JP2009177537A - 画像処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 拡大観察モード及び高速撮影モードのいずれかを選択するモード選択部と、撮像された画像のフレームレートを低下させる処理を行うフレームレート変換部と、高速撮影モードにおける録画動作時、撮像部からの高速フレームレートでの画像データを書き込む揮発性メモリと、高速撮影モードにおける画像データ読出し時、揮発性メモリから画像データを読み出す動画読出部と、フレームレート変換後の画像データについて輝度レベルを調整する処理を行い、表示用データを生成するとともに、動画読出部によって揮発性メモリから読み出された画像データについて輝度レベルを調整する処理を行う画像処理部と、画像処理部に対して、フレームレート変換部及び動画読出部のいずれかを接続する切替手段からなる。
【選択図】 図18
Description
まず、本発明の実施の形態1による画像処理装置の前提とする撮像システムについて、図1〜図17を用いて以下に説明する。この撮像システムは、被写体を拡大して観察する拡大観察モードと、被写体の動きを高速撮影する高速撮影モードとの間で動作モードを切替可能な画像処理装置を含むシステムである。ここで、本明細書において高速撮影とは、人の目で視覚することが困難な動体の動きを連続的な複数のフレームからなる動画像として撮影することであり、例えば、フレームレート(1秒間に連続して取得する画像の枚数)が100fps〜100万fpsで撮影が行われる。その際、必要に応じて被写体を拡大表示させることもできる。一方、拡大観察とは、フレームレートに比べて動きの小さな被写体を光学レンズによって拡大して撮影することであり、例えば、10倍〜10万倍の範囲で拡大させた被写体が撮影される。
図1に、本発明の実施の形態1による画像処理装置を含む撮像システム100の概略構成の一例を示すシステム図である。この撮像システム100は、撮像部10を含む撮像モジュール16、照明手段60及びレンズモジュール20からなるヘッド部15と、ヘッド部15を駆動制御し、画像処理等を行う本体部50と、ヘッド部15及び本体部50を接続するケーブル部24により構成される。
ヘッド部15は、撮像モジュール16内に撮像部10を備える。撮像部10は、照明手段60により照明された検査対象物としての被写体S(試料、ワーク等)から、光学系を介して入射する反射光を電気的に読み取る撮像素子12を備える。撮像素子12は、この例では、CMOSを利用しているが、CCD等の素子も利用できる。ここでは、撮像モジュール16が、図2(a)に示されるように円筒形状からなるものとする。また、撮像モジュール16に内蔵する撮像素子12は、モノクロ撮像用、カラー撮像用のいずれかが利用できる。例えば、冷却CCD等の高精細な撮像が可能な撮像素子は、モノクロ撮像用であるため、撮像モジュール16をモノクロ撮像用、カラー撮像用に複数用意し、これらを観察用途に応じて適宜選択することにより、種々の用途に対応可能とすることができる。
撮像部10は、画素ずらしによってCMOSの持つ解像度以上の高解像度を得るための画素ずらし手段14を備えることができる。画素ずらしの技術は、例えば、単板タイプについて特開昭58−111580号公報に記載され、3板タイプについて特開平01−123580号公報に記載されている。これらの文献に記載されているように、画素ずらしは、圧電素子等を用いて、隣接する素子(画素)と素子(画素)との間の空間に、素子を物理的にシフト(ピクセルシフト)させることによって行われる。そして、例えば、画素ピッチの半分だけ被写体Sをずらして撮影した画像と、ずらす前の画像とを合成することにより、高解像度化を図るものである。また、各画素でRGBのデータを取得することにより、色再現性も向上される。
レンズモジュール20は、撮像素子12と光学的に結合される光学レンズを内蔵する。ここでは、高速撮影用のレンズを内蔵する第1レンズモジュール21と、拡大観察用のレンズを内蔵する第2レンズモジュール22を用意している。図4は、第1レンズモジュール21を含むヘッド部15を示した断面図であり、図5は、第2レンズモジュール22を含むヘッド部15を示した垂直断面図である。また、図6には、図5のVI−VI線における水平断面図が示されている。これらの図に示されるように、レンズモジュール20は、要求される倍率や明るさに応じたサイズ、曲率の光学レンズを複数枚備えている。
