JP2009156404A - 蟻溝用シール材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 弾性材料からなる蟻溝用シール材10の断面形状が、蟻溝20の底面と接する底面11を備えるとともに、蟻溝20の開口よりも上方に突出する凸部12も備える蟻溝用シール材であって、前記底面11から内部にかけて凹部13が設けられ、蟻溝20内に位置したとき、前記凸部12の両方の裾12b、12bが蟻溝20の内部で開口縁よりも内側に位置するとともに、両側面の各一部が蟻溝の両側面の各一部とそれぞれ面接触するようになっており、かつ、各接触面の上端と下端までの高さの差が、蟻溝の高さH0に対し0.5H0以上となるように設計されている、ことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
真空装置など各種装置の出入口ポートに設けられるゲートバルブなどの弁体と弁座とのシール構造において、シール材であるOリングを、片側の部材表面に設けられた蟻溝に装着しておくと、弁体を開いてOリングが露出したときでも、Oリングが蟻溝から浮き上がったり脱落したりし難く、再び蓋などを閉めたときに、Oリングが不適切な位置や姿勢になり難いという利点があるとされている。また、蟻溝であれば、真空環境でシール材が収容溝から吸い出されることも阻止できる。
蟻溝にシール材を装着したのち、相手方の部材を当接し、圧縮すると、シール材と相手方の部材が固着する場合があり、シール材の最大幅が蟻溝の開口幅よりも狭いと、両部材を離したときに、相手方部材とともにシール材が引っ張られて蟻溝から脱落してしまう場合がある。この脱落を防止するために、シール材の最大幅を蟻溝の開口幅よりも広くした場合には、蟻溝へのシール材の装着性が低下する。
蟻溝にシール材を装着する際、シール材の位置が安定せず、シール材が捩れて、充分な密着性が得られない。
蟻溝の開口縁に引っ掛かったシール材は、封止する両側の部材面の間に挟み込まれ、いわゆる噛み込みを生じる。特に、シール材に隣接する空間が真空状態であると、シール材が真空側に吸い出されて、前記噛み込みを生じ易い。噛み込みが生じると、締め付け圧力を増やしても封止機能が高まらない。漏れが発生し易くなる。噛み込まれたシール材は、損傷や欠落が生じ易くなる。シール材の耐久性も低下する。真空によるシール材の吸い出しは、シール材の捩れを起こす原因にもなる。
そこで、本願出願人は、上記課題を解決するための技術を提案し、特許出願した(特許文献1参照。)。
本願出願人により特許出願された技術は、図7に示すように、シール材断面の概略形状がダルマ形状を呈するものである。この技術によれば、シール材を底辺から斜辺へと蟻溝に挿入することで、極めてスムーズな装着が可能であり、底辺が蟻溝の底面に配置され、左右の張出肩部が蟻溝の内斜面に配置されることで、適切な位置および姿勢で安定して装着され、シール材の捻れや、蟻溝からの浮き上がりが生じにくい。特に、蟻溝を下向きにしても、張出肩部によって、シール材の脱落は確実に阻止される。シール材の一部が蟻溝の開口縁に接触して損傷することが良好に阻止される。負荷時には、相手側部材と頂部との圧接、および、底辺と蟻溝底面との圧接によって、両部材間を確実に封止することができる。張出肩部が蟻溝の内斜面に当接することで、シール材の過度の変形を抑制でき、シール材と両部材間の強力な圧接によって、良好な封止機能を発揮させることができる。
すなわち、図7に示すように、蟻溝にシール材を装着した時に、底辺における蟻溝底面との面接触および左右の張出肩部における蟻溝側面部との接触により、捩れはある程度抑制され、Oリングなどと比べると顕著な優位性を有するものの、蟻溝の下部両隅において、空間Xが存在するため、シール材の捩れの問題が完全に解消されたとは言い難かった。
