JP2009132948A - プラズマcvd装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャンバ11内に原料ガスを供給し、石英窓16を通じてチャンバ11内にマイクロ波を導入して原料ガスのプラズマを生成してカーボンなどの成膜を行う装置であって、石英窓16のチャンバ11側に保護材30を設けて構成されている。この保護材30を設けることにより、石英窓16の近傍で表面波プラズマが生成される場合であっても、そのプラズマによって石英窓16がエッチングされ石英窓16の成分がチャンバ11内に混入することを防止することができる。従って、石英窓16の成分が膜体に添加されることを防止でき、良質な膜体を製造することができる。
【選択図】図1
Description
Claims (7)
- 膜体を成長させるための基材を収容したチャンバと、
前記チャンバ内に原料ガスを供給する原料ガス供給部と、
誘電体部材を通じて前記チャンバ内にマイクロ波を導入して前記原料ガスのプラズマを生成するプラズマ生成部と、
前記誘電体部材のチャンバ側に設けられ、プラズマ生成時に前記誘電体部材を保護する保護部材と、
を備えたプラズマCVD装置。 - 前記保護部材は、前記誘電体部材の素材よりも結合エネルギの大きい酸化物を前記誘電体部材のチャンバ側の表面にコーティングして構成されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマCVD装置。
- 前記保護部材は、アルミナコーティングであることを特徴とする請求項2に記載のプラズマCVD装置。
- 前記保護部材は、酸素成分を含まない化合物又は酸素成分を含まない物質を前記誘電体部材のチャンバ側の表面にコーティングして構成されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマCVD装置。
- 前記保護部材は、前記誘電体部材のチャンバ側に配置され、前記誘電体部材の素材よりも結合エネルギの大きい酸化物により形成される板体であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマCVD装置。
- 前記保護部材は、アルミナにより形成される板体であることを特徴とする請求項5に記載のプラズマCVD装置。
- 前記保護部材は、前記誘電体部材のチャンバ側に配置され、酸素成分を含まない化合物又は酸素成分を含まない物質により形成される板体であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマCVD装置。
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