JP2009147033A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 第１チャンバーと、
   前記第１チャンバー内に収納され、第１基板と第２基板とを加圧し一体基板に加工する複数の加圧装置と、
   前記第１基板及び前記第２基板を前記加圧装置に搬入する搬入位置と前記一体基板を前記加圧装置から搬出する搬出位置とに、前記複数の加圧装置を順次移動させる駆動装置と、
   前記搬入位置に前記第１基板及び前記第２基板を搬入し前記搬出位置から前記一体基板を搬出する搬送装置と、
   を備えることを特徴とする加圧システム。
2. 前記搬送装置は、前記第１チャンバー外に配置されることを特徴とする請求項１に記載の加圧システム。
3. 前記搬送装置を収納する第２チャンバーを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の加圧システム。
4. 前記搬入位置と前記搬出位置とが同一位置であることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の加圧システム。
5. 前記駆動装置は磁気シールを有する軸受けに接続された回転板を備え、前記回転板は前記複数の加圧装置を載置することを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の加圧システム。
6. 前記加圧装置は前記第１基板を支持する第１加圧プレートと、前記第２基板を支持する第２加圧プレートと、前記第１加圧プレートを保持するコネクティングロッドとを有し、
   前記コネクティングロッド及び前記第２加圧プレートが前記回転板に固定されていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の加圧システム。
7. 前記第２チャンバーに接続され、前記第１基板、前記第２基板又は前記一体基板を搬入及び搬出する第３チャンバーを備えることを特徴とする請求項３に記載の加圧システム。
8. 前記回転板は基準位置から所定角度回転した後、再び基準位置に逆回転することを特徴とする請求項５に記載の加圧システム。