照明手段60は、レンズモジュール20を介して撮像素子12に結像される被写体Sを照明する。照明手段60の光源は、本体部50に内蔵され、ケーブル部24を介して照明光がヘッド部15の照明手段60に伝達される。照明手段60は、ヘッド部15に組み込み式としたり、ヘッド部15と脱着可能な別体のいずれも採用できる。ここでは、第1レンズモジュール21用の照明手段60である第1レンズ用照明ユニット66は、ヘッド部15と別体で構成して装着し、第2レンズモジュール22用の照明手段60である照明光路67(リング状照明装置)は、第2レンズモジュール22に内蔵式としている。
第1レンズ用照明ユニット66は、後端に照明光供給ケーブル61を接続している。また、第1レンズ用照明ユニット66は、図4及び後述する図10の断面図に示されるように、照明ユニット用マウント18の傾動軸19に固定される軸穴を、後端近傍に開口している。このため、後端部分の軸穴を中心として揺動できる。
図7(a)〜(c)は、第1レンズ用照明ユニット66を第1レンズモジュール21に固定したヘッド部15を示す斜視図である。この図に示されるように、第1レンズ用照明ユニット66は第1レンズモジュール21の上部に固定される。具体的には、第1レンズモジュール21の円筒状の周囲に回転自在に固定された回転リング17上に、上面を開口した断面コ字状の照明ユニット用マウント18を固定し、この照明ユニット用マウント18に、第1レンズ用照明ユニット66を傾動軸19を中心として傾動自在に固定される。
ヘッド部15は、第1レンズ用照明ユニット66の第1レンズモジュール21に対する相対的な傾斜角度を調整する照明ユニット傾斜角調整手段を備えている。図8、図9、図10には、照明ユニット傾斜角調整手段の一例が示されている。これらの図において、図8(a)及び(b)は、第1レンズ用照明ユニット66の傾動を示す斜視図であり、図9は、側面図である。図10は、図9の一部断面図であって、図4と切断位置を変えることで照明ユニット傾斜角調整手段の部分を示した垂直断面図となっている。
第2レンズモジュール22用の照明光を照射する照明光路67は、図5、図6に示されるようにヘッド部15の第2レンズモジュール22に内蔵される。この照明光路67は、照明光供給ケーブル61である光ファイバ61Aからの照明光を分岐し、複数の点灯部68をヘッド部15の周囲に円環状に配置したリング状照明装置としている。このため撮像モジュール16には、図6の水平断面図に示されるように、照明光供給ケーブル61から伝搬された照明光を分岐させる光ファイバ分岐路69を備える。
一方、同軸落射照明を行う場合は、図2(a)、(d)等に示されるように第2レンズモジュール22に同軸落射照明アダプタ71を装着する。同軸落射照明アダプタ71は、第2レンズモジュール22の側面から照明光を入射させ、複数のミラーで反射させて撮像素子12の光軸とほぼ一致させるように照明光を入光させる。これにより、明視野観察等に有効となる。ここでは、図2(a)に示されるように、第2レンズモジュール22の側面に突出させたコネクタに照明光供給ケーブル61を接続している。
一方、ケーブル部24は、本体部50の照明用光源64とヘッド部15の照明手段60とを結合し、照明用光源64からの照明光を検査対象物に照射するための照明光供給ケーブル61と、ヘッド部15の撮像素子12に対して本体部50の撮像制御部13から撮像用制御信号を送信すると共に、撮像素子12からの画像信号を本体部50の画像処理部81へ送信するための信号送信ケーブル62とを含む。照明光供給ケーブル61には、光の伝達に適した光ファイバ61Aが利用できる。また信号送信ケーブル62は、電気信号の伝達に適した銅線等の導電性に優れた金属線が利用できる。
(本体部50)
照明用光源64は、撮像制御部13に点灯を制御される。具体的には、メタルハライドランプやハロゲンランプを使用する場合は、照明光供給ケーブル61を接続する接続端子との光路上に照明光をすべて、あるいは部分的にマスクして遮光するマスク板(図示せず)を配置する。マスク板は2枚の大小の略扇形を背中合わせに接続したような形状で、回動軸を中心に回動自在に装着される。大きな扇形部分には、開口窓が設けられ、略円形の全周照明用開口窓と、略扇形の側射照明用開口窓が、それぞれ開口されている。また小さい扇形には、その円周側面部分にギア溝が形成されている。このマスク板は回動軸を中心に回動自在に連結されており、モータによって回動される。モータは回転軸にウォームギアを固定しており、ウォームギアのギア部分が、マスク板の小さい扇形の円弧部分に設けれらたギア溝と噛み合うように配置される。モータを回転させてマスク板を回動させると、全周照明用開口窓および側射照明用開口窓のいずれかが、照明光供給ケーブル61と一致する。これによって、照明光供給ケーブル61を照明用光源64と接続し、照明手段60から照明光を照射可能とする。
