JP2009168668A - 歪検出装置 - Google Patents

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行雄 水上
Goji Himori
剛司 檜森
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卓司 岩野
Shigekazu Onozumi
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Abstract

【課題】歪検出装置に過大な応力が加わっても、起歪体と絶縁層との間が剥離せずに特性が安定する歪検出装置を提供する。
【解決手段】歪検出装置は、金属製の起歪体11と、この起歪体11の外表面側に設けられたガラスからなる絶縁層13と、この絶縁層13の外表面に設けられた少なくとも2つの歪抵抗素子15とを備え、前記起歪体11と絶縁層13との間に位置して緩衝層12が設けられる。緩衝層12はAgとガラスとの混合物によって構成されている。
【選択図】図1

Description

本発明は、荷重を負荷することによって発生する歪を検出する歪検出装置に関するものである。
従来のこの種の歪検出装置について、図4及び図5を参照しながら説明する。図4は従来の歪検出装置の上面図であり、図5は同歪検出装置の側断面図を示したものである。この図4,図5に示すように、歪検出装置は板状に加工した金属からなる起歪体1を備えており、この起歪体1には上面から下面にわたって貫通するように3つの孔2が設けられている。前記起歪体1の上面には、ガラスからなる絶縁層3が設けられている。前記絶縁層3の上面には、銀からなる回路パターン4が設けられている。
符号5は4つの歪抵抗素子であり、この歪抵抗素子5は前記絶縁層3の上面に前記回路パターン4と電気的に接続するように設けられている。そして、前記歪抵抗素子5は、銀からなる電源電極6、出力電極7およびGND電極8を回路パターン4によって電気的に接続することによりブリッジ回路を構成している。符号9は保護層であり、この保護層9は、前記起歪体1の上面に設けた絶縁層3、回路パターン4および歪抵抗素子5を覆うように設けられている。
以上のように構成された従来の歪検出装置の動作について説明する。歪検出装置における起歪体1の孔2のうち外側の二つを固定した状態で、中央の孔2に上方から下方に向かって荷重が負荷されると、この負荷された荷重により、起歪体1に反りが発生して、4つの歪抵抗素子5に抵抗値の変化が生じる。この4つの歪抵抗素子5の抵抗値の変化をブリッジ回路で出力して、演算装置(図示せず)で荷重に変換することにより、歪検出装置に加わる荷重を算出することができる。
ここで、図5に示す従来の歪検出装置では、起歪体1の縦弾性係数は約210GPaであるのに対し、絶縁層3の縦弾性係数は約120GPaである。このため、歪検出装置において過大な荷重が負荷される場合を考えてみると、過大な荷重の負荷により、起歪体1は大きく歪むことができるが、絶縁層3は歪まないことになり、その結果、起歪体1と絶縁層3との間に剥離が生じてしまう。そのため、(表1)に示すように、負荷荷重が500kgfまでは、正確な検出荷重を測定することができる。
Figure 2009168668
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2000−180255号公報
しかしながら、上記従来の構成においては、(表1)に示すように、歪検出装置に600kgf以上の過大な応力が加わった場合に、起歪体1が大きく歪むと、ガラスからなる絶縁層3はあまり撓まないため、起歪体1と絶縁層3との間が剥離することになり、これにより、起歪体1に加わる応力が正確に歪抵抗素子5に伝わらなくなってしまうため、歪検出装置の出力信号が変動してしまうという課題を有していた。
本発明は上記従来の課題を解決するもので、歪検出装置に過大な応力が加わっても、起歪体と絶縁層との間が剥離するということはなく、これにより、出力信号が変動するということがない特性の安定した歪検出装置を提供することを目的とするものである。
前記の目的を達成するため、本発明は、起歪体と、この起歪体の外側に設けられた絶縁層と、この絶縁層の外表面に設けられた少なくとも2つの歪抵抗素子と、電極と、前記歪抵抗素子及び前記電極と電気的に接続されることによりブリッジ回路を構成する回路パターンと、前記起歪体と前記絶縁層との間に位置する緩衝層と、を有する歪検出装置である。
