JP2009139694A - 焦点検出装置 - Google Patents

焦点検出装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2009139694A
JP2009139694A JP2007316857A JP2007316857A JP2009139694A JP 2009139694 A JP2009139694 A JP 2009139694A JP 2007316857 A JP2007316857 A JP 2007316857A JP 2007316857 A JP2007316857 A JP 2007316857A JP 2009139694 A JP2009139694 A JP 2009139694A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
reflected
focus detection
transparent substrate
objective lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007316857A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5009141B2 (ja
Inventor
Takami Shibazaki
尊己 芝崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2007316857A priority Critical patent/JP5009141B2/ja
Priority to US12/328,243 priority patent/US7868279B2/en
Publication of JP2009139694A publication Critical patent/JP2009139694A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5009141B2 publication Critical patent/JP5009141B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/24Base structure
    • G02B21/241Devices for focusing
    • G02B21/245Devices for focusing using auxiliary sources, detectors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

【課題】簡単な構成で、合焦対象でない表面からの反射光による悪影響を排除しながら、合焦対象である表面からの反射光量を高い検出感度で検出可能な焦点検出装置を提供する。
【解決手段】対物レンズ6と、透明基板4a1に合焦信号生成用の照明光を対物レンズを通して照射する点光源17と、照明光の光束の一方の領域を遮光する第1の遮光部16aを有するマスク手段16と、2つの受光部19a,19b有する光検出器19とを備え、マスク手段は、光検出器の一方の受光部と相似形状に形成され、且つ、透明基板4a1の第1又は第2の表面の一方の近傍に対物レンズの焦点が位置するときに、該一方の表面からの反射光が2つの受光部に入射するとともに他方の表面からの反射光が一方の領域に配置された受光部を外れた領域を通るように、照明光の光束の他方の領域を通る一部の光束を遮断する、第2の遮光部16bを有する。
【選択図】図1

