JP4987243B2 - シール構造体 - Google Patents
シール構造体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4987243B2 JP4987243B2 JP2005129816A JP2005129816A JP4987243B2 JP 4987243 B2 JP4987243 B2 JP 4987243B2 JP 2005129816 A JP2005129816 A JP 2005129816A JP 2005129816 A JP2005129816 A JP 2005129816A JP 4987243 B2 JP4987243 B2 JP 4987243B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seal
- width
- groove
- elastic
- seal groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims description 37
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 claims description 19
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 9
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 9
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 21
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 5
- 229920006169 Perfluoroelastomer Polymers 0.000 description 4
- 229920002943 EPDM rubber Polymers 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- JGPMMRGNQUBGND-UHFFFAOYSA-N idebenone Chemical compound COC1=C(OC)C(=O)C(CCCCCCCCCCO)=C(C)C1=O JGPMMRGNQUBGND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960004135 idebenone Drugs 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Gasket Seals (AREA)
Description
図4は、相手部材6の平坦面10が突出部5を押圧した圧縮密封状態を示す。このとき、弾性シール1の横断面積S1 とシール溝3の横断面積S3 の大小関係が上述のように設定されているので、弾性シール1がシール溝3の隅々にまで充満しても、外部に突出部5が残されて、平坦面10とシール取付部材2との間に間隙Yが常に形成される。弾性シール1から相手部材6に対して弾性的反発力Fがはたらいている。
図6は、さらに他の参考例を示す。弾性シール1の横断面形状が、シール溝3(図1〜図4参照)への装着状態で突出部5となるべき頂部15が凸曲面状であって、全体が略7角形状に形成されている。
図7は、第1の実施の形態を示す。弾性シール1の横断面形状が略だるま型に形成されている。なお、頂部15を、2点鎖線のように凸曲面状とするも好ましい。
図8は、別の参考例を示す。弾性シール1の横断面形状が、左右非対称に形成されている。例えば、大気側に位置する方(図8でいう左下位置)に膨出部11を有する。
開口部28に、弾性シール1(図1〜図4参照)の離脱を防止するためのひっかけ部12を有する。具体的には、横断面形状の左右両側にひとつずつ、計ふたつのひっかけ部12,12が突設されている。幅増加部29が、横断面小矩形状のひっかけ部12の内面部26をもって構成されているといえる。内面部26は、段付部27をもって形成されている。
シール溝3の横断面積S3 は、シール溝3の各壁面(側面35、底面31等)と2点鎖線によって囲まれた部分の面積をいう。
そして、G6サイズ以上の平面パネルの表面処理装置のチャンバーゲートに用いられるシール構造体とすれば、有害な金属パーティクルが発生せずに確実な密封作用を発揮して、平面パネル製造の大型化に貢献できる発明である。
2 シール取付部材
3 シール溝
4 開口部
5 突出部
6 相手部材
8 底面
10 平坦面
12 ひっかけ部
14 最大幅部
16 勾配面
17 凹曲面
18 垂直側面
19 底面部
21 上面
22 幅増加部
23 幅減少部
28 開口部
29 幅増加部
30 最大幅部
31 底面
32 底面部
49 シール離脱抑制手段
50 移動抑制手段
A 幅寸法
B 幅寸法
C 幅寸法
D 幅寸法
H 全体深さ寸法
h 深さ寸法
K 占有率
S1横断面積
S3横断面積
Y 間隙
E1左右底隅部
E2左右底隅部
R 曲率半径
Claims (2)
- シール溝(3)を凹設したシール取付部材(2)と、上記シール溝(3)内へ装着される弾性シール(1)と、該弾性シール(1)を押圧する相手部材(6)と、から成るシール構造体に於て、
上記弾性シール(1)は、横断面形状が、上面と下面がフラットであるとともに頭部と胴部とから成る略だるま型に形成され、
上記シール溝(3)が、密封状態を形成する際に上記相手部材(6)による押圧荷重を受けて上記弾性シール(1)の体積移動を抑制する移動抑制手段(50)と、上記弾性シール(1)が上記相手部材(6)への固着により該相手部材(6)と共に離脱することを抑制するシール離脱抑制手段(49)とを、具備し、
かつ、上記シール溝(3)は、横断面形状が、上記シール取付部材(2)の上面(21)側から奥部へ向かって、開口部(4)と、奥方向に溝の幅寸法が増加する幅増加部(22)と、最大幅部(14)と、該最大幅部(14)から底面(8)に近づくにつれてしだいに幅寸法が減少する幅減少部(23)とを、順に有し、
上記移動抑制手段(50)が、上記幅減少部(23)により上記シール溝(3)の左右底隅部(E 1 )(E 2 )を肉付けして構成されており、
かつ、圧縮密封状態において、上記頭部の一部が、上記開口部(4)から幅方向外側へまわりこむように、上記シール取付部材(2)と上記相手部材(6)との間に形成される間隙(Y)に、はみ出すように構成し、
G6サイズ以上の平面パネルの表面処理装置のチャンバーゲートに用いることを特徴とするシール構造体。 - シール溝(3)を凹設したシール取付部材(2)と、上記シール溝(3)内へ装着される弾性シール(1)と、該弾性シール(1)を押圧する相手部材(6)と、から成るシール構造体に於て、
上記弾性シール(1)は、横断面形状が、上面と下面がフラットであるとともに頭部と胴部とから成る略だるま型に形成され、
上記シール溝(3)が、密封状態を形成する際に上記相手部材(6)による押圧荷重を受けて上記弾性シール(1)の体積移動を抑制する移動抑制手段(50)と、上記弾性シール(1)が上記相手部材(6)への固着により該相手部材(6)と共に離脱することを抑制するシール離脱抑制手段(49)とを、具備し、
かつ、上記シール溝(3)は、横断面形状が、上記シール取付部材(2)の上面(21)側から奥部へ向かって、開口部(4)と、奥方向に溝の幅寸法が増加する幅増加部(22)と、最大幅部(14)と、該最大幅部(14)から底面(8)に近づくにつれてしだいに幅寸法が減少する幅減少部(23)とを、順に有し、
上記幅減少部(23)が、上記シール溝(3)の全体深さ寸法(H)の30%以上80%以下の曲率半径(R)を有する凹曲面(17)(17)と、上記底面(8)をもって形成され、
上記移動抑制手段(50)が、上記幅減少部(23)により上記シール溝(3)の左右底隅部(E1)(E2)を肉付けして構成されており、
