JP2009137771A - Iii族窒化物結晶の成長方法 - Google Patents
Iii族窒化物結晶の成長方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009137771A JP2009137771A JP2007312537A JP2007312537A JP2009137771A JP 2009137771 A JP2009137771 A JP 2009137771A JP 2007312537 A JP2007312537 A JP 2007312537A JP 2007312537 A JP2007312537 A JP 2007312537A JP 2009137771 A JP2009137771 A JP 2009137771A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group iii
- crystal
- iii nitride
- nitride crystal
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【課題】液相法において結晶成長中に転位が増殖しないIII族窒化物結晶の成長方法を提供する。
【解決手段】III族窒化物結晶10と同じ化学組成を有しかつ一主面1mを有するIII族窒化物種結晶1aを含む基板1を準備する工程と、基板1の主面1mに、III族金属とアルカリ金属を含む溶媒3に窒素含有ガス5を溶解させた溶液を接触させて、主面1m上にIII族窒化物結晶10を成長させる工程とを備え、III族窒化物結晶10の結晶成長速度は、III族窒化物結晶10の転位が増殖を始める臨界結晶成長速度未満である。
【選択図】図2
【解決手段】III族窒化物結晶10と同じ化学組成を有しかつ一主面1mを有するIII族窒化物種結晶1aを含む基板1を準備する工程と、基板1の主面1mに、III族金属とアルカリ金属を含む溶媒3に窒素含有ガス5を溶解させた溶液を接触させて、主面1m上にIII族窒化物結晶10を成長させる工程とを備え、III族窒化物結晶10の結晶成長速度は、III族窒化物結晶10の転位が増殖を始める臨界結晶成長速度未満である。
【選択図】図2
Description
本発明は、液相法、特にフラックス法によるIII族窒化物結晶の成長方法に関する。
III族窒化物結晶は、各種半導体デバイスの基板などに広く用いられている。近年、各種半導体デバイスを効率的に製造するために、大型で転位密度の低いIII族窒化物結晶が求められている。
III族窒化物結晶を成長させる方法としては、HVPE(ハイドライド気相成長)法、MOCVD(有機金属化学気相堆積)法などの気相法、高圧溶液法、フラックス法などの液相法などがある。ここで、液相法は、気相法に比べて、その結晶成長において有毒なガスを使用しないため環境保護の面で優れている。
かかる液相法においてIII族窒化物結晶を成長させる方法として、たとえばH. Yamane, 他3名,“Preparation of GaN Single Crystals Using a Na Flux”, Chem. Mater., Vol.9, No.2, (1997), p.413-416(非特許文献1)は、Naフラックス法によるGaN結晶の成長方法を開示する。また、特開2003−206198号公報(特許文献1)は、板状のIII族窒化物種結晶を用いたNaフラックス法によるIII族窒化物結晶の成長方法を開示する。また、F. Kawamura, 他7名,“Growth of a Two-Inch GaN Single Crystal Substrate Using the Na Flux Method”, Japanese Journal of Applied Physics, Vol.45, No.43, (2006), p.L1136-L1138(非特許文献2)は、Naフラックス法により転位密度が108cm-2程度のGaN基板上にGaN結晶を成長させることにより、2.3×105cm-2程度の転位密度のGaN結晶が得られることを開示する。
しかし、非特許文献1に開示された成長方法では、結晶成長速度が低く、また種結晶を用いていないため、大型の結晶を成長させることが困難である。また、特許文献1には、種結晶および成長させた結晶の転位密度についての記載および示唆がない。また、非特許文献2に開示されたNaフラックス法については、種結晶および成長させた結晶の転位密度についての記載があるが、成長させた結晶の転位密度の評価が部分的であった。
特開2003−206198号公報
H. Yamane, 他3名,"Preparation of GaN Single Crystals Using a Na Flux", Chem. Mater., Vol.9, No.2, (1997), p.413-416
F. Kawamura, 他7名,"Growth of a Two-Inch GaN Single Crystal Substrate Using the Na Flux Method", Japanese Journal of Applied Physics, Vol.45, No.43, (2006), p.L1136-L1138
上記のように、上記非特許文献2には、Naフラックス法により転位密度が108cm-2のオーダーのGaN基板上に転位密度が2.3×105cm-2のGaN結晶を成長させることが記載されている。本発明者らは、上記非特許文献2に開示されたNaフラックス法について詳細に検討した。この結果、そのNaフラックス法により成長させたGaN結晶は、上記のような転位密度が1×106cm-2以下の領域の他に、転位密度が1×106cm-2を大きく上回る領域を有しており、結晶全体の平均転位密度は1×106cm-2を上回るものであり、HVPE(ハイドライド気相成長)法により成長される市販のGaN結晶と同等程度の転位密度であった。
