JP2009141283A - ステージ装置、露光装置、およびステージ装置の制御方法 - Google Patents
ステージ装置、露光装置、およびステージ装置の制御方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】Yステージ2に対するXステージ3の位置を計測する計測手段(リニアモータ用干渉計)と、Xモータ32によってXステージ3へ与えられた移動量に基づき定まる位置と計測手段によって計測された位置との差分を求めることによりXステージ3の位置の振動成分を得る振動成分抽出手段と、を備え、前記得られた振動成分に基づき算出されるリニアモータ制御値ED_A,ED_Bに従ってリニアモータ(Xリニアモータ固定子33A,33BおよびXリニアモータ可動子34A,34B)によりXステージ3の振動を減衰させる制御を行う。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の一実施形態によるステージ装置の構成を示す上面図である。
ベース1の上面には、Yステージ2がY方向(図の上下方向)に移動可能にベアリング等の所定の支持機構(不図示)を介して設けられ、このYステージ2の上部には、Xステージ3がX方向(図の左右方向)に移動可能に同様の支持機構(不図示)を介して設けられる。
即ち、Xステージ3はその一部にナット部38(不図示)を有し、Xボールねじ31がこのナット部に貫通して両者が噛み合っている。Yステージ2に設けられたXモータ32がXボールねじ31を回転させることによって、ナット部を介してXステージ3にX方向への推力が発生し、Xステージ3がYステージ2に対してX方向へ動くようになっている。Xモータ32へはXステージ3を目標位置へ移動させるためにXボールねじ31の回転トルクを指示する指令値が入力され、これに従ってXボールねじ31の回転が行われて、Xステージ3が目標位置へ位置決めされる。
本ステージ装置には、Xステージ3の位置を計測するために、位置決め用干渉計と前記リニアモータ(Xリニアモータ)用の干渉計の2つのレーザ干渉計が用いられる。位置決め用干渉計は、Xステージ3とYステージ2の外部に設けられた位置決め用干渉計測定部36により該位置決め用干渉計測定部36の設置位置を基準としてXステージ3の位置Pxを計測する。例えば、位置決め用干渉計測定部36は、ベース1の外部に設けられたメトロロジーフレーム(図示せず)やベース1上に設置することができる。また、後述する図6の露光装置に本ステージ装置を適用した場合には露光装置の照明光学系202に組み込んだ状態で設置したりすることができる。この場合、計測位置Pxは、ベース1や照明光学系202を基準に計測したXステージ3の位置となる。
なお、上記説明ではYステージ2より上部のみの場合について述べたが、そこで説明したYステージ2とXステージ3の関係は、同様にベース1とYステージ2の関係に当てはまる。即ち、上記説明の構成では、ベース1に対してYステージ2が移動し、そのYステージ2に対してXステージ3が移動するという階層的な配置になっているが、本発明はこの配置に限定されるものではなく、ベース1上に1つだけのステージが設けられてこのステージ(XステージでもYステージでも構わない)がベース1に対して(X方向又はY方向に)移動するという構成に、本発明を適用できることは勿論である。
しかし本発明にかかるステージ装置では、上記のリニアモータ用干渉計によって計測されるYステージ2を基準としたXステージ3の位置Px_EDを用いることによって、ベース1とYステージ2との間で発生する振動(Y方向成分とθy方向成分)、及びYステージ2とXステージ3との間で発生する振動(X方向成分とθx方向成分)をそれぞれ検出し減衰させることができるので、Yステージ2とXステージ3の制御を精度良く行うことが可能である。そのため、位置決め対象(本実施形態ではXステージ3)の精密な位置決め制御を行うことが可能となる。
また、ベース1上にYステージ2だけが設けられてこのYステージ2がベース1に対してY方向に移動するという構成に本発明を適用できることを述べたが、この構成とした場合にも同様に、リニアモータ用干渉計を用いることによりベース1に対するYステージ2の振動成分(Y方向成分とθy方向成分)を正確に求めることができる。これにより、ベース1とYステージ2との間に発生する振動をそれぞれ減衰させる精密な制御を行うことが可能である。
図6は、上述のステージ装置を適用した露光装置の構成図である。露光装置201は、照明光学系202と、マスクMを保持して移動するマスクステージ装置203と、投影光学系PLと、ガラス基板Pを保持して移動する基板ステージ装置205と、を含んで構成される。
投影光学系PLは、光軸AX方向に沿って所定間隔で配置された複数枚のレンズエレメントを有する光学系(例えば屈折光学系)であり、照明光学系202からの照明光ILによってマスクMの照明領域が照明されると、このマスクMを通過した照明光により、投影光学系PLを介してマスクM上の照明領域の回路パターンの所定倍率の正立像がガラス基板P上に投影され、これによりガラス基板Pの表面に塗布されたフォトレジストが露光される。
Claims (10)
