CN105101652A - 一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统 - Google Patents

一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统 Download PDF

Info

Publication number
CN105101652A
CN105101652A CN201410219480.0A CN201410219480A CN105101652A CN 105101652 A CN105101652 A CN 105101652A CN 201410219480 A CN201410219480 A CN 201410219480A CN 105101652 A CN105101652 A CN 105101652A
Authority
CN
China
Prior art keywords
circuit board
etching
circuit
logicalnot
graphics field
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410219480.0A
Other languages
English (en)
Inventor
王蓓蕾
刘宝林
缪桦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shennan Circuit Co Ltd
Original Assignee
Shennan Circuit Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shennan Circuit Co Ltd filed Critical Shennan Circuit Co Ltd
Priority to CN201410219480.0A priority Critical patent/CN105101652A/zh
Publication of CN105101652A publication Critical patent/CN105101652A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

本发明公开了一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统,以提高制作细密线路时的蚀刻均匀性。上述方法包括:对电路板表面的非线路图形区域进行蚀刻,蚀刻深度小于或等于电路板的表面金属层厚度的四分之一;对所述电路板进行清洗;翻转所述电路板,使电路板的另一面朝上;多次重复上述的蚀刻,清洗和翻转步骤,直到电路板表面的非线路图形区域的表面金属层被完全蚀刻去除,形成所需要的线路图形。

