JP2005048876A - 密封構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 弾性シール1と、蟻溝3を有する被取付部材2と、から成る。弾性シール1は、蟻溝3の開口部4から突出可能な頭部9を有し、この頭部9は頂面ストレート部10を有する。また、胴部8は、蟻溝3の開口部4近傍で近接する両肩部12, 12を有している。
【選択図】 図1
Description
いずれの弾性シール41a,41b,41c,41d,41eにせよ、平面図は図7に例示するような全体環状の形状である。また、上述のOリングは自由状態下で円形環状であるが、これを無理やり図7のような矩形に変形してシール溝に嵌着していたので、シール面に問題が生ずる場合があった。
上記特許文献1に記載の三叉状の弾性シールは、特に、低荷重を特徴とした形状であり、また、図6(B)や図6(E)に示した横断面形状の弾性シール41b,41eも低荷重には好適なものである。
また、図6(A)に示した弾性シール(Oリング)41aは、蟻溝42内で捩れを生じ、切断に至る虞があり、また、上記蓋体による圧接で蓋体に固着して蟻溝42から脱落する(抜け出る)という問題があり、さらに、蟻溝42の開口端縁部43,43と摩擦して摩耗粉(パーティクル)が生ずるという問題がある。また、高荷重に対しても十分に支えきれず、メタルタッチを生ずることもある。
次に、図6(C)の弾性シール41cは蟻溝42内へ逆組付けを行ってしまう虞がある。また、(図6(A)と同様に)ゴムの摩耗粉(パーティクル)を発生する。また、大断面径の場合、蟻溝42内への装着作業が難しい。
次に、図6(D)の弾性シール41dは蟻溝42内へ逆組付けを行う虞があり、また、ゴムの摩耗粉(パーティクル)を生じるという問題がある。さらに、溝底面部の凹部44が存在するので高荷重を保持できず、上記メタルタッチを生ずる。
また、上記頭部の幅寸法を上記蟻溝の開口部の幅寸法の70%〜90%に設定して、上記開口部を介して上記両肩部から突出状に連設された上記頭部と上記開口部の開口端縁部との間に間隙部を形成した。
また、上記肩部が第1側壁面・第2側壁面に近接乃至当接する、上記底壁面からの高さ寸法が、上記蟻溝の深さ寸法の80%〜95%に設定されている。
また、頂面ストレート部を有することで、大きな荷重に対しても接触面圧が低く抑えることができ、例えば、大型液晶製造装置のチャンバーゲート部等に好適である。さらに、両肩部を有するので、蟻溝から脱落することを有効に防止できる。また、底面ストレート部を有するので、常に蟻溝内で安定姿勢を保ち、ぐらつかず、安定したシール性能を発揮し、過大な局部的弾性変形も防止できる。
図1〜図4に於て、本発明に係る密封構造体の実施の一形態を示す。この密封構造体は、蟻溝3を備えた被取付部材2と、この蟻溝3内へ装着されるゴム製等の弾性シール1と、から成る。
弾性シール1は全体が略矩形状(図7参照)や、競技トラック状(長円形状)等の環状である。
また、胴部8は、蟻溝3の底壁面7に対応する底面ストレート部11を有し、蟻溝3内で常に姿勢を安定させる作用をなし、かつ、圧縮時の面圧を低く抑える作用をなす。
上記幅寸法W9 が開口部4の幅寸法W4 の70%未満であると、間隙部Gが過大となって、デポ(成膜時の酸化粉塵)等が溜まったり、また、頂面ストレート部10の幅寸法を十分に大きくとれなくなる。逆に、W9 がW4 の90%を越すと、未圧縮装着状態から、図5に示した圧縮状態に変形する途中、又は、圧縮(使用)状態で、開口端縁部(角部)4aに頭部9の側面が干渉(接触)して、ゴム等の摩耗粉(パーティクル)を発生することとなり、好ましくない。
なお、図2に於て、最大幅形成域部13とテーパ部14との境界部17の高さ寸法H17は、0.50×H12≦H17≦0.75×H12のように設定するのが良い。H17<0.50×H12であると、テーパ部14が十分に形成できず、後述の(図4で示す)シール装着が難しくなる。H17>0.75×H12であると、蟻溝3内で姿勢が安定しにくくなる。