さらに、本発明者らは、Naフラックス法により転位密度が1×106cm-2以下のGaN基板上にGaN結晶を成長させた。かかるGaN結晶は、その転位密度を750℃でHClガスによって結晶表面をエッチングすることにより現れたピットの単位面積あたりの個数(ピット密度)により測定したところ、上記の非特許文献2の場合と同様に、転位密度が1×106cm-2以下の領域と転位密度が1×106cm-2を大きく上回る領域とを有しており、結晶全体の平均転位密度が1×106cm-2を上回っていた。
このことは、Naフラックス法によりGaN結晶などのIII族窒化物結晶を成長させると、そのIII族窒化物結晶は、基板の転位を引き継ぐだけでなく、結晶成長中において転位が増殖されていることを意味する。
そこで、本発明者らは、液相法において結晶成長中に転位が増殖しない成長方法を提供することを目的として、Naフラックス法について詳細に検討したところ、結晶成長速度を十分に小さくすることにより、結晶成長中の転位の増殖が抑制されることを見出し、本発明を完成させた。
本発明は、液相法によるIII族窒化物結晶の成長方法であって、III族窒化物結晶と同じ化学組成を有しかつ一主面を有するIII族窒化物種結晶を含む基板を準備する工程と、基板の主面にIII族金属とアルカリ金属を含む溶媒に窒素含有ガスを溶解させた溶液を接触させて、主面上にIII族窒化物結晶を成長させる工程とを備え、III族窒化物結晶の結晶成長速度は、III族窒化物結晶の転位が増殖を始める臨界結晶成長速度未満であるIII族窒化物結晶の成長方法である。
本発明にかかるIII族窒化物結晶の成長方法において、III族窒化物結晶の結晶成長速度を0.1μm以上2μm以下とすることができる。また、基板の主面を(0001)III族金属原子表面とすることができる。また、アルカリ金属をナトリウムおよびリチウムからなる群から選ばれる少なくとも1種類の元素を含む金属とすることができる。また、上記III族窒化物結晶をGaN結晶とすることができる。
本発明によれば、液相法において結晶成長中に転位が増殖しない成長方法を提供することができる。
本発明にかかるIII族窒化物結晶の成長方法の一実施形態は、図1および図2を参照して、Naフラックス法によるIII族窒化物結晶10の成長方法であって、III族窒化物結晶10と同じ化学組成を有しかつ一主面1mを有するIII族窒化物種結晶1aを含む基板1を準備する工程と、基板1の主面1mに、III族金属とアルカリ金属を含む溶媒3に窒素含有ガス5を溶解させた溶液を接触させて、主面1m上にIII族窒化物結晶10を成長させる工程とを備え、III族窒化物結晶10の結晶成長速度は、III族窒化物結晶10の転位が増殖を始める臨界結晶成長速度未満である。液相法において、III族窒化物結晶の転位が増殖を始める臨界成長速度より小さい(低い)成長速度で成長させることにより、結晶成長中の転位の増殖が抑制され、平均転位密度が小さいIII族窒化物結晶が得られる。
本実施形態のIII族窒化物結晶の成長方法に用いられる成長装置は、たとえば、図1および図2を参照して、外容器29と、外容器29の内部に配置された断熱材27と、断熱材27の内部に配置されたヒータ25と、ヒータ25の内側に配置された内容器21とを備える。この内容器21内には、その中でIII族窒化物結晶10を成長させるための結晶成長容器23が配置されている。また、結晶成長容器23の開口部が蓋24で覆われていてもよい。ここで、結晶成長容器23および蓋24の材料は、溶媒3および窒素含有ガス5と反応せず、機械的強度および耐熱性が高いものであれば特に制限はないが、BN(窒化ホウ素)などが好ましい。また、内容器21の材料は、機械的強度および耐熱性の高いものであれば特に制限はないが、ステンレス、耐熱鋼などが好ましい。また、外容器29の材料は、機械的強度および耐熱性の高いものであれば特に制限はないが、ステンレスなどが好ましい。また、断熱材27の材料は、機械的強度、耐熱性および断熱性の高いものであれば特に制限はないが、ウール状のグラファイトなどが好ましい。
また、本実施形態で用いられる成長装置は、第1の配管41によって内容器21に繋がれている窒素含有ガス供給装置31と、第2の配管43によって外容器29に繋がれている加圧用ガス供給装置33と、第3の配管45によって外容器29に繋がれている真空排気装置35とを備える。ここで、第1の配管41には、窒素含有ガス5の供給流量を調節するためのバルブ41vが設けられ、バルブ41vより内容器21側の部分41aには第1の圧力計41pが設けられている。また、第2の配管43には、加圧用ガス7の供給流量を調節するためのバルブ43vが設けられ、バルブ43vより外容器29側の部分43aには第2の圧力計43pが設けられている。また、第3の配管45には、排気流量を調節するためのバルブ45vが設けられている。
さらに、第1の配管41のバルブ41vより内容器21側の部分41aと第3の配管45のバルブ45vより外容器29側の部分45aとを繋ぐ第4の配管47が設けられている。この第4の配管47にはバルブ47vが設けられている。なお、図1には、参考のため、第1の配管41のバルブ41vより窒素含有ガス供給装置31側の部分41b、第2の配管43のバルブ43vより加圧用ガス供給装置33側の部分43b、第3の配管45のバルブ45vより真空排気装置35側の部分45bも図示した。
本実施形態のIII族窒化物結晶の成長方法は、図1〜図2を参照して、まず、成長させるIII族窒化物結晶10と同じ化学組成を有しかつ一主面1mを有するIII族窒化物種結晶1aを含む基板1を準備する工程(基板の準備工程)を備える。
本実施形態において準備される基板1は、III族窒化物結晶10と同じ化学組成を有しかつ一主面を有するIII族窒化物種結晶1aを含む。ここで、III族窒化物結晶と化学組成が同じとは、結晶を構成する原子の種類および比率が同じことをいう。かかる基板1は、その主面1m上にIII族窒化物結晶10をホモエピタキシャル成長させることができる。ここで、基板1としては、成長させるIII族窒化物結晶10と化学組成を有しかつ一主面1mを有するIII族窒化物種結晶1を含むものであれば特に制限はなく、たとえば、下地基板1b上にIII族窒化物種結晶1aが形成されているテンプレート基板、全体がIII族窒化物種結晶1aで形成されている自立基板などが挙げられる。たとえば、III族窒化物結晶10としてAlxGayIn1-x-yN結晶(0≦x、0≦y、x+y≦1)をホモエピタキシャル成長させる場合には、基板1のIII族窒化物種結晶1aとしてAlxGayIn1-x-yN種結晶(0≦x、0≦y、x+y≦1)を用いる。
ここで、基板1の主面1mは、特に制限はないが、高品質かつ大型の下地基板を入手し易い観点から、(0001)III族金属原子表面であることが好ましい。
また、基板1は、主面1mにおける貫通転位の平均密度は、特に制限はないが、1×107cm-2以下が好ましく、1×106cm-2以下がより好ましい。基板1の主面1mにおける貫通転位の平均密度を小さくすることにより、主面1m上に成長させるIII族窒化物結晶10が受け継ぐ転位を少なくすることができる。ここで、主面における貫通転位とは、主面を貫通する転位をいい、主面において点状に現われる。また、平均密度とは、主面における平均密度を意味する。なお、基板1の主面1mにおける貫通転位の平均密度は、基板の主面をHClガスでエッチングして現れたピットの単位面積あたりの数を微分干渉顕微鏡を用いて測定できる。
また、基板1の主面1mの面積は、特に制限はないが、1cm2以上であることが好ましく、10cm2以上であることがより好ましい。本実施形態の成長方法による結晶成長においては、主面の面積が大きい基板を用いることにより、大型で結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度が低いIII族窒化物結晶が得られる。
本実施形態で準備される基板1は、III族窒化物結晶10と同じ化学組成を有しかつ一主面1mを有するIII族窒化物種結晶1aを含むものであれば特に制限はない。また、基板1のIII族窒化物種結晶1aは、HVPE法、MOCVD法などの気相法、溶液法、フラックス法などの液相法など、どのような方法によって成長されたものであってもよい。
すなわち、基板の準備工程とは、どのようにして形成された基板であっても、液相法によりIII族窒化物結晶10を成長させるための基板として、III族窒化物結晶10と同じ化学組成を有しかつ一主面1mを有するIII族窒化物種結晶1aを含む基板1を選択する点に意義がある。
また、本実施形態のIII族窒化物結晶の成長方法は、図1および図2を参照して、基板1の主面1mに、III族金属とアルカリ金属を含む溶媒に窒素含有ガスを溶解させた溶液を接触させて、前記主面上に前記III族窒化物結晶を成長させる工程(III族窒化物結晶の成長工程)をさらに備える。
本実施形態におけるIII族窒化物結晶の成長工程においては、III族金属とアルカリ金属を含む溶媒3が用いられる。III族金属に加えてアルカリ金属を含む溶媒3を用いると、III族金属を含み不純物濃度(たとえば溶媒全体に対して1モル%未満の濃度)以上にはアルカリ金属を含まない溶媒を用いる場合に比べて、III族窒化物結晶の成長温度、成長圧力を低減させることができる。これは、溶媒3に含まれているアルカリ金属が、溶媒3への窒素含有ガス5の溶解を促進させるためと考えられる。アルカリ金属は、特に制限はないが、III族窒化物結晶の成長温度、成長圧力を低減させる効果が大きい観点から、ナトリウムおよびリチウムからなる群から選ばれる少なくとも1種類の元素を含む金属であることが好ましい。
溶媒3に含まれるIII族金属MIIIとアルカリ金属MAとのモル比は、III族窒化物結晶の成長温度、成長圧力を低減させ、転位を増殖させることなくIII族窒化物結晶を成長させるのに適正な結晶成長速度(たとえば、0.1μm/hr以上2μm/hr以下)とすることができる範囲であれば特に制限はなく、MIII:MA=90:10〜10:90が好ましく、MIII:MA=50:50〜20:80がより好ましい。MIII:MA=90:10よりIII族金属MIIIのモル比が大きくても、MIII:MA=10:90よりアルカリ金属MAのモル比が大きくても、結晶成長速度が低下しすぎてしまう。
かかるIII族窒化物結晶の成長工程は、たとえば、以下の複数のサブ工程によって行なわれる。まず、結晶成長容器23の底にその主面1mを上に向けて基板1が配置される(基板配置サブ工程)。結晶成長容器23には、特に制限はないが、耐熱性の観点から、BN(窒化ホウ素)製の坩堝などが好ましく用いられる。基板1は、III族窒化物結晶10と同じ化学組成を有し一主面1mを有するIII族窒化物種結晶1aを含む。
次に、基板1が配置された結晶成長容器23内にIII族金属とアルカリ金属を含む溶媒3を入れる(溶媒配置サブ工程)。この溶媒3は室温(約25℃)中では固体であるが、後の加熱により液化する。III族金属とアルカリ金属を含む溶媒3には、制限はないが、純度の高いIII族窒化物結晶を成長させる観点から、III族金属の純度およびアルカリ金属の純度が高いものが好ましい。たとえば、高純度のGaN結晶を成長させるためには、高純度の金属Gaと高純度の金属Naを用いることが好ましい。この場合、金属Gaの純度は、99モル%以上が好ましく、99.999モル%以上がより好ましい。金属Naの純度は、99モル%以上が好ましく、99.99モル%以上がより好ましい。ここで、III族金属とアルカリ金属を含む溶媒3の量は、特に制限はないが、液化した溶媒3(融液)の深さが基板1の主面1mから1mm以上50mm以下であることが好ましい。かかる深さが1mmより小さいと溶媒3(融液)の表面張力のため基板の全面を溶媒3(融液)が覆わない恐れがあり、50mmより大きいと溶媒3(融液)の液面からの窒素の供給が不足してしまうためである。
次に、III族金属とアルカリ金属を含む溶媒3および基板1が収容された結晶成長容器23を内容器21内に配置する(結晶成長容器配置サブ工程)。ここで、結晶成長容器23の開口部を蓋24で覆うことが、溶媒3中のアルカリ金属の蒸発を抑制する観点から好ましい。
次に、真空排気装置35を用いて、内容器21および外容器29の内部を真空排気する(真空排気サブ工程)。内容器21および外容器29の内部の不純物を除去するためである。このとき、バルブ41vおよび43vは閉じられており、バルブ47vおよび45vは開かれている。真空排気後の内容器21および外容器29の真空度は、特に制限はないが、残留不純物を低減する観点から、1Pa以下が好ましい。
次に、内容器21および外容器29内に、それぞれの容器の内圧が0.5MPa以上5MPa以下となるようにそれぞれ窒素含有ガス5および加圧用ガス7を供給する(窒素含有ガス供給サブ工程)。ここで、結晶成長容器23上に蓋24が配置されていても、蓋24は結晶成長容器23に密着させていないため、内容器21内に供給された窒素含有ガス5は、結晶成長容器23と蓋24との空隙を通って結晶成長容器23内の溶媒3中に供給される。このとき、内容器21内に供給される窒素含有ガス5は、特に制限はないが、純度の高いIII族窒化物結晶を成長させる観点から、窒素の純度が高いことが好ましい。かかる観点から、窒素含有ガス5は、純度が99.999モル%以上の窒素ガスが好ましい。一方、外容器29に供給される加圧用ガス7は、外容器29内の圧力維持のために用いられIII族窒化物結晶の成長に用いられるものではないため、窒素含有ガスでなくともよい。ただし、外容器29内にはヒータ25が配置されているため、加圧用ガス7には、ヒータ25により反応を起こさない不活性ガス、たとえば窒素ガス、アルゴンガスなどが好ましく用いられる。
次に、ヒータ25を用いて、内容器21および外容器29の内部を加熱して、内容器21内部全体の温度を700℃以上900℃以下にする(加熱サブ工程)。かかる加熱により、内容器21に配置されたIII族金属とアルカリ金属を含む溶媒3は固体から液体(融液)となり、基板1の主面1mを覆い、この溶媒3(融液)に窒素含有ガス5が溶解する。このようにして、基板1の主面1mに、III族金属とアルカリ金属を含む溶媒3に窒素含有ガス5を溶解させた溶液を接触させることができる。ここで、ヒータ25は、内容器21および外容器29の内部の加熱に適したものであれば特に制限はないが、内容器および外容器の内部の温度分布の制御が容易な観点から、抵抗加熱方式のものが好ましく用いられる。
加熱サブ工程中は、内容器21にさらに窒素含有ガス5を供給して、内容器21の内圧が外容器22の内圧に比べて0.01MPa以上0.1MPa以下の範囲で大きくなるようにする。すなわち、0.01MPa≦{(内容器の内圧)−(外容器の内圧)}≦0.1MPaとなるようにする。外容器29内の加圧用ガス7が内容器21内に混入するのを防止して、外容器29内の窒素の純度を高く維持するためである。
次に、内容器21への窒素含有ガス5の供給量および加熱量を調節して、内容器21内部全体の温度を700℃以上900℃以下(結晶成長温度)に維持したまま内容器21の内圧を0.5MPa以上5MPa以下(結晶成長圧力)として、基板1の主面10m上にIII族窒化物結晶10を所定時間成長させる(結晶成長サブ工程)。このとき、外容器29への加圧用ガス7の供給量を調節して、外容器29の内圧を内容器21の内圧に比べて0.01MPa以上0.1MPa以下の範囲で小さくなるようにする。すなわち、結晶成長時においても加熱時と同様に、0.01MPa≦{(内容器の内圧)−(外容器の内圧)}≦0.1MPaとなるようにする。
かかる結晶成長サブ工程において、本発明者らは、III族窒化物結晶の成長速度が、所定の臨界結晶成長速度以上とIII族窒化物結晶の転位が増殖することを見出した。そのため、本実施形態においては、III族窒化物結晶の成長速度は、上記臨界結晶成長速度未満とする。かかる臨界結晶成長速度は、溶媒の化学組成、結晶成長温度、結晶成長圧力などの結晶成長条件によって、多少変動し得る。しかし、臨界結晶成長温度が2μm/hr以下となることはない。したがって、III族窒化物結晶の成長速度は、2μm/hr以下とすることが好ましい。一方、結晶の成長速度が小さく(低く)なるほど、結晶成長に多大の時間が必要となり、生産性が低下する。生産性を高める観点から、結晶成長速度は、0.1μm/hr以上が好ましく、0.5μm以上がより好ましい。
次に、0.01MPa≦{(内容器の内圧)−(外容器の内圧)}≦0.1MPaの関係を維持しながら、内容器21および外容器29のそれぞれの内部を冷却および減圧下して、内容器21の結晶成長容器27から基板1上に成長したIII族窒化物結晶10を取り出す(結晶取り出しサブ工程)。
本実施形態のIII族窒化物結晶の成長方法において、III族窒化物結晶がGaN結晶であることが好ましい。本実施形態の成長方法は、GaN結晶の成長にもっとも適したものである。
(実施例1)
1.GaN基板の準備
図1〜図2を参照して、基板1として、HVPE法で作製した主面1mが(0001)Ga原子表面で直径が2インチ(50.8mm)で厚さ500μmの自立性のGaN基板を準備した(基板の準備工程)。このGaN基板の主面1mにおける貫通転位の平均密度は、基板の主面をHClガスでエッチングして現れたピットの単位面積あたりの数を微分干渉顕微鏡を用いて測定したところ、5×105cm-2であった。ここで、貫通転位の平均密度の測定においては、GaN基板の主面1の100μm×100μmの正方形領域における貫通転位の密度を、ピッチ5mmの格子点上の81箇所で測定し、それらの平均を算出した。かかる貫通転位の平均密度の測定方法をEPD(エッチピット密度)測定法とも呼ぶ。
1.GaN基板の準備
図1〜図2を参照して、基板1として、HVPE法で作製した主面1mが(0001)Ga原子表面で直径が2インチ(50.8mm)で厚さ500μmの自立性のGaN基板を準備した(基板の準備工程)。このGaN基板の主面1mにおける貫通転位の平均密度は、基板の主面をHClガスでエッチングして現れたピットの単位面積あたりの数を微分干渉顕微鏡を用いて測定したところ、5×105cm-2であった。ここで、貫通転位の平均密度の測定においては、GaN基板の主面1の100μm×100μmの正方形領域における貫通転位の密度を、ピッチ5mmの格子点上の81箇所で測定し、それらの平均を算出した。かかる貫通転位の平均密度の測定方法をEPD(エッチピット密度)測定法とも呼ぶ。
2.GaN結晶の成長
図2を参照して、上記各GaN基板(基板1)を、その平坦な主面1mを上に向けて、内径60mmで深さ20mmのBN製坩堝(結晶成長容器23)の底に配置した(基板配置サブ工程)。次に、GaN基板(基板1)が配置されたBN製坩堝(結晶成長容器23)内に、15gの純度99.9999モル%の金属Gaと11gの純度99.99モル%の金属Na(溶媒3)を入れた(溶媒配置サブ工程)。この金属Gaおよび金属Na(溶媒3)は室温(約25℃)中では固体であるが、後の加熱により液化して金属Ga(III族金属MIII)と金属Na(アルカリ金属MA)のモル比がMIII:MA=31:69の金属Ga−Na融液となり、この金属Ga−Na融液(溶媒3)の表面からGaN基板(基板1)の主面1mまでの深さが5mmとなった。
図2を参照して、上記各GaN基板(基板1)を、その平坦な主面1mを上に向けて、内径60mmで深さ20mmのBN製坩堝(結晶成長容器23)の底に配置した(基板配置サブ工程)。次に、GaN基板(基板1)が配置されたBN製坩堝(結晶成長容器23)内に、15gの純度99.9999モル%の金属Gaと11gの純度99.99モル%の金属Na(溶媒3)を入れた(溶媒配置サブ工程)。この金属Gaおよび金属Na(溶媒3)は室温(約25℃)中では固体であるが、後の加熱により液化して金属Ga(III族金属MIII)と金属Na(アルカリ金属MA)のモル比がMIII:MA=31:69の金属Ga−Na融液となり、この金属Ga−Na融液(溶媒3)の表面からGaN基板(基板1)の主面1mまでの深さが5mmとなった。
次に、GaN基板(基板1)ならびに金属Gaおよび金属Na(溶媒3)が収容されたBN製坩堝(結晶成長容器23)を内容器21内に配置した。BN製の坩堝(結晶成長容器23)の上にBN製の蓋24を配置した(結晶成長容器配置サブ工程)。
次に、真空ポンプ(真空排気装置35)を用いて、内容器21および外容器29の内部を真空排気した(真空排気サブ工程)。真空排気後の内容器21および外容器29の真空度は、1×10-3Paであった。
次に、内容器21および外容器29内に、それぞれの容器の内圧が1MPaとなるようにそれぞれ窒素含有ガス5および加圧用ガス7を供給した(窒素含有ガス供給サブ工程)。このとき、内容器21内に供給される窒素含有ガス5には、純度が99.99999モル%の高純度の窒素ガスを用いた。一方、外容器29に供給される加圧用ガス7には、純度が99.9999モル%の窒素ガスを用いた。
次に、抵抗加熱方式のヒータ25を用いて、内容器21および外容器29の内部を加熱して、内容器21内部全体の温度を860℃にした(加熱サブ工程)。かかる加熱により、内容器21に配置された金属Gaおよび金属Na(溶媒3)は液化して、GaN基板(基板1)の主面1mを覆い、この液化した金属Gaおよび金属NaすなわちGa−Na融液(溶媒3)に高純度の窒素ガス(窒素含有ガス5)が溶解する。このようにして、GaN基板(基板1)の主面1mに、Ga−Na融液(溶媒3)に高純度の窒素ガス(窒素含有ガス5)を溶解させた溶液を接触させることができた。加熱中は、内容器21にさらに高純度の窒素ガス(窒素含有ガス5)を供給して、内容器21の内圧が外容器22の内圧に比べて0.01MPa以上0.1MPa以下の範囲で大きくなるようにした。すなわち、0.01MPa≦{(内容器の内圧)−(外容器の内圧)}≦0.1MPaとなるようにした。
次に、内容器21への窒素含有ガス5の供給量および加熱量を調節して、内容器21内部全体の温度を860℃(結晶成長温度)に維持したまま内容器21の内圧を3MPa(結晶成長圧力)として、GaN基板(基板1)の主面10m上にGaN結晶(III族窒化物結晶10)を100時間成長させた(結晶成長サブ工程)。このとき、外容器29への窒素ガス(加圧用ガス7)の供給量を調節して、外容器29の内圧を内容器21の内圧に比べて0.01MPa以上0.1MPa以下の範囲で小さくなるようにした。すなわち、結晶成長時においても加熱時と同様に、0.01MPa≦{(内容器の内圧)−(外容器の内圧)}≦0.1MPaとなるようにした。
次に、0.01MPa≦{(内容器の内圧)−(外容器の内圧)}≦0.1MPaの関係を維持しながら、内容器21および外容器29のそれぞれの内部を冷却および減圧下して、30℃に冷却された内容器21のBN製坩堝(結晶成長容器27)のGa−Na融液(溶媒3)からGaN基板(基板1)上に成長したGaN結晶(III族窒化物結晶10)をピンセットで取り出した(結晶取り出しサブ工程)。得られたGaN結晶の厚さは、200μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、2.0μm/hrであった。
上記のようにして得られたGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は、上記と同様のEPD測定法により測定したところ、5×105cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2と同等であり、III族窒化物結晶の成長の際に転位の増殖が抑制された。結果を表1にまとめた。
(比較例1)
結晶成長温度を850℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、500μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、5.0μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は8×106cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2より大きく、III族窒化物結晶の際に転位が増殖していた。ここで、結晶成長表面における貫通転位の分布は一様ではなく、貫通転位の密度が高くなっている領域と高くなっていない領域が見られた。結晶成長表面に対する貫通転位の密度が高くなっている領域の面積率は、HClガスによるエッチング後に微分干渉顕微鏡で観察したところ、約50%であった。結果を表1にまとめた。
結晶成長温度を850℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、500μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、5.0μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は8×106cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2より大きく、III族窒化物結晶の際に転位が増殖していた。ここで、結晶成長表面における貫通転位の分布は一様ではなく、貫通転位の密度が高くなっている領域と高くなっていない領域が見られた。結晶成長表面に対する貫通転位の密度が高くなっている領域の面積率は、HClガスによるエッチング後に微分干渉顕微鏡で観察したところ、約50%であった。結果を表1にまとめた。
(比較例2)
結晶成長温度を855℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、300μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、3.0μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は2×106cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2より大きく、III族窒化物結晶の際に転位が増殖していた。ここで、結晶成長表面における貫通転位の分布は一様ではなく、貫通転位の密度が高くなっている領域と高くなっていない領域が見られた。結晶成長表面に対する貫通転位の密度が高くなっている領域の面積率は、約30%であった。結果を表1にまとめた。
結晶成長温度を855℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、300μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、3.0μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は2×106cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2より大きく、III族窒化物結晶の際に転位が増殖していた。ここで、結晶成長表面における貫通転位の分布は一様ではなく、貫通転位の密度が高くなっている領域と高くなっていない領域が見られた。結晶成長表面に対する貫通転位の密度が高くなっている領域の面積率は、約30%であった。結果を表1にまとめた。
(実施例2)
結晶成長温度を865℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、120μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、1.2μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は5×105cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2と同等であり、III族窒化物結晶の際に転位の増殖が抑制されていた。結果を表1にまとめた。
結晶成長温度を865℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、120μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、1.2μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は5×105cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2と同等であり、III族窒化物結晶の際に転位の増殖が抑制されていた。結果を表1にまとめた。
(実施例3)
結晶成長温度を870℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、50μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、0.5μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は5×105cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2と同等であり、III族窒化物結晶の際に転位の増殖が抑制されていた。結果を表1にまとめた。
結晶成長温度を870℃としたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、50μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、0.5μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は5×105cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2と同等であり、III族窒化物結晶の際に転位の増殖が抑制されていた。結果を表1にまとめた。
(実施例4)
結晶成長圧力を2MPaとしたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、30μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、0.3μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は5×105cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2と同等であり、III族窒化物結晶の際に転位の増殖が抑制されていた。結果を表1にまとめた。
結晶成長圧力を2MPaとしたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、30μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、0.3μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は5×105cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2と同等であり、III族窒化物結晶の際に転位の増殖が抑制されていた。結果を表1にまとめた。
(比較例3)
結晶成長圧力を4MPaとしたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、350μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、3.5μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は5×106cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2より大きく、III族窒化物結晶の際に転位が増殖していた。ここで、結晶成長表面における貫通転位の分布は一様ではなく、貫通転位の密度が高くなっている領域と高くなっていない領域が見られた。結晶成長表面に対する貫通転位の密度が高くなっているた領域の面積率は、約50%であった。結果を表1にまとめた。
結晶成長圧力を4MPaとしたこと以外は、実施例1と同様にして、GaN結晶(III族窒化物結晶10)を成長させた。得られたGaN結晶の厚さは、350μmであった。すなわち、GaN結晶の成長速度は、3.5μm/hrであった。このGaN結晶(III族窒化物結晶10)の結晶成長表面10gにおける貫通転位の平均密度は5×106cm-2であり、この値は基板の主面における貫通転位の平均密度5×105cm-2より大きく、III族窒化物結晶の際に転位が増殖していた。ここで、結晶成長表面における貫通転位の分布は一様ではなく、貫通転位の密度が高くなっている領域と高くなっていない領域が見られた。結晶成長表面に対する貫通転位の密度が高くなっているた領域の面積率は、約50%であった。結果を表1にまとめた。
表1を参照して、III族窒化物結晶と同じ化学組成を有しかつ一主面を有するIII族窒化物種結晶を含む基板の主面上に、III族窒化物結晶の転位が増殖を始める臨界結晶成長速度未満の結晶成長速度(たとえば、2.0μm/hr以下)でIII族窒化物結晶を成長させることにより、転位を増殖させることなくIII族窒化物結晶を成長させることが可能となり、結晶成長表面における貫通転位の密度が低いIII族窒化物結晶が得られた。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明でなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内のすべての変更が含まれることが意図される。
本発明にかかる成長方法により得られたAlN結晶は、発光ダイオード、レーザダイオードなどの発光素子、整流器、バイポーラトランジスタ、電界効果トランジスタ、HEMT(高電子移動度トランジスタ)などの電子素子、微小電子源(エミッタ)、温度センサ、圧力センサ、放射線センサ、可視-紫外光検出器などの半導体センサ、SAW(表面弾性波)デバイス、振動子、共振子、発振器、MEMS(Micro Electro Mechanical System)部品、圧電アクチュエータなどのデバイス用の基板として広く用いられる。
1 基板、1a III族窒化種物結晶、1b 下地基板、1m 主面、3 溶媒、5 窒素含有ガス、7 加圧用ガス、10 III族窒化物結晶、10g 結晶成長表面、21 内容器、23 結晶成長容器、24 蓋、25 ヒータ、27 断熱材、29 外容器、31 窒素含有ガス供給装置、33 加圧用ガス供給装置、35 真空排気装置、41 第1の配管、41a バルブより内容器側の部分、41b バルブより窒素含有ガス供給装置側の部分、41p,43p 圧力計、41v,43v,45v,47v バルブ、43 第2の配管、43a,45a バルブより外容器側の部分、43b バルブより加圧用ガス供給装置側の部分、45 第3の配管、45b バルブより真空排気装置側の部分、47 第4の配管。
Claims (5)
- 液相法によるIII族窒化物結晶の成長方法であって、
前記III族窒化物結晶と同じ化学組成を有しかつ一主面を有するIII族窒化物種結晶を含む基板を準備する工程と、
前記基板の前記主面に、III族金属とアルカリ金属を含む溶媒に窒素含有ガスを溶解させた溶液を接触させて、前記主面上に前記III族窒化物結晶を成長させる工程と、を備え、
前記III族窒化物結晶の結晶成長速度は、前記III族窒化物結晶の転位が増殖を始める臨界結晶成長速度未満であるIII族窒化物結晶の成長方法。 - 前記III族窒化物結晶の結晶成長速度は0.1μm以上2μm以下である請求項1に記載のIII族窒化物結晶の成長方法。
- 前記主面は(0001)III族金属原子表面である請求項1または請求項2に記載のIII族窒化物結晶の成長方法。
- 前記アルカリ金属は、ナトリウムおよびリチウムからなる群から選ばれる少なくとも1種類の元素を含む金属である請求項1から請求項3までのいずれかに記載のIII族窒化物結晶の成長方法。
- 前記III族窒化物結晶は、GaN結晶である請求項1から請求項4までのいずれかに記載のIII族窒化物結晶の成長方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007312537A JP2009137771A (ja) | 2007-12-03 | 2007-12-03 | Iii族窒化物結晶の成長方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007312537A JP2009137771A (ja) | 2007-12-03 | 2007-12-03 | Iii族窒化物結晶の成長方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009137771A true JP2009137771A (ja) | 2009-06-25 |
Family
ID=40868804