また、上記技術では、蟻溝にシール材を装着した時、シール材と蟻溝側面との接触は張出肩部のみである。そのため、圧縮時において、シール材が蟻溝の空間Xへと膨出するに従い、張出肩部の位置が斜め下方へ移動して蟻溝側面との摩擦が生じる問題があった。さらに、張出肩部よりも下方にあるシール材斜辺においても、蟻溝の空間Xを埋めるように斜め下方に膨出し、すなわち、蟻溝の側面との接触面積を増しながら、その接触領域が下方へと移動していくので、この動きによっても摩擦が生じる。このようなシール材と蟻溝側面部との摩擦により、シール材が磨耗し、シール材が損傷したり欠落したりするおそれがあった。
すなわち、本発明にかかる蟻溝用シール材は、弾性材料からなり、蟻溝の底面と接する底面を備えるとともに、蟻溝の開口よりも上方に突出する凸部も備えてなり、部材同士の接合個所で一方の部材の表面に設けられた蟻溝に装着され他方の部材の表面と当接することで両部材間を封止するのに用いられる蟻溝用シール材であって、前記底面から内部にかけて凹部が設けられ、蟻溝内に位置したとき、前記凸部の両方の裾が蟻溝の内部で開口縁よりも内側に位置するとともに、両側面の各一部が蟻溝の両側面の各一部とそれぞれ面接触するようになっており、かつ、各接触面の上端と下端までの高さの差が、蟻溝の高さH0に対し0.5H0以上となるように設計されている、ことを特徴とする。
装着後は、シール材が元の形状に復元するため、シール材の両側面が蟻溝の両側面に広がって、自緊作用で蟻溝の両側面に密着するため、容易に脱落することがない。蟻溝を下向きにしても、シール材の脱落は確実に阻止される。
装着状態では、蟻溝の底面にシール材の底面が当接し、両側面が蟻溝の両側面に配置されることで、適切な位置および姿勢で安定して装着される。蟻溝の下部両隅にはシール材との間に殆ど空間が存在しないので、シール材が捻れることもない。
負荷時には、また、相手側部材とシール材凸部との圧接、シール材の底面と蟻溝底面との圧接、および、シール材の両側面と蟻溝の両側面との圧接によって、両部材間を確実に封止することができる。
シール材は、各種の機械装置において、一対の部材同士が対面して接合される個所において、接合個所を高い気密性を維持して封止するために使用される。このような封止機能を要求される構造部分であれば、接合個所を構成する部材の構造や形状などは特に限定されない。
高い気密性が要求される接合個所として、半導体・液晶の製造プロセスで使用される処理チャンバーの、チャンバー本体と開閉蓋との接合個所が挙げられる。このような処理チャンバーに設けられる開閉可能なゲート弁の取付部分も挙げられる。その他にも、真空装置などの開閉蓋や付属機器の取付個所、配管機器の連結個所などもある。
〔蟻溝〕
蟻溝の基本的な断面構造は、開口よりも内部側の幅が広くなった概略台形状である。
蟻溝の底面は開口と平行な平坦面であることができる。蟻溝の両側面は、底側から開口側へと内向きに傾斜した傾斜面であることができる。両側面で傾斜角度が違っていてもよい。側面が湾曲面であってもよい。側面と底面とが交わる隅部、および、開口の内縁には、円弧状のアール(丸み)や面取りを施しておくことができる。
接合個所において、一対の部材のうち、どちら側に蟻溝を設けても良い。例えば、上下に開閉する蓋の底面に蟻溝を設けることができる。
〔蟻溝用シール材〕
蟻溝用シール材の材料や基本的な構造は、通常のOリングその他の蟻溝用シール材と共通する技術が採用できる。
シール材の基本構造は、特定の断面形状を有する環状体すなわちリングである。シール材の環径および環の配置形状は、装着する蟻溝の環径や配置形状に合わせて設定される。
蟻溝用シール材10は、全体が弾性変形可能なゴム材料からなり、図示された断面形状で連続する環状をなしている。ゴム材料としては、硬度A80/S(JIS K6253)程度のEPDM系ゴムが使用できる。
蟻溝用シール材10は、蟻溝の底面と接するシール材の底面11と、蟻溝の開口よりも上方に突出する凸部12を有する。また、シール材の底面11から内部にかけて設けられた凹部13を有している。