- ベースに対し所定方向へ移動可能であって且つ該ベースと弾性的に結合されたステージと、前記ステージを前記所定方向に沿って移動させる駆動手段と、前記ステージの振動を減衰させる制御を行う振動制御手段と、を有するステージ装置において、
前記ベースに対する前記ステージの位置を計測する計測手段と、
前記駆動手段によって前記ステージへ与えられた移動量に基づき定まる位置と、前記計測手段によって計測された位置と、の差分を求めることにより前記ステージの位置の振動成分を得る振動成分抽出手段と、を備え、
前記振動制御手段は、前記得られた振動成分に基づいて前記ステージの振動を減衰させる制御を行うステージ装置。 - ベースに対し第1方向へ移動可能な第1ステージと、前記第1ステージに対し第2方向へ移動可能であって且つ該第1ステージと弾性的に結合された第2ステージと、前記第2ステージを前記第2方向に沿って移動させる駆動手段と、前記第2ステージの振動を減衰させる制御を行う振動制御手段と、を有するステージ装置において、
前記第1ステージに対する前記第2ステージの位置を計測する計測手段と、
前記駆動手段によって前記第2ステージへ与えられた移動量に基づき定まる位置と、前記計測手段によって計測された位置と、の差分を求めることにより前記第2ステージの位置の振動成分を得る振動成分抽出手段と、を備え、
前記振動制御手段は、前記得られた振動成分に基づいて前記第2ステージの振動を減衰させる制御を行うステージ装置。 - 前記振動制御手段は、前記振動成分抽出手段により得られる前記振動成分を微分して前記ステージの速度の振動成分を求め、該求めた速度の振動成分に比例した大きさで前記ステージの振動を減衰させる請求項1に記載のステージ装置。
- 前記振動制御手段は、前記振動成分抽出手段により得られる前記振動成分を微分して前記第2ステージの速度の振動成分を求め、該求めた速度の振動成分に比例した大きさで前記第2ステージの振動を減衰させる請求項2に記載のステージ装置。
- 前記ステージを位置決めする基準である物体に対して前記ステージの位置を計測し、該計測した位置と位置決めの指令値との差分として求まる非振動的な位置ずれに応じて、前記振動制御手段が前記ステージをその位置ずれが最小となるよう移動させる請求項1または請求項3に記載のステージ装置。
- 前記第2ステージを位置決めする基準である物体に対して前記第2ステージの位置を計測し、該計測した位置と位置決めの指令値との差分として求まる非振動的な位置ずれに応じて、前記振動制御手段が前記第2ステージをその位置ずれが最小となるよう移動させる請求項2または請求項4に記載のステージ装置。
- 前記振動制御手段は、それぞれが同一方向への駆動力を発生させる複数のアクチュエータを含み、
前記計測手段は、前記複数のアクチュエータに対応して複数設けられている
請求項1から請求項6のいずれか1の項に記載のステージ装置。 - マスクステージに保持されたマスクのパターンを基板ステージに保持された感光基板に露光する露光装置において、
前記マスクステージと前記基板ステージの少なくとも一方のステージを請求項1から請求項7のいずれか1の項に記載のステージ装置とした露光装置。 - ベースに対し所定方向へ移動可能であって且つ該ベースと弾性的に結合されたステージと、前記ステージを前記所定方向に沿って移動させる駆動手段と、前記ステージの振動を減衰させる制御を行う振動制御手段と、を有するステージ装置の制御方法において、
前記ベースに対する前記ステージの位置を計測するステップと、
前記駆動手段によって前記ステージへ与えられた移動量に基づき定まる位置と、前記計測された位置と、の差分を求めることにより前記ステージの位置の振動成分を得るステップと、
前記振動制御手段が前記得られた振動成分に基づいて前記ステージの振動を減衰させる制御を行うステップと、
を含むステージ装置の制御方法。 - ベースに対し第1方向へ移動可能な第1ステージと、前記第1ステージに対し第2方向へ移動可能であって且つ該第1ステージと弾性的に結合された第2ステージと、前記第2ステージを前記第2方向に沿って移動させる駆動手段と、前記第2ステージの振動を減衰させる制御を行う振動制御手段と、を有するステージ装置の制御方法において、
前記第1ステージに対する前記第2ステージの位置を計測するステップと、
前記駆動手段によって前記第2ステージへ与えられた移動量に基づき定まる位置と、前記計測された位置と、の差分を求めることにより前記第2ステージの位置の振動成分を得るステップと、
前記振動制御手段が前記得られた振動成分に基づいて前記第2ステージの振動を減衰させる制御を行うステップと、
を含むステージ装置の制御方法。
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WO2013161858A1 (ja) * | 2012-04-24 | 2013-10-31 | 株式会社ニコン | 制御装置、ステージ装置、露光装置、及び制御方法 |
KR101862053B1 (ko) | 2014-06-17 | 2018-05-29 | 캐논 가부시끼가이샤 | 스테이지 장치, 리소그래피 장치, 물품의 제조방법, 및 결정방법 |
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