Description

本発明は、焦点検出装置に関し、特に、顕微観察装置において、マイクロプレートやスライドガラスなどの透明基板の所望の表面に焦点合わせを自動的に行うための焦点検出装置に関する。
バイオテクノロジーの分野においては、様々な条件下での種々の生細胞の反応を明らかにするため、多数の細胞を対象とした統計解析結果を用いることが頻繁に行われている。このような目的のため、従来、フローサイトメーターと呼ばれる装置が使用されてきたが、近年、顕微観察装置によって多数の細胞の画像を取得し、取得した画像を解析することにより統計解析結果を得るという手法が用いられるようになってきている。
ところで、実際に様々な条件下での生細胞の反応を試験するためには、マイクロプレートなどの容器の中で培養された非常に多くの生細胞を解析対象とする必要がある。
このため、細胞画像を取得する顕微観察装置としては、マイクロプレートなどの容器の下方より観察する倒立顕微鏡型の光学配置を採用し、さらに視野位置変更、焦点合わせ、撮像などの画像取得に係わる一連の動作を自動化したものが望まれる。
顕微観察装置を自動化する場合には、特に、焦点合わせの自動化方式が重要である。一般的に、焦点合わせの自動化方式には、大別して対象物(被写体)に赤外線等の照明光を照射し、その反射光が戻るまでの時間、照射角度、あるいは光量等を検出することにより焦点を検出するアクティブ方式と、レンズで捉えた画像を利用して焦点を検出するパッシブ方式の2つの方式が存在する。
しかるに、様々な条件下での種々の生細胞の反応を明らかにすることを目的として細胞画像を取得する顕微観察装置においては、多数の画像を取得する必要があるため、迅速な動作速度を有するアクティブ方式の焦点合わせ方式が採用されることが多い。このようなアクティブ方式を採用した焦点検出装置としては、例えば、次の特許文献1に記載のものがある。
ところで、アクティブ方式を採用した焦点検出装置においては、透明基板の一方の面に焦点を合わせるために、その一方の面からの反射光を光検出器で検出するような場合に、他方の面からの反射光も光検出器で検出されてノイズとなって焦点の検出に悪影響を及ぼすという問題がある。
しかるに、特許文献1に記載の焦点検出装置では、透明基板における焦点合わせの対象となっている一方の面(透明基板の表面)で反射された光の検出時に外乱光となる光線を遮光するために用いられる開口絞りを、透明基板の表面での開口数が所定値より大きい光のみを選択的に透過させるように輪帯形状に形成することによって、透明基板における焦点合わせの対象となっていない他方の面(透明基板の裏面)で反射された光がノイズとして検出されないようにしている。
特開2006−184777号公報
しかしながら、特許文献1に記載の焦点検出装置における、焦点検出の際に外乱光となる光線を遮光するための開口絞りの輪帯形状は、一般に矩形状に形成されている検出領域の形状を考慮したものとはなっていない。即ち、透明基板の表面での開口数が所定値以下であってもノイズとはならない光は存在する。しかるに、輪帯形状の開口絞りで、そのようなノイズはならない光を検出領域に入射させようにすると、外乱光までもが検出領域に入ってしまう。しかし、輪帯形状の開口絞りで、外乱光を検出領域に入射させないようにすると、透明基板の表面での開口数が所定値以下でノイズとはならない光が検出部に入射しなくなる。このため、特許文献1に記載のような輪帯形状に形成された開口絞りで外乱光となる光線を遮光する構成を採用した従来の焦点検出装置では、透明基板の表面での開口数が所定値以下であってもノイズとはならない光を焦点検出のために有効に利用することができず、その分、検出光量が小さくなって検出感度が低下するという問題があった。
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、従来の焦点検出装置に比べて簡単な構成で、透明基板における焦点合わせの対象となっていない側の表面からの反射光による悪影響を排除しながら、ノイズとはならない光を焦点検出のために有効に利用し、透明基板における焦点合わせの対象となっている側の表面からの反射光量を高い検出感度で検出して、この焦点合わせの対象となっている側の表面に焦点合わせを行うことが可能な焦点検出装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明による焦点検出装置は、対物レンズと、透明基板に対し合焦信号を生成するための照明光を発し、前記対物レンズを通して照射する点光源と、前記照明光の光束のうち該照明光の光軸に沿う第1の仮想平面で分割したときの一方の領域を通る光束を遮光する第1の遮光部を有するマスク手段と、前記透明基板で反射された光の光軸に沿う第2の仮想平面を挟んで対称に配置された2つの受光部を有する光検出器とを備え、前記2つの受光部を介して夫々検出された前記透明基板からの反射光の光量に基づいて、前記透明基板の第1又は第2の表面に前記対物レンズの焦点合わせを行うための焦点検出装置であって、前記マスク手段は、前記光検出器における一方の受光部と相似形状に形成され、且つ、前記透明基板における第1又は第2の表面のうち一方の表面近傍に前記対物レンズの焦点が位置するときに、該一方の表面からの反射光が前記2つの受光部に入射するとともに他方の表面からの反射光が前記第2の仮想平面で分割したときの一方の領域における当該領域に配置された受光部を外れた領域を通るように、前記照明光の光束のうち光軸に沿う前記第1の仮想平面で分割したときの他方の領域を通る一部の光束を遮断する、第2の遮光部を有することを特徴としている。