凸部12の頂部12aは、図1に示すように円弧形状であってもよいが、三角山形、台形状、矩形状などの直線形状も採用でき、また、複数の凹凸が設けられていてもよい。局部的な応力集中が生じ難く、適度な弾性変形によって封止機能が発揮できる形状が選択される。
前記凹部13は、図1では概略台形状をなしているが、その他の形状を採用することもできる。例えば、凹部の上面が円弧形状、三角山形、矩形状などであるものや、凹部全体が逆台形状、三角形状、矩形状などであってもよい。ただし、蟻溝への装着性や、圧縮時における応力バランスを考慮すると、概略台形状であることが好ましい。
〔蟻溝および蟻溝用シール材の寸法〕
蟻溝の寸法形状としては、JIS−B2401やAS568Aなどの規格で規定された条件が採用される。このようにして決められた蟻溝の寸法形状に合わせて、シール材の寸法が設定される。シール材の各部の寸法を適切に設定することによって、シール材の性能を向上させることができる。以下、図2を参照しながら、具体的に説明する。蟻溝の寸法は、図2に示すように、蟻溝の高さをH0、開口部の幅をW0、側面の傾斜をθ0とする。
H1=1.35H0〜1.75H0
H1が小さ過ぎると、接合個所の締め付け時に締め代が十分に確保できず、部材同士が直接に接触し易くなり、十分な封止機能も発揮し難い。H1が大き過ぎると、変形によって外側に大きく膨れ、蟻溝の開口縁に接触したり噛み込みを発生したりし易くなる。頂部の変形が過大になって、頂部が折れ曲がったり損傷したりする。
H2=0.25H0〜0.35H0
H2が高すぎるとシール材の両側面と蟻溝の両側面との接触面積が低下してしまい、H2が低すぎるとシール材の幅が広くなって蟻溝への装着性が低下するおそれがある。
シール材の底面11から斜辺15の上端までの高さH3の寸法は、以下の範囲に設定することが好ましい。
H3=0.75H0〜0.90H0
H3が高すぎるとシール材が蟻溝の開口縁に引っかかるおそれがあり、H3が低すぎるとシール材の両側面と蟻溝の両側面との接触面積が低下してしまう。
斜辺15、15の上端間の距離W1は、以下の範囲とすることが好ましい。
W1=1.00W0〜1.15W0
W1が広すぎると、シール材を蟻溝へ装入することが困難となる。
斜辺14、14の上端間の距離W2は、シール材を、蟻溝に装入する時、すなわち、凹部を幅方向につぶすように変形させた時(以下、「クローズ時」という場合がある。)のシール材の幅に影響する。具体的には、W2が広すぎると、クローズ時のシール材の幅が広くなってしまい、シール材を蟻溝に装入することが困難となる。例えば、以下の範囲に設定することが好ましい。
斜辺14の傾斜角度θ1は、シール材と蟻溝の接触面積を考慮して、適宜に決定することができるが、例えば、以下の範囲とすることが好ましい。
θ1=θ±5°
斜辺15の傾斜角度θ2は、通常、蟻溝の側面の傾斜角度θと同等であるが、シール材の蟻溝への装入を妨げない範囲で、θよりも大きくしてもよい。例えば、以下の範囲とすることが好ましい。
θ2=15°〜60°
シール材の底面11から凸部の裾12bまでの高さH4の寸法は、シール材を蟻溝内に位置したとき、前記凸部の両方の裾が蟻溝の内部で開口縁よりも内側に位置するように、適宜設計すればよい。例えば、以下の範囲に設定することが好ましい。
凸部の裾12b、12bの距離W3は、シール材を蟻溝内に位置したとき、前記凸部の裾が蟻溝の内部で開口縁よりも内側に位置するように適宜に設計すればよい。斜辺15の上端から滑らかに連設させることが好ましい。例えば、以下の範囲に設定することが好ましい。
W3=0.75W0〜0.95W0
頂部幅W4は、凸部12における頂部12cで最も広い部分の幅であり、具体的には、頂部12aの左右の最下端で、凸部斜辺12c、12cとの境界点、すなわち、頂部12aの外向き円弧から凸部斜辺12c、12cへと変化する点で規定する。W4を以下の範囲に設定することが好ましい。
