JP2009168860A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009168860A5 JP2009168860A5 JP2008003730A JP2008003730A JP2009168860A5 JP 2009168860 A5 JP2009168860 A5 JP 2009168860A5 JP 2008003730 A JP2008003730 A JP 2008003730A JP 2008003730 A JP2008003730 A JP 2008003730A JP 2009168860 A5 JP2009168860 A5 JP 2009168860A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- lift
- lift pins
- horizontal direction
- pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008003730A JP2009168860A (ja) | 2008-01-10 | 2008-01-10 | 基板用ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008003730A JP2009168860A (ja) | 2008-01-10 | 2008-01-10 | 基板用ステージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009168860A JP2009168860A (ja) | 2009-07-30 |
JP2009168860A5 true JP2009168860A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2011-02-10 |
Family
ID=40970141
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008003730A Withdrawn JP2009168860A (ja) | 2008-01-10 | 2008-01-10 | 基板用ステージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009168860A (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI777060B (zh) * | 2010-02-17 | 2022-09-11 | 日商尼康股份有限公司 | 搬送裝置、曝光裝置以及元件製造方法 |
JPWO2012035722A1 (ja) * | 2010-09-14 | 2014-01-20 | 古河機械金属株式会社 | 処理装置 |
JP5912654B2 (ja) | 2012-02-24 | 2016-04-27 | 株式会社東芝 | 基板保持装置及びパターン転写装置並びにパターン転写方法 |
JP6239364B2 (ja) * | 2013-12-10 | 2017-11-29 | 東芝機械株式会社 | 真空チャック装置および同真空チャック装置を備えた立形精密加工機並びにダイシング装置 |
CN104409389B (zh) * | 2014-11-07 | 2017-10-27 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种机台 |
CN105609449A (zh) * | 2016-02-29 | 2016-05-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 自动校准基板位置的机台及半导体加工设备 |
JP6797063B2 (ja) * | 2017-04-14 | 2020-12-09 | 東京エレクトロン株式会社 | ピン制御方法及び基板処理装置 |
US20200384500A1 (en) * | 2017-09-29 | 2020-12-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Uv light irradiation method |
CN108458736B (zh) * | 2018-02-10 | 2024-07-16 | 浙江达美智能技术有限公司 | 一种在线检测装置的定位机构 |
CN108681113B (zh) * | 2018-04-23 | 2023-12-15 | 深圳市深科达智能装备股份有限公司 | 自动化压合设备 |
CN111487259B (zh) * | 2020-04-24 | 2023-10-13 | 上海帆声图像科技有限公司 | 一种玻璃盖板丝印外观检测设备及检测算法 |
JP2024004563A (ja) * | 2022-06-29 | 2024-01-17 | キヤノントッキ株式会社 | アライメント装置、成膜装置及びアライメント方法 |
KR20250027667A (ko) | 2022-06-29 | 2025-02-27 | 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤 | 미끄럼 방지 부재 |
CN115508189B (zh) * | 2022-09-29 | 2025-06-03 | 彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司 | 一种玻璃基板错位调节装置 |
CN117393487B (zh) * | 2023-12-12 | 2024-04-02 | 迈为技术(珠海)有限公司 | 一种平面度间隙自适应调整方法、装置、设备和介质 |
-
2008
- 2008-01-10 JP JP2008003730A patent/JP2009168860A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009168860A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
WO2009069224A1 (ja) | 移載装置 | |
CN106814550B (zh) | 工件台基板交接装置与预对准方法 | |
JP2009168860A (ja) | 基板用ステージ装置 | |
JP4480633B2 (ja) | ガラス板のパレットへの積載方法および装置 | |
WO2010132255A3 (en) | Transport apparatus | |
JP2011092747A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2008302487A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2008302487A (ja) | 基板吸着装置及び基板搬送装置並びに外観検査装置 | |
JP2016532037A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2007248291A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
CN104960919B (zh) | 一种电能表机器人上下料系统及其工作流程 | |
JP2011161521A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
PL1832534T3 (pl) | Chwytak | |
JP2008162778A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2015133391A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
WO2012054175A3 (en) | Transport apparatus | |
JP2017148925A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
CN105364614B (zh) | 一种传动链式上料定位机构 | |
CN101389209A (zh) | 托架定位机构以及用于组件安装装置的托架 | |
KR100801604B1 (ko) | 검사대상물 클램핑장치 | |
JP2006319345A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
KR101457023B1 (ko) | 로봇을 이용한 물건 적재장치 및 이를 이용한 적재방법 | |
JP2009026859A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
CN204751488U (zh) | 一种电能表机器人上下料系统 |