Description

一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统
技术领域
本发明涉及电路板技术领域,具体涉及一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统。
背景技术
细密线路在电路板产品中的应用越来越多。在制作细密线路时,如果蚀刻的不均匀,会出现线路的过腐蚀或欠腐蚀,造成细密线路之间开路或短路,线宽不合格,进而造成电路板产品阻抗不合格。
常规的细密线路蚀刻工艺中,为防止蚀刻的不均匀,通常采用正反面蚀刻工艺进行改善,或者采用不同区域线路补偿不一致的动态补偿方案进行改善。
但是,正反面蚀刻工艺的生产效率低,操作麻烦;而且,当铜厚较薄时,正反面蚀刻工艺可能无法操作。动态补偿方案则在工程制作阶段耗费时间长,且容易出现实际情况和理论情况不符合的问题而造成多次补偿;而且当细密线路间距过小时,动态补偿可能因为线路间距太小无法操作。
发明内容
本发明实施例提供一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统,以提高制作细密线路时的蚀刻均匀性。
本发明第一方面提供一种细密线路电路板的加工方法,包括:
对电路板表面的非线路图形区域进行蚀刻,蚀刻深度小于或等于电路板的表面金属层厚度的四分之一;
对所述电路板进行清洗;
翻转所述电路板,使电路板的另一面朝上;
多次重复上述的蚀刻,清洗和翻转步骤,直到电路板表面的非线路图形区域的表面金属层被完全蚀刻去除,形成所需要的线路图形。
本发明第二方面提供一种电路板加工系统,包括:至少四组蚀刻段装置;其中每一组蚀刻段装置包括:
蚀刻槽设备,用于对电路板表面的非线路图形区域进行蚀刻,蚀刻深度小于或等于电路板的表面金属层厚度的四分之一;
清洗设备,对经所述蚀刻槽设置蚀刻后的电路板进行清洗;
翻转设备,用于翻转经清洗设备清洗过的电路板,使电路板的另一面朝上。
由上可见,本发明实施例采用多次蚀刻的技术方案,每个蚀刻阶段,蚀刻深度小于或等于电路板的表面金属层厚度的四分之一,经多个蚀刻阶段,才最终形成所需要的线路图形,这样,由于每个蚀刻阶段中,蚀刻深度很小,就可以减少蚀刻的不均匀性,最终整体上提高蚀刻的均匀性,尽可能的减少细密线路之间开路或短路以及线宽不合格的可能,进而提高电路板产品阻抗合格率。并且,本发明技术方案,由于无需正反面蚀刻,提高了生产效率,简化了生产操作;由于无需动态补偿,节约了工程制作时间;尤其是,在铜厚较薄或线路间距较小的情况下,尽可能的解决了细密线路之间开路或短路以及线宽不合格进而造成电路板产品阻抗不合格等问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例技术方案,下面将对实施例和现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本发明实施例提供的一种细密线路电路板的加工方法的示意图;
图2是本发明实施例提供的一种电路板加工系统的示意图。
具体实施方式
本发明实施例提供一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统,以提高制作细密线路时的蚀刻均匀性。
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本发明保护的范围。
下面通过具体实施例,分别进行详细的说明。
实施例一、
请参考图1,本发明实施例提供一种细密线路电路板的加工方法,可包括:
110、对电路板表面的非线路图形区域进行蚀刻,蚀刻深度小于或等于电路板的表面金属层厚度的四分之一。
本发明实施例中,为了提高蚀刻均匀性,将常规的一次蚀刻,分解为多次蚀刻。所说多次蚀刻至少为四次,每次蚀刻的蚀刻深度至少为电路板的表面金属层厚度的四分之一。
其中,蚀刻之前,可以包括一个表面处理步骤,例如,具体可以包括清洗和微蚀等,以去除电路板表面的赃物和氧化物,便于后续处理。
本步骤中,所说的对电路板表面的非线路图形区域进行蚀刻之前,可包括:在所述电路板表面的非线路图形区域设置抗蚀膜。具体可包括:在所述电路板的表面涂覆抗蚀膜,并进行预烘烤固化;将所述电路板表面的线路图形区域的抗蚀膜显影去除;将所述电路板表面的非线路图形区域的抗蚀膜烘烤固化。然后,在抗蚀膜的保护下,对电路板表面的非线路图形区域进行蚀刻。
本蚀刻步骤,可在电路板生产线系统的一个蚀刻槽设备中执行,本次蚀刻完毕后,被系统转移到下一工艺设,下一工艺设备为清洗设备。
120、对所述电路板进行清洗。
本步骤中,由清洗设备,采用例如清水,对蚀刻之后的电路板进行清洗,将电路板上残留的蚀刻液体清洗去除,避免蚀刻体出现水池效应导致下一次蚀刻不均匀。然后,电路板被系统转移到下一工艺设设备,下一工艺设备为翻转设备。
130、翻转所述电路板,使电路板的另一面朝上。
本步骤中,由翻转设备对电路板进行翻转,将电路板原来朝上的一面翻转朝下,使另一面翻转朝上。从而,在保证在多次蚀刻中,让电路板的不同面都有朝上的机会,避免因蚀刻液上下喷压、蚀刻液流量等因素的不同而造成的不同面次蚀刻不均匀的问题。
140、多次重复上述的蚀刻,清洗和翻转步骤,直到电路板表面的非线路图形区域的表面金属层被完全蚀刻去除,形成所需要的线路图形。
经上述步骤110至130之后,电路板的表面金属层的非线路图形区域被蚀刻减厚,但尚未形成所需要的线路图形。本实施例,继续重复执行一轮上述步骤110至130;如果非线路图形区域的金属尚未被完全蚀刻去除,可继续重复一轮或多轮上述步骤110至130,直到电路板表面的非线路图形区域的表面金属层被完全蚀刻去除,形成所需要的线路图形为止。一般的,总共要进行至少四轮。
最终形成所需要的线路图形之后,还可包括以下步骤:
去除所述抗蚀膜,对所述电路板进行清洗,并在清洗后将所述电路板烘干。