W4が広すぎると、蟻溝の開口縁に引っ掛かったり噛み込みを起こしたりし易くなる。W4が狭すぎると、圧力が加わったときの変形が過大になり、頂部の物理的強度が低下する。ただし、使用条件によっては、下限値よりも狭い幅でも採用できる。
頂部12aを、半径R1=0.40W0〜0.70W0の円弧形状に設定できる。半径R1が大きいほど、負荷時に頂部と相手側部材との接触量が増え、接触個所の応力は小さくなる。特に、本発明では、凹部13を設けて、凸部12が下方向に移動するように変形するため、左右への膨出を危惧する必要性が低いので、半径R1を大きくすることができる。
θ3=0°〜45°
シール材の底面11から凹部13の上端までの高さH5の寸法は、圧縮時の応力バランスの点から、以下の範囲に設定することが好ましい。
H5=0.55H0〜0.85H0
凹部13の上面の幅W5、凹部13の両下端の距離W6は、前記斜辺14、14の上端間の距離W2と同様に、クローズ時のシール材の幅に影響する。具体的には、W5、W6が狭すぎると、クローズ時のシール材の幅が広くなってしまい、シール材を蟻溝に装入することが困難となる。例えば、以下の範囲に設定することが好ましい。
W6=0.35W0〜0.55W0
このように、W2、W5、W6の値は、互いに関連しあっているので、個別に好適範囲を定めることは難しく、蟻溝の開口幅W0を考慮して、適宜の組み合わせを決定すればよいが、圧縮時におけるシール材の応力バランスに優れる点で、それぞれ、上記範囲とすることが好ましい。
凹部13の斜辺の傾斜角度θ4は、凹部13の上面の幅W5、凹部13の両下端の距離W6などを考慮して、例えば、以下の範囲とすることが好ましい。
シール材の底面11の両端間の距離W7は、以下の範囲に設定することが好ましい。
W7=0.9W0〜1.3W0
W7が狭すぎると、圧力が加わったときに底辺に生じる応力が過大になり、シール材の耐久性が低下する。W7が広すぎると、凹部の両下端の距離W6が狭くなってしまうので、装着性が低下する。
蟻溝に対するシール材の断面積比A(%)(蟻溝に対するシール材の占有率、(シール材の断面積)/(蟻溝の断面積)×100)を以下の範囲に設定することが好ましい。
断面積比が大き過ぎると、蟻溝に収容され難く、取り付けや取り外しが行い難い。断面積比が小さ過ぎると、蟻溝内でシール材が捻れたり、蟻溝からシール材が脱落したりし易くなる。部材同士のメタルタッチも発生し易い。また、断面積比は、シール材の総合的な変形容量や封止能力と相関するので、適切な断面積比を有することで、封止機能も良好になる。
なお、使用条件によって、部材同士がメタルタッチを起こす心配が少ない場合には、下限値よりも小さな断面積比でも使用可能な場合がある。
〔蟻溝用シール材の装着〕
図3に示すように、蟻溝用シール材10は、蟻溝22に装着して使用される。
蟻溝22は、圧力容器の蓋と容器本体、真空装置の開口蓋と本体装置など、複数の部材20、30が互いに対面して配置され、両部材20、30間を封止しておく必要がある個所に設けられる。
片方の部材20の表面に、断面台形状の蟻溝22が設けられる。図3では、説明を判り易くするために、下方側の部材20における上向きの面に蟻溝22を配置した状態で図示しているが、上方側の部材30における下向きの面に蟻溝22を設けることもできる。
蟻溝22は、平坦な底面とその両側に立ち上がる内斜面とで構成され、底側の幅が広く、開口側の幅が狭い。底面と内斜面とが交差する内隅部は円弧状をなして滑らかにつながっている。開口縁24は、断面が小さな円弧状をなしている。
蟻溝用シール材の底面11、11を、蟻溝用シール材の凹部13を幅方向につぶすようにして接近させ、一時的に蟻溝用シール材10の幅を狭めて、蟻溝22の開口を通過できるようにする。蟻溝用シール材の両側面に、底面11、11から外向きに立ち上がる左右の斜辺14、14を設けておくと、図3(a)に見るように、蟻溝用シール材10の凹部13を幅方向につぶした状態において、左右の斜辺14、14が、下端から上端にかけて、シール材の幅が徐々に広がるようになるため、左右の斜辺14、14が蟻溝22の開口縁24に当接して滑るようにして、極めてスムーズに装入することができる。このような装入態様においては、左右の斜辺14、14が蟻溝22の開口縁24を通過する間、蟻溝用シール材10の凹部13を幅方向につぶす方向に力が作用するので、この点においても、優れた装着性が発揮される。なお、蟻溝22の開口縁24における蟻溝内幅W0よりも幅の広い個所がある場合には、蟻溝用シール材10を弾性的に変形させると良い。