この構成によれば、起歪体と絶縁層との間に位置して緩衝層が設けられているため、歪検出装置に過大な応力が加わることにより、起歪体が大きく歪んだ場合は、それに伴い、絶縁層よりも歪み易い緩衝層が歪むことになり、これにより、起歪体と緩衝層との間および緩衝層と絶縁層との間が剥離するということはなくなる。このため、起歪体に加わる応力は正確に歪抵抗素子に伝わることになり、これにより、出力信号が安定するという作用効果を有する。
ここで、前記緩衝層は、前記絶縁層よりも歪み易い材質で構成されているのが好ましい。この態様では、起歪体が歪んだ場合に緩衝層を中位に歪ませることができ、絶縁層がほとんど歪まない場合でも、起歪体と緩衝層との間の剥離および緩衝層と絶縁層との間の剥離を防止することができる。
この態様において、前記起歪体は金属製であり、前記絶縁層はガラス製であり、前記緩衝層は、ガラスと金属の混合物によって構成されているのが好ましい。この態様では、緩衝層を絶縁層よりも歪み易い構成にし易くすることができる。
さらに、前記緩衝層は、ガラスと銀の混合物によって構成されているのが好ましい。この態様では、緩衝層を絶縁層よりも歪み易い構成にし易くすることができる。
また、前記起歪体は筒状に構成されるとともに、前記起歪体の一端側に第1の取付部材が接合される一方、前記起歪体の他端側に第2の取付部材が接合され、前記起歪体に前記緩衝層が被せられ、前記緩衝層に前記絶縁層が被せられているのが好ましい。
この態様では、第1の取付部材及び第2の取付部材に外力が作用した場合に、起歪体が歪むので、その歪みに応じて緩衝層及び絶縁層を歪ませることができる。
以上説明したように、本発明によれば、起歪体と緩衝層との間および緩衝層と絶縁層との間が剥離するということはなくなるため、起歪体に加わる応力は正確に歪抵抗素子に伝わることになり、これにより、出力信号が変動するということがない特性の安定した歪検出装置を提供できるという優れた効果を奏する。
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
図1は本発明の一実施の形態における歪検出装置の斜視図であり、図2は同歪検出装置の側断面図であり、図3は同歪検出装置における起歪体の展開図である。
図2に示すように、歪検出装置は、所定の厚みを有する円筒形状のステンレス鋼材からなる起歪体11を備えており、この起歪体11の筒軸方向の一端側には第1の開口部11aが形成され、他端側には第2の開口部11bが形成されている。また、起歪体11の外側には、Ag(銀)とガラスの混合物からなる緩衝層12が設けられている。この緩衝層12は、起歪体11に被せられていて円筒形状に構成されている。緩衝層12は、起歪体11と同心状に配設されて起歪体11の表面を覆っている。なお、緩衝層12を構成する金属としては、Agに代えて、Au(金)、Pt(白金)、AgPd合金(銀パラジウム合金)、AgPt合金(銀白金合金)、AuAg合金(金銀合金)等を用いてもよい。
緩衝層12の外側面には、ガラスからなる絶縁層13が前記緩衝層12の大部分を覆うように設けられている。この絶縁層13も円筒形状に構成されており、絶縁層13は緩衝層12と同心円状に配設されて、緩衝層12に被せられている。
絶縁層13の上面(外面)には、Agからなる回路パターン14と、この回路パターン14と電気的に接続された2つの歪抵抗素子15とが設けられている。この歪抵抗素子15は電源電極17、出力電極18およびGND電極19を回路パターン14によって電気的に接続することによりハーフブリッジ回路を構成している。各歪抵抗素子15は、絶縁層13の略半周に亘る長さを有し、起歪体11の中心軸を挟んで互いに対向する位置に配設されている。
起歪体11には、SUS430からなる第1の取付部材21と、SUS430からなる第2の取付部材23とが設けられている。第1の取付部材21は前記起歪体11の一端側に接合され、第1の開口部11aを閉塞するフランジ部21aを有している。フランジ部21aは、起歪体11の外径と略同一の外径を有する。第1の取付部材21は、フランジ部21aの外側面に繋がるように設けられたネジ部22を有する。このネジ部22の外径はフランジ部21aの外径よりも小さくなっている。
第2の取付部材23は前記起歪体11の他端側に接合され、第2の開口部11bを閉塞するフランジ部21bを有している。フランジ部21bは、起歪体11の外径と略同一の外径を有する。第2の取付部材23は、フランジ部21bの外側面に繋がるように設けられたネジ部22を有する。このネジ部22の外径はフランジ部21bの外径よりも小さくなっている。
以上のように構成された歪検出装置について、次にその製造方法を説明する。
まず、予め準備した起歪体11の表面に、粒径が約1μmのAg粉とガラス粉と樹脂バインダーと溶剤とから構成された電極ペースト(図示せず)をスクリーン印刷した後、120℃の温度乾燥機で約20分間乾燥し、さらにピーク温度600℃で10分間焼成することにより、起歪体11の表面に緩衝層12を形成する。