また、本発明の焦点検出装置においては、前記マスク手段が、形状可変であるのが好ましい。
また、本発明の焦点検出装置においては、前記マスク手段における第1及び第2の遮光部が、2枚の薄板の組み合わせで構成されているのが好ましい。
本発明によれば、従来の焦点検出装置に比べて簡単な構成で、透明基板における焦点合わせの対象となっていない側の表面からの反射光による悪影響を排除しながら、ノイズとはならない光を焦点検出のために有効に利用し、透明基板における焦点合わせの対象となっている側の表面からの反射光量を高い検出感度で検出して、この焦点合わせの対象となっている側の表面に焦点合わせを行うことが可能な焦点検出装置が得られる。
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
図1は本発明の一実施形態にかかる焦点検出装置を備えた顕微観察装置の概略構成を示す説明図、図2は図1の顕微観察装置に備わる焦点検出装置におけるマスク手段を構成する第1及び第2の遮光部の形状、及び照明光束における第1及び第2の遮光部で遮光されない領域と遮光される領域を示す説明図、図3は図2に示す第1及び第2の遮光部で遮光されない領域の照明光について、透明基板における焦点合わせの対象となっている側の表面で反射された光と、焦点合わせの対象となっていない側の表面で反射された光の、2つの受光部との位置関係を示す説明図である。図4は本実施形態の焦点検出装置において、焦点を透明基板の被検物側の面に合わせた場合における、焦点合わせの対象となっている側の表面で反射する光と、焦点合わせの対象となっていない側の表面で反射する光の経路を概念的に示す説明図である。図5は図4に示す状態の焦点検出装置において、透明基板における焦点検出対象となっている側と焦点検出対象となっていない側の夫々の表面で反射する光の2つの受光部近傍での入射状態を示す説明図である。図6は本実施形態の焦点検出装置において、焦点を透明基板の被検物側とは反対側の面に合わせた場合における、焦点合わせの対象となっている側の表面で反射する光と、焦点合わせの対象となっていない側の表面で反射する光の経路を概念的に示す説明図である。図7は図6に示す状態の焦点検出装置において、透明基板における焦点検出対象となっている側と焦点検出対象となっていない側の夫々の表面で反射する光の2つの受光部近傍での入射状態を示す説明図である。図8は本実施形態の焦点検出装置における2つの受光部で検出される、合焦状態に応じた受光量の変化の一例を示すグラフである。図9は図8に示した2つの受光部で検出された受光量に基づき計算された評価関数計算値の一例を示すグラフである。なお、図4及び図6では説明の便宜上、本発明における点光源及びマスク手段と、光検出器の位置を入れ替えた状態で示してある。また、後述する外乱光遮光部材も省略して示してある。
本実施形態の焦点検出装置を備えた顕微観察装置は、図1に示すように、顕微鏡本体1と、落射照明装置2と、焦点検出装置3とからなる。
顕微鏡本体1は、被検物4を載置するXYステージ5を備えている。XYステージ5の下方には、対物レンズ6と、ハーフミラー7,20と、結像レンズ8と、CCDカメラ9とを備えている。XYステージ5は、水平面内(紙面に対して垂直な平面内)を移動可能に構成されている。対物レンズ6は、駆動部10を介して光軸方向に移動可能に構成されている。
被検物4は、公知の複数ウェルを有するポリスチレン等の光透過性部材で製作されたマイクロプレート4aを容器として使用し、培養液4b中で培養された細胞をマイクロプレート4aの底面部4a1に公知の技術によって固定化したものである。マイクロプレート4aの底面部4a1は、本発明における透明基板に相当する。なお、被検物4に用いる細胞は、さらに解析する項目に応じて適切な方法によって染色された細胞でもかまわない。また、使用する容器として、ここではプラスチック製のものを例示したが、底面にガラスを貼り付けたガラスボトムプレートでもかまわない。
落射照明装置2は、XYステージ5の下方に備えられ、光源11と、レンズ12からなる。光源11は、白色LEDで構成されている。
焦点検出装置3は、対物レンズ8と、ハーフミラー7と、焦点検出ユニット3’を有している。焦点検出ユニット3’は、顕微鏡本体1におけるハーフミラー7の反射光路上に配置され、λ/4板15と、レンズ13と、偏光ビームスプリッタ14と、マスク手段16と、偏光ビームスプリッタ14の透過光路上に配置された、焦点合わせ用の点光源17と、偏光ビームスプリッタ14の反射光路上に配置された、外乱光遮光部材18と、光検出器19とを備えている。焦点合わせ用の点光源17は、レーザダイオードで構成されていて、被検物4の透明基板(マイクロプレート4aの底面部4a1)に対して合焦信号を生成するための照明光を発するようになっている。外乱光遮光部材18は、後述するマスク手段16を通過し対物レンズ6を介して被検物4を照射し被検物4で反射されて光検出器19側へ向かう光のうち、所定の光路を外れた乱光を遮光するように、光軸X2に沿う第2の仮想平面(図1では光軸X2を含む紙面に垂直な平面)で分割したときの一方の領域に設けられている。なお、外乱光遮光部材18は、所定の光路を外れた乱光が殆ど発生しない場合には、その配置を省略してもよい。