このような異なる照明用光源64を適切に点灯駆動できるように、本体部50側では、接続された照明用光源64の種別に応じて、駆動電流等の駆動条件を切替可能としている。この切替は、手動若しくは自動で行うことができる。特に図1に示す例では、装着された照明用光源64の種別を判別する光源判別手段65を本体部50側に備えている。光源判別手段65を備えることで、接続された照明用光源64の種別を本体部50が自動的に把握し、各光源を駆動する適切な駆動条件に切り替えて適切な駆動制御が可能となる。例えば、メタルハライドランプに応じた駆動電流値の切り替え、照明光の出力制御等を行うことができ、ユーザが一々電源ワット数等を切り替える手間や設定ミスを省き、確実に且つ安全に各照明用光源64を利用できる。さらに、照明用光源64の点灯時間を本体部50側で計算して、照明用光源64毎に使用時間を累積して保持し、交換時期が近付くと照明用光源64の交換を促すように構成することもできる。
撮像制御部13は、高速撮影時におけるフレームレート、シャッタースピード等の撮像条件を、操作部55を介して設定し、設定した撮像条件に従い、各部の制御を行う。具体的には、撮像部10の撮像素子12を駆動制御するための撮像用制御信号を生成し、撮像部10に対して送信する。また、照明用光源64のON又はOFFや遮光を制御する。例えば、ストロボ撮影を行う場合は、撮影に同期した同期信号を出力し、同期信号により照明用光源64の点灯ON又はOFFを行うと共に撮像素子12で撮像を行う。このように、撮像制御部13から照明用光源64に対し、1回の撮影の開始及び終了時点に同期した撮影タイミング信号と、撮影中の各フレームの露光開始時点に同期した露光タイミング信号が送信される。また、拡大観察時には、撮像条件の設定として、例えば、リング状照明装置からの出射光として、落射照明、透過照明を選択し、それぞれに対して全周照明、側射照明いずれかを選択する。さらに、フィルタとして拡散、偏光又はフィルタなしの通過光(スルー)を適用する等、複数の条件の組み合わせによって照明方法を様々に変化させることができる。これらの設定は、操作部55を介してユーザが行う。
画像処理部81は、撮像部10で撮像された拡大画像に対して画像処理を行う。例えば、表示部52に表示された被写体の画像に対して、領域を指定し、面積を演算したり、高低差や距離、角度を演算するといった処理を行う。
表示部52は、撮影された画像や設定等を表示するためのディスプレイである。表示部52は、CRTや液晶パネル等が利用される。図2、図3の例では、表示部52は本体部50に組み込まれている。
メモリ部53は、撮影された画像データや設定内容等を保持する。好適には、一時的な記憶領域としてRAM等の高速な半導体メモリを使用し、データ保存領域としてハードディスクを使用する。
操作部55は、表示部52上に表示される画面に基づいてユーザが入力を行うための入力デバイスである。操作部55は、本体部50とケーブルを介して接続され、或いは、無線で接続され、或いは、本体部50に固定されている。図2、図3の例では、操作部55は無線接続のコンソールにより構成される。
次に、ステム100を用いた拡大観察用途と、高速撮影用途の各々について、撮像の詳細を説明する。まず、高速撮影用途について説明する。図2に示すように、撮像システム100のヘッド部15として、カラー撮影用若しくはモノクロ撮影用の撮像素子12を内蔵する撮像モジュール16を選択し、撮像モジュール16の先端に第1レンズモジュール21を装着する。このとき、撮像モジュール16に内蔵される撮像素子12の光軸と、第1レンズモジュール21の光軸が一致するように、光学的に接合される。さらに、照明手段60として第1レンズ用照明ユニット66を、撮像モジュール16若しくは第1レンズモジュール21に装着している。
高速撮影を行うための設定手順を、図12及び図13に基づいて説明する。これらの図に示される操作画面は、撮像システム100を操作するための撮像装置操作プログラムのユーザインターフェース画面300の一例である。図12には、高速撮影を行うための録画画面が示され、図13には、録画した高速度撮像データを再生するためのプレビュー画面が示されている。このプログラムにおいては、録画画面の操作によって高速撮影された画像データを、プレビュー画面上に表示させる。これら録画画面とプレビュー画面の切り替えは、画面左上に設けられた画面切替手段302としての「録画」、「プレビュー」切替ボタンをそれぞれ選択することにより行うことができる。なお、高速撮影は、基本的には静止画を連続撮像するものであるが、これらを連続して表示すれば動画のように扱えるため、ここでは便宜上、動画像の録画と呼ぶこともある。
