JP2009170231A - マイクロリレー - Google Patents

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JP2009170231A JP2008006112A JP2008006112A JP2009170231A JP 2009170231 A JP2009170231 A JP 2009170231A JP 2008006112 A JP2008006112 A JP 2008006112A JP 2008006112 A JP2008006112 A JP 2008006112A JP 2009170231 A JP2009170231 A JP 2009170231A
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洋右 萩原
Takeshi Hashimoto
健 橋本
Riichi Uotome
利一 魚留
Hideki Enomoto
英樹 榎本
Katsumi Kakimoto
勝己 垣本
Koji Yokoyama
浩司 横山
Shinichi Kishimoto
慎一 岸本
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Abstract

【課題】 永久磁石として焼結磁石を用いながらも、有機物の膜による接点不良が防止されるマイクロリレーを提供する。
【解決手段】 一方の面に固定接点41が設けられた基板1と、磁性体からなり可動接点42が設けられたアーマチュア部23を有する磁性体ブロック2と、可動接点42と固定接点41との離接を切り替えるようにアーマチュア部23を駆動するように磁性体ブロック2を励磁するコイル6と、可動接点42を固定接点41に接触させる方向に作用する向きの磁界を発生させる向きで貼着された焼結磁石からなる永久磁石3と、基板1に被着され、アーマチュア部23と可動接点42と固定接点41とが収納され密閉された収納室10を基板1との間に構成するカバーとを備える。永久磁石3は収納室10内には露出しないから、永久磁石3を貼着した接着剤に由来する有機物の膜が接点不良を起こすことがない。
【選択図】図1

Description

本発明は、マイクロリレーに関するものである。
従来から、コイルと、コアと、永久磁石と、固定接点と、可動接点が設けられてコイルへの通電に応じて可動接点と固定接点との離接を切り替えるように変位するアーマチュアとを備える電磁リレーとして、製造に半導体プロセスの技術を用いることにより小型化したマイクロリレーが提供されている(例えば、特許文献1参照)。
本発明者は、上記のようなマイクロリレーとして、特願2007−168216において図13に示すものを提案している。以下、上下左右は図13を基準として説明する。つまり、基板1の厚さ方向を上下方向と呼ぶ。また、図13の左下−右上方向を前後方向と呼ぶ。なお、上記の方向は説明の便宜上のものであって、使用時の向きとは無関係である。
基板1には、導電性を有する磁性体からなり全体として環形状であって閉磁路を構成する磁性体ブロック2が保持されている。磁性体ブロック2の材料としては、例えば鉄ニッケル合金を用いることができる。
磁性体ブロック2は、基板1の下面上に形成された本体部20と、本体部20の右端部から基板1内を上方へ突設された第1の脚部21と、本体部20の左端部から基板1内を上方に突設されて上端部が基板1の上面よりも上方に突出する第2の脚部22と、第2の脚部22の上端部から右方に突設されて基板1の上面に対し間に隙間を空けて対向するアーマチュア部23とを有する。また、第1の脚部21の上端は基板1の上面よりも下側に位置しており、第1の脚部21の上面には、N極を上方に向けてS極を下方に向けた永久磁石3が設けられている。つまり、磁性体ブロック2において、本体部20と第1の脚部21と第2の脚部22とが請求項におけるコアを構成するとともに請求項における磁路ブロックを永久磁石3とともに構成し、アーマチュア部23が請求項におけるアーマチュアを構成していて、図13の例では磁路ブロックの第1の脚部の上端部が永久磁石3で構成されていることになる。また、図13の例では、永久磁石3の上面は、基板1の上面と略面一となっている。上記のような磁性体ブロック2の脚部21,22は、基板1に設けた穴の内面への磁性体のめっきにより形成することができる。また、アーマチュア部23は、例えば、基板1上に形成した犠牲層(図示せず)上にアーマチュア部23となる磁性体の層を堆積によって形成した後、犠牲層をエッチングで除去することによって形成することができる。
また、アーマチュア部23の右端は第1の脚部21よりも右方に突出しており、基板1の上面において、アーマチュア部23の右端部の下側、すなわち第1の脚部21の上端部の右側には、固定接点41が設けられている。アーマチュア部23の右端部の下面には可動接点42が設けられており、アーマチュア部23は、左端部に対して右端部を下方へ変位させるように曲がって可動接点42を固定接点41に接触導通させるように弾性変形可能となっている。また、図15(a)に示すように、アーマチュア部23において可動接点42が設けられた右端部の前後の寸法は、他の部位の前後の寸法よりも小さくなっている。なお、上記のようにアーマチュア部23が導電性を有する場合、可動接点42を特に設けず、アーマチュア部23を可動接点として兼用してもよい。
