JP2009158543A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】Viaホールと下層配線間の抵抗を下げるため、パンチスルー技術にてViaホール底のバリアメタル膜の除去時に、上層配線底のバリアメタル膜も同時に除去されて絶縁膜が深く掘り下げられることを防ぐ。
【解決手段】低誘電率絶縁膜203の表面を水素(H2)と水蒸気(H2O)の混合ガスにてプラズマ処理して、ヤング率を4.5GPaから70GPa程度の改質膜207を形成することにより、その後、上層に形成されたバリアメタル膜208をパンチスルー技術によって除去する際に、下層の低誘電率絶縁膜203へのダメージを低減する。
【選択図】図2
【解決手段】低誘電率絶縁膜203の表面を水素(H2)と水蒸気(H2O)の混合ガスにてプラズマ処理して、ヤング率を4.5GPaから70GPa程度の改質膜207を形成することにより、その後、上層に形成されたバリアメタル膜208をパンチスルー技術によって除去する際に、下層の低誘電率絶縁膜203へのダメージを低減する。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置における下層金属配線と上層金属配線を接続するViaホールを形成する方法に関するものである。
近年、半導体デバイスの微細化が進むに従って、多層配線の電気抵抗、配線間容量を低減することが、困難となってきている。配線を形成する技術として、例えば、特許文献1のようなものがある。特許文献1には、窒化タンタル/タンタルバリア層を堆積させるための方法が記載されている。
図4に示すのは、従来の半導体装置の製造工程の断面を示す図である。下地層902上に形成された誘電体層904の中へ上層配線906及びViaホール905を形成する。遠隔発生プラズマによる洗浄ステップの後、窒化タンタルは原子層堆積法で堆積され、タンタルはPVD(物理気相堆積法)で堆積される。その後、窒化タンタル/タンタルバリア層924は、堆積された窒化タンタルの下の下層配線表面902aを露出させるために、Viaホール905の底から除去される(パンチスルーと呼ぶ)。パンチスルー技術を用いて、下地層902の配線とViaホール905の底と間の不要な窒化タンタル/タンタルバリア層924を除去することで、配線間抵抗が低減される。場合によって、さらなるタンタル層がPVDにより堆積され、最後にシード層が形成される。
特表2007−502551号公報
しかしながら、上述のような従来技術においては、デュアルダマシン構造においてパンチスルー技術を用いると下層配線とViaホール接続部のバリアメタル膜を除去するだけではなく、上層配線の底部のバリアメタル膜も除去される。上層配線底部のバリアメタル膜が全て除去され、低誘電率絶縁膜まで除去されると、低誘電率絶縁膜は掘り込まれることによるダメージを受け、配線間容量の上昇や下層配線とのリークパスになるという課題を有していた。
その対策として従来技術では、バリア層の膜厚を厚くすることで上層配線の削り込みによる低誘電率絶縁膜への掘り込み(ダメージ)を低減させようとしている。しかしながら、バリア層を厚くすると、配線の微細化がより進むにつれて配線開口幅あるいはViaホール開口幅が相対的に小さくなり、メッキ時に埋め込むことが困難になるという課題を有している。
本発明は、前記従来技術の問題を解決することに指向するものであり、低誘電率絶縁膜の最表面を酸化させることにより機械的強度を向上させ、パンチスルー技術による低誘電率絶縁膜へのダメージを低減する方法を提供し、本発明を用いることにより、薄膜のバリアメタル膜においても、低ダメージパンチスルー技術を行うことを可能とする半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
前記の目的を達成するために、本発明に係る半導体装置の製造方法は、銅(Cu)配線が形成された半導体基板上にエッチングストッパー膜を形成する工程(a)と、エッチングストッパー膜上に低誘電率絶縁膜を形成する工程(b)と、低誘電率絶縁膜上にキャップ膜を形成する工程(c)と、エッチングストッパー膜、低誘電率絶縁膜及びキャップ膜に銅(Cu)配線に接続するようにViaホール及び配線溝を形成する工程(d)と、配線溝内及びViaホール内に露出した低誘電率絶縁膜の表面を、酸素ラジカル、酸素イオンあるいは酸素を含んだガスにより改質する工程(e)と、配線溝内及びViaホール内にバリアメタル膜を形成する工程(f)と、Viaホール内の銅(Cu)配線に接続する部分であるViaホール底部のバリアメタル膜をプラズマエッチングにより除去する工程(g)と、配線溝内及びViaホール内にバリアメタル膜を形成する工程(h)と、バリアメタル膜上にシードCu膜を形成する工程(i)とを含むことを特徴とする。