光検出器19は、2分割フォトダイオードで構成されている。2分割フォトダイオードは、2つの受光部19a,19bを有している。2つの受光部19a,19bは、光軸X2に沿う仮想平面(図1では光軸X2を含む紙面に垂直な平面)を挟んで対称に配置されている。
マスク手段16は、図2に示すように、第1の遮光部16aと、第2の遮光部16bを有している。
第1の遮光部16aは、点光源17から発せられた照明光の光束のうち光軸X1に沿う第1の仮想平面(図1では光軸X1を含む紙面に垂直な平面)で分割したときの一方の領域を通る光束を遮光する形状及び大きさに形成されている。なお、本実施形態では、第1の遮光部16aは、矩形形状をしているが、この一方の片側部分の光束を遮光することができる形状であればどのような形状でもよい。
第2の遮光部16bは、光検出器19における一方の受光部と相似形状に形成され、且つ、透明基板(マイクロプレート4aの底面部4a1)における第1又は第2の表面(底面部4a1の表面4a11又は表面4a12)のうち、一方の表面近傍に対物レンズ6の焦点が位置するときに、一方の表面からの反射光が2つの受光部19a,19bに入射するとともに他方の表面からの反射光が、例えば図3に示すように、第2の仮想平面で分割したときの一方の領域におけるその一方の領域に配置された受光部(図3の例では受光部19a)を外れた領域を通るように、点光源17から発せられた照明光の光束のうち光軸X1に沿う第1の仮想平面で分割したときの他方の領域を通る一部の光束を遮光するように構成されている。
このように構成された本実施形態の焦点検出装置を備えた顕微観察装置では、まず、落射照明装置2の光源11である白色LEDから射出された光が、レンズ12、ハーフミラー20、ハーフミラー7、対物レンズ6を介してXYステージ5に載置された被検物4を照明する。このときの被検物4からの光は、対物レンズ6、ハーフミラー7、ハーフミラー20、レンズ8を経由してCCDカメラ9へ導かれる。これにより、CCDカメラ9を介して被検物4を撮像することができる。
また、焦点検出装置3では、レーザダイオード17から射出された光の一部が、遮光部材16を介して遮光される。一方、遮光部材16によって遮光されることなく通り抜けた光は、偏光ビームスプリッタ14、レンズ13、λ/4板15、ハーフミラー7、対物レンズ8を経由して、被検物4へ導かれる。このときの被検物4からの反射光は、対物レンズ8、ハーフミラー7、λ/4板15、レンズ13、偏光ビームスプリッタ14を経由して、受光素子19側に導かれる。
ここで、焦点検出装置3において、マイクロプレート4aの底面部4a1からの反射光が受光素子19へ入射する状態は、底面部4a1の表面位置と対物レンズ8の焦点位置との関係において次のように変化する。
まず、底面部4a1における培養液4b及び細胞と接する側の表面4a11に対物レンズ8の焦点位置を合わせる場合(以下、対物レンズ8の焦点を合わせる表面を目的表面と称す。)において、目的表面4a11近傍に対物レンズ8の焦点が位置するときは、図4に示すように、焦点検出装置3の光路を辿る。
すなわち、レーザダイオード17から発してマイクロプレート4aの底面部4a1で反射された光のうち、目的表面4a11で反射された光は、対物レンズ8を透過した後、受光素子19である2分割フォトディテクター上の結像点21に結像する。一方、目的表面4a11に対向する表面4a12で反射された光は、結像点21よりも遠い結像点23で結像する。
ここで、本実施形態の焦点検出装置3では、マスク手段16の第2の遮光部16bが、光検出器19における一方の受光部と相似形状に形成され、一方の表面近傍に対物レンズ6の焦点が位置するときに、一方の表面からの反射光が2つの受光部19a,19bに入射するとともに他方の表面からの反射光が、例えば図3に示すように、第2の仮想平面で分割したときの一方の領域におけるその一方の領域に配置された受光部(図3の例では受光部19a)を外れた領域を通るように、点光源17から発せられた照明光の光束のうち光軸X1に沿う第1の仮想平面で分割したときの他方の領域を通る一部の光束を遮光するように構成されている。
したがって、図5に示すように、目的表面4a11で反射された光は、ほぼ点に近い状態に集光して2分割フォトディテクターに入射し、2分割フォトディテクターの双方の受光部19a,19bで均等な光量が検出される。一方、表面4a12で反射された光は、結像しない状態で2分割フォトディテクター側に向かうが、点光源17から発せられて表面4a12で反射しうる光のうち2分割フォトディテクターに入射しうる領域の光は、マスク手段16の第2の遮光部16bによって遮光され、表面4a12で反射されない。このため、表面4a12で反射された光は、そのすべてが、2分割フォトディテクターから外れた位置を通る。
一方、底面部4a1における培養液4b及び細胞と接する側とは反対側の表面4a12に対物レンズ8の焦点位置を合わせる場合において、目的表面4a12近傍に対物レンズ8の焦点が位置するときは、図6に示すように、焦点検出装置3の光路を辿る。
すなわち、レーザダイオード17から発してマイクロプレート4aの底面部4a1で反射された光のうち、目的表面4a12で反射された光は、対物レンズ8を透過した後、受光素子19である2分割フォトディテクター上の結像点23’に結像する。一方、目的表面4a12に対向する表面4a11で反射された光は、結像点23’よりも近い結像点21’で結像する。
