族窒化物系化合物半導体基板)100からサファイア基板10が完全に剥離した(図1.F、図1.G)。この際、透明なサファイア基板10及び積層体100に対し、窒化チタンから成る高融点金属窒化物層20が金色であり、容易に視認できることから、当該金色に視認できる窒化チタンが完全に消失することを確認して分解反応の終了とした。
こうして、AlNから成るバッファ層30、GaNから成る第1の半導体層40及びGaNから成る第2の半導体層50から成る積層体(III族窒化物系化合物半導体基板)100を得た(図1.G)。
10:異種基板
20:高融点金属窒化物層
30:バッファ層
40:第1の半導体層
50:第2の半導体層
Claims (10)
- III族窒化物系化合物半導体基板の製造方法において、
異種基板表面に高融点金属窒化物層を形成する金属窒化物形成工程と、
前記高融点金属窒化物層の上に、III族窒化物系化合物半導体から成り、厚さ10nm以上1μm以下のバッファ層を形成するバッファ層形成工程と、
前記バッファ層の上に、前記バッファ層と組成が同一又は異なるIII族窒化物系化合物半導体から成る半導体層を形成するエピタキシャル成長工程と、
前記エピタキシャル成長工程後に得られる、前記異種基板と前記高融点金属窒化物層と前記バッファ層と前記半導体層とを有するウエハを、少なくとも硝酸と、硝酸とは異なる酸化剤とを含む溶液にて、前記高融点金属窒化物層を分解し、前記異種基板と、前記バッファ層及び前記半導体層から成る積層体とを分離する分離工程と
を有することを特徴とするIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。 - 前記高融点金属窒化物は、窒化チタン、窒化ジルコニウム又は窒化ニオブであることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- 硝酸とは異なる前記酸化剤は、過酸化水素であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- 前記バッファ層の組成式は、AlxGa1-xN(0≦x≦1)であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- 前記バッファ層は窒化アルミニウムから成ることを特徴とする請求項4に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- 前記バッファ層形成工程を、異種基板の温度を600℃以下として有機金属気相成長法により行うことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- 前記エピタキシャル成長工程は、
前記バッファ層の上に、前記バッファ層と組成が同一又は異なるIII族窒化物系化合物半導体から成り、厚さ1μm以上50μm以下の第1の半導体層を有機金属気相成長法により形成する第1エピタキシャル成長工程と、
前記第1の半導体層の上に、前記第1の半導体層と組成が同一又は異なるIII族窒化物系化合物半導体から成り、厚さ10μm以上1cm以下の第2の半導体層をハライド気相成長法により形成する第2エピタキシャル成長工程とから成ることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。 - 前記第1の半導体層と前記第2の半導体層とは、不純物を除いて組成が一致することを特徴とする請求項7に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- 前記第1の半導体層と前記第2の半導体層は窒化ガリウムから成ることを特徴とする請求項8に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
- 前記分離工程の後に、前記積層体から少なくとも前記バッファ層を除去する工程を有することを特徴とする請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載のIII族窒化物系化合物半導体基板の製造方法。
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