また、工程(e)において、低誘電率絶縁膜表面のヤング率が4.5GPaから70GPaの間で変化するように改質を行うことを特徴とする。
また、工程(e)において、水素:水蒸気の流量比が10:1から40:1で処理を行い、かつ290度以上の基板温度で処理を行うことを特徴とする。
また、工程(e)において、低誘電率絶縁膜の表面処理時間は5秒から60秒であることを特徴とする。
本発明によれば、半導体装置の製造方法において、低誘電率絶縁膜の最表面を酸化させることで機械的強度を向上させ、パンチスルー技術による低誘電率絶縁膜へのダメージを低減して、薄膜のバリアメタル膜においても、低ダメージのパンチスルー技術を行うことができるという効果を奏する。
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
図1は本発明の実施形態で用いる半導体装置の製造装置の概略を示す図である。まず、処理するウェハ107をロードロック101へ搬入する。ロードロック101へ搬入されたウェハ107は、搬送チャンバ102に設置された搬送アーム103により、表面改質チャンバ104へ搬送され、表面改質処理が行われる。
表面改質チャンバ104には、リモートプラズマ室108が接続されており、H2とH2Oの混合ガスをプラズマにて励起し、表面改質チャンバ104へ流している。表面改質チャンバ104にて表面改質されたウェハ107は、搬送アーム103によりバリアメタル膜堆積チャンバ105へ搬送され、バリアメタル膜堆積及びパンチスルーが行われる。
バリアメタル膜堆積チャンバ105にてバリアメタル膜堆積及びパンチスルーされたウェハ107は、搬送アーム103によりシードCu膜堆積チャンバ106へ搬送され、シードCu膜が堆積される。シードCu膜堆積チャンバ106にて、シードCu膜が堆積されたウェハ107は、搬送アーム103によりロードロック101へ搬送される。
図2(a),(b)は本実施形態における製造工程で半導体装置の断面を示す図である。まず、図2(a)において、下層配線201上にエッチングストッパー膜202を形成する工程(a)と、低誘電率絶縁膜203を形成する工程(b)と、工程(c)によりキャップ膜204を堆積した後、工程(d)のエッチングにてViaホール205及び配線溝の上層配線206を形成する。そして、図1に示すウェハ107を表面改質チャンバ104に搬送し、290度以上まで温める。その後、リモートプラズマ室108へ水素(H2)を100〜400sccm、水蒸気(H2O)を10sccmの流量比で混合ガスを導入し、RFプラズマにて電離、乖離を促し、励起された酸素ラジカル、酸素イオンあるいは酸素を含んだガスを表面改質チャンバ104へ送り込む。ここで、表面処理時間として5〜60秒とする。
ウェハ107はこの工程(e)により、表面改質チャンバ104で酸素ラジカル、酸素イオンあるいは酸素を含んだガスに10秒間さらされ、改質膜207が低誘電率絶縁膜203の最表面に形成される。この改質膜207の低誘電率絶縁膜203表面のヤング率は、4.5GPaから70GPaの範囲で上昇する。
さらに工程(f),(g)としてウェハ107は、バリアメタル膜堆積チャンバ105において、バリアメタル膜堆積及びパンチスルーが行われる。
次に、図2(b)は、改質膜207上にバリアメタル膜208aを堆積した後(工程(f))、パンチスルーによりViaホール205の底、上層配線206の底をエッチングし(工程(g))、再度バリアメタル膜208aを堆積した工程(h)の半導体装置の断面図を示している。
また、シードCu膜堆積チャンバ106にてシードCu膜を堆積させる(工程(i))。
図3は本実施形態の比較例として製造工程における半導体装置の断面を示す図である。ここで、図3を用いて、改質膜207の効果について説明する。
低誘電率絶縁膜203及びキャップ膜204の表面に対して改質処理を行わずにバリアメタル膜208bを堆積し、パンチスルーによりViaホール205の底、上層配線206の底をエッチングし、再度バリアメタル膜208bを堆積する。このように、低誘電率絶縁膜203の表面を改質することなくバリアメタル膜208bを堆積すると、パンチスルーにより上層配線206の底に対するエッチング時に削り込まれる深さが深くなる。
本実施形態を示す図2(b)のように、バリアメタル膜208aを堆積する前に、低誘電率絶縁膜203の表面をH2とH2Oの混合ガスにてプラズマ処理して改質し、ヤング率を4.5GPaから70GPaの範囲で上げ、その後にバリアメタル膜208aを堆積し、下層配線201とViaホール205の底の間でバリアメタル膜をパンチスルーにより除去する際に、パンチスルーによる低誘電率絶縁膜203へのダメージを低減することができる。
本発明に係る半導体装置の製造方法は、デュアルダマシン構造において、上層配線の底となる低誘電率絶縁膜の最表面を改質することで機械的強度を向上させる効果を有し、パンチスルー技術による上層配線の底へのダメージ低減する方法として有用である。