ここで、本実施形態の焦点検出装置3では、マスク手段16の第2の遮光部16bが、光検出器19における一方の受光部と相似形状に形成され、一方の表面近傍に対物レンズ6の焦点が位置するときに、一方の表面からの反射光が2つの受光部19a,19bに入射するとともに他方の表面からの反射光が、例えば図3に示すように、第2の仮想平面で分割したときの一方の領域におけるその一方の領域に配置された受光部(図3の例では受光部19a)を外れた領域を通るように、点光源17から発せられた照明光の光束のうち光軸X1に沿う第1の仮想平面で分割したときの他方の領域を通る一部の光束を遮光するように構成されている。
したがって、図7に示すように、目的表面4a12で反射された光は、ほぼ点に近い状態に集光して2分割フォトディテクターに入射し、2分割フォトディテクターの双方の受光部19a,19bで均等な光量が検出される。一方、表面4a11で反射された光は、結像しない状態で2分割フォトディテクター側に向かうが、点光源17から発せられて表面4a11で反射しうる光のうち2分割フォトディテクターに入射しうる領域の光は、マスク手段16の第2の遮光部16bによって遮光され、表面4a11で反射されない。このため、表面4a11で反射された光は、そのすべてが、2分割フォトディテクターから外れた位置を通る。
このようにして被検物4の目的表面からの反射光だけを受光した2分割フォトディテクター19は、前記反射光の光量情報を捉え、焦点合わせ信号として不図示の制御部へ出力する。そして、この制御部はこの焦点合わせ信号に基づき、(A−B)/(A十B)なる評価関数を計算する。本実施形態の焦点検出装置における2分割フォトディテクターによって検出される光量変化の一例を図8のグラフに示す。また、図9に図8のデータに基づいて行った評価関数計算値の一例をグラフに示す。図9のグラフにおいて、横軸が被検物4と対物レンズの相対距離、縦軸が焦点合わせ評価値である。焦点合わせは、この評価関数計算値が0となるように駆動部10を介して対物レンズ8を上下させる。評価関数計算値が0となる位置に対物レンズ8が移動したときに対物レンズ8の焦点が被検物4の目的表面に位置し合焦が達成される。
なお、本実施形態においては、被検物としてマイクロプレートなどの透明容器の内側表面に焦点合わせを行う場合について記載したが、ガラススライド等の表面に焦点合わせを行う場合など、目的表面よりも向こう側にノイズとなる反射面がある場合でも、遮光部材の大きさを調節することによって対応することができる。
このように本実施形態の焦点検出装置によれば、マスク手段16を介してサンプル容器底面部の目的としない側の表面からの反射光が排除される一方、照明用光源から発されて目的表面からの反射光となるべき光を極力ロスを低減させて目的表面で反射させることができる。このため、この反射光が外乱光として、焦点合わせ信号に悪影響を及ぼすことなく、高精度な焦点合わせを行うことができるようになる。
また、本実施形態の焦点検出装置によれば、照明用光源として点光源を用いることで焦点合わせ用光学系を構成する部材が少なくて済む。
本発明は、自動化した顕微観察装置を用いて多数の細胞の画像を取得し、取得した画像を解析することにより統計解析結果を得ることが求められる分野に有用である。
本発明の一実施形態にかかる焦点検出装置を備えた顕微観察装置の概略構成を示す説明図である。 図1の顕微観察装置に備わる焦点検出装置におけるマスク手段を構成する第1及び第2の遮光部の形状、及び照明光束における第1及び第2の遮光部で遮光されない領域と遮光される領域を示す説明図である。 図2に示す第1及び第2の遮光部で遮光されない領域の照明光について、透明基板における焦点合わせの対象となっている側の表面で反射された光と、焦点合わせの対象となっていない側の表面で反射された光の、2つの受光部との位置関係を示す説明図である。 本実施形態の焦点検出装置において、焦点を透明基板の被検物側の面に合わせた場合における、焦点合わせの対象となっている側の表面で反射する光と、焦点合わせの対象となっていない側の表面で反射する光の経路を概念的に示す説明図である。 図4に示す状態の焦点検出装置において、透明基板における焦点検出対象となっている側と焦点検出対象となっていない側の夫々の表面で反射する光の2つの受光部近傍での入射状態を示す説明図である。 本実施形態の焦点検出装置において、焦点を透明基板の被検物側とは反対側の面に合わせた場合における、焦点合わせの対象となっている側の表面で反射する光と、焦点合わせの対象となっていない側の表面で反射する光の経路を概念的に示す説明図である。 図6に示す状態の焦点検出装置において、透明基板における焦点検出対象となっている側と焦点検出対象となっていない側の夫々の表面で反射する光の2つの受光部近傍での入射状態を示す説明図である。 本実施形態の焦点検出装置における2つの受光部で検出される、合焦状態に応じた受光量の変化の一例を示すグラフである。 図8に示した2つの受光部で検出された受光量に基づき計算された評価関数計算値の一例を示すグラフである。
符号の説明
1 顕微鏡本体
2 落射照明装置
3 焦点検出装置
3’ 自動焦点検出ユニット
4 被検物
4a マイクロプレート
4a1 底面部
4a11,4a12 底面部4a1の表面
4b 培養液
5 XYステージ
6 対物レンズ
7,20 ハーフミラー
8 結像レンズ
9 CCDカメラ
10 駆動部
11 光源
12,13 レンズ
14 偏光ビームスプリッタ
15 λ/4板
16 マスク手段
16a 第1の遮光部
16b 第2の遮光部
17 点光源
18 外乱光遮光部材
19 光検出器
19a,19b 受光