さらに、基板1には、導電材料からなり一端が固定接点41に電気的に接続され他端が基板1の下面に露出した導電部41aが設けられており、導電部41aの下側には、球形状のはんだからなり導電部41aを介して固定接点41に電気的に接続された固定側バンプ51が設けられている。さらに、磁性体ブロック2の本体部20の下側には、球形状のはんだからなり磁性体ブロック2を介して可動接点42に電気的に接続された可動側バンプ52が設けられている。つまり、固定接点41と可動接点42との離接(接点の開閉)が切り替わると、固定側バンプ51と可動側バンプ52との間の電気的接続のオンオフが切り替わる。
ここで、基板1は、複数のセラミックスシートが積層されてなる低温同時焼成セラミックス(LTCC)基板であって、基板1には、それぞれセラミックスシート間に形成された複数個(図では9個)の螺旋形状の導電パターンが互いに電気的に接続されてなるコイル6が設けられている。さらに、基板1の下面には、それぞれ球形状のはんだからなりコイル6の一端ずつに電気的に接続された2個のコイル用バンプ53(1個のみ図示)が設けられている。また、基板1の上面には、導電部である磁性体ブロック2と固定接点41とをそれぞれ間に隙間を空けて囲むシールドパターン(図示せず)が設けられており、基板1の下面には、前記シールドパターンに電気的に接続されグランドに電気的に接続されるシールド用バンプ54が設けられている。
上記のように基板1がセラミックスで構成されていると、比較的に良好な高周波特性を得ることができる。また、基板1を構成するセラミックスシート間にコイル6が設けられていることにより、コイル6を基板1の外に形成する場合に比べ、コイル6の巻数の増加や小型化が可能となっている。
さらに、基板1には、基板1の上面を覆ってアーマチュア部23や可動接点42や固定接点41を保護するカバー7が被着されている。カバー7は、図14に示すように、厚さ方向を上下方向に向けた直方体形状であって上方から見た寸法形状が基板1と略同じカバー基板70と、カバー基板70の下面の周縁部に接合された長方形の環状のスペーサ71とで構成されている。スペーサ71により、カバー基板70と基板1との間には、磁性体ブロック2のアーマチュア部23や固定接点41や可動接点42が収納される密閉空間である収納室10が構成されている。カバー7を基板1に接合する際に加熱する場合には、熱応力を低減するために、カバー基板70の材料として基板1と同じ材料を用いることが望ましい。
上記のマイクロリレーの動作を説明する。磁性体ブロック2内に永久磁石3と同じ向きの磁束が生じるような方向でコイル用バンプ53を介してコイル6に通電すると、アーマチュア部23は右端部が下方に吸引されることによりアーマチュア部23のばね力に抗して右端部を下方へ変位させるように弾性変形し、ここにおいて可動接点42は固定接点41に接触導通して(接点がオンされて)、可動側バンプ52と固定側バンプ51とは可動接点42と固定接点41とを介して電気的に接続される。その後は、コイル6への通電が停止されても、永久磁石3の磁力により上記の状態は維持される。
逆に、可動接点42が固定接点41に接触導通した状態で、磁性体ブロック2内に永久磁石3の逆向きの磁束が生じるような方向でコイル用バンプ53を介してコイル6に通電すると、磁性体ブロック2の磁束が減少する。すると、アーマチュア部23の右端部に作用する下向きの力がアーマチュア部23のばね力を下回ることにより、アーマチュア部23は弾性復帰し、ここにおいて可動接点42は固定接点41から離れ(接点がオフされ)、可動側バンプ52と固定側バンプ51との電気的接続は切断される。
ここで、永久磁石3は、エアロゾル・デポジション法や、パルスレーザ・デポジション(PLD)法や、めっきや、スクリーンプリントといった周知の方法により磁性体ブロック2上に堆積させた磁性体の層を研磨して着磁することにより形成されていた。
特表2003−522377号公報
しかし、エアロゾル・デポジション法や、PLD法や、めっきといった方法で永久磁石3を形成する場合、永久磁石3の磁力が比較的に低くなるので、閉磁路においてより多くの部分を、磁性体ブロック2よりも透磁率の低い永久磁石3で構成する必要が生じるため、コイル6に必要な巻数が多くなり大型化を招いていた。
永久磁石3を比較的に磁力の高い焼結磁石で構成する場合、磁束を同程度としながらも永久磁石3を小型化して磁路のより多くの部分を磁性体ブロック2で構成することができ、これによりコイル6に必要な巻数が減少するから小型化が可能となる。しかし、永久磁石3を基板1や磁性体ブロック2に対して機械的に結合させるために接着剤により貼着する必要があるため、この接着剤に含まれる有機材料が密閉空間内に蒸気となって拡散し、さらに固定接点41や可動接点42上に有機物の膜を形成して固定接点41と可動接点42との接触導通を阻害し接点不良の原因となる可能性がある。
本発明は、上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、永久磁石として焼結磁石を用いながらも、有機物の膜による接点不良が防止されるマイクロリレーを提供することにある。
請求項1の発明は、一方の面に固定接点が設けられた基板と、磁性体からなり可動接点が設けられ弾性復帰した状態では可動接点が固定接点から離間するように基板に対して保持され可動接点を固定接点に接触導通させるように弾性変形可能なアーマチュアと、磁性体からなり基板に保持されたコアと、可動接点と固定接点との離接を切り替えるようにアーマチュアを駆動する磁界を発生させるようにコアを励磁するコイルと、可動接点を固定接点に接触させる方向に作用する向きの磁界を発生させる向きで有機材料を含む接着剤によって基板とコアとの少なくとも一方に対して貼着された焼結磁石からなる永久磁石と、基板に被着され、アーマチュアと可動接点と固定接点とが収納され密閉された収納室を基板との間に構成するカバーとを備え、永久磁石は、収納室内には露出しないことを特徴とする。
この発明によれば、永久磁石として比較的に磁力の強い焼結磁石を用いることにより小型化を可能としながらも、永久磁石が収納室内には露出しないことにより、永久磁石の貼着に用いられる接着剤に由来する有機物の膜による接点不良が防止される。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第1の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第2の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第1の脚部と第2の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、磁路ブロックにおいて、第1の脚部の前記一端と前記他端との間の中央部は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石からなり、その他の部位はコアからなることを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1の発明において、永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第1の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第2の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第1の脚部と第2の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、磁路ブロックにおいて、第2の脚部の前記一端と前記他端との間の中央部は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石からなり、その他の部位はコアからなることを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項1の発明において、永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第1の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第2の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第1の脚部と第2の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、磁路ブロックにおいて、第1の脚部の前記他端付近は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位はコアで構成されていることを特徴とする。
この発明によれば、請求項2の発明に比べ、製造時にコアにおいて第1の脚部を構成する部位を2回に分けて形成する必要がないから、製造が容易となる。
請求項5の発明は、請求項4の発明において、基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状は、第1の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積よりも大きいことを特徴とする。
この発明によれば、基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状を第1の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積以下とする場合に比べ、永久磁石による磁束を増大させることができる。
請求項6の発明は、請求項5の発明において、コアは永久磁石の各磁極面をそれぞれ覆う形状であって、第1の脚部は、基板の厚さ方向に直交する断面での断面積が前記他端から前記一端に向かって小さくなる部位を有することを特徴とする。
この発明によれば、コアが永久磁石の磁極面を露出させる形状である場合に比べ、磁束の漏れを低減することができる。
請求項7の発明は、請求項1の発明において、永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第1の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第2の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第1の脚部と第2の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、磁路ブロックにおいて、第2の脚部の前記他端付近は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位はコアで構成されていることを特徴とする。
