JP2009164355A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 原版および基板を走査軸方向に走査しながら該原版のパターンを投影光学系によって該基板に投影して該基板を走査露光する走査露光装置であって、
   前記投影光学系の像面に入射する露光光の前記走査軸方向における重心位置を目標重心位置に基づいて調整する重心位置調整ユニットを備えることを特徴とする走査露光装置。
2. 前記重心位置調整ユニットは、移動可能な複数の第１ブレードと複数の第２ブレードとを含み、前記複数の第１ブレードの先端と前記複数の第２ブレードの先端との前記走査軸方向における間隔によって、露光光による原版の照明領域の前記走査軸方向における幅が規定され、
   前記重心位置調整ユニットは、前記複数の第１ブレードおよび前記複数の第２ブレードを移動することによって、前記投影光学系の像面に入射する露光光の前記走査軸方向における重心位置を調整することを特徴とする請求項１に記載の走査露光装置。
3. 前記重心位置調整ユニットは、原版が配置される面と共役な面又は前記共役な面の近傍に配置されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の走査露光装置。
4. 前記投影光学系の像面に入射する露光光の前記走査軸方向における重心位置を検出する検出器を更に備え、
   前記重心位置調整ユニットは、前記検出器による検出結果に基づいて、前記投影光学系の像面に入射する露光光の前記走査軸方向における重心位置を調整する、ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の走査露光装置。
5. デバイス製造方法であって、
   請求項１乃至４のいずれか１項に記載の走査露光装置を用いて基板を露光する工程と、
   該基板を現像する工程と、
   を含むことを特徴とするデバイス製造方法。