図14及び図15を用いて、拡大観察用途について説明する。撮像システム100は、図14に示されるように撮像素子12により撮影された画像を表示する表示部52を有する本体部50を備える。さらに、図15に示されるように撮像システム100は、被写体Sを固定するための試料固定部(ステージ230)と、光学系11を介して入射する被写体Sからの反射光又は透過光を電気的に読み取る撮像素子12(CMOS)と、ステージ230と光学系11との光軸方向における相対距離を変化させて焦点を調整するための焦点調整部(ステージ昇降器220)とを備える。さらに、本体部50は、図15に示されるように、ステージ昇降器220によって焦点を調整したときのステージ230と光学系11との光軸方向における相対距離に関する焦点距離情報を、光軸方向とほぼ垂直な面内における被写体Sの2次元位置情報と共に記憶する焦点距離情報記憶部(メモリ部53)と、表示部52によって表示された画像の一部の領域を少なくとも一つ設定可能な領域設定部(操作部55)と、操作部55によって設定された領域に対応する被写体Sの一部又は全部に関する焦点距離情報に基づいて、操作部55によって設定された領域に対応する被写体Sの光軸方向における平均高さを演算する制御部51とを備える。
拡大観察を行うための設定手順を、図16及び図17に基づいて説明する。これらの図に示される操作画面は、撮像システム100を操作するための撮像装置操作プログラムのユーザインターフェース画面300の他の一例である。図16には、拡大観察時の観察画面120が示され、図17には、画像処理結果を表示するためのウィンドウ画面130が示されている。
図18は、図1の撮像システム100の要部における一構成例を示したブロック図であり、本体部50内の機能構成の一例が示されている。この本体部50は、撮像制御部13、表示部52、照明用光源64、画像処理部81の他に、フレームレート変換部101、出力制御部102、不揮発性メモリ103、モード選択部104、スイッチ105、録画制御部106、揮発性メモリ107、動画読出部108及び切替手段81aを備えて構成される。
図19のステップS101〜S108は、図18の本体部50における拡大観察時の動作の一例を示したフローチャートである。まず、撮像制御部13は撮像部10に対して露光時間などの撮影パラメータを指示する(ステップS101)。次に、フレームレート変換部101は、撮像部10から画像データを取得し、フレームレートを低下させて画像処理部81へ出力する(ステップS102)。
図20のステップS201〜S206は、図18の本体部50における高速撮影時の動作の一例を示したフローチャートである。まず、撮像制御部13は撮像部10に対して露光時間などの撮影パラメータを指示する(ステップS201)。次に、フレームレート変換部101は、撮像部10から画像データを取得し、フレームレートを低下させて画像処理部81へ出力する(ステップS202,S203)。
実施の形態1では、動作モードの切り替えがユーザ操作に基づいて行われる場合の例について説明した。これに対し、本実施の形態では、カメラの識別結果に基づいて動作モードを切り替える場合について説明する。
12 撮像素子
13 撮像制御部
14 画素ずらし手段
15 ヘッド部
18 照明ユニット用マウント
20 レンズモジュール
21 第1レンズモジュール
22 第2レンズモジュール
24 ケーブル部
50 本体部
52 表示部
53 メモリ部
54 インターフェイス部
55 操作部
60 照明手段
61 照明光供給ケーブル
62 信号送信ケーブル
64 照明用光源
66 第1レンズ用照明ユニット
81 画像処理部
81a 切替手段
100 撮像システム
101 フレームレート変換部
102 出力制御部
103 不揮発性メモリ
104 モード選択部
105 スイッチ
106 録画制御部
107 揮発性メモリ
108 動画読出部
109 撮影装置識別部
120 観察画面
130 ウィンドウ画面
300 ユーザインターフェース画面
S 被写体
Claims (4)
- 画像のフレームレートが視認可能な第一のフレームレートにて撮像された画像を画像処理すると共に、画像のフレームレートが上記第一のフレームレートより高速な第二のフレームレートにて撮像された画像を画像処理する画像処理装置であって、