Claims (3)

  1. 対物レンズと、透明基板に対し合焦信号を生成するための照明光を発し、前記対物レンズを通して照射する点光源と、前記照明光の光束のうち該照明光の光軸に沿う第1の仮想平面で分割したときの一方の領域を通る光束を遮光する第1の遮光部を有するマスク手段と、前記透明基板で反射された光の光軸に沿う第2の仮想平面を挟んで対称に配置された2つの受光部を有する光検出器とを備え、前記2つの受光部を介して夫々検出された前記透明基板からの反射光の光量に基づいて、前記透明基板の第1又は第2の表面に前記対物レンズの焦点合わせを行うための焦点検出装置であって、
    前記マスク手段は、前記光検出器における一方の受光部と相似形状に形成され、且つ、前記透明基板における第1又は第2の表面のうち一方の表面近傍に前記対物レンズの焦点が位置するときに、該一方の表面からの反射光が前記2つの受光部に入射するとともに他方の表面からの反射光が前記第2の仮想平面で分割したときの一方の領域における当該領域に配置された受光部を外れた領域を通るように、前記照明光の光束のうち光軸に沿う前記第1の仮想平面で分割したときの他方の領域を通る一部の光束を遮断する、第2の遮光部を有することを特徴とする焦点検出装置。
  2. 前記マスク手段が、形状可変であることを特徴とする請求項1に記載の焦点検出装置。
  3. 前記マスク手段における第1及び第2の遮光部が、2枚の薄板の組み合わせで構成されていることを特徴とする請求項2に記載の焦点検出装置。
JP2007316857A 2007-12-07 2007-12-07 焦点検出装置及びそれを用いた合焦方法 Expired - Fee Related JP5009141B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007316857A JP5009141B2 (ja) 2007-12-07 2007-12-07 焦点検出装置及びそれを用いた合焦方法
US12/328,243 US7868279B2 (en) 2007-12-07 2008-12-04 Focus detecting apparatus for focusing on surface of transparent substance

