JP2009139600A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009139600A5 JP2009139600A5 JP2007315300A JP2007315300A JP2009139600A5 JP 2009139600 A5 JP2009139600 A5 JP 2009139600A5 JP 2007315300 A JP2007315300 A JP 2007315300A JP 2007315300 A JP2007315300 A JP 2007315300A JP 2009139600 A5 JP2009139600 A5 JP 2009139600A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding film
- movable plate
- structures
- actuator according
- atom
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007315300A JP2009139600A (ja) | 2007-12-05 | 2007-12-05 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007315300A JP2009139600A (ja) | 2007-12-05 | 2007-12-05 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009139600A JP2009139600A (ja) | 2009-06-25 |
| JP2009139600A5 true JP2009139600A5 (enExample) | 2011-01-27 |
Family
ID=40870270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007315300A Withdrawn JP2009139600A (ja) | 2007-12-05 | 2007-12-05 | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2009139600A (enExample) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5134114B2 (ja) * | 2010-05-28 | 2013-01-30 | 日本電信電話株式会社 | 波長選択スイッチとその制御方法 |
| JP6988706B2 (ja) * | 2018-06-13 | 2022-01-05 | 住友電気工業株式会社 | 光モジュール |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003118001A (ja) * | 2001-10-11 | 2003-04-23 | Nec Kagoshima Ltd | フィルムラミネート装置 |
| JP4185409B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2008-11-26 | 松下電器産業株式会社 | 光導波路の製造方法 |
| JP2004109651A (ja) * | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置、光書き込み装置及び画像形成装置 |
| JP4742503B2 (ja) * | 2004-02-27 | 2011-08-10 | セイコーエプソン株式会社 | 成膜方法 |
| JP2005279863A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Seiko Epson Corp | アクチュエータの製造方法およびアクチュエータ |
| JP4510649B2 (ja) * | 2005-01-20 | 2010-07-28 | パナソニック株式会社 | 配線基板、多層基板および電子部品実装体の製造方法 |
-
2007
- 2007-12-05 JP JP2007315300A patent/JP2009139600A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1320076C (zh) | 有机电致发光元件密封用粘接剂及其应用 | |
| CA2704610C (en) | Device and device manufacture method | |
| JP6196993B2 (ja) | 電子素子の封止方法及び基板接合体 | |
| JP2014107393A (ja) | 常温接合デバイス、常温接合デバイスを有するウェハおよび常温接合方法 | |
| JP2009220581A5 (ja) | 接合体 | |
| TW201110274A (en) | Mems device | |
| JP2009134025A5 (enExample) | ||
| JP2009139600A5 (enExample) | ||
| TWI643370B (zh) | 密封結構、有機電致發光顯示裝置及感測器 | |
| JP2009134026A5 (enExample) | ||
| JP2009134027A5 (enExample) | ||
| KR101826745B1 (ko) | 가변초점 렌즈 구조체 및 그 제조방법과, 광학렌즈 모듈 및 그 제조방법 | |
| JP6172555B2 (ja) | ウエハの接合方法 | |
| JP2011112806A (ja) | Mems光スキャナおよびその製造方法 | |
| JP2011129591A (ja) | 接合方法および封止型デバイスの製造方法 | |
| TWI814931B (zh) | 層合體之製造方法以及基板之製造方法 | |
| JP2012154802A (ja) | 加速度角速度センサ装置の製造方法 | |
| JP2022020424A5 (enExample) | ||
| JP2009021773A5 (enExample) | ||
| JP2009088500A5 (enExample) | ||
| JP5543810B2 (ja) | 光偏向器パッケージ | |
| JP2009134030A5 (enExample) | ||
| JP5884667B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| JP2016001161A (ja) | 振動型角速度センサ | |
| KR101843085B1 (ko) | 광학렌즈 모듈 및 그 제조방법 |