次に、緩衝層12の表面に、絶縁層13の材料であるガラスをペースト化した材料をスクリーン印刷した後、120℃の温度乾燥機で約20分間乾燥し、さらにピーク温度600℃で10分間焼成することにより、緩衝層12の表面に絶縁層13を形成する。
次に、絶縁層13の表面における歪抵抗素子15を設ける位置に、ペースト化した歪抵抗素子材料をスクリーン印刷した後、120℃の温度乾燥機で約20分間乾燥し、さらにピーク温度600℃で10分間焼成することにより、絶縁層13の表面に歪抵抗素子15を形成する。
次に、起歪体11における一端側の第1の開口部11aに第1の取付部材21のフランジ部21aを当接させた後、起歪体11と第1の取付部材21とを溶接により互いに接合する。
最後に、起歪体11における他端側の第2の開口部11bに第2の取付部材22のフランジ部21bを当接させた後、起歪体11と第2の取付部材22とを溶接により互いに接合する。
以上のようにして構成され、かつ組み立てられた歪検出装置について、次にその動作を説明する。
歪検出装置が水平方向になるように、第1の取付部材21を第1の相手側取付部材(図示せず)に取り付けるとともに、第2の取付部材23を第2の相手側取付部材(図示せず)に取り付ける。
そして、この状態において、第1の相手側取付部材(図示せず)に、上方より荷重が加えられると、起歪体11における上側の部位で引張応力が発生するとともに起歪体11における下側の部位で圧縮応力が発生する。これに伴い、緩衝層12及び絶縁層13にも同様に引張応力及び圧縮応力が発生し、起歪体11における上側に位置する一方の歪抵抗素子15に引張応力が発生するとともに、下側に位置する他方の歪抵抗素子15に圧縮応力が発生する。したがって、前記2つの歪抵抗素子15に、応力により歪が発生すると、ハーフブリッジ回路を構成する歪抵抗素子15の抵抗値が変化するため、出力電極18の電位が変化する。この電位の変化を出力電極18から出力信号として外部コンピュータ(図示せず)に出力し、起歪体11に加わる荷重を測定することができる。
ここで、歪検出装置に過大な荷重が負荷される場合を考えて見ると、本実施形態における歪検出装置においては、起歪体11と絶縁層13との間に縦弾性係数が約83GPaと小さく、絶縁層13よりも歪易い緩衝層12が設けられているため、過大な荷重の負荷により、起歪体11が大きく歪んだ際には、その影響で緩衝層12が中位に歪むことになり、これにより、絶縁層13がほとんど歪まなくても、起歪体11と緩衝層12との間および緩衝層12と絶縁層13との間に剥離が生じることはない。その結果、(表2)に示すように、本実施の形態における歪検出装置においては、負荷荷重600kgf〜900kgf(5880〜8820N)の間でも、正確な検出荷重を測定できる。
Figure 2009168668
すなわち、本発明の一実施の形態における歪検出装置においては、起歪体11と絶縁層13との間に位置して緩衝層12を設けているため、歪検出装置に過大な応力が加わることにより、起歪体11が大きく歪んだ場合は、それに伴い、絶縁層11よりも歪み易い緩衝層12が歪むことになり、これにより、起歪体11と緩衝層12との間および緩衝層12と絶縁層13との間が剥離するということはなくなるため、起歪体11に加わる応力は正確に歪抵抗素子15に伝わることになり、これにより、出力信号が安定するという効果を有するものである。
さらに、負荷荷重を1000kgf(9800N)あるいは1500kgf(14700N)まで増加させると、(表2)に示すように、負荷荷重の増加に伴い、検出荷重も増加する傾向にあるため、すなわち、正確な荷重を検出することはできていないものの、緩衝層12が作用することにより、起歪体11と緩衝層12との間および緩衝層12と絶縁層13との間が剥離するということはなくなるため、歪検出装置の破壊強度が向上するという効果を有するものである。
本発明は、歪検出装置に過大な応力が加わっても、起歪体と絶縁層との間が剥離するということはなく、これにより、出力信号が変動するということがない特性の安定した歪検出装置を提供することができるという効果を有するものであり、特に荷重を負荷することによって発生する歪を検出する歪検出装置として有用なものである。
本発明の一実施の形態における歪検出装置の斜視図である。 同歪検出装置の側断面図である。 同歪検出装置における起歪体の展開図である。 従来の歪検出装置の上面図である。 従来の歪検出装置の側断面図である。
符号の説明
11 起歪体
12 緩衝層
13 絶縁層
14 回路パターン
15 歪抵抗素子
17,18,19 電極
21 第1の取付部材
22 第2の取付部材

