JP2009134797A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】非磁性基板と、前記非磁性基板上に形成された第一下地層と、前記第一下地層上に形成された第二下地層と、前記第二下地層上に形成された磁性層と、前記磁性層上に形成された保護層を有する垂直磁気記録媒体であって、前記磁性層がCoを主成分とする合金からなり、前記第一下地層がRuと体心立方構造を形成する金属を主成分とし、Ruを60at.%以上含む合金または化合物からなり、前記第二下地層がRuであることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【選択図】図1
Description
即ち、本発明の垂直磁気記録媒体は、非磁性基板と、前記非磁性基板上に形成された第一下地層と、前記第一下地層上に形成された第二下地層と、前記第二下地層上に形成された磁性層と、前記磁性層上に形成された保護層を有する垂直磁気記録媒体であって、前記磁性層がCoを主成分とする合金からなり、前記第一下地層がRuと体心立方構造を形成する金属を主成分とし、Ruを60at.%以上含む合金または化合物からなり、前記第二下地層がRuであることを特徴とする。
さらには、第二下地層には空隙部のない連続膜を用いているため、耐食性も確保できているという効果も有する。
図1は本発明の垂直磁気記録媒体の1実施形態の断面構成を示す図である。
本発明の垂直磁気記録媒体は、非磁性基板と、前記非磁性基板上に形成された第一下地層と、前記第一下地層上に形成された第二下地層と、前記第二下地層上に形成された磁性層と、前記磁性層上に形成された保護層を有する。
図1には、非磁性基板の上に軟磁性裏打ち層及びシード層をこの順に設け、その上に第一下地層を設けた例を示しているが、軟磁性裏打ち層及びシード層は必ずしも設ける必要は無く、どちらか一方のみを設けて他方を省略してもよく、両方を省略してもよい。
第二下地層の膜厚は4nm以上であることが好ましく、14nm以下であることが好ましい。第二下地層の膜厚は4nm以上ないと、第二下地層の結晶性が劣り、逆に14nmより厚いと(軟磁性裏打ち層との距離が広がるため)書き滲みが大きくなり、高記録密度を確保することが困難となる。
これは、磁性層を二層構造とすることで下地層により制御した結晶粒径と粒界層厚を磁性層上部まで維持することが可能となり、磁気分離性の良い磁性層を作製することができるからである。
さらに、第一磁性層では下地層の表面状態を引き継いだ磁気分離性の良い構造を作製し、第二磁性層で耐食性などの諸特性を補うといった機能分離が可能となるため、耐食性も改善することができる。
これに用いる材料は、磁性層と同じ六方最密構造をもった非磁性金属であればいずれも使用可能であるが、Ru、Re、Os、もしくはこれらを主成分とする合金を用いることが好適である。
図1に示されているように、ガラスからなる非磁性基板上に、CoZrNbからなる軟磁性裏打ち層、CoFeNiからなるシード層、RuCrからなる第一下地層、Ruからなる第二下地層、CoPtCrSiOからなる第一磁性層、Ruからなる中間層、CoPtCrからなる第二磁性層、カーボンからなる保護層を、順次積層して垂直磁気記録媒体を作製した。
この後、第一下地層としてCrを20at.%含有するRuCr合金ターゲットを用いてRuCr膜を0〜14nm形成し、次いで、成膜速度はいずれも4nm/秒と連続膜となる条件を用いており、第二下地層としてRuターゲットを用いてRu膜を0〜14nm作製した。このとき、第一下地層と第二下地層との和は、合計で14nmとなるように調整した。また、ターゲットと膜との間に組成のずれはないことを組成分析により確認している。実施例1〜4、および比較例1〜3の第一下地層と第二下地層の膜厚を第1表に示す。
Claims (7)
- 非磁性基板と、前記非磁性基板上に形成された第一下地層と、前記第一下地層上に形成された第二下地層と、前記第二下地層上に形成された磁性層と、前記磁性層上に形成された保護層を有する垂直磁気記録媒体であって、前記磁性層がCoを主成分とする合金からなり、前記第一下地層がRuと体心立方構造を形成する金属を主成分とし、Ruを60at.%以上含む合金または化合物からなり、前記第二下地層がRuであることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
- 前記第一下地層における体心立方構造を有する金属が、Cr、V、Nb、Mo、Ta及びWからなる群のうちの少なくとも1種の元素からなるものであることを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第一下地層における体心立方構造を有する金属が、Crであることを特徴とする請求項2記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁性層が第一磁性層と第二磁性層とからなり、前記第一磁性層と前記第二磁性層との間に介在する中間層を有し、前記中間層がRu、Re、Osから選ばれる1種以上からなる金属または合金であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第二下地層の膜厚が4nm以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁性層が、Pt、Cr及びOをさらに含んでいることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記第一下地層と前記非磁性基板との間に、軟磁性裏打ち層、シード層のいずれか/もしくは両方をさらに設けたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の垂直磁気記録媒体。
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