然后,可继续转入下一工艺流程中。
以上,本发明实施例公开了一种细密线路电路板的加工方法,该方法采用多次蚀刻,例如至少四次蚀刻的技术方案,在每个蚀刻阶段,蚀刻深度小于或等于电路板的表面金属层厚度的四分之一,经多个蚀刻阶段,才最终形成所需要的线路图形,这样,由于每个蚀刻阶段中,蚀刻深度很小,能够最大程度的让不同区域的蚀刻速率保持一致,以此提高蚀刻的均匀性,尽可能减少细密线路之间开路或短路以及线宽不合格的可能,进而提高电路板产品阻抗合格率。并且,本发明技术方案中,由于无需正反面蚀刻,提高了生产效率,简化了生产操作;由于无需动态补偿,节约了工程制作时间;尤其是,在铜厚较薄或线路间距较小的情况下,尽可能的解决了细密线路之间开路或短路以及线宽不合格进而造成电路板产品阻抗不合格等问题。
实施例二、
请参考图2,本发明实施例提供一种电路板加工系统,该系统包括:至少四组蚀刻段装置200;其中每一组蚀刻段装置包括:
蚀刻槽设备201,用于对电路板表面的非线路图形区域进行蚀刻,蚀刻深度小于或等于电路板的表面金属层厚度的四分之一;
清洗设备202,对经所述蚀刻槽设置蚀刻后的电路板进行清洗;
翻转设备203,用于翻转经清洗设备清洗过的电路板,使电路板的另一面朝上。
本发明一些实施例中,所述系统还包括:
去膜装置,用于去除所述电路板上设置的抗蚀膜;
清洗装置,用于对去膜后的所述电路板进行清洗;
烘干装置,用于在清洗后将所述电路板烘干。
本发明实施例系统可适用于于实施例一所提供的方法。
以上,本发明实施例公开了一种电路板加工系统,采用多次蚀刻,例如至少四次蚀刻的技术方案,在每个蚀刻阶段,蚀刻深度小于或等于电路板的表面金属层厚度的四分之一,经多个蚀刻阶段,才最终形成所需要的线路图形,这样,由于每个蚀刻阶段中,蚀刻深度很小,能够最大程度的让不同区域的蚀刻速率保持一致,以此提高蚀刻的均匀性,尽可能减少细密线路之间开路或短路以及线宽不合格的可能,进而提高电路板产品阻抗合格率。并且,本发明技术方案中,由于无需正反面蚀刻,提高了生产效率,简化了生产操作;由于无需动态补偿,节约了工程制作时间;尤其是,在铜厚较薄或线路间距较小的情况下,尽可能的解决了细密线路之间开路或短路以及线宽不合格进而造成电路板产品阻抗不合格等问题。
在上述实施例中,对各个实施例的描述都各有侧重,某个实施例中没有详细描述的部分,可以参见其它实施例的相关描述。
需要说明的是,对于前述的各方法实施例,为了简单描述,故将其都表述为一系列的动作组合,但是本领域技术人员应该知悉,本发明并不受所描述动作顺序的限制,因为依据本发明,某些步骤可以采用其它顺序或者同时进行。其次,本领域技术人员也应该知悉,说明书中所描述的实施例均属于优选实施例,所涉及的动作和模块并不一定是本发明所必须的。
以上对本发明实施例所提供的细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统进行了详细介绍,但以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想,不应理解为对本发明的限制。本技术领域的技术人员,依据本发明的思想,在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种细密线路电路板的加工方法,其特征在于,包括:
对电路板表面的非线路图形区域进行蚀刻,蚀刻深度小于或等于电路板的表面金属层厚度的四分之一;
对所述电路板进行清洗;
翻转所述电路板,使电路板的另一面朝上;
多次重复上述的蚀刻,清洗和翻转步骤,直到电路板表面的非线路图形区域的表面金属层被完全蚀刻去除,形成所需要的线路图形。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述对电路板表面的非线路图形区域进行蚀刻之前,还包括:
在所述电路板表面的非线路图形区域设置抗蚀膜。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,在所述电路板表面的非线路图形区域设置抗蚀膜包括:
在所述电路板的表面涂覆抗蚀膜,并进行预烘烤固化;
将所述电路板表面的线路图形区域的抗蚀膜显影去除;
将所述电路板表面的非线路图形区域的抗蚀膜烘烤固化。
4.根据权利要求2或3所述的方法,其特征在于,所述形成所需要的线路图形之后,还包括:
去除所述抗蚀膜,对所述电路板进行清洗,并在清洗后将所述电路板烘干。
5.一种电路板加工系统,其特征在于,包括:至少四组蚀刻段装置;其中每一组蚀刻段装置包括:
蚀刻槽设备,用于对电路板表面的非线路图形区域进行蚀刻,蚀刻深度小于或等于电路板的表面金属层厚度的四分之一;
清洗设备,对经所述蚀刻槽设置蚀刻后的电路板进行清洗;
翻转设备,用于翻转经清洗设备清洗过的电路板,使电路板的另一面朝上。
CN201410219480.0A 2014-05-22 2014-05-22 一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统 Pending CN105101652A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410219480.0A CN105101652A (zh) 2014-05-22 2014-05-22 一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410219480.0A CN105101652A (zh) 2014-05-22 2014-05-22 一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105101652A true CN105101652A (zh) 2015-11-25