Claims (5)

  1. 起歪体と、この起歪体の外側に設けられた絶縁層と、この絶縁層の外表面に設けられた少なくとも2つの歪抵抗素子と、電極と、前記歪抵抗素子及び前記電極と電気的に接続されることによりブリッジ回路を構成する回路パターンと、前記起歪体と前記絶縁層との間に位置する緩衝層と、を有する歪検出装置。
  2. 前記緩衝層は、前記絶縁層よりも歪み易い材質で構成されている請求項1に記載の歪検出装置。
  3. 前記起歪体は金属製であり、前記絶縁層はガラス製であり、前記緩衝層は、ガラスと金属の混合物によって構成されている請求項2に記載の歪検出装置。
  4. 前記緩衝層は、ガラスと銀の混合物によって構成されている請求項3に記載の歪検出装置。
  5. 前記起歪体は筒状に構成されるとともに、前記起歪体の一端側に第1の取付部材が接合される一方、前記起歪体の他端側に第2の取付部材が接合され、
    前記起歪体に前記緩衝層が被せられ、前記緩衝層に前記絶縁層が被せられている請求項1から4のいずれか1項に記載の歪検出装置。
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Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55154438U (ja) * 1979-04-20 1980-11-07
JPS62266402A (ja) * 1986-05-15 1987-11-19 Kyowa Electronic Instr Corp Ltd 高温用ひずみゲ−ジの添着構造および添着方法
JPH01132902A (ja) * 1987-10-15 1989-05-25 Commiss Energ Atom クリープの補償可能な歪ゲージ及びそのような歪ゲージを得る方法
JPH0593659A (ja) * 1990-10-29 1993-04-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd ひずみセンサおよびその製造法
JPH11237292A (ja) * 1998-02-18 1999-08-31 Texas Instr Japan Ltd 圧力検出素子及び圧力センサ
JP2003329443A (ja) * 2002-05-14 2003-11-19 Alps Electric Co Ltd 検出装置
JP2007085993A (ja) * 2005-09-26 2007-04-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 歪センサとその製造方法
JP2007271303A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 歪検出装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55154438U (ja) * 1979-04-20 1980-11-07
JPS62266402A (ja) * 1986-05-15 1987-11-19 Kyowa Electronic Instr Corp Ltd 高温用ひずみゲ−ジの添着構造および添着方法
JPH01132902A (ja) * 1987-10-15 1989-05-25 Commiss Energ Atom クリープの補償可能な歪ゲージ及びそのような歪ゲージを得る方法
JPH0593659A (ja) * 1990-10-29 1993-04-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd ひずみセンサおよびその製造法
JPH11237292A (ja) * 1998-02-18 1999-08-31 Texas Instr Japan Ltd 圧力検出素子及び圧力センサ
JP2003329443A (ja) * 2002-05-14 2003-11-19 Alps Electric Co Ltd 検出装置
JP2007085993A (ja) * 2005-09-26 2007-04-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 歪センサとその製造方法
JP2007271303A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 歪検出装置

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