この発明によれば、請求項3の発明に比べ、製造時にコアにおいて第2の脚部を構成する部位を2回に分けて形成する必要がないから、製造が容易となる。
請求項8の発明によれば、請求項7の発明において、基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状は、第1の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積よりも大きいことを特徴とする。
この発明によれば、基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状を第1の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積以下とする場合に比べ、永久磁石による磁束を増大させることができる。。
請求項9の発明は、請求項1の発明において、永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第1の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第2の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第1の脚部と第2の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、磁路ブロックは、本体部において第1の脚部に連結された部位と第2の脚部に連結された部位との間の中央部が、各磁極面をそれぞれ第1の脚部と第2の脚部とが並ぶ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位がコアで構成されていることを特徴とする。
この発明によれば、請求項2〜4,7の発明に比べ、製造時に永久磁石の貼着が容易となる。
請求項10の発明は、請求項9の発明において、可動接点に対してアーマチュアとコアとを介して電気的に接続され実装に用いられる端子が、本体部において永久磁石よりも第2の脚部に近い部位に設けられていて、永久磁石の少なくとも一方の磁極面とコアとの間には隙間が設けられていることを特徴とする。
この発明によれば、永久磁石の磁極面とコアとの間に隙間を設けない場合に比べ、可動接点側の端子から固定接点への交流信号の漏れであって永久磁石を経由する漏れが低減される。
請求項11の発明は、請求項1〜10のいずれか1項の発明において、カバーは、基板に対向するカバー基板と、カバー基板に保持されてアーマチュアを挟んでコアの反対側に位置するカバーコアと、可動接点を固定接点から引き離す方向にアーマチュアを駆動する磁界を発生させるようにカバーコアを励磁するカバーコイルとを有することを特徴とする。
この発明によれば、可動接点を固定接点から引き離す方向にコイルに通電する際にカバーコイルにも通電することにより、スティッキングを抑制することができる。
本発明によれば、永久磁石として比較的に磁力の強い焼結磁石を用いることにより小型化を可能としながらも、永久磁石が収納室内には露出しないことにより、永久磁石の貼着に用いられる接着剤に由来する有機物の膜による接点不良が防止される。
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。
本実施形態の基本構成は、図13〜図15で示した従来例(以下、単に「従来例」と呼ぶ。)と共通であるので、異なる部分についてのみ説明する。また、下記の説明においては、方向の表現は従来例と同様とする。すなわち、基板1の厚さ方向を上下方向と呼び、第1の脚部21と第2の脚部22とが並ぶ方向を左右方向と呼ぶ。
本実施形態では、図1に示すように、永久磁石3は、焼結磁石からなり、本体部20と第1の脚部21との間において、磁性体ブロック2に埋まる形で設けられている。すなわち、本実施形態では、永久磁石3は、磁路ブロックの第1の脚部の下端部(請求項における他端側の端部)を構成する形で、収納室10の外側に設けられており、収納室10内には露出しない。また、永久磁石3の各磁極面は、従来例と同様に、それぞれ基板1の厚さ方向である上下方向に向けられている。製造時には、永久磁石3は、第1の脚部21と第2の脚部22とがそれぞれ例えば基板1に設けられた貫通穴の内面へのめっきによって形成された後、本体部20が例えばめっきによって形成される前に、基板1や第1の脚部21の下端面に対し、有機材料を含む接着剤を用いて貼着される。
上記構成によれば、永久磁石3が、固定接点41及び可動接点42が収納される空間の外側に設けられているから、永久磁石3の貼着に有機材料を含む接着剤を用いながらも、有機材料の蒸気が収納室10内に発生しないから、接着剤に由来する有機物の膜による接点不良が防止される。
さらに、永久磁石3として比較的に強力な焼結磁石を用いていることで、従来例のように堆積によって形成される永久磁石3を用いる場合に比べ、同程度の磁束を維持しながらも永久磁石3を小型化し、磁性体ブロック2と永久磁石3とが構成する閉磁路のより多くの部分を永久磁石3よりも透磁率の高い材料からなる磁性体ブロック2で構成して、鉄損を減少させることができるから、コイル6の巻数を減少させることや磁性体ブロック2を小型化することによる全体の小型化が可能となる。