上記第一のフレームレートにて被写体を拡大して観察する拡大観察モードと、上記第二のフレームレートにて被写体を高速撮影する高速撮影モードのいずれか一方を選択するモード選択手段と、
上記第一と第二のフレームレートにて画像の取得が可能であるとともに、上記モード選択手段にて選択された第一または第二のフレームレートにて被写体の撮像を行う撮像手段と、
上記撮像手段によって、上記モード選択手段にて選択されたモードに対応する第一または第二のフレームレートにて撮像された被写体に対する画像データが転送され、フレームレートを低下させる処理を行うフレームレート変換手段と、
上記高速撮影モードにおける録画動作時、上記撮像手段からの上記第二フレームレートでの画像データを書き込む第1メモリと、
上記高速撮影モードにおける上記第1メモリからの画像データ読出し時、上記第1メモリから画像データを読み出す動画読出手段と、
上記フレームレート変換手段によるフレームレート変換後の画像データについて輝度レベルを調整する処理を行い、表示用データを生成するとともに、上記動画読出手段によって上記第1メモリから読み出された画像データについて輝度レベルを調整する処理を行う画像処理手段と、
上記画像処理手段に対して、フレームレート変換手段と動画読出手段のいずれか一方を接続するとともに、第1メモリから画像データを動画読出手段が読み出す場合のみ、上記画像処理手段に対して、動画読出手段を接続する切替手段と、
上記画像処理手段にて生成された表示用データを表示する表示手段と、
上記拡大観察モードにおいて、表示手段に表示される画像データを保存させる時、ならびに、第1メモリの画像データを保存させる時に、各画像を保存する第2メモリからなることを特徴とする画像処理装置。 - 画像のフレームレートが視認可能な第一のフレームレートにて撮像された画像を画像処理すると共に、画像のフレームレートが上記第一のフレームレートより高速な第二のフレームレートにて撮像された画像を画像処理する画像処理装置であって、
上記第一のフレームレートにて被写体を拡大して観察する拡大観察モードと、上記第二のフレームレートにて被写体を高速撮影する高速撮影モードのいずれか一方を選択するモード選択手段と、
上記第一と第二のフレームレートにて画像の取得が可能であるとともに、上記モード選択手段にて選択された第一または第二のフレームレートにて被写体の撮像を行う撮像手段と、
上記撮像手段によって、上記モード選択手段にて選択された高速撮影モードに対応する第二のフレームレートにて撮像された被写体に対する画像データが転送され、フレームレートを低下させる処理を行うフレームレート変換手段と、
上記高速撮影モードにおける録画動作時、上記撮像手段からの上記第二フレームレートでの画像データを書き込む第1メモリと、
上記高速撮影モードにおける上記第1メモリからの画像データ読出し時、上記第1メモリから画像データを読み出す動画読出手段と、
上記拡大観察モードにて撮像された第一のフレームレートの画像データならびに上記フレームレート変換手段によるフレームレート変換後の画像データについて輝度レベルを調整する処理を行い、表示用データを生成するとともに、上記動画読出手段によって上記第1メモリから読み出された画像データについて輝度レベルを調整する処理を行う画像処理手段と、
上記画像処理手段に対して、フレームレート変換手段と動画読出手段のいずれか一方を接続するとともに、第1メモリから画像データを動画読出手段が読み出す場合のみ、上記画像処理手段に対して、動画読出手段を接続する切替手段と、
上記画像処理手段にて生成された表示用データを表示する表示手段と、
上記拡大観察モードにおいて、表示手段に表示される画像データを保存させる時、ならびに、第1メモリの画像データを保存させる時に、各画像を保存する第2メモリからなることを特徴とする画像処理装置。 - 露光のタイミングを指示するための露光タイミング信号を生成し、上記撮像手段に供給する撮像制御手段を備え、
上記撮像制御手段が、上記拡大観察時と上記高速撮影時とでフレームレートを異ならせるために、拡大観察モード及び高速撮影モード間で露光の繰り返し間隔を異ならせることを特徴とする請求項1又は2に記載の画像処理装置。 - 上記撮像手段を識別する撮影装置識別手段を備え、
上記モード選択手段が、上記撮影装置識別手段による識別結果に基づいて、モードを選択することを特徴とする請求項1又は2に記載の画像処理装置。
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