Family

ID=54580855

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410219480.0A Pending CN105101652A (zh) 2014-05-22 2014-05-22 一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105101652A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105517352A (zh) * 2015-11-27 2016-04-20 珠海方正科技多层电路板有限公司 一种pcb板的蚀刻方法、蚀刻系统及制备方法
CN108289381A (zh) * 2018-01-11 2018-07-17 昆山华晨电子有限公司 一种多层细密线路电路板的生产工艺及线路板加工系统
CN112689394A (zh) * 2020-12-14 2021-04-20 游重生 一种针对pcb电路板的腐蚀装置
CN114786347A (zh) * 2022-03-02 2022-07-22 深南电路股份有限公司 一种电路板的加工方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2514622Y (zh) * 2001-11-13 2002-10-02 扬博企业股份有限公司 电路板蚀刻机
US20040238491A1 (en) * 2003-05-30 2004-12-02 International Business Machines Corporation Fine-dimension masks and related processes
CN101692757A (zh) * 2009-09-07 2010-04-07 皆利士多层线路版(中山)有限公司 12oz厚铜多层线路板制造工艺

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2514622Y (zh) * 2001-11-13 2002-10-02 扬博企业股份有限公司 电路板蚀刻机
US20040238491A1 (en) * 2003-05-30 2004-12-02 International Business Machines Corporation Fine-dimension masks and related processes
CN101692757A (zh) * 2009-09-07 2010-04-07 皆利士多层线路版(中山)有限公司 12oz厚铜多层线路板制造工艺

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105517352A (zh) * 2015-11-27 2016-04-20 珠海方正科技多层电路板有限公司 一种pcb板的蚀刻方法、蚀刻系统及制备方法
CN108289381A (zh) * 2018-01-11 2018-07-17 昆山华晨电子有限公司 一种多层细密线路电路板的生产工艺及线路板加工系统
CN112689394A (zh) * 2020-12-14 2021-04-20 游重生 一种针对pcb电路板的腐蚀装置
CN114786347A (zh) * 2022-03-02 2022-07-22 深南电路股份有限公司 一种电路板的加工方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105101652A (zh) 一种细密线路电路板的加工方法和电路板加工系统
CN100588757C (zh) 一种不锈钢电解蚀刻工艺
CN101694012B (zh) 钛酸锶钡和铌酸锌铋复合薄膜的湿法刻蚀方法
CN101868125A (zh) 一种防止选化pcb板镍金层受腐蚀的方法
JP2005039180A (ja) 半導体素子の金属配線の形成方法
CN104270893A (zh) 一种pcb板表面处理工艺
CN102560496B (zh) 种子层的蚀刻方法
CN105826181B (zh) 防止ono结构剥落缺陷的方法
JP2016040826A (ja) 工程分離型基板処理装置及び処理方法
CN105336499A (zh) 一种电解电容器阳极铝箔腐蚀的前处理方法
KR101453088B1 (ko) 식각액 조성물 및 이를 이용한 금속 패턴의 형성방법
CN103731994A (zh) 用覆厚导电层基板材料制作厚导电层电路结构电路板的方法
CN104716072B (zh) 一种阵列基板剥离系统及其剥离方法
CN101740327B (zh) 减少应力的芯片制造方法
CN108289381A (zh) 一种多层细密线路电路板的生产工艺及线路板加工系统
CN107342221A (zh) 一种SiC基GaN晶体的深孔刻蚀方法
JP2011181640A (ja) 配線導体の形成方法
CN103617945A (zh) 一种集成电路芯片电极的修复方法
CN114686884B (zh) 一种精密防侧蚀的蚀刻区域控制方法
CN107492485B (zh) 半导体器件的制作方法
KR100640967B1 (ko) 웨이퍼의 표면 처리 방법
CN104576422B (zh) 半导体制造电镀治具电极接触区域形成的方法及接触区域
CN105448658B (zh) 防止钨腐蚀的晶圆清洗方法
CN203886856U (zh) 晶圆清洗装置
KR20060015949A (ko) 금속 패턴 형성 방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20151125

RJ01 Rejection of invention patent application after publication