なお、永久磁石3の位置は上記に限られず、磁性体ブロック2が構成する閉磁路中であって収納室10外であればよい。例えば、図2に示すように第2の脚部22と本体部20との間において磁性体ブロック2を分断する形で、すなわち磁路ブロックの第2の脚部の下端部(請求項における他端側の端部)を構成する形で設けてもよい。また、図3や図4に示すように、第1の脚部21や第2の脚部22を磁路に沿った方向である上下方向の中央部で分断する形で永久磁石3を設けてもよいが、この場合には、製造時、第1の脚部21や第2の脚部22を形成する工程を、永久磁石3を貼着する工程を挟んで2回に分ける必要が生じてしまう。従って、図1や図2のように基板1において固定接点41が設けられた面の反対面である下面側に設けたほうが、製造が容易であるから望ましい。図2〜図4のいずれの例においても、永久磁石3の各磁極面は、それぞれ基板1の厚さ方向である上下方向に向けられる。
また、図1や図2の例においては、第1の脚部21の上端部や第2の脚部22の上端部と永久磁石3とで、磁路に直交する断面(つまり上下方向に直交する断面)での断面形状を互いに共通としているが、図5や図6に示すように、磁性体ブロック2においてアーマチュア部23に対し間に隙間を空けて対向する部位である第1の脚部21の上端部の上記断面形状よりも、永久磁石3の上記断面形状を大きくしてもよい。この構成を採用すれば、図1や図2のように第1の脚部21の上端部と永久磁石3とで上記断面形状を互いに共通とする場合に比べ、接点が閉じた状態に維持するための磁束を増加させることができる。この場合、磁束の漏れを抑えるために、少なくとも永久磁石3付近においては上記断面形状を永久磁石3と磁性体ブロック2とで合わせること(すなわち、コアを構成する磁性体ブロック2の形状を、永久磁石3の各磁極面をそれぞれ覆う形状とすること)が望ましい。特に、永久磁石3を第1の脚部21の下側に設ける場合、図7に示すように、第1の脚部21の上記断面形状をアーマチュア部23に向かって(つまり上方へ向かって)徐々に小さくすれば、図1の例に比べ、第1の脚部21においてアーマチュア部23に対向する上端面の面積を維持しつつ永久磁石3が大型化される形となり、第1の脚部21とアーマチュア部23との間での永久磁石3による磁束密度を増大させて吸引力を向上させることができる。
さらに、図8及び図9に示すように、永久磁石3を本体部20の中央部に設けてもよい。図8及び図9の例では、永久磁石3によって磁性体ブロック2の本体部20が左右に2つに分断される形となっており、可動側バンプ52は、分断された本体部20のうち、第2の脚部22を介してアーマチュア部23に連結された側の部位の下面に設けられている。図8及び図9の例では、永久磁石3の各磁極面は、それぞれ第1の脚部21と第2の脚部22とが並ぶ方向である左右方向に向けられる。図8及び図9の例のように永久磁石3を基板1の下側に設ければ、図1〜図7のように永久磁石3が基板1に埋め込まれる形となる場合に比べ、永久磁石3の貼着がより容易となる。
ところで、固定接点41及び可動接点42を介して交流の電気信号が伝送される場合、特に、その電気信号が周波数の高いいわゆるRF信号である場合には、接点が開いている状態(つまり可動接点42が固定接点41から離れている状態)であっても、固定接点41と可動接点42との間の浮遊容量を介して電気信号の漏れが生じてしまう。この漏れの経路のうち、可動接点42側の端子である可動側バンプ52から可動接点42に至る経路としては、本体部20と永久磁石3と第1の脚部21とを通り第1の脚部21とアーマチュア部23との間の浮遊容量を介して可動接点42に至る第1の経路と、第2の脚部22とアーマチュア部23とを介して可動接点42に至る第2の経路とがある。図8及び図9の例では、上記の第1の経路による漏れを低減するために、永久磁石3において第1の脚部21側である右側の端面(すなわち一方の磁極面)と磁性体ブロック2との間に隙間24を設けている。
また、接点のオフ時にアーマチュア部23の弾性力が不足して可動接点42が固定接点41に接触導通したままとなる、いわゆるスティッキングを抑制するために、図10、図11(a)(b)及び図12(a)(b)に示すように、接点のオフ時にアーマチュア部23に上向きの磁力を作用させるためのカバーコア72と永久磁石73とカバーコイル74とを、それぞれカバー基板70に設けてもよい。詳しく説明すると、カバーコア72は磁性体からなり、上下に扁平であってカバー基板70の上面に露出する本体部72aと、本体部72aの右端部の下側に設けられ下端面がカバー基板70の下面と面一となる第1の脚部72bと、本体部72aの左端部からカバー基板70内を下方へ突設され下端面がカバー基板70の下面と略面一となる第2の脚部72cとを有する。カバー基板70は基板1と同様の積層基板であって、カバーコイル74は、コイル6と同様に、それぞれカバー基板70を構成するセラミックシート間に形成され上下方向から見て第2の脚部72cを周回する渦巻形状の複数個(図では9個)の導電パターンが互いに電気的に接続されてなる。