JP2009164292A - 半導体デバイス試験装置及び半導体デバイス試験方法 - Google Patents
半導体デバイス試験装置及び半導体デバイス試験方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】複数の半導体デバイスの測定値を入力する入力ステップ(402)と、前記複数の測定値のうちの異なる2個の測定値の差の絶対値の平均値を指標値として演算する指標値演算ステップ(403)と、前記複数の測定値の標準偏差を演算する標準偏差演算ステップと、前記指標値及び前記標準偏差を基に判定の有効性を判断する有効性判断ステップ(406)と、前記判定が有効であると判断されたときには、前記標準偏差を用いて前記複数の半導体デバイスの良品/不良品判定を行ってその判定結果を出力する良品/不良品判定ステップ(408)とを有することを特徴とする半導体デバイス試験方法が提供される。
【選択図】図4
Description
502 プローブ
503 半導体ウェハ
504 半導体ウェハ位置制御部
505 コンピュータ
801 バス
802 CPU
803 ROM
804 RAM
805 ネットワークインタフェース
806 入力装置
807 出力装置
808 外部記憶装置
Claims (5)
- 複数の半導体デバイスの測定値を入力する入力部と、
前記複数の測定値のうちの異なる2個の測定値の差の絶対値の平均値を指標値として演算する指標値演算部と、
前記複数の測定値の標準偏差を演算する標準偏差演算部と、
前記指標値及び前記標準偏差を基に判定の有効性を判断する有効性判断部と、
前記判定が有効であると判断されたときには、前記標準偏差を用いて前記複数の半導体デバイスの良品/不良品判定を行ってその判定結果を出力する良品/不良品判定部と
を有することを特徴とする半導体デバイス試験装置。 - 前記指標値演算部は、連続性のある2個の半導体デバイスの測定値の差の絶対値の平均値を指標値として演算することを特徴とする請求項1記載の半導体デバイス試験装置。
- 前記指標値演算部は、測定順序が隣接する2個の半導体デバイスの測定値の差の絶対値の平均値を指標値として演算することを特徴とする請求項2記載の半導体デバイス試験装置。
- 前記指標値演算部は、半導体ウェハ内の位置が隣接する2個の半導体デバイスの測定値の差の絶対値の平均値を指標値として演算することを特徴とする請求項2記載の半導体デバイス試験装置。
- 複数の半導体デバイスの測定値を入力する入力ステップと、
前記複数の測定値のうちの異なる2個の測定値の差の絶対値の平均値を指標値として演算する指標値演算ステップと、
前記複数の測定値の標準偏差を演算する標準偏差演算ステップと、
前記指標値及び前記標準偏差を基に判定の有効性を判断する有効性判断ステップと、
前記判定が有効であると判断されたときには、前記標準偏差を用いて前記複数の半導体デバイスの良品/不良品判定を行ってその判定結果を出力する良品/不良品判定ステップと
を有することを特徴とする半導体デバイス試験方法。
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