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007316857A JP5009141B2 (ja) 2007-12-07 2007-12-07 焦点検出装置及びそれを用いた合焦方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009139694A true JP2009139694A (ja) 2009-06-25
JP5009141B2 JP5009141B2 (ja) 2012-08-22

Family

ID=40787464

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007316857A Expired - Fee Related JP5009141B2 (ja) 2007-12-07 2007-12-07 焦点検出装置及びそれを用いた合焦方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7868279B2 (ja)
JP (1) JP5009141B2 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5438159A (en) * 1977-09-01 1979-03-22 Canon Inc Distance measurement apparatus
JPH05124321A (ja) * 1991-10-31 1993-05-21 Nec Eng Ltd 熱転写プリンタのインクリボン剥離ガイド付熱転写ヘツドと熱転写ヘツド用インクリボンカートリツジ
JP2002031758A (ja) * 2000-07-17 2002-01-31 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡
JP2004013071A (ja) * 2002-06-11 2004-01-15 Nikon Corp スリット投影式オートフォーカス装置
JP2006293222A (ja) * 2005-04-14 2006-10-26 Olympus Corp 焦点検出装置
JP2007147749A (ja) * 2005-11-24 2007-06-14 Nikon Corp 焦点検出装置およびオートフォーカス装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1700299A1 (en) * 2003-12-23 2006-09-13 Koninklijke Philips Electronics N.V. Optical pick-up unit
JP2006184777A (ja) 2004-12-28 2006-07-13 Nikon Corp 焦点検出装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5438159A (en) * 1977-09-01 1979-03-22 Canon Inc Distance measurement apparatus
JPH05124321A (ja) * 1991-10-31 1993-05-21 Nec Eng Ltd 熱転写プリンタのインクリボン剥離ガイド付熱転写ヘツドと熱転写ヘツド用インクリボンカートリツジ
JP2002031758A (ja) * 2000-07-17 2002-01-31 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡
JP2004013071A (ja) * 2002-06-11 2004-01-15 Nikon Corp スリット投影式オートフォーカス装置
JP2006293222A (ja) * 2005-04-14 2006-10-26 Olympus Corp 焦点検出装置
JP2007147749A (ja) * 2005-11-24 2007-06-14 Nikon Corp 焦点検出装置およびオートフォーカス装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20090159777A1 (en) 2009-06-25
JP5009141B2 (ja) 2012-08-22
US7868279B2 (en) 2011-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107526156B (zh) 光片显微镜以及用于运行光片显微镜的方法
CN102483509B (zh) 三维方向漂移控制装置以及显微镜装置
JP2008276070A (ja) 拡大撮像装置
JP6662529B2 (ja) 光学機器の連続非同期オートフォーカスのためのシステムおよび方法
JP5268061B2 (ja) 基板検査装置
US10254526B2 (en) Microscope
KR102073503B1 (ko) 현미경 및 관찰 방법
KR101568980B1 (ko) 자동초점 조절장치 및 자동초점 조절방법
JP6590366B2 (ja) 顕微鏡装置、オートフォーカス装置、及び、オートフォーカス方法
JP5400499B2 (ja) 焦点検出装置
JP5009141B2 (ja) 焦点検出装置及びそれを用いた合焦方法
JP2012212018A (ja) 焦点維持装置及び顕微鏡装置
JP5394718B2 (ja) 顕微観察装置
US7382530B2 (en) Method for the adjustment of a light source in a microscope
US11971531B2 (en) Method and microscope for determining the thickness of a cover slip or slide
JP2008267842A (ja) 生物観察容器並びにこれを用いる生物顕微鏡及び生物観察装置
JPH09325278A (ja) 共焦点型光学顕微鏡
JP2004251984A (ja) オートフォーカス装置
JPH11243048A (ja) 斜光軸光学系を用いた位置検出装置及び方法
JPH10133117A (ja) 焦点検出装置を備えた顕微鏡
JP7112686B2 (ja) 標本観察装置
US20170371138A1 (en) Microscope and microscope-image acquisition method
KR20060111142A (ko) 공초점 어레이 검출기를 이용한 마이크로스코프
JPH10142489A (ja) 焦点検出方法およびその装置
CN106908386B (zh) 光学拾取装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20101027

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20111125

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111129

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120119

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120515

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120530

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5009141

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150608

Year of fee payment: 3

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees