JP2009170624A - フォトエッチングにおけるフォトレジストの除去方法及び装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フォトレジストの剥離工程に新たに装置を導入することなく、ＤＦＲを完全に除去することのできる方法および装置を提供する。
【解決手段】本装置は、 膨潤剥離型フォトレジストを用いてフォトエッチングされた金属材料６を走行させ得る送りローラー２〜５を設けた第１の対向壁と、前記第１の対向壁に交叉する第２の対向壁と、前記第２の対向壁の上縁に互いに対向しないように設けられていて前記第２の対向壁の上縁を越えて流れ落ちる剥離液を阻止し得る少なくとも一対の仕切り板１ａ,１ｂと、前記金属材料６の走行路の下方に該走行路と交叉するように配置された複数の剥離液噴出口７ａを有する剥離液供給管７とを備えた剥離槽を有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、フォトエッチングによりリードフレームの作製等を行うに際し、フォトレジストの除去、特に膨潤剥離型フォトレジストを使用した場合のフォトレジストの除去方法に関するものである。

金属材料に対しフォトエッチングを施し、所定のパターン形状を得る方法は広く知られており、特にフォトレジストとして、膨潤剥離型フォトレジスト（以下、「ドライフィルムレジスト(ＤＦＲ)」という。）は膜厚が均一であること、作業性が良いことから、多く使用されるようになった。しかし、このＤＦＲは、エッチングの剥離工程において完全に剥離・除去することは困難であり、特にリードフレームのように形状が複雑な場合には、リードフレームを剥離液に浸漬後、単に水スプレーしただけでは間隙の狭い箇所（例えば、リードピン同士の間）に剥離したレジストが入り込んだりして残存し、これを完全に除去することはできなかった。

図３は、エッチングのＤＦＲ剥離工程において従来使用されている剥離槽の一例の概略構成図である。図中、１は四隅を除いて切除した上縁を有する剥離槽、２，３及び４，５は剥離槽１の対向壁に若干の間隙を置いてそれぞれ対をなすように回転可能に対向配置された送りローラー、６は送りローラ２，３及び４，５に挟まれて搬送される剥離・除去されるべきＤＦＲを含んだリードフレーム、７は搬送されるリードフレーム６の下方から上方へ向けて剥離液を噴出する複数の噴出口を有する剥離液供給管である。このような剥離槽１を用いて、リードフレーム６を剥離液に浸漬しながら送り、下方より剥離液を噴出させると、剥離液は、図４に矢印で示すように、主にリードフレーム６の走行方向と直交する方向に一様に流れて、剥離槽１の切除された上縁より流れ落ちる。従って、剥離・除去中、図５に示すように、ＤＦＲ片が一度リードフレーム６に形成された間隙６ａに入り込むと、剥離液の流れ方向が同じため、除去が困難となる。

このように金属材料としてのリードフレーム中にフォトレジストが残存すると、後工程で重大な障害となり、特にリードフレームでは後工程でAu、Ag、Ni、Cu等のめっきを行うが、フォトレジスト残存部は不活性となることから、その部分はめっきがなされず、極端なめっきむらが生じて製品価値が著しく低下するという欠点があった。

従来、このＤＦＲの残存を防止する為に、剥離液浸漬中に超音波を供給し、リード間隙にからみついたＤＦＲを切断除去する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）が、この場合には、
超音波振動子の破損を含めた維持管理に関する費用が発生して、ランニングコストが上昇し、安価な製品を要求される現状では望ましくない。
特開昭６２−１５６２７６号公報

本発明は、上記の問題を解決するためなされたものであり、その目的とするところは、フォトレジストの剥離工程に新たに装置を導入することなく、ＤＦＲを完全に除去することのできる方法および装置を提供することにある。

上記の目的を達成するため、本発明によるフォトレジストの除去方法は、膨潤剥離型フォトレジストを用いて金属材料にフォトエッチングを行うに際し、前記フォトレジストを付設した金属材料を剥離液に浸漬し、前記フォトレジストの膨潤後に前記剥離液に流れ方向の制御された液流れを生じさせることにより、フォトレジストを剥離・除去するようにしたことを特徴とする。