また、カバー7側の永久磁石73は、第1の脚部72bの上端部と本体部72とを分断する形で設けられ、基板1側の永久磁石3と同様に、N極を上方に向けS極を下方に向けており、収納室10内には露出しない。カバーコア72の第1の脚部72bは、磁性体ブロック2のアーマチュア部23を挟んで第1の脚部21の上側に位置し、カバーコア72の第2の脚部72cは、磁性体ブロック2の第2の脚部22の上側に位置している。さらに、図11(b)に示すように、カバー基板70の下面(図11(b)における上面)には、下面がスペーサ71の上面と略面一となる接続部70aが突設され、接続部70a内には、導電材料からなりカバーコイル74に電気的に接続された導電部70bが設けられている。なお、図11(b)には接続部70a及び導電部70bを1個のみ図示しているが、実際には接続部70a及び導電部70bはそれぞれカバーコイル74の一端部ずつに対応して2組設けられる。基板1には、上面においてカバー7の一方の導電部70bに対応した位置と下面とにそれぞれ露出した導電部(図示せず)が設けられており、図12(b)に示すように、この導電部とカバー7の導電部70bとを介してカバーコイル74の一端ずつに電気的に接続された球形状のはんだからなる2個のカバーコイルバンプ55(1個のみ図示)が、基板1の下面に設けられている。
図10〜図12の形態では、接点をオフする際には、磁性体ブロック2に永久磁石3の逆向きの磁束が生じる向きでコイル6に通電するとともに、カバーコア72に永久磁石73と同じ向きの磁束が生じる向きでカバーコイル74に通電すれば、アーマチュア部23に対して下向きの磁力が弱まるだけでなく上向きの磁力が作用することにより、確実に可動接点42を固定接点41から引き剥がすことができる。なお、図10〜図12では図1の形態への適用例を示しているが、図2〜8のどの形態に適用してもよい。また、図10〜図12の例では、カバー7側の永久磁石73の位置は、図1の形態の永久磁石3に準じた位置となっているが、これに限られず、例えば図2〜8のいずれかの形態の永久磁石3に準じた位置としてもよい。また、カバー7側の永久磁石73は省略してもよい。
本発明の実施形態を示す一部破断した斜視図である。 同上の別の形態を示す一部破断した斜視図である。 同上の更に別の形態を示す一部破断した斜視図である。 同上の別の形態を示す一部破断した斜視図である。 同上の更に別の形態を示す一部破断した斜視図である。 同上の別の形態を示す一部破断した斜視図である。 同上の更に別の形態を示す一部破断した斜視図である。 同上の別の形態を示す一部破断した斜視図である。 図8の形態においてカバーが取り付けられていない状態を示す図8とは異なる方向から見た一部破断した斜視図である。 同上の別の形態を示す、一部破断した斜視図である。 (a)(b)はそれぞれ図10の形態のカバーを示す互いに異なる方向から見た一部破断した斜視図である。 (a)(b)はそれぞれ図10の形態においてカバーが取り付けられていない状態を示す互いに異なる方向から見た一部破断した斜視図である。 マイクロリレーの一例を示す一部破断した斜視図である。 (a)(b)はそれぞれ同上のカバーを示す互いに異なる方向から見た一部破断した斜視図である。 (a)(b)はそれぞれ同上においてカバーが取り付けられていない状態を示す互いに異なる方向から見た一部破断した斜視図である。
符号の説明
1 基板
2 磁性体ブロック
3 永久磁石
6 コイル
7 カバー
20 本体部
21 第1の脚部
22 第2の脚部
23 アーマチュア部
24 隙間
41 固定接点
42 可動接点
70 カバー基板
72 カバーコア
74 カバーコイル

Claims (11)

  1. 一方の面に固定接点が設けられた基板と、
    磁性体からなり可動接点が設けられ弾性復帰した状態では可動接点が固定接点から離間するように基板に対して保持され可動接点を固定接点に接触導通させるように弾性変形可能なアーマチュアと、
    磁性体からなり基板に保持されたコアと、
    可動接点と固定接点との離接を切り替えるようにアーマチュアを駆動する磁界を発生させるようにコアを励磁するコイルと、
    可動接点を固定接点に接触させる方向に作用する向きの磁界を発生させる向きで有機材料を含む接着剤によって基板とコアとの少なくとも一方に対して貼着された焼結磁石からなる永久磁石と、
    基板に被着され、アーマチュアと可動接点と固定接点とが収納され密閉された収納室を基板との間に構成するカバーとを備え、
    永久磁石は、収納室内には露出しないことを特徴とするマイクロリレー。
  2. 永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第1の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第2の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第1の脚部と第2の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、
    磁路ブロックにおいて、第1の脚部の前記一端と前記他端との間の中央部は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石からなり、その他の部位はコアからなることを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