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007312537A Withdrawn JP2009137771A (ja) | 2007-12-03 | 2007-12-03 | Iii族窒化物結晶の成長方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009137771A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013014450A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体エピタキシャル基板及び窒化物半導体デバイス |
-
2007
- 2007-12-03 JP JP2007312537A patent/JP2009137771A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013014450A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Hitachi Cable Ltd | 窒化物半導体エピタキシャル基板及び窒化物半導体デバイス |
US9105755B2 (en) | 2011-07-01 | 2015-08-11 | Hitachi Metals, Ltd. | Method of manufacturing a nitride semiconductor epitaxial substrate |
US9397232B2 (en) | 2011-07-01 | 2016-07-19 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Nitride semiconductor epitaxial substrate and nitride semiconductor device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7621998B2 (en) | Single crystalline gallium nitride thick film having reduced bending deformation | |
JP2009091222A (ja) | SiC単結晶の製造方法、SiC単結晶ウエハ及びSiC半導体デバイス | |
JP2006225232A (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法、炭化珪素単結晶インゴット、炭化珪素単結晶基板、炭化珪素エピタキシャルウェハ、および薄膜エピタキシャルウェハ | |
JP4690906B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用種結晶及びその製造方法並びに炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP4914299B2 (ja) | Iii族窒化物結晶の製造方法 | |
JP4408247B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用種結晶と、それを用いた炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP4850807B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用坩堝、及びこれを用いた炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP2008162855A (ja) | 窒化物半導体基板の製造方法及び窒化物半導体基板 | |
JP2010100449A (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP4528806B2 (ja) | GaN結晶の成長方法 | |
JP2017036178A (ja) | 13族窒化物単結晶の製造方法、および13族窒化物単結晶の製造装置 | |
JP5370025B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴット | |
JP2009137771A (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP2010024125A (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP5139010B2 (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP4908467B2 (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体結晶の製造方法 | |
JP4867981B2 (ja) | GaN結晶の成長方法 | |
JP2008230868A (ja) | 窒化ガリウム結晶の成長方法および窒化ガリウム結晶基板 | |
JP4530004B2 (ja) | GaN結晶の成長方法 | |
US7892513B2 (en) | Group III nitride crystal and method of its growth | |
JP2010024124A (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP2009029672A (ja) | Iii族窒化物結晶およびその成長方法 | |
JP2006240968A (ja) | 単結晶成長方法、その方法により得られるIII族窒化物単結晶およびSiC単結晶 | |
JP2011001211A (ja) | Iii族窒化物結晶の成長方法 | |
JP2010111556A (ja) | GaN結晶の成長方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20110301 |