101 ロードロック
102 搬送チャンバ
103 搬送アーム
104 表面改質チャンバ
105 バリアメタル膜堆積チャンバ
106 シードCu膜堆積チャンバ
107 ウェハ
108 リモートプラズマ室
201 下層配線
202 エッチングストッパー膜
203 低誘電率絶縁膜
204 キャップ膜
205 Viaホール
206 上層配線
207 改質膜
208a,208b バリアメタル膜
902 下地層
902a 下層配線表面
904 誘電体層
905 Viaホール
906 上層配線
924 窒化タンタル/タンタルバリア層
102 搬送チャンバ
103 搬送アーム
104 表面改質チャンバ
105 バリアメタル膜堆積チャンバ
106 シードCu膜堆積チャンバ
107 ウェハ
108 リモートプラズマ室
201 下層配線
202 エッチングストッパー膜
203 低誘電率絶縁膜
204 キャップ膜
205 Viaホール
206 上層配線
207 改質膜
208a,208b バリアメタル膜
902 下地層
902a 下層配線表面
904 誘電体層
905 Viaホール
906 上層配線
924 窒化タンタル/タンタルバリア層
Claims (4)
- 銅(Cu)配線が形成された半導体基板上にエッチングストッパー膜を形成する工程(a)と、
前記エッチングストッパー膜上に低誘電率絶縁膜を形成する工程(b)と、
前記低誘電率絶縁膜上にキャップ膜を形成する工程(c)と、
前記エッチングストッパー膜、低誘電率絶縁膜及びキャップ膜に前記銅(Cu)配線に接続するようにViaホール及び配線溝を形成する工程(d)と、
前記配線溝内及びViaホール内に露出した低誘電率絶縁膜の表面を、酸素ラジカル、酸素イオンあるいは酸素を含んだガスにより改質する工程(e)と、
前記配線溝内及びViaホール内にバリアメタル膜を形成する工程(f)と、
前記Viaホール内の前記銅(Cu)配線に接続する部分である前記Viaホール底部の前記バリアメタル膜をプラズマエッチングにより除去する工程(g)と、
前記配線溝内及びViaホール内にバリアメタル膜を形成する工程(h)と、
前記バリアメタル膜上にシードCu膜を形成する工程(i)とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記工程(e)において、低誘電率絶縁膜表面のヤング率が4.5GPaから70GPaの間で変化するように改質を行うことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(e)において、水素:水蒸気の流量比が10:1から40:1で処理を行い、かつ290度以上の基板温度で処理を行うことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(e)において、低誘電率絶縁膜の表面処理時間は5秒から60秒であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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---|---|---|---|
JP2007331979A JP2009158543A (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 半導体装置の製造方法 |
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JP2007331979A JP2009158543A (ja) | 2007-12-25 | 2007-12-25 | 半導体装置の製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102324400A (zh) * | 2011-09-28 | 2012-01-18 | 上海华力微电子有限公司 | 铜互连结构的制作方法 |
KR20160124001A (ko) | 2015-04-16 | 2016-10-26 | 르네사스 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
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2007
- 2007-12-25 JP JP2007331979A patent/JP2009158543A/ja active Pending
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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