図3(b)に示すように、蟻溝22を備えた部材20に対して、別の部材30が配置される。部材20、30を、図示を省略した締め付けボルトなどで締め付け固定することで、両部材20、30が接合一体化される。
このとき、部材30の表面が蟻溝用シール材10の上端すなわち凸部12の頂部12aに当接し、蟻溝用シール材10を上下方向に押しつぶすように変形させる。
蟻溝用シール材10が上下方向に圧縮されることで、頂部12aは円弧が平坦に押しつぶされるようになり、部材30の表面と一定の面積で圧接される。この圧接によって、蟻溝用シール材10と部材30との間に必要なシール面圧が確保され、封止機能が発揮される。
凸部12が下方向に沈むように変形するのに対して、蟻溝内部においては、凸部12から伝わる力によって、斜辺15、15が蟻溝の両側面に圧接され、シール材の底面11、11が蟻溝の底面に圧接される。このとき、圧縮前に、斜辺15、15において充分な面積で蟻溝の側面と接触しているため、圧縮後においても、接触面積が大きく変わることはなく、接触位置の移動もないので、シール材の両側面と蟻溝22の両側面との間での摩擦はほとんど起こらない。次に、斜辺15、15やシール材の底面11における圧接が充分に行われると、シール材10は凹部13へと体積を流動させる。この凹部13への体積流動が、シール材の両側面と蟻溝の両側面との面接触部分において高い応力が発生することを抑制しており、摩擦によるシール材の損傷や欠落が良好に抑制されている。ただし、図3(b)に見るように、凹部13は、凸部12から作用する下方向への力によって内側につぶれるのが幾分抑制されている。このシール材10の変形に対する抵抗は、圧縮時における凹部13の形状が三角形状に近い形であり、力の均衡がとれている状態であるためとも考えられる。以上のことは、圧縮時におけるシール材内部の応力分布を示す後述の図5からも明らかである。このように、凹部によって、シール材の両側面と蟻溝の両側面との接触部分における摩擦を抑制するという利点や、シール材への負荷を分散させて締め付け荷重が過大とならない利点を有しながらも、シール材の変形が適度に抑制されており、良好な応力バランスを発揮して、シール材への負担を少なくしながら適度な圧縮抵抗を得ることを可能としている。適度な圧縮抵抗が得られることで、メタルタッチの問題が生じず、封止機能にも優れたものとなっている。
〔蟻溝用シール材の製造〕
(本発明にかかる蟻溝用シール材の製造)
図1、2に示す構造の蟻溝用シール材を製造した。
<弾性材料>
ベースゴムにEPT3045(三井化学社製EPDM系ゴム)を用い、加工助剤や、補強剤としてのカーボンブラック、老化防止剤、架橋剤などを配合して、弾性ゴム材料とした。
各材料の配合物を、予備成形して、短冊状に裁断した。
予備成形体を、所定形状の金型に装着し、170℃×15分で加熱加圧成形し、蟻溝用シール材を得た。
弾性ゴム材料の硬度は、A80/S(JIS K6253)であった。
<寸法>
得られた蟻溝用シール材の、図2に示す断面形状における各寸法は以下のとおりであった。
H2=4.0mm、
H3=10.5mm、
H4=11.5mm、
H5=10.0mm、
W1=18.38mm、
W2=24.0mm、
W3=16.2mm、
W4=10.0mm、
W5=3.0mm、
W6=8.0mm、
W7=19.38mm、
θ1=48°、
θ2=48°、
θ3=30°、
θ4=25°、
蟻溝用シール材は、上記断面形状であって、外径1956mm×1606mmの矩形をなしている。
図4に示す構造の比較用シール材(ダルマ形)を製造した。
<弾性材料および製造>
上記本発明にかかる蟻溝用シール材の製造と同様にして行った。
<寸法>
得られた比較用シール材の、図4に示す断面形状における各寸法は以下のとおりであった。
W’1=18.7mm、
W’2=12.0mm、
H’1=22.0mm、
R’3=6.0mm、
H’2=11.5mm、
R’1=1.5mm、
R’2=2.5mm、
W’3=15.7mm、
蟻溝用シール材は、上記断面形状であって、外径1956mm×1606mmの矩形をなしている。
製造した蟻溝用シール材10の性能を評価した。比較品として、上記比較用シール材を用いて、対比試験を行なった。
蟻溝の寸法:図2(a)に示す断面形状において、内幅W0=17.44mm、高さH0=12.75mm、内斜面角度θ0=48°である。開口縁アールRは1.0mmとした。
<平面ひずみモデル解析>
解析に用いた材質条件:表面摩擦係数=1.0、縦弾性係数=11.25N/mm2(1.147kgf/mm2)。
比較品では左右の張出肩部41,41において蟻溝の両側面との間に高い応力が発生しているが(図6)、実施品では斜辺15,15と蟻溝の両側面との接触面のどの部分にも、高い応力は発生していない(図5)。したがって、シール材圧縮時にシール材の両側面と蟻溝の両側面との摩擦(特に蟻溝の開口縁との摩擦)によるパーティクルの発生が抑制できる。
<シール性能試験>
常用のシール試験装置を用いた。試験装置の蟻溝にシール材を装着し、所定の締め付け力で締め付けた状態で、シール材の片側の空間を真空吸引して、反対側の空間との間に圧力差を生じさせた。真空吸引側の圧力を測定して、シール材のシール性能を評価した。
また、試験装置として、真空チャンバーの本体と、本体の上に被さる開閉蓋との間のシール構造に、実施品および比較品を装着して、真空チャンバー内を真空状態にした。開閉蓋の底面に蟻溝が設けられ、シール材が装着される。
実施品、比較品ともに、チャンバー本体と蓋との間に隙間が形成されており、メタルタッチは生じなかった。具体的には、前記隙間の間隔は、実施品では3.45mm、比較品では3.3mmであった。
11 シール材の底面
12 凸部
13 凹部
14、15 斜辺
20 下方部材
22 蟻溝
24 開口縁
30 上方部材
Claims (4)
- 弾性材料からなり、蟻溝の底面と接する底面を備えるとともに、蟻溝の開口よりも上方に突出する凸部も備えてなり、部材同士の接合個所で一方の部材の表面に設けられた蟻溝に装着され他方の部材の表面と当接することで両部材間を封止するのに用いられる蟻溝用シール材であって、
前記底面から内部にかけて凹部が設けられ、
蟻溝内に位置したとき、前記凸部の両方の裾が蟻溝の内部で開口縁よりも内側に位置するとともに、
両側面の各一部が蟻溝の両側面の各一部とそれぞれ面接触するようになっており、かつ、各接触面の上端と下端までの高さの差が、蟻溝の高さH0に対し0.5H0以上となるように設計されている、
ことを特徴とする、蟻溝用シール材。 - 前記凹部は、その断面形状が概略台形状である、請求項1に記載の蟻溝用シール材。
- 断面形状において、高さH0、開口幅W0の蟻溝に対し、下記の寸法条件を満足する、請求項1または2に記載の蟻溝用シール材。
全高H1=1.35H0〜1.75H0、
前記接触面の下端となる位置の高さH2=0.25H0〜0.35H0、
前記接触面の上端となる位置の高さH3=0.75H0〜0.90H0、
前記接触面の上端となる位置の左右の距離W1=1.00W0〜1.15W0、
前記凹部の上面の高さH5=0.55H0〜0.85H0、
前記凹部の上面の幅W3=0.10W0〜0.20W0。 - 前記弾性材料が、EPDM系ゴム、フッ素ゴムからなる群から選ばれるいずれか1種の材料である、請求項1から3までのいずれかに記載の蟻溝用シール材。
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