  3. 永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第1の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第2の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第1の脚部と第2の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、
    磁路ブロックにおいて、第2の脚部の前記一端と前記他端との間の中央部は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石からなり、その他の部位はコアからなることを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
  4. 永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第1の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第2の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第1の脚部と第2の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、
    磁路ブロックにおいて、第1の脚部の前記他端付近は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位はコアで構成されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
  5. 基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状は、第1の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項4記載のマイクロリレー。
  6. コアは永久磁石の各磁極面をそれぞれ覆う形状であって、第1の脚部は、基板の厚さ方向に直交する断面での断面積が前記他端から前記一端に向かって小さくなる部位を有することを特徴とする請求項5記載のマイクロリレー。
  7. 永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第1の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第2の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第1の脚部と第2の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、
    磁路ブロックにおいて、第2の脚部の前記他端付近は各磁極面をそれぞれ基板の厚さ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位はコアで構成されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
  8. 基板の厚さ方向から見た永久磁石の寸法形状は、第1の脚部においてアーマチュアに対向する端面の面積よりも大きいことを特徴とする請求項7記載のマイクロリレー。
  9. 永久磁石とコアとからなる磁路ブロックは、基板を厚さ方向に貫通し一端が基板において固定接点が設けられた面に露出してアーマチュアに対向する第1の脚部と、基板を厚さ方向に貫通し一端部が基板において固定接点が設けられた面から突出して該一端にアーマチュアが連結された第2の脚部と、基板において固定接点が設けられた面の反対面に露出して第1の脚部と第2の脚部との他端間を連結する本体部とを有し、
    磁路ブロックは、本体部において第1の脚部に連結された部位と第2の脚部に連結された部位との間の中央部が、各磁極面をそれぞれ第1の脚部と第2の脚部とが並ぶ方向に向けた永久磁石で構成され、その他の部位がコアで構成されていることを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
  10. 可動接点に対してアーマチュアとコアとを介して電気的に接続され実装に用いられる端子が、本体部において永久磁石よりも第2の脚部に近い部位に設けられていて、
    永久磁石の少なくとも一方の磁極面とコアとの間には隙間が設けられていることを特徴とする請求項9記載のマイクロリレー。
  11. カバーは、
    基板に対向するカバー基板と、
    カバー基板に保持されてアーマチュアを挟んでコアの反対側に位置するカバーコアと、
    可動接点を固定接点から引き離す方向にアーマチュアを駆動する磁界を発生させるようにカバーコアを励磁するカバーコイルとを有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載のマイクロリレー。
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