JP2009021773A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009021773A5 JP2009021773A5 JP2007182203A JP2007182203A JP2009021773A5 JP 2009021773 A5 JP2009021773 A5 JP 2009021773A5 JP 2007182203 A JP2007182203 A JP 2007182203A JP 2007182203 A JP2007182203 A JP 2007182203A JP 2009021773 A5 JP2009021773 A5 JP 2009021773A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- internal space
- vibrating piece
- hole
- base
- piezoelectric vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007182203A JP2009021773A (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007182203A JP2009021773A (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009021773A JP2009021773A (ja) | 2009-01-29 |
| JP2009021773A5 true JP2009021773A5 (enExample) | 2010-08-12 |
Family
ID=40361018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007182203A Withdrawn JP2009021773A (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2009021773A (enExample) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011014652A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 機能性デバイスの製造方法および、それにより製造された機能性デバイスを用いた半導体装置の製造方法 |
| JP5434712B2 (ja) * | 2010-03-17 | 2014-03-05 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
| JP2019216320A (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | リバーエレテック株式会社 | 水晶デバイス及び水晶デバイスの周波数調整方法 |
-
2007
- 2007-07-11 JP JP2007182203A patent/JP2009021773A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104822118B (zh) | 一种mems麦克风的封装结构 | |
| EP3414756B1 (fr) | Absorbeur acoustique, paroi acoustique et procédé de conception et fabrication | |
| JP4348454B2 (ja) | デバイスおよびデバイス製造方法 | |
| JP2012222785A5 (enExample) | ||
| DE602006021468D1 (de) | Herstellungsverfahren für eine luftdicht versiegelte Glasverpackung | |
| JP2013059756A (ja) | エネルギー変換モジュール | |
| JP5775409B2 (ja) | 光スキャナの製造方法 | |
| JP2009021773A5 (enExample) | ||
| JP6365458B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2011191555A5 (enExample) | ||
| CN102341885B (zh) | 组装电子出射窗的方法和电子出射窗组件 | |
| TW200601514A (en) | Apparatus and method for wafer level packaging | |
| JP2009239860A (ja) | 圧電振動片及びその製造方法 | |
| JP2009545512A5 (enExample) | ||
| JP2004325450A5 (enExample) | ||
| TW201543074A (zh) | 用於微鏡晶片的安裝體,反射鏡裝置及製造反射鏡裝置的方法 | |
| JP2011129591A (ja) | 接合方法および封止型デバイスの製造方法 | |
| JP2008243342A5 (enExample) | ||
| JP7097727B2 (ja) | 複合基板及び複合基板の製造方法 | |
| JP2011141361A (ja) | 異物除去装置、異物除去方法及びパターン基板の製造方法 | |
| JP2009131911A (ja) | 封止型デバイスの製造方法および封止型デバイス | |
| JP2009016894A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
| JP2009139600A5 (enExample) | ||
| CN110708645A (zh) | 一种扬声器模组 | |
| JP2008035383A5 (enExample) |