肩部12は、上記基部18の他部位(下半部)と、下方拡大勾配部19と、小さな半径R3 の角部22をもって構成される。前記境界部17は所定半径R4 にてアール状に形成され、この半径R4 の円と上記半径R3 の円の接線をもって最大幅形成域部13が構成されている。また、前記角部15は小さな半径R5 のアールをもって形成され、この半径R5 の角部15の円と、境界部17の半径R4 の円の接線をもって、テーパ部14が形成される。左右の角部15の半径R5 ,R5 の2個の円の接線をもって、底面ストレート部11が形成される。
なお、蟻溝3内へ装入した後は、図1と図2に示すように、両肩部12, 12が第1側壁面5・第2側壁面6の開口端縁部4a近傍に係止して、脱落が防止される。
また、頂面ストレート部10を有することで、大きな荷重に対しても接触面圧Pが低く抑えることができ、例えば、大型液晶製造装置のチャンバーゲート部等に好適である。さらに、両肩部12, 12を有するので、蟻溝3から脱落することを有効に防止できる。また、底面ストレート部11を有するので、常に蟻溝3内で安定姿勢を保ち、ぐらつかず、安定したシール性能を発揮し、過大な局部的弾性変形も防止できる。
また、上記肩部12, 12が第1側壁面5・第2側壁面6に近接乃至当接する、上記底壁面7からの高さ寸法H12が、上記蟻溝3の深さ寸法H3 の80%〜95%に設定されているので、肩部12と開口端縁部4aとの間には、大きな空間が形成されないので、半導体製造に於ける成膜時の酸化粉塵デポが溜まることを防止できる。
2 被取付部材
3 蟻溝
4 開口部
4a 開口端縁部
5 第1側壁面
6 第2側壁面
7 底壁面
8 胴部
9 頭部
10 頂面ストレート部
11 底面ストレート部
12 肩部
13 最大幅形成域部
14 テーパ部
20 平坦面
21 相手部材
G 間隙部
H3 ,H12 高さ寸法
W4 ,W9 ,W11,W12 幅寸法
Claims (3)
- 開口部(4)と、相互に該開口部側に近づくにつれて接近する第1側壁面(5)・第2側壁面(6)と、底壁面(7)とを、有する蟻溝(3)を備えた被取付部材(2)と、該蟻溝(3)内へ装着される弾性シール(1)と、から成る密封構造体であって、該弾性シール(1)は、上記蟻溝(3)内へ装着されかつ相手部材(21)の平坦面(20)が押圧されない未圧縮装着状態に於て、横断面形状が胴部(8)と頭部(9)から成り、上記開口部(4)から突出する上記頭部(9)が頂面ストレート部(10)を有すると共に上記胴部(8)が上記底壁面(7)に対応する底面ストレート部(11)を有し、さらに、上記胴部(8)は、開口部(4)の近傍にて上記第1側壁面(5)・第2側壁面(6)に近接乃至当接する両肩部(12)(12)を備え、かつ、該両肩部(12)(12)の幅寸法(W12)と略同一幅寸法のままで連設される最大幅形成域部(13)と、該最大幅形成域部(13)から上記底面ストレート部(11)に渡って形成されて幅寸法が減少するテーパ部(14)とを、備えていることを特徴とする密封構造体。
- 上記頭部(9)の幅寸法(W9 )を上記蟻溝(3)の開口部(4)の幅寸法(W4 )の70%〜90%に設定して、上記開口部(4)を介して上記両肩部(12)(12)から突出状に連設された上記頭部(9)と上記開口部(4)の開口端縁部(4a)との間に間隙部(G)を形成した請求項1記載の密封構造体。
- 上記肩部(12)(12)が第1側壁面(5)・第2側壁面(6)に近接乃至当接する、上記底壁面(7)からの高さ寸法(H12)が、上記蟻溝(3)の深さ寸法(H3 )の80%〜95%に設定されている請求項1又は2記載の密封構造体。
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