また、本発明によるフォトレジストの除去装置は、膨潤剥離型フォトレジストを用いてフォトエッチングされた金属材料を走行させ得る送りローラーを設けた第１の対向壁と、前記第１の対向壁に交叉する第２の対向壁と、前記第２の対向壁の上縁に互いに対向しないように設けられていて前記第２の対向壁の上縁を越えて流れ落ちる剥離液を阻止し得る少なくとも一対の仕切り板と、前記金属材料の走行路の下方に該走行路と交叉するように配置された複数の剥離液噴出口を有する剥離液供給管とを備えた剥離槽を有することを特徴とする。

本発明によれば、新たに装置を設置することなしにＤＦＲを完全に除去することができ、従って、イニシャルコスト及びランニングコストを上昇させることなしに、極めて高品質のリードフレーム等を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態を図示した実施例を参照して説明する。
図１は図４に対応させて示した本発明による剥離液の流れを示す説明図、図２は図５に対応させて示した本発明による剥離液の流れとＤＦＲの様子を示す説明図である。図３をも参照して、本発明によれば、図１に示すように、剥離液供給管７の複数の噴出口７ａがリードフレーム６の走行方向と交叉するように配列され、且つ剥離槽１のリードフレーム６の走行方向と平行な一対の上縁の互いに対向しない位置に剥離液の流出を阻止する仕切り板１ａ及び１ｂを設けて、剥離液の流れ方向を制御すると共に、剥離槽１の内部に若干の乱流が生じるように、剥離槽１が構成されている。この場合、仕切り板は一対の限定されない。

通常、エッチング後のリードフレーム６は、表面にＤＦＲが存在した状態で剥離処理が開始される。剥離槽１では剥離液が底部より噴き上げられて、仕切り板１ａ及び１ｂのない剥離槽１の上縁より溢れ出すように、剥離液の循環が行われるが、送りローラ２，３により剥離槽１内に送り込まれたリードフレーム６上のＤＦＲは剥離液にて膨潤され、リードフレーム６より引き剥がされる。引き剥がされたＤＦＲは、剥離液の流れ方向に沿って移送される。この場合、従来のように剥離液の流れが一様であると、ＤＦＲは移送される際にリードフレーム６に形成されている間隙６ａに入り込んで完全に除去されないことがあるが、本発明に係る剥離槽によれば、剥離液の流れが左右に変わり、且つ槽内に若干の乱流が生じているから、リードフレーム６の間隙６ａに入り込んだＤＦＲを左右に揺らし（図２参照）、その結果ＤＦＲが完全に除去される。

実施例
フォトエッチング法にて形成されたエッチング後のリードフレーム６を、剥離槽１の底部より噴き上げる５０℃の３%-NaOH溶液の剥離液内に６０秒間浸漬し、リードフレーム６上のＤＦＲを除去したが、リード間隙部にＤＦＲ片が残存していた。しかし、本発明の除去方法では、同じ剥離液条件（５０℃の３%-NaOH、６０秒間浸漬）において、ＤＦＲの残存はゼロであった。

本発明による剥離液の流れを示す説明図である。 本発明による剥離液の流れとＤＦＲの様子を示す説明図である。 エッチングの剥離工程において従来使用されている剥離槽の一例の概略構成を示す斜視図である。 従来の剥離槽における剥離液の流れを示す説明図である。 従来の剥離槽における剥離液の流れとＤＦＲの様子を示す説明図である。

符号の説明

１ 剥離槽
１ａ,１ｂ 仕切り板
２〜５ 送りローラー
６ 金属材料
７ 剥離液供給管
７ａ 噴出口

Claims (2)

1. 膨潤剥離型フォトレジストを用いて金属材料にフォトエッチングを行うに際し、前記フォトレジストを付設した金属材料を剥離液に浸漬し、前記フォトレジストの膨潤後に前記剥離液に流れ方向の制御された液流れを生じさせることにより、フォトレジストを剥離・除去するようにしたことを特徴とするフォトレジストの除去方法。
2. 膨潤剥離型フォトレジストを用いてフォトエッチングされた金属材料を走行させ得る送りローラーを設けた第１の対向壁と、前記第１の対向壁に交叉する第２の対向壁と、前記第２の対向壁の上縁に互いに対向しないように設けられていて前記第２の対向壁の上縁を越えて流れ落ちる剥離液を阻止し得る少なくとも一対の仕切り板と、前記金属材料の走行路の下方に該走行路と交叉するように配置された複数の剥離液噴出口を有する剥離液供給管とを備えた剥離槽を有することを特徴とするフォトレジストの除去装置。

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