かつ、圧縮密封状態において、上記頭部の一部が、上記開口部(4)から幅方向外側へまわりこむように、上記シール取付部材(2)と上記相手部材(6)との間に形成される間隙(Y)に、はみ出すように構成し、
G6サイズ以上の平面パネルの表面処理装置のチャンバーゲートに用いることを特徴とするシール構造体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005129816A JP4987243B2 (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | シール構造体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005129816A JP4987243B2 (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | シール構造体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006307930A JP2006307930A (ja) | 2006-11-09 |
JP4987243B2 true JP4987243B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=37475054
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005129816A Active JP4987243B2 (ja) | 2005-04-27 | 2005-04-27 | シール構造体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4987243B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008138744A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Nippon Valqua Ind Ltd | 蟻溝 |
KR20130061284A (ko) * | 2011-12-01 | 2013-06-11 | 엘지이노텍 주식회사 | 오-링 삽입용 홈 |
CN110425783B (zh) * | 2019-09-06 | 2024-03-19 | 广州科勒尔制冷设备有限公司 | 一种直冷式块冰机及其密封工艺 |
JP2021080889A (ja) * | 2019-11-20 | 2021-05-27 | 愛三工業株式会社 | Egrバルブ装置 |
US20220099185A1 (en) * | 2020-09-25 | 2022-03-31 | Flowserve Management Company | Pressure retained gasket seal with enhanced unloading resistance |
CN112490157A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-12 | 上海诺硕电子科技有限公司 | 密封槽及半导体真空设备 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5746434A (en) * | 1996-07-09 | 1998-05-05 | Lam Research Corporation | Chamber interfacing O-rings and method for implementing same |
JP2003166655A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-06-13 | Smc Corp | ポペット形弁シール機構 |
-
2005
- 2005-04-27 JP JP2005129816A patent/JP4987243B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006307930A (ja) | 2006-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4987243B2 (ja) | シール構造体 | |
JP4911275B2 (ja) | 密封構造 | |
US11511920B2 (en) | Sealed reticle storage device with soft contact | |
WO2016006393A1 (ja) | ガスケット | |
TWI612244B (zh) | 密封材 | |
EP1648025A1 (en) | Storage container | |
US8074967B2 (en) | Gate valve for vacuum and seal member used therefor | |
WO2010143488A1 (ja) | 小型電子機器用防水ガスケット | |
JP2006220229A (ja) | あり溝用シール材 | |
JP5438730B2 (ja) | シール材 | |
JP4549749B2 (ja) | シール構造体 | |
JP5215308B2 (ja) | 衛生的超過圧力解放装置用シール及び衛生的超過圧力解放装置 | |
JP2008032033A (ja) | 密封構造体 | |
JP2006153169A (ja) | 密封構造 | |
JP2010501062A5 (ja) | ||
JP2003322257A (ja) | 密封構造体 | |
JP5073932B2 (ja) | 密封構造体 | |
JPWO2009107495A1 (ja) | シール材およびシール材が装着されたゲートバルブ | |
JP2007155016A (ja) | あり溝用シール材およびこのシール材が装着された真空用ゲート弁 | |
JP4765200B2 (ja) | ガスケット | |
JP2003172454A (ja) | ガスケット | |
JP4019032B2 (ja) | 密封構造体 | |
JP4394391B2 (ja) | 密封構造体 | |
JP2014040847A (ja) | 防水用パッキン | |
JP2005282864A (ja) | 密封構造体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070830 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100225 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100407 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101019 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110114 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110119 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20110318 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111101 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120425 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4987243 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150511 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |